一種充氣式門密封裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種充氣式門密封裝置，包括：門框、觀察窗、U型密封圈、O型密封圈、密封腔體、門軸、轉(zhuǎn)軸座、上門軸座、下門軸座和門開關(guān)傳感器等。其特征在于：所述門框、門軸和門軸座組成門的主體結(jié)構(gòu)；觀察窗安裝于門框內(nèi)的中空部分，U型密封圈嵌套式安裝于觀察窗的邊緣；觀察窗和密封圈組成可充氣式的密封單元；門開關(guān)傳感器用于檢測(cè)門的開關(guān)狀態(tài)。當(dāng)門關(guān)閉后，通過向U型密封圈內(nèi)充入氣體，使密封圈膨脹。膨脹后的密封圈與腔體內(nèi)部通過接觸實(shí)現(xiàn)腔室的密封。通過該裝置可以實(shí)現(xiàn)腔室良好的密封，避免外界環(huán)境對(duì)腔室內(nèi)部造成污染。
【專利說明】
_種充氣式門密封裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體涉及一種用于充氣式門密封裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體工藝設(shè)備的發(fā)展，對(duì)集成電路晶圓的清洗制造工藝要求也越來越高。同樣，對(duì)于工藝腔室內(nèi)部對(duì)微環(huán)境要求也漸高，為了避免外部環(huán)境對(duì)清洗腔室造成污染，一般需要將工藝腔室和外部環(huán)境進(jìn)行隔離。但是同時(shí)，在實(shí)際工藝過程中，又難以完全隔絕，比如用于取放晶圓而開設(shè)的門窗。門窗與腔體之間必然無法做到固結(jié)密封，在取放晶圓操作完成后，可以關(guān)閉門窗以隔絕外部環(huán)境，若門與腔體之間采用間隙配合，則必然密封不嚴(yán)，若是采用過盈配合則又會(huì)使接觸面壓力過大，造成嚴(yán)重的磨損，這都是不可取的。本發(fā)明采用充氣式門密封裝置，當(dāng)門窗處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，通過向觀察窗處嵌套的U型密封圈內(nèi)充入氣體，使密封圈膨脹來完成腔室密封，從而使腔室的內(nèi)外部的環(huán)境相隔絕。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目是提供一種能使腔室與外部環(huán)境相隔絕的充氣式門密封裝置。
[0004]本發(fā)明為達(dá)到上述目的，采用如下技術(shù)方案:一種充氣式門密封裝置，包括:門框、觀察窗、U型密封圈、0型密封圈、密封腔體、門軸、轉(zhuǎn)軸座、上門軸座、下門軸座和門開關(guān)傳感器等。其特征在于:所述門框、門軸和門軸座組成門的主體結(jié)構(gòu);觀察窗安裝于門框內(nèi)的中空部分，密封圈安裝于觀察窗的邊緣；門觀察窗和密封圈組成可充氣式的密封單元;在門主體結(jié)構(gòu)關(guān)閉后，門開關(guān)傳感器檢測(cè)到門的開關(guān)狀態(tài)，發(fā)送指令向密封圈內(nèi)充入氣體，使密封圈膨脹;膨脹后的密封圈與腔室內(nèi)部相接觸，從而完成腔室的密封。通過該密封裝置可以實(shí)現(xiàn)腔室良好的密封，避免外界環(huán)境對(duì)腔室內(nèi)部造成污染。
[0005]其中，門框?yàn)橹锌战Y(jié)構(gòu)，中空部分用于實(shí)現(xiàn)門觀察窗的嵌套安裝;所述門框上開有用于向觀察窗通氣的內(nèi)部通孔;所述門框上開有異形孔用于與觀察窗相連接。
[0006]其中，下門軸為中空結(jié)構(gòu)，起到支撐門框的作用，同時(shí)用于密封用氣體的流通。
[0007]其中，下門軸座開有內(nèi)部通孔，通孔用于輸送密封用氣體。通孔一端開有內(nèi)螺紋孔，用于接入外部氣體;通孔另一端開有臺(tái)階孔，臺(tái)階孔用于安裝轉(zhuǎn)軸座。
[0008]其中，觀察窗采用透明材質(zhì)材料制成，如透明PVC;所述觀察窗開有螺紋孔，用于與門框相連接;所述觀察窗邊緣開有凹槽，用于安裝密封圈;所述門框內(nèi)部開有與凹槽相連通的通孔，用于向密封圈輸送氣體。
[0009]其中，U型密封圈由柔性無揮發(fā)性物質(zhì)析出的材質(zhì)制作而成，如橡膠;所述U型密封圈截面形狀為類似U型結(jié)構(gòu);所述密封圈在充氣時(shí)可自由膨脹;所述密封圈為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，包覆安裝于觀察窗的邊緣。
[0010]其中，門開關(guān)傳感器可通過檢測(cè)門的開關(guān)狀態(tài)，以觸發(fā)對(duì)門密封裝置進(jìn)行充氣密封的信號(hào)。
[0011]其中，所述的多個(gè)O型密封圈主要用于對(duì)氣體在傳輸過程中容易發(fā)生泄漏的區(qū)域進(jìn)行密封。
[0012]本發(fā)明的有益效果是:通過對(duì)嵌套在觀察窗上的U型密封圈充入氣體，使密封圈膨脹，從而在腔室門關(guān)閉后對(duì)腔室進(jìn)行密封，隔離了腔室的內(nèi)、外部環(huán)境，提高了腔室的密封效果。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明所述的一種充氣式門密封裝置示意圖；
[0014]圖2是本發(fā)明所述的充氣式密封裝置的局部特征視圖；
[0015]圖3是本發(fā)明所述的密封裝置的剖面視圖；
[0016]圖4描述本發(fā)明密封氣體經(jīng)下門軸座到達(dá)門框的路徑示意圖；
[0017]圖5描述本發(fā)明密封氣體經(jīng)門框到達(dá)U型密封圈的路徑示意圖；
[0018]圖中:1、門框，2、下門軸座，3、上門軸座，4、轉(zhuǎn)軸座，5、門軸，6、0型密封圈，7、快插接頭，8、密封螺釘，9、門觀察窗，1、U型密封圈，11、密封腔體，12、門開關(guān)傳感器。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0020]如附圖1?附圖5所示，一種充氣式密封裝置。下門軸座2和上門軸座3通過螺釘固定在密封腔體11上，門框I通過門軸5進(jìn)行固定。下門軸5—端與門框I配合，另一端與轉(zhuǎn)軸座4配合，上門軸5—端與門框I配合，另一端與上門軸座3相配合。下門軸座2開有內(nèi)部連通的孔，用于輸送密封氣體，通孔一端開有內(nèi)螺紋孔201，該內(nèi)螺紋孔用于安裝快插接頭7，為密封氣體的引入端;通孔的另一端開有與轉(zhuǎn)軸座4相配合的臺(tái)階孔，該臺(tái)階孔可以和轉(zhuǎn)軸座4的外圓柱面過盈配合連接，以避免氣體向外泄露。轉(zhuǎn)軸座4的內(nèi)部開有通孔和凹槽，通孔用于與門軸5配合，同時(shí)為了避免該通孔氣體的泄露，轉(zhuǎn)軸座4開有凹槽，在凹槽內(nèi)裝入O型密封圈6，0型密封圈6包覆在門軸5外圓周面，可以很好的避免氣體的外泄。
[0021]為了引入密封氣體，門框I和門觀察窗9的內(nèi)部均開有內(nèi)部連通的孔，這兩組連通孔可以在裝配時(shí)相聯(lián)通，以進(jìn)一步向U型密封圈10的內(nèi)部充入密封氣體。門框I和門觀察窗9通過內(nèi)部嵌套和螺釘進(jìn)行連接。
[0022]如附圖4?附圖5所示，描述了密封氣體A經(jīng)快換接頭7到達(dá)門觀察窗9的路徑示意圖。密封氣體A進(jìn)過快換接頭7引入以后，經(jīng)過下門軸座2的內(nèi)部通孔區(qū)域202到達(dá)門軸5的內(nèi)部通孔區(qū)域501，而后到達(dá)門框I的內(nèi)部區(qū)域102、103，最后達(dá)到與門觀察窗9箱接觸的區(qū)域104。在加工孔特征103時(shí)，需要在門框I的邊緣開口，為了防止此部分氣體發(fā)生泄漏，在特征孔103的端部裝入密封螺釘8。為了防止在與門觀察窗9相接觸的區(qū)域發(fā)生氣體泄漏，門框I開有凹槽105，并在安裝時(shí)裝入O型密封圈6，O型密封圈6通過在安裝過程中擠壓變形，其兩面分別貼在凹槽105和門觀察窗9上面，這樣便保證氣體A在通過該區(qū)域時(shí)不會(huì)發(fā)生泄漏。氣體在出104區(qū)域以后會(huì)到達(dá)門觀察窗9的區(qū)域901、90 2最終到達(dá)U型密封圈1的區(qū)域1001。在繼續(xù)充入氣體A以后，氣體壓力會(huì)促使U型密封圈10發(fā)生膨脹。為了防止U型密封圈10在膨脹時(shí)發(fā)生氣體泄漏，在門觀察窗與U型密封圈向配合的區(qū)域還開有凹槽903，在U型密封圈膨脹時(shí)，其開口端會(huì)緊貼在凹槽903區(qū)域的內(nèi)部，從而不會(huì)發(fā)生氣體泄漏。故U型密封圈的膨脹只能嚴(yán)重邊緣的1002區(qū)域，面1002會(huì)在膨脹后與密封腔體11的內(nèi)側(cè)面1101相接觸。這樣，便使腔體內(nèi)部的微環(huán)境與外界很好的隔絕。
[0023]以上是對(duì)本發(fā)明的描述而非限定，基于本發(fā)明思想的其他實(shí)施例，亦均在本發(fā)明的保護(hù)范圍之中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種充氣式門密封裝置，包括:門框、觀察窗、U型密封圈、O型密封圈、密封腔體、門軸、轉(zhuǎn)軸座、上門軸座、下門軸座和門開關(guān)傳感器等。其特征在于:所述門框、門軸和門軸座組成門的主體結(jié)構(gòu);觀察窗安裝于門框內(nèi)的中空部分，U型密封圈嵌套式安裝于觀察窗的邊緣；門觀察窗和U型密封圈組成可充氣式的密封單元;在門主體機(jī)構(gòu)關(guān)閉后，通過向U型密封圈內(nèi)充入氣體，使密封圈膨脹；門開關(guān)傳感器用于檢測(cè)門的開關(guān)狀態(tài);通過該密封裝置可以實(shí)現(xiàn)腔室良好的密封，避免外界環(huán)境對(duì)腔室內(nèi)部造成污染。2.如權(quán)利要求1所述的一種充氣式門密封裝置，所述門框?yàn)橹锌战Y(jié)構(gòu)，中空部分用于實(shí)現(xiàn)門觀察窗的嵌套安裝;所述門框上開有用于向觀察窗通氣的內(nèi)部通孔;所述門框上開有異形孔用于與觀察窗相連接。3.如權(quán)利要求1所述的一種充氣式門密封裝置，其特征在于:所述門軸為中空結(jié)構(gòu)，起到支撐門框的作用，同時(shí)用于密封用氣體的流通。4.如權(quán)利要求1所述的一種充氣式門密封裝置，其特征在于:所述的下門軸座開有內(nèi)部通孔，通孔用于輸送密封用氣體;通孔一端開有內(nèi)螺紋孔，用于接入外部氣體;通孔另一端開有臺(tái)階孔，臺(tái)階孔用于安裝轉(zhuǎn)軸座。5.如權(quán)利要求1所述的一種充氣式門密封裝置，其特征在于:所述觀察窗采用透明材質(zhì)材料制成，如透明PVC;所述觀察窗開有螺紋孔，用于與門框相連接;所述觀察窗邊緣開有凹槽，用于安裝密封圈;所述門框內(nèi)部開有與凹槽相連通的通孔，用于向密封圈輸送氣體。6.如權(quán)利要求1所述的一種充氣式門密封裝置，其特征在于:所述U型密封圈由柔性無揮發(fā)性物質(zhì)析出的材質(zhì)制作而成，如橡膠;所述U型密封圈截面形狀為類似U型結(jié)構(gòu);所述密封圈在充氣時(shí)可自由膨脹;所述密封圈為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，包覆安裝于觀察窗的邊緣。7.如權(quán)利要求1所述的一種充氣式門密封裝置，其特征在于:所述的門開關(guān)傳感器可通過檢測(cè)門的開關(guān)狀態(tài)，以觸發(fā)對(duì)門密封裝置進(jìn)行充氣密封的信號(hào)。8.如權(quán)利要求1所述的一種充氣式門密封裝置，其特征在于:所述的多個(gè)O型密封圈主要用于對(duì)氣體在傳輸過程中容易發(fā)生泄漏的區(qū)域進(jìn)行密封。
【文檔編號(hào)】E06B7/30GK105937360SQ201610369122
【公開日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年5月27日
【發(fā)明人】田英干, 王文會(huì), 徐俊成, 田 , 田一
【申請(qǐng)人】嘉興晶裝電子設(shè)備有限公司