專利名稱：電掃描器的控制方法、電掃描器以及激光加工機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用來掃描激光等光的電掃描器(galvano-scanner)的控制方法、電掃描器以及通過這樣的電掃描器照射激光在印刷線路板上進(jìn)行打孔的激光加工機(jī)。
背景技術(shù)：
作為具有掃描激光功能的激光裝置的一個(gè)例子的用來進(jìn)行印刷線路板打孔的激光加工機(jī)，是將激光脈沖狀地照射到印刷線路板，開設(shè)用來連接底板的導(dǎo)體層間的孔的裝置?，F(xiàn)有的印刷線路板打孔的激光加工機(jī)，例如具有裝載印刷線路板、使印刷線路板在水平面內(nèi)的XY方向移動(dòng)的XY工作臺(tái)伺服機(jī)構(gòu)，和用來在上述的印刷線路板的XY方向掃描激光束的一對(duì)電掃描器伺服機(jī)構(gòu)(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
電掃描器的結(jié)構(gòu)例如為在一體貫通搖動(dòng)軸的中央?yún)^(qū)間固定線圈，鄰接該線圈的兩端，配置一對(duì)軸承，分別在其外側(cè)的一方配置角度檢測(cè)器，在另一方配置反射鏡安裝部分(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。
以下，使用附圖對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)地說明。
圖5為現(xiàn)有的激光加工機(jī)中電子反射鏡伺服機(jī)構(gòu)(電掃描器伺服機(jī)構(gòu))的構(gòu)成例示方框圖。
電掃描器100的電磁搖動(dòng)驅(qū)動(dòng)器(actuator)110，使得搖動(dòng)軸111搖動(dòng)。在搖動(dòng)軸111的一個(gè)端部上通過鏡架131安裝反射鏡130，在另一端部上安裝角度檢測(cè)器120。
從以上的結(jié)構(gòu)，對(duì)應(yīng)于搖動(dòng)軸111的搖動(dòng)，改變反射鏡130的方向，向反射鏡130入射的激光束30的出射方向變化。搖動(dòng)軸111也就是反射鏡130的搖動(dòng)角通過角度檢測(cè)器120被檢測(cè)出。
上位控制裝置10解釋NC程序，對(duì)應(yīng)于適合定位激光束30的對(duì)象物上的位置，向電掃描器控制裝置20指示反射鏡130的目標(biāo)定位角度11。
圖6為構(gòu)成現(xiàn)有的電掃描器控制裝置20的掃描伺服機(jī)構(gòu)的方框圖，虛線左側(cè)為通過伺服處理程序軟件被執(zhí)行的部分，右側(cè)表示硬件的連接關(guān)系和信號(hào)的流動(dòng)。
目標(biāo)軌道生成處理部210，基于目標(biāo)定位角度11，計(jì)算時(shí)時(shí)刻刻的電掃描器的搖動(dòng)角度目標(biāo)值215，生成掃描伺服機(jī)構(gòu)的目標(biāo)軌道。該目標(biāo)值215通過減法裝置222減去所檢測(cè)的掃描器的搖動(dòng)角度255，成為偏差225。該偏差225在補(bǔ)償元件220中施加控制運(yùn)算處理，計(jì)算操作量信號(hào)226。操作量信號(hào)226在D/A變換器230中被變換為模擬信號(hào)，成為電流控制系統(tǒng)240的指令值(驅(qū)動(dòng)信號(hào))21。在電流控制系統(tǒng)240的輸出端連接電驅(qū)動(dòng)器110的電樞，與其串聯(lián)連接電流檢測(cè)電阻241。電流檢測(cè)電阻241的端子電壓由差動(dòng)放大器242檢測(cè)，作為電流信號(hào)向電流控制系統(tǒng)240反饋。搖動(dòng)軸111上結(jié)合的編碼器120，對(duì)應(yīng)于搖動(dòng)量產(chǎn)生脈沖(位置信號(hào))22，該脈沖由脈沖計(jì)數(shù)器250計(jì)數(shù)，作為搖動(dòng)角度255進(jìn)行反饋。
通過反復(fù)操作這些處理，反射鏡130緩緩地接近目標(biāo)位置。在定位結(jié)束后，從電掃描器控制裝置20向上位控制裝置10傳送定位結(jié)束信號(hào)12。
從省略圖示的激光振蕩器輸出的激光束30通過反射鏡130反射，通過Fθ透鏡140照射到對(duì)象物的加工位置。在圖中，對(duì)應(yīng)于反射鏡130的3個(gè)搖動(dòng)角度，示意點(diǎn)A、點(diǎn)B、點(diǎn)C的三個(gè)加工位置。
圖7為電驅(qū)動(dòng)器的剖面圖。
圍繞搖動(dòng)軸111配置形狀為圓筒狀的內(nèi)部磁軛112，在其外側(cè)，間隔圓筒狀的空隙G，配置在圓周方向分割成4分的永久磁鐵113a、113b、113c、113d。永久磁鐵113a～113d向半徑方向分極地進(jìn)行磁化，永久磁鐵113a和永久磁鐵113c，永久磁鐵113b和永久磁鐵113d分別向同一方向磁化。
在永久磁鐵113a～113d的外側(cè)，配置外部磁軛114，它們形成磁回路。由此，通過永久磁鐵113a～113d以及內(nèi)部磁軛112形成的磁場(chǎng)，在空隙G上生成約為半徑方向的磁通M。而且，在空隙G中構(gòu)成電樞線圈的芯線群115a、115b、115c、115d如圖所示地進(jìn)行配置。
根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，向線圈通電后，在芯線群115a、115b、115c、115d上如圖所示的方向上流經(jīng)電流，通過磁通和電流的相互作用，向芯線群115a～115d的圓周方向上作用力(洛倫茲力)。因?yàn)榫€圈也就是芯線群115a～115d是固定在搖動(dòng)軸111上的，因而該力成為驅(qū)動(dòng)搖動(dòng)軸111的力矩。該力矩與所流經(jīng)線圈的電流成比例，該比例常數(shù)為力矩常數(shù)。
特開2002-137074號(hào)公報(bào)(第2頁，圖6)[專利文獻(xiàn)2]特開2002-6255號(hào)公報(bào)(第2頁，圖6)發(fā)明內(nèi)容近年來，對(duì)提高激光加工機(jī)這樣電掃描器應(yīng)用產(chǎn)品的加工效率的要求日益強(qiáng)烈，也希望獲得電掃描器伺服機(jī)構(gòu)的高速應(yīng)答。電掃描器在限定的角度范圍內(nèi)進(jìn)行使得反射鏡搖動(dòng)的操作，而在該角度范圍內(nèi)的電掃描器的特性也未必一樣。
也就是說，如上述圖7所示的電驅(qū)動(dòng)器110的情況下，永久磁鐵113a～113d的中央附近的磁通M朝向半徑方向，而隨著鄰近其端部向著半徑方向傾斜，密度也降低。因此，芯線群115a～115d鄰近永久磁鐵113a～113d的端部，產(chǎn)生力矩常數(shù)的降低。
圖8表示的是搖動(dòng)角度和力矩常數(shù)的關(guān)系的一個(gè)例子，搖動(dòng)角度θB為搖動(dòng)中心，搖動(dòng)角度θA為正側(cè)、搖動(dòng)角度θC為負(fù)側(cè)的角度，它們是對(duì)應(yīng)圖5中加工位置A、B、C的搖動(dòng)角度。
圖9為在搖動(dòng)角度是θA、θB、θC的加工位置在進(jìn)行相同的沖程定位時(shí)的伺服機(jī)構(gòu)的偏差信號(hào)的圖表的重疊圖。
從該圖中可以得知，以搖動(dòng)角度θB表示合適的應(yīng)答，而搖動(dòng)角度θA、和搖動(dòng)角度θC產(chǎn)生了過沖。也就是說，因?yàn)橛捎趽u動(dòng)角度力矩常數(shù)變化，所以在某個(gè)角度上具有良好的定位應(yīng)答性的伺服機(jī)構(gòu)，會(huì)在其他的角度上產(chǎn)生過沖，由此會(huì)產(chǎn)生過阻尼的問題。
但是，使得作用在線圈上的磁場(chǎng)的強(qiáng)度不依賴搖動(dòng)角度都是一樣的較為困難的，即使流經(jīng)相同的電流也是對(duì)應(yīng)搖動(dòng)角度來變動(dòng)作用在轉(zhuǎn)子上的力矩的大小。通過其他的結(jié)構(gòu)產(chǎn)生力矩的電掃描器也與之相同，由于搖動(dòng)角度完全不變動(dòng)力矩常數(shù)是困難的。
本發(fā)明的目的在于，提供一種不管搖動(dòng)角度能夠高速地定位反射鏡的電掃描器的控制方法、電掃描器以及通過這樣的電掃描器照射激光在印刷線路板進(jìn)行打孔的激光加工機(jī)。
本發(fā)明的第一裝置的特征在于在基于指令信號(hào)和當(dāng)前位置的偏差、操作使反射鏡搖動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器、控制向前述反射鏡入射光的出射角的電掃描器的控制方法中，測(cè)量對(duì)應(yīng)于搖動(dòng)角度的所述驅(qū)動(dòng)器的增益變化，不變化所述的增益，校正所述驅(qū)動(dòng)器的操作量。
本發(fā)明的第二裝置的特征在于在基于指令信號(hào)和當(dāng)前位置的偏差、操作使反射鏡搖動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器、控制向前述反射鏡入射的光的出射角的電掃描器的控制方法中，設(shè)置測(cè)量對(duì)應(yīng)于搖動(dòng)角度的所述驅(qū)動(dòng)器的增益變化的裝置，在實(shí)際操作前在通過該裝置測(cè)量所述的驅(qū)動(dòng)器的增益變化的同時(shí)，記錄該結(jié)果，校正所述調(diào)節(jié)器的操作量，使在實(shí)際操作時(shí)沒有所述增益的變化。
本發(fā)明的第三裝置的特征在于作為激光加工機(jī)具備在權(quán)利要求2中所記載的電掃描器，通過該電掃描器掃描激光束，加工工件。
因?yàn)槟軌虿灰蕾嚀u動(dòng)角度而高速地定位反射鏡，因而能夠提高加工速度。


圖1為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成具有力矩常數(shù)測(cè)量功能的電掃描器控制裝置的掃描器伺服機(jī)構(gòu)的方框圖。
圖2為涉及本發(fā)明的增益測(cè)量信號(hào)處理的方框圖。
圖3是表示搖動(dòng)角度和力矩常數(shù)的關(guān)系圖。
圖4為適用于本發(fā)明的印刷線路板開孔用的激光加工機(jī)的構(gòu)成圖。
圖5為現(xiàn)有的激光加工機(jī)的電反射鏡伺服機(jī)構(gòu)的構(gòu)成例示方框圖。
圖6為構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)的電掃描器控制裝置的掃描器伺服機(jī)構(gòu)的方框圖。
圖7為電驅(qū)動(dòng)器的剖面圖。
圖8為搖動(dòng)角度和力矩常數(shù)的關(guān)系的一個(gè)例示圖表。
圖9為搖動(dòng)角度為θA、θB、θC的加工位置上進(jìn)行相同的沖程定位時(shí)的伺服機(jī)構(gòu)的偏差信號(hào)的圖表重疊圖。
具體實(shí)施例方式
圖1為根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成具有力矩常數(shù)計(jì)測(cè)量功能的電掃描器控制裝置的掃描伺服機(jī)構(gòu)的方框圖，虛線的左側(cè)表示為通過伺服處理處理器的軟件執(zhí)行的部分，右側(cè)表示和硬件的連接關(guān)系和信號(hào)流向。并且，對(duì)于與圖6具有相同功能的給予相同附圖標(biāo)記，省略對(duì)其重復(fù)說明。而且，電掃描器控制裝置50具有LAN接口(省略了圖示)，經(jīng)由LAN可以與遠(yuǎn)程主機(jī)進(jìn)行通信。
加振信號(hào)生成處理部260產(chǎn)生小振幅的正弦波信號(hào)。并且，該正弦波信號(hào)的頻率避開了作為控制對(duì)象的掃描器驅(qū)動(dòng)器的共振頻率、放大器的各種噪音頻率、摩擦影響顯著的低頻率范圍，設(shè)定為傳遞函數(shù)表示作為慣性體的二重積分特性的頻率。
信號(hào)連接遮斷處理部261將從加振信號(hào)生成處理部260輸出的信號(hào)連接或遮斷到加法處理部262。加法處理部262對(duì)從加振信號(hào)生成處理部260和目標(biāo)值生成處理部210輸出的目標(biāo)值215進(jìn)行加法運(yùn)算，向減法裝置222輸出。
補(bǔ)償元件220的輸出被輸入到信號(hào)連接切換處理部227的端子a和力矩常數(shù)變動(dòng)補(bǔ)償部300，力矩常數(shù)變動(dòng)補(bǔ)償部300的輸出被輸入到信號(hào)連接切換處理部227的端子b。信號(hào)連接切換處理部227的輸出從端子c被輸入到D/A變換器230。
在增益測(cè)量信號(hào)處理部270中，搖動(dòng)角度255經(jīng)由信號(hào)連接遮斷處理部271被輸入，同時(shí)操作量信號(hào)226經(jīng)由信號(hào)連接遮斷處理部272被輸入，將處理結(jié)果284記錄在存儲(chǔ)器290內(nèi)的指定地址。
其次，對(duì)于增益測(cè)量信號(hào)處理部270進(jìn)行說明。
圖2為表示涉及本發(fā)明的增益測(cè)量信號(hào)處理部的結(jié)構(gòu)的方框圖。
第1數(shù)字濾波器273的輸入端被連接到信號(hào)連接遮斷處理部271，輸出信號(hào)經(jīng)由第一峰值保持電路277被輸入到除法處理部279。第2數(shù)字濾波器274的輸入端被連接到信號(hào)連接遮斷處理部272，輸出信號(hào)經(jīng)由第二峰值保持電路278被輸入到除法處理部279。第1和第2數(shù)字濾波器273、274具有使與由加振信號(hào)生成處理部260所生成的正弦波頻率和相同的頻率成分通過、遮斷其他頻率成分的帶通特性。并且圖2中的283為定時(shí)信號(hào)。
其次，說明本發(fā)明的操作。
如上所述，對(duì)應(yīng)搖動(dòng)角度力矩常數(shù)變化。從而，為抑制應(yīng)答波形的變化，必須對(duì)應(yīng)于每個(gè)掃描器及其設(shè)置，測(cè)量如圖8所示的力矩常數(shù)的變動(dòng)。
因此，在定位之前，按以下的順序測(cè)定對(duì)應(yīng)搖動(dòng)角度的力矩常數(shù)。
首先，信號(hào)連接遮斷處理部261、271、272置于連接端，同時(shí)信號(hào)連接切換處理部227的端子c連接在端子a，將補(bǔ)償元件220的輸出信號(hào)直接輸入到D/A變換器。在該狀態(tài)下，目標(biāo)值生成處理部210在設(shè)定對(duì)應(yīng)于應(yīng)該測(cè)量的搖動(dòng)角度的目標(biāo)值215的同時(shí)，加振信號(hào)處理部分260產(chǎn)生小振幅的正弦波信號(hào)。從加振信號(hào)生成處理部260輸出的正弦波信號(hào)通過加法處理部262與目標(biāo)值215相加，因而搖動(dòng)軸111以應(yīng)該測(cè)量的搖動(dòng)角度為中心被正弦波狀地驅(qū)動(dòng)。
搖動(dòng)角度255和操作量信號(hào)226被插入到每個(gè)取樣周期內(nèi)，分別通過第1和第2數(shù)字濾波器273、274進(jìn)行處理。由于第1和第2數(shù)字濾波器273、274具有使與由加振信號(hào)生成處理部260所生成的正弦波頻率和相同的頻率成分通過、遮斷其他頻率成分的帶通特性，因而在加振開始后經(jīng)過一段暫時(shí)的時(shí)間，在這些濾波器的輸出中出現(xiàn)對(duì)應(yīng)于加振信號(hào)的控制對(duì)象的輸入信號(hào)成分275、和對(duì)應(yīng)加振信號(hào)的控制對(duì)象的輸出信號(hào)成分276。并且，由于第1和第2數(shù)字濾波器273、274進(jìn)行相同的處理，因而在研究輸入信號(hào)成分275和輸出信號(hào)成分276之間的傳遞特性時(shí)，濾波器的影響相互抵消。
輸入信號(hào)成分275和輸出信號(hào)成分276分別輸入到第1和第2峰值保持處理部277、278，正弦波狀的信號(hào)峰值被保持，獲得作為輸出的輸入信號(hào)振幅281、輸出信號(hào)振幅282。
經(jīng)過充分的時(shí)間之后，由定時(shí)信號(hào)283在除法處理部279進(jìn)行除法運(yùn)算，以輸出信號(hào)振幅282除以輸入信號(hào)振幅281，計(jì)算出控制對(duì)象增益的倒數(shù)284，記錄在對(duì)應(yīng)于存儲(chǔ)器290中測(cè)量時(shí)搖動(dòng)角度的地址291所指定的地址中。
在可移動(dòng)范圍內(nèi)逐漸改變搖動(dòng)角度的目標(biāo)值，同時(shí)反復(fù)操作以上使用圖1和圖2說明的一連串處理，進(jìn)行對(duì)應(yīng)可移動(dòng)范圍整體的力矩常數(shù)變化的測(cè)量，記錄在存儲(chǔ)器290中。
在加工時(shí)，將信號(hào)連接遮斷處理部261、271、272置于遮斷端，同時(shí)將信號(hào)連接切換處理部227的端子c與端子b連接，補(bǔ)償元件部220的輸出信號(hào)經(jīng)由力矩常數(shù)變動(dòng)補(bǔ)償部300輸入至D/A變換器230。于是，力矩常數(shù)變動(dòng)補(bǔ)償部300對(duì)應(yīng)于搖動(dòng)角255、也就是搖動(dòng)角θ，參照存儲(chǔ)器290，使抵消力矩常數(shù)的變化(例如使與通過測(cè)定所得到的力矩常數(shù)的最大值相等那樣)那樣，放大操作量信號(hào)226，向D/A變換器230輸出。其結(jié)果是，因?yàn)椴灰蕾嚀u動(dòng)角度θ力矩常數(shù)固定，因而能夠高速定位反射鏡，能夠提高加工速度。
并且，在參照存儲(chǔ)器290時(shí)，也可以使用目標(biāo)值215來代替搖動(dòng)角255，得到相當(dāng)?shù)难a(bǔ)償效果。
然而，在上述方法的情況下，要提高定位精度，因?yàn)樵黾恿藫u動(dòng)角度θ的測(cè)量，延長了用來測(cè)定力矩常數(shù)的變換所必要的時(shí)間。因此，如下進(jìn)行的話，能夠在提高定位精度的同時(shí)也能夠縮短測(cè)定時(shí)間。
也就是說，力矩常數(shù)的變化幾乎都如圖8所示的表示特性的情況，以可動(dòng)范圍的中央的原點(diǎn)上的力矩常數(shù)標(biāo)準(zhǔn)化后，成為圖3所示的曲線，在原點(diǎn)的值為1?？紤]該標(biāo)準(zhǔn)化力矩常數(shù)的倒數(shù)，成為如該圖中虛線所示的曲線，能夠以搖動(dòng)角度的4次函數(shù)近似。取該4次函數(shù)為Kc＝a1θ4+a2θ3+a3θ2+a4θ+a5......公式1式中，Kc為控制對(duì)象的增益的倒數(shù)，θ為搖動(dòng)角度，a1、a2、a3、a4、a5為系數(shù)。通過一系列的測(cè)量，搖動(dòng)角度為θ＝[θ1，θ2，…θn]...公式2，得到增益Kc＝[Kc1，Kc2，…Kcn]...公式3后，若n＝5，a1、a2、a3、a4、a5被唯一確定，若n進(jìn)一步增加則能夠通過最小二自乘法確定。把由此而得到的系數(shù)的推定值作為A，則根據(jù)下式能夠計(jì)算出補(bǔ)償系數(shù)。
Kc＝A1θ4+A2θ3+A3θ2+A4θ+A5...公式4在這樣構(gòu)成的情況下，力矩常數(shù)變動(dòng)補(bǔ)償300從搖動(dòng)角度和系數(shù)計(jì)算補(bǔ)償系數(shù)，與操作量信號(hào)226相乘，引到D/A變換器230。由此，對(duì)于原點(diǎn)的力矩常數(shù)的各個(gè)搖動(dòng)角度的力矩常數(shù)的變化進(jìn)行補(bǔ)償，能夠保持伺服機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)特性固定。
通常，力矩常數(shù)變化的狀況為每個(gè)電掃描器的個(gè)體參差不齊，也經(jīng)年變化。而且，因?yàn)橐蕾囉谙螂姃呙杵鞯募す饧庸C(jī)安裝的狀態(tài)、或向反射鏡的電掃描器安裝的狀態(tài)，在維護(hù)時(shí)等將掃描器或反射鏡取出，進(jìn)行修正時(shí)，有時(shí)就是在相同的加工位置上也不再現(xiàn)原來的響應(yīng)，而根據(jù)本發(fā)明，能夠恒定提高加工速度。
而且，在公式1中，設(shè)4次曲線為相對(duì)于中央(也就是搖動(dòng)角度θ＝0)是對(duì)稱的，但是由于永久磁鐵113a～113d的特性、芯線群115a～115d的參差不齊，組合的參差不齊等，有時(shí)可移動(dòng)范圍的中央離開力矩常數(shù)最大的位置。即使在這樣的情況，抽樣數(shù)n為大于5時(shí)，能夠求得對(duì)于4次曲線的中央的偏離量，因而能夠進(jìn)行精度的較好補(bǔ)償。
并且，在上述中，力矩常數(shù)變動(dòng)補(bǔ)償300配置在補(bǔ)償元件220和D/A變換器230之間，但是也可以對(duì)伺服控制環(huán)內(nèi)的向前部分也就是補(bǔ)償元件220內(nèi)的省略了圖示的增益進(jìn)行補(bǔ)償。
圖4為適用于本發(fā)明的印刷線路板打孔用的激光加工機(jī)的結(jié)構(gòu)圖，不涉及發(fā)明實(shí)質(zhì)的部分省略其圖示。在該圖中，從激光振蕩器310輸出的激光束30通過反射鏡313a、反射鏡313b，經(jīng)由由準(zhǔn)直儀312和光圈314等構(gòu)成的光學(xué)光束處理系統(tǒng)，進(jìn)行整形，另外經(jīng)由反射鏡313c、反射鏡313d、反射鏡313e、反射鏡313f，入射到第1電掃描器100a的反射鏡。該反射鏡為中立位置時(shí)，將從圖中右方向的入射束反射到圖中的前方向，但是通過變化反射鏡的角度，可以使反射束的前進(jìn)路徑在圖中水平面內(nèi)、即XY工作臺(tái)上的光點(diǎn)的位置上圖中左右方向(Y軸方向)變化。通過第1電掃描器100a的光束隨后入射到第2電掃描器100b的反射鏡。該反射鏡為中立位置時(shí)，將從圖中內(nèi)方向入射的光束反射到圖中下方，但是通過改變反射鏡的角度，可以使反射束的前進(jìn)路徑在圖中前后方向的垂直面內(nèi)，即XY工作臺(tái)上的光點(diǎn)位置上圖中前后方向(X軸方向)變化。通過第2電掃描器100b的反射鏡的光束經(jīng)由Fθ透鏡140，被照射在裝載在XY工作臺(tái)353上的印刷線路板352。并且，XY工作臺(tái)353通過Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)354向Y軸方向驅(qū)動(dòng)，Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)354通過X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)355向X軸方向驅(qū)動(dòng)，因而實(shí)現(xiàn)了向XY工作臺(tái)353的XY方向的移動(dòng)定位。X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)355被固定在底座356上。電掃描器330a、330b具備有上述力矩常數(shù)變動(dòng)補(bǔ)償功能。
以上說明的力矩常數(shù)變動(dòng)補(bǔ)償?shù)墓δ埽亲鳛殡姃呙杵骺刂蒲b置50的功能之一賦予的，被設(shè)定為可在將電掃描器連接在該控制裝置時(shí)的初始設(shè)定、在更換電掃描器時(shí)調(diào)整等時(shí)使用。而且，也可以具有經(jīng)由LAN或外加經(jīng)由因特網(wǎng)從遠(yuǎn)程操作該功能、或者監(jiān)視測(cè)量結(jié)果的功能。
權(quán)利要求
1.一種電掃描器的控制方法，其基于指令信號(hào)和當(dāng)前位置的偏差，使搖動(dòng)反射鏡的驅(qū)動(dòng)器操作，控制向所述反射鏡入射光的出射角，其特征在于，具有測(cè)量對(duì)應(yīng)于搖動(dòng)角度的所述驅(qū)動(dòng)器的增益變化的工序，和修正所述驅(qū)動(dòng)器的操作量使不變化所述增益的工序。
2.一種電掃描器，其基于指令信號(hào)和當(dāng)前位置的偏差，操作使反射鏡搖動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器，使控制向所述反射鏡入射的光的出射角，其特征在于，具有測(cè)量對(duì)應(yīng)搖動(dòng)角度的所述驅(qū)動(dòng)器的增益變化的測(cè)量裝置；根據(jù)所述測(cè)量裝置在實(shí)際操作前存儲(chǔ)所測(cè)量的增益的變化的存儲(chǔ)裝置；在實(shí)際操作時(shí)對(duì)所述驅(qū)動(dòng)器的操作量進(jìn)行修正使沒有在所述存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)的增益變化的修正裝置。
3.一種激光加工機(jī)，其特征在于具備如權(quán)利要求2所述的電掃描器，通過該電掃描器掃描激光束對(duì)工件進(jìn)行加工。
全文摘要
提供了一種不依賴搖動(dòng)角度、能夠高速地定位反射鏡的電掃描器的控制方法、電掃描器以及通過這樣的電掃描器照射激光在印刷電路板上進(jìn)行打孔的激光加工機(jī)。基于指令信號(hào)215和當(dāng)前位置242的偏差對(duì)使反射鏡搖動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器110進(jìn)行操作，因而，測(cè)量對(duì)應(yīng)于搖動(dòng)角度的驅(qū)動(dòng)器110的增益變化，修正驅(qū)動(dòng)器110的操作量，使沒有增益變化。由此，因?yàn)槟軌蛞种茖?duì)應(yīng)于搖動(dòng)角度的力矩常數(shù)的變動(dòng)的影響，因而能夠在全部掃描范圍內(nèi)應(yīng)答特性一樣，提高定位速度。
文檔編號(hào)G02B26/10GK1658011SQ20041005699
公開日2005年8月24日 申請(qǐng)日期2004年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月19日
發(fā)明者大槻治明, 遠(yuǎn)山聰一, 關(guān)健太, 大久保彌市, 北村大介 申請(qǐng)人:日立比亞機(jī)械股份有限公司