專利名稱：一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)領(lǐng)域，特別是涉及一種掃描標(biāo)注具。
背景技術(shù)：
在光通訊領(lǐng)域，經(jīng)常要使用到結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可掃描式的標(biāo)準(zhǔn)具。附圖1是常見(jiàn)反射式 MEMS (Micro Electro Mechanical System)標(biāo)準(zhǔn)具，由一部分反射鏡和一 MEMS組成，部分 反射鏡和MEMS分別作為標(biāo)準(zhǔn)具的一個(gè)腔片，反射式MEMS標(biāo)準(zhǔn)具僅能制作可調(diào)G-T標(biāo)準(zhǔn)具， 功能受到很大限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對(duì)現(xiàn)有反射式標(biāo)準(zhǔn)具僅能制作可調(diào)G-T標(biāo)準(zhǔn)具，功能受到很 大限制的技術(shù)問(wèn)題，提供一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具，達(dá)到擴(kuò)展反射式MEMS在掃描標(biāo)準(zhǔn)具上應(yīng)用范圍 的目的。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明所提出的技術(shù)方案為一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具，包括兩腔片 101、102，一 MEMS103，其特征在于，兩個(gè)腔片101、102放置于MEMS103同一側(cè)，且MEMS103與 兩腔片101、102間的距離可以調(diào)節(jié)，兩腔片101、102間鍍有相同或不同的膜。移動(dòng)MEMS103 以改變兩個(gè)腔片101、102之間的空氣隙大小，從而可以實(shí)現(xiàn)一種連續(xù)可調(diào)的透射式標(biāo)準(zhǔn)具。進(jìn)一步，上述技術(shù)方案提到的掃描標(biāo)準(zhǔn)具，可以用來(lái)制作可調(diào)窄線寬激光器，一種 可調(diào)窄線寬激光器，除包括上述的掃描標(biāo)準(zhǔn)具外，還包括一部分反射鏡106，一激光二極管 或固體激光器107，激光二極管或固體激光器107發(fā)出的光譜線寬較寬，激光二極管或固體 激光器107發(fā)出光譜經(jīng)腔片101進(jìn)入掃描表準(zhǔn)具，透射出腔片102的光通過(guò)部分反射鏡106 經(jīng)掃描標(biāo)準(zhǔn)具反射回激光二極管或固體激光器107。


圖1為反射式MEMS可調(diào)標(biāo)準(zhǔn)具結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明掃描標(biāo)準(zhǔn)具結(jié)構(gòu)示意圖3為可調(diào)窄線寬激光器結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說(shuō)明。101.腔片、102.腔片、103. MEMS、104.入射光束、105.透射光束、106.部分反射
鏡、107.激光二極管或固體激光器。如圖2所示，一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具，包括腔片101、腔片102、及MEMS103，腔片101、腔片 102為標(biāo)準(zhǔn)具的兩個(gè)腔片，位于MEMS103的同一側(cè)，腔片101和腔片102鍍有相同或者不同 的膜層，且MEMS103與兩腔片101、102間的距離可以調(diào)節(jié)當(dāng)光束104以一定的角度入射至腔片101，部分光a透過(guò)腔片101，部分光b反射；透過(guò) 腔片101的光a經(jīng)過(guò)MEMS 103反射至腔片102，經(jīng)過(guò)腔片102部分光c透射出去，部分光d 反射；部分光d經(jīng)過(guò)MEMS反射回腔片101上，部分光e透射，部分光f反射至MEMS再反射 到腔片102上；部分光g透射，部分光h反射；以此類推，c, g……等光束經(jīng)過(guò)腔片102透射 出去，發(fā)生干涉，形成標(biāo)準(zhǔn)具透射光束；b，e……等光束經(jīng)過(guò)腔片101反射回去，發(fā)生干涉， 形成標(biāo)準(zhǔn)具反射光束。另外MEMS103可以上下移動(dòng)，相當(dāng)于改變標(biāo)準(zhǔn)具的空氣隙大小，這樣 就做成一個(gè)可掃描式的透射標(biāo)準(zhǔn)具。圖3是利用此掃描標(biāo)準(zhǔn)具制作的可調(diào)窄線寬激光器，腔片101、MEMS103、腔片102 構(gòu)成掃描具，激光二極管或固體激光器107發(fā)出的光譜線寬較寬，且激光器可以為固體激 光器。激光二極管或固體激光器107發(fā)出的光譜通過(guò)掃描標(biāo)準(zhǔn)具過(guò)濾后，透射光譜經(jīng)由部 分反射鏡106并經(jīng)掃描標(biāo)準(zhǔn)具反射回激光二極管或固體激光器107，反射回的光譜波段在 激光二極管107諧振腔內(nèi)諧振放大，其他光譜范圍波段同時(shí)被抑制。這樣就可以實(shí)現(xiàn)激光 二極管或固體激光器107原來(lái)較寬的光譜波段由寬變窄。另外由于MEMS可調(diào)，較窄線寬的 中心波長(zhǎng)也可以根據(jù)需要發(fā)生改變。盡管結(jié)合優(yōu)選實(shí)施方案具體展示和介紹了本發(fā)明，但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明 白，在不脫離所附權(quán)利要求書(shū)所限定的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，在形式上和細(xì)節(jié)上可以對(duì) 本發(fā)明做出各種變化，均為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具(100)，包括兩腔片(101、102)、一 MEMS (103)，其特征在于，兩腔片 (101、102)放置于 MEMS (103)同一側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具(100)，其特征在于所述的MEMS(103)與 兩腔片(101、102)之間的距離可以調(diào)節(jié)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具(100)，其特征在于兩腔片(101、102) 間鍍有相同的膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具(100)，其特征在于兩腔片(101、102) 間鍍有不同的膜。
5.一種可調(diào)窄線寬激光器，其特征在于除包括上述任一權(quán)利要求所述的掃描標(biāo)準(zhǔn)具 外，還包括一部分反射鏡(106)，一激光二極管或固體激光器(107)，激光二極管或固體激 光器(107)位于腔片(101)前方，部分反射鏡(106)位于腔片(102)透射光光路上。
全文摘要
一種掃描標(biāo)準(zhǔn)具，包括兩腔片、一MEMS，其特征在于，兩個(gè)腔片放置于MEMS同一側(cè)，且MEMS與兩腔片間的距離可以調(diào)節(jié)，兩腔片間鍍有相同或不同的膜，移動(dòng)MEMS以改變兩個(gè)腔片之間的空氣隙大小，從而可以實(shí)現(xiàn)一種連續(xù)可調(diào)的透射式標(biāo)準(zhǔn)具，達(dá)到擴(kuò)展反射式MEMS在掃描標(biāo)準(zhǔn)具上應(yīng)用范圍的目的。
文檔編號(hào)G02B26/00GK102087409SQ201010565420
公開(kāi)日2011年6月8日 申請(qǐng)日期2010年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月30日
發(fā)明者吳勵(lì), 胡豪成, 鄭保忠 申請(qǐng)人:福州高意通訊有限公司