機(jī)械手手臂、機(jī)械手及承載裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種機(jī)械手手臂、機(jī)械手及承載裝置，所述機(jī)械手手臂包括至少一個用于承載待承載物的手臂主體；在所述手臂主體上設(shè)置有用于吸附待承載物的吸附平板，所述吸附平板上開設(shè)有多個真空吸附孔。本實(shí)用新型所提供的機(jī)械手手臂及機(jī)械手，通過在機(jī)械手臂上設(shè)置平板狀的吸附平板來吸附固定待承載物，在取放柔性基板時，由于吸附平板上的真空吸附孔比較多，可以使用比較小的真空壓力來吸附柔性基板，這樣柔性基板局部變形變小，另外吸附平板對柔性基板進(jìn)行支撐，與現(xiàn)有技術(shù)相比，柔性基板整體變形也會變小，從而減少因變形導(dǎo)致的不良，提升柔性基板的良率。
【專利說明】
機(jī)械手手臂、機(jī)械手及承載裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及制造機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種機(jī)械手手臂、機(jī)械手及承載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前柔性0LED(0rganic Light-Emitting D1de，有機(jī)發(fā)光二極管)生產(chǎn)過程中，用于取放柔性基板的機(jī)械手上設(shè)置有多個真空吸附盤(pad)，但是因?yàn)檎婵瘴奖P吸附柔性基板時，由于真空吸附盤的數(shù)量有限，且真空吸附力要求大，在取放柔性基板時，會造成柔性基板的局部變形，并且，由于機(jī)械手上的各真空吸附盤為點(diǎn)吸附，所以整體柔性基板也會發(fā)生比較大的形變。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種機(jī)械手手臂、機(jī)械手及承載裝置，能夠在進(jìn)行柔性基板生產(chǎn)時，可以更好的取放柔性基板，減少變形，提升產(chǎn)品良率。
[0004]本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案如下:
[0005]—種機(jī)械手手臂，包括至少一個用于承載待承載物的手臂主體;在每一所述手臂主體上設(shè)置有用于吸附待承載物的吸附平板，所述吸附平板上開設(shè)有多個真空吸附孔。
[0006]進(jìn)一步的，所述吸附平板為采用防靜電材料制成的防靜電板。
[0007]進(jìn)一步的，每一所述手臂主體上的吸附平板的寬度與所述手臂主體的寬度相同。
[0008]進(jìn)一步的，所述真空吸附孔的孔徑為0.1?0.5mm。
[0009]進(jìn)一步的，多個真空吸附孔的孔距為5?10mm。
[0010]進(jìn)一步的，多個真空吸附孔呈矩陣均勻分布在所述吸附平板上。
[0011]進(jìn)一步的，所述手臂主體為采用碳纖維材料制成的碳纖維手臂主體。
[0012]進(jìn)一步的，所述手臂主體還包括與所述真空吸附孔連接的真空腔室。
[0013]—種機(jī)械手，包括如上所述的機(jī)械手手臂。
[0014]—種承載裝置，包括如上所述的機(jī)械手。
[0015]本實(shí)用新型所帶來的有益效果如下:
[0016]上述方案，通過在機(jī)械手臂上設(shè)置平板狀的吸附平板來吸附待承載物，在取放待承載物，如柔性基板時，由于吸附平板上的真空吸附孔比較多，可以使用比較小的真空壓力來吸附柔性基板，這樣柔性基板局部變形變小，另外吸附平板對柔性基板進(jìn)行支撐，與現(xiàn)有技術(shù)相比，柔性基板整體變形也會變小，從而減少因變形導(dǎo)致的不良，提升柔性基板的良率。
【附圖說明】
[0017]圖1表示本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的機(jī)械手手臂在承載基板時的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；
[0018]圖2表示本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的機(jī)械手的結(jié)構(gòu)正視圖；
[0019]圖3表示本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的機(jī)械手在承載基板時的結(jié)構(gòu)正視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；谒枋龅谋緦?shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。[0021 ]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的機(jī)械手取放柔性基板時會導(dǎo)致柔性基板變形的技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種機(jī)械手手臂，其能夠在進(jìn)行柔性基板生產(chǎn)時，可以更好的取放柔性基板，減少變形，提升廣品良率。
[0022]如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型所提供的機(jī)械手手臂，包括至少一個用于承載待承載物的手臂主體100;在所述手臂主體100上設(shè)置有用于吸附待承載物的吸附平板200，所述吸附平板200上開設(shè)有多個真空吸附孔300。
[0023]上述方案中，通過在機(jī)械手手臂上設(shè)置平板狀的吸附平板200來吸附固定待承載物，所述待承載物可以為顯示用的基板、面板膜材等。當(dāng)采用本實(shí)用新型提供的機(jī)械手手臂在取放待承載物，如柔性基板10時，由于吸附平板200上的真空吸附孔300比較多，可以使用比較小的真空壓力來吸附柔性基板10，這樣柔性基板10局部變形變小，另外吸附平板200對柔性基板10進(jìn)行支撐，與現(xiàn)有技術(shù)相比，柔性基板10整體變形也會變小，從而減少因變形導(dǎo)致的TFT(薄膜晶體管)損傷或者TFE(薄膜封裝技術(shù))膜層開裂產(chǎn)生的不良，提升柔性基板10的良率。
[0024]在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的機(jī)械手手臂中，優(yōu)選的，所述吸附平板200為采用防靜電材料制成的防靜電板;所述手臂主體100為采用碳纖維材料制成的碳纖維手臂主體100。
[0025]采用上述方案，采用防靜電材料制成所述吸附平板200，起到防靜電的作用。
[0026]此外，在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的機(jī)械手手臂中，優(yōu)選的，每一所述手臂主體100上的吸附平板200的寬度與所述手臂主體100的寬度相同。
[0027]采用上述方案，可以將所述吸附平板200的寬度制作成與對應(yīng)的手臂主體100的寬度相同，以增大所述吸附平板200與柔性基板10的接觸面積。
[0028]應(yīng)當(dāng)理解的是，在實(shí)際應(yīng)用中，所述吸附平板200的尺寸還可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行調(diào)整。
[0029]此外，在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的機(jī)械手手臂中，優(yōu)選的，所述真空吸附孔300的孔徑為0.1?0.5mm。采用上述方案，真空吸附孔300尺寸很小，可以進(jìn)一步的減少柔性基板10的變形。當(dāng)然可以理解的是，以上僅是提供一種真空吸附孔300的優(yōu)選結(jié)構(gòu)，在實(shí)際應(yīng)用中，對所述真空吸附孔300的具體尺寸并不作局限。
[0030]此外，在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的機(jī)械手手臂中，優(yōu)選的，每一吸附平板200上分布的真空吸附孔300的孔距為5?10mm。在上述方案中，每一吸附平板200上開孔數(shù)量根據(jù)開孔距離5?1mm確定，開孔尺寸為0.1?0.5mm大小。當(dāng)然可以理解的是，以上僅是提供一種真空吸附孔300的優(yōu)選結(jié)構(gòu)，在實(shí)際應(yīng)用中，對所述真空吸附孔300的具體開孔距離也不作局限。
[0031]此外，在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的機(jī)械手手臂中，優(yōu)選的，如圖2所示，多個真空吸附孔300呈矩陣分布在所述吸附平板200上。采用上述方案，每一吸附平板200上的真空吸附孔300呈矩陣均勻分布，取放柔性基板10時，柔性基板10受到的吸附力比較均勻。應(yīng)當(dāng)理解的是，在實(shí)際應(yīng)用中，對于所述真空吸附孔300的具體分布并不作局限。
[0032]此外，在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的機(jī)械手手臂中，所述手臂主體100還包括與所述真空吸附孔300連接的真空腔室。通過在所述手臂主體100上設(shè)置一抽真空的真空腔室，利用該真空腔室與各真空吸附孔300連通，來使得真空吸附孔300吸附固定基板10。
[0033]此外，在本實(shí)用新型實(shí)施例中還提供了一種機(jī)械手，其包括如上所述的機(jī)械手手臂。
[0034]此外，在本實(shí)用新型實(shí)施例中還提供了包括如上所述的機(jī)械手的承載裝置。
[0035]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種機(jī)械手手臂，包括至少一個用于承載待承載物的手臂主體;其特征在于，在所述手臂主體上設(shè)置有用于吸附待承載物的吸附平板，所述吸附平板上開設(shè)有多個真空吸附孔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手手臂，其特征在于， 所述吸附平板為采用防靜電材料制成的防靜電板。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手手臂，其特征在于， 每一所述手臂主體上的吸附平板的寬度與所述手臂主體的寬度相同。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手手臂，其特征在于， 所述真空吸附孔的孔徑為0.I?0.5mm。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手手臂，其特征在于， 多個真空吸附孔的孔距為5?1mm06.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手手臂，其特征在于， 多個真空吸附孔呈矩陣均勻分布在所述吸附平板上。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手手臂，其特征在于， 所述手臂主體為采用碳纖維材料制成的碳纖維手臂主體。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手手臂，其特征在于， 所述手臂主體還包括與所述真空吸附孔連接的真空腔室。9.一種機(jī)械手，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的機(jī)械手手臂。10.—種承載裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求9所述的機(jī)械手。
【文檔編號】B25J15/06GK205674219SQ201620437984
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年5月13日 公開號201620437984.4, CN 201620437984, CN 205674219 U, CN 205674219U, CN-U-205674219, CN201620437984, CN201620437984.4, CN205674219 U, CN205674219U
【發(fā)明人】崔富毅, 孫泉?dú)J, 王向楠, 肖昂, 申鉉喆
【申請人】鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司