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一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):9481598閱讀:398來源:國知局
一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及硅片切割機(jī)配件,尤其涉及一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片切割中砂漿在線回收技術(shù)在國內(nèi)開始興起,越來越多的廠家開始自己購買設(shè)備自己回收砂漿,但回收的切削液中水分會(huì)隨著回收次數(shù)增加而增加,雖然不同機(jī)型對(duì)切削液水含量的上限要求不同,但切削液中水的含量越低產(chǎn)品合格率越高。現(xiàn)在許多專門做回收砂漿的廠家用的都是蒸餾設(shè)備,對(duì)分離出來的切削液進(jìn)行蒸餾,但現(xiàn)有的蒸餾設(shè)備價(jià)格比較昂貴,并且熱能利用率低,浪費(fèi)嚴(yán)重,耗時(shí)較長(zhǎng),對(duì)于重點(diǎn)做硅片生產(chǎn)的中小型企業(yè)買這種設(shè)備不實(shí)際。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中用于硅片切割機(jī)的切削液去水裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜并且生產(chǎn)成本高,另外,現(xiàn)有技術(shù)中切削液去水裝置的去水效率低,供入的切削液統(tǒng)一在一個(gè)蒸餾室內(nèi)去水,而蒸餾室由于體積較大,因此位于蒸餾室內(nèi)的切削液溫升比較緩慢,從而造成現(xiàn)有技術(shù)中的切削液去水裝置去水效率低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供的一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),旨在克服現(xiàn)有技術(shù)中硅片切割機(jī)用切削液去水裝置去水效率低的不足。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),包括供水管道、預(yù)熱箱、分流箱和至少兩個(gè)加熱箱,所述供水管道與預(yù)熱箱相通,所述預(yù)熱箱與分流箱相通,所述分流箱內(nèi)設(shè)有將分流箱內(nèi)的切削液分出至少兩條支流的分流閥,每條支流上均設(shè)有加熱箱,所述加熱箱上設(shè)有排汽管和排水管,所述排汽管和排水管均與加熱箱相通;所述預(yù)熱箱內(nèi)分別設(shè)有加熱汽管和加熱水管,所述加熱汽管和加熱水管均盤繞在預(yù)熱箱內(nèi),所述排汽管均與加熱汽管相通,所述排水管均與加熱水管相通,所述預(yù)熱箱上設(shè)有與加熱汽管相通的排汽嘴,所述預(yù)熱箱上還設(shè)有與加熱水管相通的排水嘴,所述預(yù)熱箱上還設(shè)有與供水管道相通的供水口,所述預(yù)熱箱與分流箱之間通過輸水管相通,所述預(yù)熱箱上還設(shè)有與輸水管相接的輸水嘴,所述輸水嘴的水平高度高于供水口的水平高度;所述加熱箱內(nèi)設(shè)有加熱體。
[0006]上述構(gòu)成中,通過設(shè)置分流閥將分流箱內(nèi)的切削液分出至少兩條支流,在每條支流上均設(shè)有加熱箱,由供水管道供入的切削液經(jīng)分流后再由加熱箱對(duì)其加熱,每個(gè)加熱箱僅加熱一條支流上的切削液,以對(duì)該支流上的切削液進(jìn)行去水處理,由于每個(gè)加熱箱僅加熱一條支流上的切削液,因此,相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù),上述技術(shù)方案大大提高了切削液的去水效率。
[0007]所述預(yù)熱箱上在位供水口處還設(shè)有擋水板,所述擋水板通過支架固定在預(yù)熱箱上,所述擋水板與支架通過焊接方式固定在一起,所述支架通過螺釘固定在預(yù)熱箱上。在供水口處設(shè)置擋水板,由供水口供入的切削液會(huì)沖向擋水板,擋水板起到緩沖的作用,避免供水口供入的切削液直接沖擊預(yù)熱箱內(nèi)原有的切削液,使得切削液可以在預(yù)熱箱內(nèi)進(jìn)行沉淀,提高了切削液的水質(zhì)。
[0008]所述輸水管上包裹有至少一層保溫層;所述預(yù)熱箱上粘接有至少一層保溫板。輸水管和預(yù)熱箱內(nèi)的切削液都是經(jīng)過預(yù)熱的,因此,位于預(yù)熱箱和輸水管內(nèi)的切削液溫度都高于常溫,保溫層和保溫板起到保溫的效果,減小了切削液在預(yù)熱箱和輸水管內(nèi)的熱量損失。
[0009]—種可選的方案,所述加熱汽管和加熱水管上均設(shè)有導(dǎo)熱柱。導(dǎo)熱柱增大了加熱汽管、加熱水管與預(yù)熱箱內(nèi)切削液的熱交換面積,提高了加熱汽管、加熱水管的預(yù)熱效率。
[0010]一種可選的方案,所述加熱體上設(shè)有至少一根加熱柱,所述加熱柱與加熱體為一體式結(jié)構(gòu)。加熱柱增大了加熱體與加熱箱內(nèi)切削液的熱交換面積,提高了加熱箱的加熱效率。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),具有如下優(yōu)點(diǎn):包括預(yù)熱箱、分流箱、分流閥和至少兩個(gè)加熱箱,切削液經(jīng)預(yù)熱箱預(yù)熱,然后進(jìn)入分流箱被分流閥分出至少兩條支流,每條支流上均設(shè)置加熱箱,預(yù)熱后的切削液分流后再進(jìn)行加熱,大大提高了切削液去水結(jié)構(gòu)的去水效率;
[0012]另外,排汽管與加熱汽管相通、排水管與加熱水管相通,而加熱汽管和加熱水管均盤繞在預(yù)熱箱內(nèi),由加熱箱排出的水蒸汽、加熱后的切削液被引至加熱汽管和加熱水管內(nèi),并對(duì)預(yù)熱箱內(nèi)的切削液進(jìn)行預(yù)熱,節(jié)約了能源;同時(shí),在對(duì)預(yù)熱箱內(nèi)的切削液進(jìn)行預(yù)熱時(shí),加熱汽管內(nèi)的水蒸汽和加熱水管內(nèi)的切削液會(huì)被位于預(yù)熱箱內(nèi)的切削液降溫,由排汽嘴和排水嘴排出的水蒸汽、切削液溫度低,不會(huì)燙傷技術(shù)人員。
【附圖說明】
[0013]附圖1是本發(fā)明一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu)的示意圖;
[0014]附圖2是附圖1中A-A處剖視圖;
[0015]附圖3是本發(fā)明一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu)中加熱箱的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖,對(duì)本發(fā)明的一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步說明。如圖1、圖2、圖3所示,一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),參見圖1,包括供水管道1、預(yù)熱箱2、分流箱3和至少兩個(gè)加熱箱4,供水管道1與供水系統(tǒng)相接,用于將切削液引至預(yù)熱箱2內(nèi)進(jìn)行預(yù)熱,所述供水管道1與預(yù)熱箱2相通,所述預(yù)熱箱2與分流箱3相通,所述分流箱3內(nèi)設(shè)有將分流箱3內(nèi)的切削液分出至少兩條支流的分流閥5,每條支流上均設(shè)有加熱箱4,所述加熱箱4上設(shè)有排汽管6和排水管7,所述排汽管6位于所述加熱箱4的頂部,所述排汽管6和排水管7均與加熱箱4相通;所述預(yù)熱箱2內(nèi)分別設(shè)有加熱汽管8和加熱水管9,
[0017]實(shí)際使用過程中,供水管向預(yù)熱箱2內(nèi)供入切削液,切削液經(jīng)預(yù)熱箱2進(jìn)入分流箱3,然再經(jīng)分流閥5分出至少兩條支流,最后每條支流內(nèi)的切削液被加熱箱4加熱后排至加熱水管9內(nèi),而在加熱箱4內(nèi)蒸發(fā)出來的水蒸汽會(huì)排至加熱汽管8內(nèi),利用加熱汽管8內(nèi)水蒸汽的余熱和加熱水管9內(nèi)切削液的余熱對(duì)預(yù)熱箱2內(nèi)的切削液進(jìn)行預(yù)熱,位于加熱汽管8的水蒸汽和加熱水管9內(nèi)的切削液經(jīng)排汽嘴10和排水嘴11排出,完成切削液的整個(gè)去水過程;
[0018]為了提高加熱汽管8內(nèi)水蒸汽、加熱水管9內(nèi)切削液余熱的利用效率,參見圖1、圖2,所述加熱汽管8和加熱水管9均盤繞在預(yù)熱箱2內(nèi),所述排汽管6均與加熱汽管8相通,所述排水管7均與加熱水管9相通,所述加熱汽管8和加熱水管9上均設(shè)有導(dǎo)熱柱19,該導(dǎo)熱柱19增大了加熱汽管8、加熱水管9與預(yù)熱箱2內(nèi)切削液的熱交換面積,優(yōu)化了預(yù)熱箱2的預(yù)熱效果,所述導(dǎo)熱柱19焊接在加熱水管9上,所述導(dǎo)熱柱19焊接在加熱汽管8上,所述預(yù)熱箱2上設(shè)有與加熱汽管8相通的排汽嘴10以排出水蒸汽,所述預(yù)熱箱2上還設(shè)有與加熱水管9相通的排水嘴11以排出切削液;
[0019]參見圖1、圖2,所述預(yù)熱箱2上還設(shè)有與供水管道1相通的供水口 12,所述預(yù)熱箱2與分流箱3之間通過輸水管13相通,所述預(yù)熱箱2上還設(shè)有與輸水管13相接的輸水嘴14,參見圖2,所述輸水嘴14的水平高度高于供水口 12的水平高度;由于切削液內(nèi)含有一定的雜質(zhì),參見圖1、圖2,所述預(yù)熱箱2上在位供水口 12處還設(shè)有擋水板16,所述擋水板16通過支架17固定在預(yù)熱箱2上,所述擋水板16與支架17通過焊接方式固定在一起,所述支架17通過螺釘固定在預(yù)熱箱2上,由供水口 12供入的切削液會(huì)被擋水板16阻擋,起到緩沖和卸荷的作用,減小了供水口 12供入的切削液與預(yù)熱箱2內(nèi)原有切削液的沖擊,使切削液可以在預(yù)熱箱2內(nèi)進(jìn)行沉淀,優(yōu)化了切削液的水質(zhì);
[0020]參見圖3,所述加熱箱4內(nèi)設(shè)有加熱體15 ;所述加熱體15上設(shè)有至少一根加熱柱20,所述加熱柱20與加熱體15為一體式結(jié)構(gòu),加熱柱20增大了加熱體15與切削液的熱交換面積,提高了加熱箱4的加熱效率。
[0021]參見圖1、圖2,為了減小被預(yù)熱后的切削液在輸送過程中的熱量損失,所述輸水管13上包裹有至少一層保溫層;所述預(yù)熱箱2上粘接有至少一層保溫板18。保溫層和保溫板18起到保溫的效果,減小了切削液的熱量損失。
[0022]以上僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,旨在體現(xiàn)本發(fā)明的突出技術(shù)效果和優(yōu)勢(shì),并非是對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案的限制。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解的是,一切基于本發(fā)明技術(shù)內(nèi)容所做出的修改、變化或者替代技術(shù)特征,皆應(yīng)涵蓋于本發(fā)明所附權(quán)利要求主張的技術(shù)范疇內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),其特征在于:包括供水管道(I)、預(yù)熱箱(2)、分流箱(3)和至少兩個(gè)加熱箱(4),所述供水管道(I)與預(yù)熱箱(2)相通,所述預(yù)熱箱(2)與分流箱(3)相通,所述分流箱(3)內(nèi)設(shè)有將分流箱(3)內(nèi)的切削液分出至少兩條支流的分流閥(5),每條支流上均設(shè)有加熱箱(4),所述加熱箱(4)上設(shè)有排汽管(6)和排水管(7),所述排汽管(6)和排水管(7)均與加熱箱⑷相通;所述預(yù)熱箱(2)內(nèi)分別設(shè)有加熱汽管(8)和加熱水管(9),所述加熱汽管(8)和加熱水管(9)均盤繞在預(yù)熱箱(2)內(nèi),所述排汽管(6)均與加熱汽管(8)相通,所述排水管(7)均與加熱水管(9)相通,所述預(yù)熱箱(2)上設(shè)有與加熱汽管(8)相通的排汽嘴(10),所述預(yù)熱箱(2)上還設(shè)有與加熱水管(9)相通的排水嘴(11),所述預(yù)熱箱(2)上還設(shè)有與供水管道(I)相通的供水口(12),所述預(yù)熱箱(2)與分流箱(3)之間通過輸水管(13)相通,所述預(yù)熱箱(2)上還設(shè)有與輸水管(13)相接的輸水嘴(14),所述輸水嘴(14)的水平高度高于供水口(12)的水平高度;所述加熱箱(4)內(nèi)設(shè)有加熱體(15)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),其特征在于:所述預(yù)熱箱(2)上在位供水口(12)處還設(shè)有擋水板(16),所述擋水板(16)通過支架(17)固定在預(yù)熱箱(2)上,所述擋水板(16)與支架(17)通過焊接方式固定在一起,所述支架(17)通過螺釘固定在預(yù)熱箱(2)上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),其特征在于:所述輸水管(13)上包裹有至少一層保溫層;所述預(yù)熱箱(2)上粘接有至少一層保溫板(18)。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任意一項(xiàng)所述的一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),其特征在于:所述加熱汽管(8)和加熱水管(9)上均設(shè)有導(dǎo)熱柱(19)。5.根據(jù)權(quán)利要求1至3任意一項(xiàng)所述的一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),其特征在于:所述加熱體(15)上設(shè)有至少一根加熱柱(20),所述加熱柱(20)與加熱體(15)為一體式結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),解決了現(xiàn)有技術(shù)中硅片切割機(jī)用切削液去水裝置去水效率低的技術(shù)問題。本發(fā)明提供的一種硅片切割機(jī)用切削液去水結(jié)構(gòu),包括預(yù)熱箱、分流箱、分流閥和至少兩個(gè)加熱箱,切削液經(jīng)預(yù)熱箱預(yù)熱,然后進(jìn)入分流箱被分流閥分出至少兩條支流,每條支流上均設(shè)置加熱箱,預(yù)熱后的切削液分流后再進(jìn)行加熱,大大提高了切削液去水結(jié)構(gòu)的去水效率。
【IPC分類】B28D7/00, B28D5/00
【公開號(hào)】CN105235083
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510639958
【發(fā)明人】陳小力, 張光法
【申請(qǐng)人】浙江輝弘光電能源有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請(qǐng)日】2015年9月30日
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