專利名稱：：輸送物的除塵方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種輸送物的除塵方法及裝置，尤其涉及在鄰接的2個以上凈化室之間隔著輸送物通過用開口部連續(xù)地輸送平面狀輸送物時輸送物的除塵方法及裝置。
背景技術(shù)：
：近年來，在制造電子產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中的半導(dǎo)體或液晶顯示器、醫(yī)藥品領(lǐng)域中的醫(yī)藥用包裝容器、食品領(lǐng)域中的填充容器等制品時，大多具有在輸送薄膜或薄板狀的基板等平面狀輸送物的同時進行形成、加工的工序。為了保證制品的質(zhì)量和防止異物混入，該形成、加工工序設(shè)置在凈化室內(nèi)。另外，在各工序中，凈化室被分別隔開，在該隔開的邊界部設(shè)置用于輸送輸送物的幵口部。在專利文獻1中提出，在層疊體薄膜轉(zhuǎn)印設(shè)備及轉(zhuǎn)印方法中，在2個凈化室邊界部為了夾持薄膜而配置2個除塵裝置。在專利文獻2中提出了不讓拋光處理中產(chǎn)生的異物飛散到集塵箱以外而排出到系統(tǒng)外，從而防止向連續(xù)基板的附著或向周邊裝置的堆積的方法及裝置。在專利文獻3中，在連續(xù)拋光處理裝置中，為了抑制拋光處理引起的亮點故障，提出了拋光滾輪(巻曲拋光片材的滾輪)的除塵及拋光處理之后的薄膜除塵。專利文獻l:特開2003—71932號公報專利文獻2:特開2005—266019號公報專利文獻3:特開平9—166784號公報但是，在專利文獻l中，由于輸送引力變動等而存在這種問題，艮口，在作為輸送物的薄膜中產(chǎn)生振動，使得摩擦薄膜時附著瑕疵或發(fā)生塵埃。另外，在制造不同寬度的制品時，超出制品寬度的部分也被除塵裝置的空氣吹到而發(fā)生薄膜端部的振動，附著的塵埃向室內(nèi)吹飛，成為污染室內(nèi)的原因。那么，在專利文獻2中，不能利用薄膜附近的伴隨空氣除去與薄膜一起輸送的微小異物，而向集塵箱的外面飛散。另外，在專利文獻3中，在低清潔度室中進行薄膜的除塵的情況下，除塵后異物會再次附著，在高清潔度室中進行的情況下，在除塵前剝脫的異物會在除塵器下游側(cè)再次附著。另外，在凈化室內(nèi)輸送的已除塵的輸送物的寬度不固定，通常由于輸送物的種類或批次的變更而輸送物的寬度不同。這種情況下，輸送物的寬度的不同導(dǎo)致為了除塵而噴出的氣體的氣流發(fā)生紊亂，如光學(xué)補償薄膜，極微量的塵埃的附著也會給光學(xué)特性帶來不良影響，因而必需進行精密除塵的情況下，輸送物的寬度即使改變，氣流也不會發(fā)生紊亂是必要的。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明之一為了實現(xiàn)所述目的而提供一種輸送物的除塵方法，其是對于在隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室內(nèi)連續(xù)輸送的平面狀輸送物的除塵方法，其中，設(shè)置有如下工序，即，在所述輸送物通過用開口部的位置，用滾輪支撐所述輸送物的表背面中的一面，同時利用與該滾輪對向配置的加壓風(fēng)噴出裝置向所述輸送物的另一面噴射氣體，從而利用風(fēng)壓除去附著于所述輸送物的異物的除塵工序。如果相對加壓風(fēng)噴出裝置噴出的氣體的寬度(對應(yīng)輸送物寬度方向的寬度)，輸送物的寬度變小，則向沒有輸送物的部分噴出氣體的比例變大，因而容易發(fā)生輸送物的寬度改變引起的氣流的紊亂。因此，在本發(fā)明中，由于與加壓風(fēng)噴出裝置對向設(shè)置滾輪，所以即使輸送該滾輪的輸送物的寬度改變，從加壓風(fēng)噴出裝置噴出的氣體被滾輪擋住，所以難以發(fā)生氣流的紊亂。如果利用本發(fā)明之一，在隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室內(nèi)被連續(xù)輸送的平面狀輸送物的除塵方法中，通過在輸送物通過用開口部成為用加壓風(fēng)噴出裝置和滾輪夾持輸送物的結(jié)構(gòu)，利用加壓風(fēng)噴出裝置的風(fēng)壓，除去在上游側(cè)的凈化室中的工序中發(fā)生并附著的輸送物上面的異物，設(shè)置于輸送物的另一面的滾輪可以支撐輸送物的背面，所以可以抑制輸送物端部的振動的發(fā)生。另外，利用設(shè)置輸送物背面的滾輪，也可以防止加壓風(fēng)噴出裝置的風(fēng)壓引起的除塵后的異物繞入輸送物背面而再次附著。因而，能夠在基板等單張式制造工序或光學(xué)補償薄膜制造工序中，提供一種可以抑制異物向平面狀輸送物附著的缺陷從而以高產(chǎn)品率制造的輸送方法。本發(fā)明之二是在本發(fā)明之一中，在所述加壓風(fēng)噴出裝置中附加有吸引裝置為特征。如果利用本發(fā)明之二，通過在加壓風(fēng)噴出裝置中附加有吸引裝置，被加壓風(fēng)噴出裝置的風(fēng)壓從輸送物除去的異物被吸引裝置吸引，所以可以防止凈化室內(nèi)污染。本發(fā)明之三是在本發(fā)明之一或二中，所述滾輪是在表面具有粘合層的滾輪為特征。如果利用本發(fā)明之三，附著于輸送物背面的異物也會被滾輪除去，因而更優(yōu)選。本發(fā)明之四是在本發(fā)明之一三的任意一項中，其特征在于，在所述鄰接配置的多個凈化室中，輸送方向的下游側(cè)的清潔度與上游側(cè)相比，為同等以上。如果利用本發(fā)明之四，鄰接配置的多個凈化室中輸送方向的下游側(cè)的清潔度與上游側(cè)相比為同等以上，可以抑制異物向平面狀輸送物附著引起的缺陷，所以優(yōu)選。本發(fā)明之五是在本發(fā)明之一四的任意一項中，其特征在于，在所述加壓風(fēng)噴出裝置中附加有超聲波發(fā)生裝置。根據(jù)本發(fā)明之五，通過在加壓風(fēng)噴出裝置中附加超聲波發(fā)生裝置，可以向輸送物噴射超聲波振動的壓縮空氣，所以可以有效地除去微小異物。本發(fā)明之六是在本發(fā)明之一五的任意一項中，其特征在于，所述加壓風(fēng)噴出裝置的加壓風(fēng)使用已通過異物除去過濾器的空氣。如果利用本發(fā)明之六，由于加壓風(fēng)噴出裝置的加壓風(fēng)使用已通過異物除去過濾器的空氣，所以可以進一步有效地除去微小異物。本發(fā)明之七是在本發(fā)明之一六的任意一項中，其特征在于，所述輸送物為長條狀輸送物。另外，本發(fā)明之八是在本發(fā)明之一六的任意一項中，其特征在于，所述輸送物為單張式輸送物。本發(fā)明之九為了實現(xiàn)所述目的而提供一種輸送物的除塵裝置，其是在隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室內(nèi)被連續(xù)輸送的平面狀輸送物的除塵裝置，其中，具有滾輪，其設(shè)置于所述輸送物通過用開口部的位置，并支撐所述輸送物的表背面中的一面；和加壓風(fēng)噴出裝置，其與所述滾輪隔著所述輸送物對向配置，并向所述輸送物的上面噴出氣體。本發(fā)明之九是將本發(fā)明之一的方法構(gòu)成為裝置的發(fā)明。本發(fā)明之十是在本發(fā)明之九中，其特征在于，在將所述輸送物的寬度設(shè)為Ll、將所述加壓風(fēng)噴出裝置的噴出口的所述輸送物寬度方向的長度設(shè)為L2、將所述滾輪的長度設(shè)為L3時，滿足LKL2《L3的關(guān)系。如果根據(jù)本發(fā)明之十，在將所述輸送物的寬度設(shè)為Ll、將所述加壓風(fēng)噴出裝置的噴出口的所述輸送物寬度方向的長度設(shè)為L2、將所述滾輪的長度設(shè)為L3的情況下，滿足LKL2《L3的關(guān)系時特別有效。本發(fā)明是鑒于這樣的情況而提出的，其目的在于，例如在基板等單張式制造工序或光學(xué)補償薄膜制造工序中，提供一種可以抑制異物向平面狀輸送物附著引起的缺陷從而以高產(chǎn)品率制造的輸送物的除塵方法及裝置。如果利用本發(fā)明，可以提供一種輸送物的除塵方法及裝置，其是隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室內(nèi)連續(xù)輸送的平面狀輸送物的除塵方法及裝置，其可以抑制異物向平面狀輸送物附著引起的缺陷從而以高產(chǎn)品率制造。圖1是表示光學(xué)補償片的制造工序的一例的示意圖。圖2是說明本發(fā)明中的輸送物通過用開口部的說明圖。圖3是說明本發(fā)明中的加壓風(fēng)噴出裝置和滾輪的說明圖。圖4是說明輸送物為單張式輸送物時的輸送物通過用開口部的說明圖。圖5是說明本發(fā)明中的輸送物通過用開口部的加壓風(fēng)噴出裝置的示意圖。圖6是說明本發(fā)明中的輸送物通過用開口部的主視圖。圖中，IO—光學(xué)補償薄膜制造裝置，12—薄膜輥，14一透明樹脂薄膜，15—輸送物，16—輸出機，18—拋光滾輪，20—導(dǎo)向滾輪，22—除塵機，24—涂敷機，26—加熱區(qū)域，28—紫外線(UV)燈，30—檢查裝置，32一保護薄膜，34—層壓機，36—巻繞裝置，40—輸送物通過用開口部，42、43、44一導(dǎo)向滾輪，46—異物，48—加壓風(fēng)噴出裝置，50—滾輪。具體實施方式以下利用附圖對本發(fā)明的輸送物的除塵方法及裝置的優(yōu)選實施方式進行詳述。另外，在此，對光學(xué)補償薄膜制造工序的情況進行了說明，但不限于光學(xué)補償薄膜制造工序，只要輸送物為平面狀則任何制造工序都可以適用。圖1是使用具有取向膜形成用樹脂層的薄膜來制造光學(xué)補償薄膜的制造裝置的一例。如圖1所示，也可以將作成光學(xué)補償片到巻繞為止的工序，連續(xù)地進行流水作業(yè)。從具有取向膜形成用樹脂層的薄膜輥12開始，利用輸出機16輸出具有取向膜形成用樹脂層的透明樹脂薄膜14，利用由拋光滾輪18、固定于滾輪裝載臺的導(dǎo)向滾輪20及設(shè)置在拋光滾輪的除塵機22構(gòu)成的拋光裝置，實施拋光處理，形成的取向膜的表面被鄰接設(shè)置于拋光裝置的表面除塵機22除塵。形成有取向膜的透明樹脂薄膜14被驅(qū)動滾輪輸送，在取向膜上，利用涂敷機24涂敷內(nèi)含液晶性圓盤狀化合物的涂敷液，接著，使溶劑蒸發(fā)，然后在加熱區(qū)域26中，將涂敷層加熱至原盤狀向列(disconematic)相形成溫度(在此，涂敷層的殘留溶劑也蒸發(fā))，形成原盤狀向列相的液晶層。接著，將所述液晶層利用紫外線(UV)燈28照射紫外線，液晶層交聯(lián)。為了使其交聯(lián)，需要使用具有交聯(lián)性官能團的液晶性圓盤狀化合物作為液晶性圓盤狀化合物。在使用不具有交聯(lián)性官能團的液晶性圓盤狀化合物的情況下，省略該紫外線照射工序，立即使其冷卻。這種情況下，為了不使原盤狀向列相在冷卻中變化，需要快速地進行冷卻。利用檢查裝置30測定形成有取向膜及液晶層的透明樹脂薄膜表面的光學(xué)特性，檢査其是否存在異常。接著，利用層壓機34，在液晶層表面層壓保護薄膜32，在巻繞裝置36上巻繞。在此，光學(xué)補償薄膜制造工序主要由l)透明樹脂薄膜14輸出工序A;2)在表面形成有取向膜形成用樹脂層的透明樹脂薄膜上，在樹脂層的表面實施拋光處理，在透明樹脂薄膜上形成取向膜的拋光工序B;3)在取向膜上涂敷內(nèi)含液晶性圓盤狀化合物的涂敷液的液晶性圓盤狀化合物的涂敷工序C;4)干燥該涂敷層從而使該涂敷層中的溶媒蒸發(fā)的干燥工序D;5)固化該液晶層(即，使用具有交聯(lián)性官能團的液晶性圓盤狀化合物的情況下，利用光照射使液晶層交聯(lián))的工序E;6)巻繞形成有該取向膜及液晶層的透明樹脂薄膜的巻繞工序F構(gòu)成，如圖1所示，各工序AF的裝置分別設(shè)置于被隔開的凈化室內(nèi)。各凈化室在鄰接的2個凈化室之間設(shè)置輸送物通過用開口部40。本發(fā)明是在隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室內(nèi)被連續(xù)輸送的平面狀輸送物的除塵方法，其特征在于，設(shè)置如下工序，即在所述輸送物通過用開口部的位置，用滾輪支撐所述輸送物的表背面中的一面，并同時利用與該滾輪對向配置的加壓風(fēng)噴出裝置，向所述輸送物的另一面噴射氣體，從而利用風(fēng)壓除去附著于所述輸送物的異物的除塵工序。以下對拋光工序B的凈化室b和涂敷工序C的凈化室c進行說明。通常，用于除去異物的加壓風(fēng)噴出裝置設(shè)置于凈化室c內(nèi)的涂敷機24的上游側(cè)。透明樹脂薄膜14被導(dǎo)向滾輪42、44引導(dǎo)移動。在本發(fā)明中，如圖2所示，在輸送物通過用開口部40處設(shè)置利用風(fēng)壓除去附著于透明樹脂薄膜14的異物46的加壓風(fēng)噴出裝置48。另外，隔著透明樹脂薄膜14與加壓風(fēng)噴出裝置48對向設(shè)置滾輪50。優(yōu)選在加壓風(fēng)噴出裝置48中附加吸引裝置。如圖3所示，加壓風(fēng)噴出裝置48可以考慮(A)噴出口48a和吸引口48b各l個、(B)1個噴出口48a和2個吸引口48b、(C)2個噴出口48a和1個吸引口48b等。在隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室內(nèi)被連續(xù)輸送的平面狀輸送物的除塵方法中，通過在輸送物通過用開口部40成為用加壓風(fēng)噴出裝置48和滾輪50夾持透明樹脂薄膜14的結(jié)構(gòu)，利用加壓風(fēng)噴出裝置48的風(fēng)壓，除去在上游側(cè)的凈化室b中的工序中發(fā)生并附著的透明樹脂薄膜14一面的異物46，設(shè)置于透明樹脂薄膜14的另一面的滾輪50可以支撐透明樹脂薄膜14，從而可以抑制透明樹脂薄膜14端部的振動的發(fā)生。另外，利用設(shè)置于透明樹脂薄膜14背面的滾輪，也可以防止加壓風(fēng)噴出裝置48的風(fēng)壓引起的除塵后的異物繞入透明樹脂薄膜14的另一面而再次附著。接著，通過在加壓風(fēng)噴出裝置48中附加吸引裝置，可以防止被加壓風(fēng)噴出裝置48的風(fēng)壓從透明樹脂薄膜14除去的異物污染凈化室b、c內(nèi)。另外，如圖2所示，優(yōu)選在透明樹脂薄膜14的上面設(shè)置支撐輸送物的表背面中的一面的滾輪50。因而，在光學(xué)補償薄膜制造工序中，可以抑制異物向平面狀輸送物附著引起的缺陷而以高產(chǎn)品率制造。另外，加壓風(fēng)噴出裝置48的風(fēng)壓的壓力越高，則異物除去能力越增加，但在超過10KPa使用的情況下，輸送物振動，與加壓風(fēng)噴出裝置48接觸的可能性變高，必需付與吸引裝置。加壓風(fēng)噴出裝置48的風(fēng)壓優(yōu)選在8KPa40KPa的范圍內(nèi)使用。另外，與加壓風(fēng)噴出裝置48對向的滾輪50和透明樹脂薄膜14的包(wrap)角通常為38度以上，優(yōu)選為43度180度。作為使用的透明樹脂薄膜14，通常包括其寬度為3002000mm、長度為4510000m、厚度為2200pm的由聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚2，6—萘二甲酸乙二醇酯、二醋酸纖維素、三乙酸纖維素、乙酸丙酸纖維素、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚碳酸酯、聚酰亞胺、聚酰胺等塑料薄膜、紙、涂敷或?qū)盈B有聚乙烯、聚丙烯、乙烯丁烯共聚物等碳原子數(shù)210的a—聚烯烴類的紙等構(gòu)成的撓性帶狀物或者以該帶狀物為基材進而在其表面形成加工層的帶狀物。作為透明樹脂薄膜14的涂敷液的涂敷量，可以優(yōu)選采用215mL/m2的范圍。另外，作為透明樹脂薄膜14的涂敷液的涂敷寬度，可以優(yōu)選采用5002000mm的范圍。另外，作為涂敷液的粘度，可以優(yōu)選采用0.810cp(0.810X10—3Pa*s)的范圍。以上對本發(fā)明的輸送方法為長條狀輸送物的光學(xué)補償薄膜的制造工序的情況進行了說明，但不限于長條狀輸送物的光學(xué)補償薄膜制造工序，也可以適用輸送物為基板等單張式(枚葉式)輸送物的制造工序。圖4是在輸送薄板狀的基板等平面狀的輸送物的同時進行形成、加工的工序中，在鄰接的2個凈化室之間，隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部，將單張式輸送物15連續(xù)地輸送的方式的圖。平面狀輸送物15被導(dǎo)向滾輪42、43、44引導(dǎo)并移動。如圖4(A)所示，在輸送物通過用開口部40處設(shè)置利用風(fēng)壓除去附著于單張式輸送物15的異物46的加壓風(fēng)噴出裝置48。接著，隔著單張式輸送物15，與加壓風(fēng)噴出裝置48對向設(shè)置滾輪50。這樣，在隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室內(nèi)連續(xù)輸送的平面狀輸送物的除塵方法中，通過在輸送物通過用開口部40成為用加壓風(fēng)噴出裝置48和滾輪50夾持單張式輸送物15的結(jié)構(gòu)，利用加壓風(fēng)噴出裝置48的風(fēng)壓，除去在上游側(cè)的凈化室1中的工序中發(fā)生并附著的單張式輸送物15—面的異物46，設(shè)置于單張式輸送物15的另一面的滾輪50可以支撐單張式輸送物15，從而可以抑制單張式輸送物15端部的振動的發(fā)生。另外，利用設(shè)置于單張式輸送物15的另一面的滾輪，也可以防止加壓風(fēng)噴出裝置48的風(fēng)壓引起的除塵后的異物繞入單張式輸送物15的另一面而再次附著因而，不僅在光學(xué)補償薄膜等長條狀輸送物的制造工序中，而且在輸送物為基板等的單張式輸送物的制造工序中，也可以抑制異物向平面狀輸送物附著引起的缺陷而以高產(chǎn)品率制造。另夕卜，如果減小加壓風(fēng)噴出裝置48與輸送物15的距離H，則異物除去能力增加，但在輸送物15的張力低的情況下，張力變動引起與加壓風(fēng)噴出裝置48接觸的可能性變高。另一方面，如果加大加壓風(fēng)噴出裝置48與輸送物15的距離H，則異物除去能力降低，不能完全地除去輸送物的附著異物。圖4(B)為圖4(A)的點線部分40a的放大圖，因而，加壓風(fēng)噴出裝置48與輸送物15的距離H存在適當(dāng)?shù)姆秶８鶕?jù)本申請人的實驗，通常以lmm3mm、優(yōu)選以lmm2mm的范圍相對輸送物15設(shè)置加壓風(fēng)噴出裝置48即可。另外，制造時為了即使輸送物的寬度發(fā)生改變也不會發(fā)生加壓風(fēng)噴出及吸引寬度的改變，在與距離H相同的范圍內(nèi)設(shè)置加壓風(fēng)噴出裝置48與滾輪50的距離H'。在此，如果滾輪50的直徑變小，則與輸送物15的間隙難以調(diào)節(jié)。通常，直徑為100mm以上，但根據(jù)本申請人的實驗，優(yōu)選直徑在150mm300mm的范圍。接著，滾輪50優(yōu)選為為了除去異物而在表面具有粘合層的滾輪。這是因為，也可以用滾輪除去在輸送物15的加壓風(fēng)噴出裝置48的背面的異物。在為了除去異物而使用具有粘合層的滾輪的情況下，如果粘合力小，則異物除去能力降低。另一方面，如果粘合力大，則輸送速度變動變大，而且，輸送物帶電進而在后面的工序中誘發(fā)其他故障或者污物附著的可能性變高。因而，粘合力存在適當(dāng)?shù)姆秶鶕?jù)本申請人的實驗，通常為40135hPa，優(yōu)選為45100hPa。另外，在鄰接配置的多個凈化室中，優(yōu)選輸送方向的下游側(cè)的清潔度與上游側(cè)相比，為同等以上。在鄰接配置的多個凈化室中，輸送方向的下游側(cè)的清潔度與上游側(cè)相比，清潔度高或者清潔度相同，可以抑制異物向平面狀輸送物附著引起的缺陷，所以優(yōu)選。另外，如圖3的不在加壓風(fēng)噴出裝置中附加吸引裝置的情況下，如圖5所示，使加壓風(fēng)噴出裝置48向下游側(cè)傾斜，以使加壓風(fēng)噴出裝置48的空氣向輸送方向的上游側(cè)噴出。進而，優(yōu)選在加壓風(fēng)噴出裝置48中附加超聲波發(fā)生裝置。通過在加壓風(fēng)噴出裝置中附加超聲波發(fā)生裝置，可以向輸送物噴射超聲波振動的壓縮空氣，所以可以有效地除去微小異物。接著，加壓風(fēng)噴出裝置48的加壓風(fēng)優(yōu)選使用已通過異物除去過濾器的空氣。由于加壓風(fēng)噴出裝置的加壓風(fēng)使用已通過異物除去過濾器的空氣，所以可以有效地進一步除去微小異物。進而，如圖6所示，在將輸送物的寬度設(shè)為Ll、將加壓風(fēng)噴出裝置的噴出口的輸送物寬度方向的長度設(shè)為L2、將滾輪的長度設(shè)為L3時，優(yōu)選滿足LKL2《L3的關(guān)系。通過滿足LKL2《L3的關(guān)系，可以有效地抑制輸送物端部的振動的發(fā)生，還可以防止利用加壓風(fēng)噴出裝置的風(fēng)壓除塵之后的異物繞入輸送物背面進而再次附著。實施例接著，使用圖1所示的光學(xué)補償薄膜制造裝置10說明實施例。(光學(xué)補償薄膜用涂敷液的配制)相對下述所示的圓盤狀化合物TE—8的R(1)和R(2)的重量比為4:1的混合物，添加10重量％環(huán)氧乙烷改性三羥甲基丙烷三丙烯酸酯(V弁360，大阪有機科學(xué)(株)制)、0.6重量％乙酸丁酸纖維素(CAB531一1，,一7卜7y$力少公司制)、3重量％光聚合引發(fā)劑(Irgacure907，日本汽巴-嘉基(株)制)、1重量％增感劑(力卞年二7—DET—X，日本化藥(株)制)，最終成為該混合物的32重量％甲基乙基甲酮溶液。向該內(nèi)含液晶性化合物的液體中，進而添加0.3重量％氟系表面活性劑(內(nèi)含氟脂肪族基共聚物，、乂夕F780，大日本^y年(株)制)，作為涂敷液。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>(涂敷條件).刮取用條錠裝置…在直徑8mm的圓柱狀的芯材上，緊密地巻繞0.07mm的線(wire)而成條錠涂敷條件…20m/分涂敷張力…200N/m[比較例1]如專利文獻l(特開2003—71932)所示，在圖1的輸送物通過用開口部40上設(shè)置加壓風(fēng)噴出裝置48。另外，在加壓風(fēng)噴出裝置48附加吸引裝置。另外，加壓風(fēng)噴出裝置48相對輸送物，距離H設(shè)置為2mm。[比較例2]如專利文獻2(特開2005—266019)所示，在圖1的輸送物通過用開口部40上設(shè)置吸引裝置。另外，吸引裝置相對輸送物，距離H設(shè)置為2mm。[比較例3]在圖1的輸送物通過用開口部40沒有設(shè)置任何裝置。[實施例1]在圖1的輸送物通過用開口部40設(shè)置加壓風(fēng)噴出裝置48。另外，加壓風(fēng)噴出裝置48相對輸送物，距離H設(shè)置為2mm。接著，隔著輸送物，與加壓風(fēng)噴出裝置48對向設(shè)置滾輪50。另外，滾輪的直徑為150mm。[實施例2]在圖1的輸送物通過用開口部40設(shè)置加壓風(fēng)噴出裝置48。另外，在加壓風(fēng)噴出裝置48上附加吸引裝置。另外，加壓風(fēng)噴出裝置48相對輸送物，距離H設(shè)置為2mm。接著，隔著輸送物，與加壓風(fēng)噴出裝置48對向設(shè)置滾輪50。另外，滾輪的直徑為150mm。[實施例3]在圖1的輸送物通過用開口部40設(shè)置加壓風(fēng)噴出裝置48。另外，加壓風(fēng)噴出裝置48相對輸送物，距離H設(shè)置為2mm。接著，隔著輸送物，與加壓風(fēng)噴出裝置48對向設(shè)置在表面具有粘合層的滾輪50。另外，滾輪的直徑為150mm。[實施例4]在圖1的輸送物通過用開口部40設(shè)置加壓風(fēng)噴出裝置48。另外，在加壓風(fēng)噴出裝置48附加吸引裝置。另外，加壓風(fēng)噴出裝置48相對輸送物，距離H設(shè)置為2mm。接著，隔著輸送物，與加壓風(fēng)噴出裝置48對向設(shè)置在表面具有粘合層的滾輪50。另外，滾輪的直徑為150mm。(評價)對長條狀輸送物2000m涂敷、檢查后的異物除去數(shù)的比較結(jié)果如表1所示。關(guān)于振動，利用目視，將通常的通過輸送物通過用開口部40的振動的50%以下評價為〇，將50100X評價為A,將100X以上評價為X。另外，關(guān)于異物附著評價，利用檢査機檢査涂敷后的異物附著引起的故障，將通常的異物故障數(shù)的30%以下評價為〇〇〇，將3050%評價為〇〇，將5070%評價為〇，70100X評價為A，100X以上評價為X。[表1]<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>(試驗結(jié)果)從表1的結(jié)果可知，在隔著輸送物通過用開口部鄰接的2個凈化室之間連續(xù)地輸送的工序中，在輸送物通過用開口部，利用加壓風(fēng)噴出裝置的風(fēng)壓除去附著于輸送物上面的異物，同時在隔著所述輸送物與加壓風(fēng)噴出裝置對向設(shè)置滾輪的實施例14中，與不是這樣的比較例13相比，在振動及異物附著評價中得到好的結(jié)果。從實施例1與實施例2的比較中可知，通過向加壓風(fēng)噴出裝置附加吸引裝置，在異物附著評價中得到好的結(jié)果。另外，從實施例2與實施例4的比較可知，為了除去異物而在滾輪的表面具有粘合層的方式，在異物附著評價中得到好的結(jié)果。[實施例59]進而，在實施例1的條件下改變距離H與滾輪的直徑，進行試驗。改變的條件及異物附著評價結(jié)果如表2所示。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>(試驗結(jié)果)從表2的結(jié)果可知，從實施例1、5及6可知，加壓風(fēng)噴出裝置48與輸送物的距離H存在適當(dāng)?shù)姆秶?，?yōu)選以lmm2mm的范圍相對輸送物設(shè)置加壓風(fēng)噴出裝置48。另外，從實施例1及79可知，滾輪50的直徑優(yōu)選在150mm300mm的范圍。權(quán)利要求1.一種輸送物的除塵方法，其是在隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室內(nèi)被連續(xù)輸送的平面狀輸送物的除塵方法，其中，設(shè)置有如下工序，即，在所述輸送物通過用開口部的位置，用滾輪支撐所述輸送物的表背面中的一面，同時利用與所述滾輪對向配置的加壓風(fēng)噴出裝置向所述輸送物的另一面噴射氣體，從而利用風(fēng)壓除去附著于所述輸送物的異物的除塵工序。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送物的除塵方法，其特征在于，在所述加壓風(fēng)噴出裝置中附加有吸引裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的輸送物的除塵方法，其特征在于，所述滾輪是在表面具有粘合層的滾輪。4.根據(jù)權(quán)利要求13中任意一項所述的輸送物的除塵方法，其特征在于，在所述鄰接配置的多個凈化室中，輸送方向的下游側(cè)的清潔度與上游側(cè)相比，為同等以上。5.根據(jù)權(quán)利要求14中任意一項所述的輸送物的除塵方法，其特征在于，在所述加壓風(fēng)噴出裝置中附加有超聲波發(fā)生裝置。6.根據(jù)權(quán)利要求15中任意一項所述的輸送物的除塵方法，其特征在于，所述加壓風(fēng)噴出裝置的加壓風(fēng)使用已通過異物除去過濾器的空氣。7.根據(jù)權(quán)利要求16中任意一項所述的輸送物的除塵方法，其特征在于，所述輸送物為長條狀輸送物。8.根據(jù)權(quán)利要求16中任意一項所述的輸送物的除塵方法，其特征在于，所述輸送物為單張式輸送物。9.一種輸送物的除塵裝置，其是在隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室內(nèi)被連續(xù)輸送的平面狀輸送物的除塵裝置，其中，具有滾輪，其設(shè)置于所述輸送物通過用開口部的位置，并支撐所述輸送物的表背面中的一面，和加壓風(fēng)噴出裝置，其與所述滾輪隔著所述輸送物對向配置，并向所述輸送物的上面噴出氣體。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的輸送物的除塵裝置，其特征在于，將所述輸送物的寬度設(shè)為Ll、將所述加壓風(fēng)噴出裝置的噴出口的所述輸送物寬度方向的長度設(shè)為L2、將所述滾輪的長度設(shè)為L3的情況下，滿足LKL2《L3的關(guān)系。全文摘要本發(fā)明提供一種在隔著形成有輸送物通過用開口部的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室內(nèi)被連續(xù)輸送的平面狀輸送物的除塵方法及裝置，其是可以抑制異物向平面狀的輸送物附著引起的缺陷從而以高產(chǎn)品率制造的輸送物的除塵方法及裝置。在隔著形成有輸送物通過用開口部(40)的邊界部來串聯(lián)地鄰接配置的多個凈化室(1)、(2)內(nèi)連續(xù)輸送的平面狀輸送物(15)的除塵方法中，設(shè)置如下工序，即在輸送物通過用開口部(40)的位置，用滾輪(50)支撐輸送物(15)的表背面中的一面，并同時利用與該滾輪(50)對向配置的加壓風(fēng)噴出裝置(48)，向輸送物(15)的另一面噴射氣體，利用風(fēng)壓除去附著于輸送物(15)的異物的除塵工序。文檔編號B08B5/02GK101274325SQ20081009002公開日2008年10月1日申請日期2008年3月31日優(yōu)先權(quán)日2007年3月30日發(fā)明者小橋創(chuàng)一申請人:富士膠片株式會社