專利名稱：物鏡保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光刻機(jī)中物鏡保護(hù)裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中的光刻機(jī)，主要用于集成電路IC或其它微型器件的制造。通過光刻機(jī)，具有不同掩模圖案的多層掩模在精確對準(zhǔn)下依次成像在涂覆有光刻膠的硅片/基板上，例如半導(dǎo)體晶片或LCD板。現(xiàn)有技術(shù)的光刻機(jī)從上往下依次包括光源、掩膜板、折射鏡單元和物鏡，然而光刻機(jī)中的物鏡在光刻機(jī)曝光過程中，易被揮發(fā)的光刻膠污染，影響物鏡性能，從而影響光刻效果，基于上述問題，可以在在物鏡和硅片間增加一個(gè)保護(hù)膜，用于避 免物鏡污染，然而物鏡和硅片間空間有限，同時(shí)保護(hù)膜要定期更換，不好操作，所以提供一種保護(hù)膜更換方便，操作簡單的物鏡保護(hù)裝置十分必要。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種物鏡保護(hù)裝置，以方便更換保護(hù)膜，簡化操作。本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是一種物鏡保護(hù)裝置，包括保護(hù)膜，所述保護(hù)膜的側(cè)壁上設(shè)有凹槽；保護(hù)膜固定件，所述保護(hù)膜固定件位于保護(hù)膜的外側(cè)，所述保護(hù)膜固定件的側(cè)壁上設(shè)有貫穿保護(hù)膜固定件且徑向指向所述保護(hù)膜的徑向孔；固定滑塊，所述固定滑塊包括釘帽部及其固定連接的斜面部，所述釘帽部位于所述保護(hù)膜固定件外側(cè)，所述斜面部靠近所述釘帽部的一端設(shè)有貫穿所述斜面部且徑向與所述徑向孔的徑向垂直的貫穿孔，所述斜面部遠(yuǎn)離所述釘帽部的一端具有與所述徑向孔配合的上斜面和下斜面，所述上斜面向下傾斜、下斜面向上傾斜，所述斜面部穿過所述保護(hù)膜固定件的徑向孔且嵌入所述保護(hù)膜的凹槽中；壓緊彈簧，所述壓緊彈簧一端穿過所述貫穿孔，另一端通過壓緊螺釘固定在保護(hù)膜固定件側(cè)壁上。作為優(yōu)選所述物鏡保護(hù)裝置位于物鏡上方。作為優(yōu)選所述物鏡保護(hù)裝置位于物鏡下方。作為優(yōu)選所述保護(hù)膜固定件的外側(cè)壁上還設(shè)有導(dǎo)向槽，所述徑向孔位于所述導(dǎo)向槽中，所述壓緊彈簧通過壓緊螺釘和所述貫穿孔壓置在所述導(dǎo)向槽內(nèi)，所述導(dǎo)向槽設(shè)有與所述壓緊螺釘相配合的螺紋孔。作為優(yōu)選所述保護(hù)膜固定件底部設(shè)有通槽。作為優(yōu)選所述徑向孔為方孔或圓孔。作為優(yōu)選所述斜面部為棱臺(tái)、棱錐、圓錐或圓臺(tái)。綜上所述，本實(shí)用新型采用保護(hù)膜固定件上的固定滑塊及固定滑塊上與保護(hù)膜凹槽相配合的斜面部，更換保護(hù)膜時(shí)只需上壓和下拉，實(shí)現(xiàn)保護(hù)膜的更換，操作方便快捷，解決由于空間限制，操作不便問題。
圖I是本實(shí)用新型物鏡保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖I的局部放大圖；圖3是本實(shí)用新型物鏡保護(hù)裝置的左視圖；圖4a是本實(shí)用新型物鏡保護(hù)裝置中固定滑塊的剖面圖； 圖4b是本實(shí)用新型物鏡保護(hù)裝置中固定滑塊的俯視圖；圖5是本實(shí)用新型物鏡保護(hù)裝置中壓緊彈簧的機(jī)構(gòu)示意圖；圖6a_6d是本實(shí)用新型物鏡保護(hù)裝置中保護(hù)膜安裝示意圖；圖7a_7d是本實(shí)用新型物鏡保護(hù)裝置中保護(hù)膜拆卸示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型下面將結(jié)合附圖作進(jìn)一步詳述在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型。但是本實(shí)用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實(shí)用新型不受下面公開的具體實(shí)施的限制。其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為便于說明，表示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是實(shí)例，其在此不應(yīng)限制本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。圖I示出了本實(shí)用新型物鏡保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。請參閱圖I、圖2、圖3、圖4a、圖4b和圖5所示，本實(shí)用新型提供一種物鏡保護(hù)裝置，包括保護(hù)膜1，所述保護(hù)膜的側(cè)壁上設(shè)有凹槽11，所述保護(hù)膜側(cè)壁可以呈凹槽結(jié)構(gòu)，所述凹槽還可以相對設(shè)置在保護(hù)膜的側(cè)壁上；保護(hù)膜固定件2，所述保護(hù)膜固定件2位于保護(hù)膜I的外側(cè)，所述保護(hù)膜固定件2側(cè)壁上設(shè)有貫穿保護(hù)膜固定件2的徑向孔21，所述徑向孔21為方孔或圓孔；固定滑塊3，所述固定滑塊3包括斜面部31和釘帽部32，所述固定滑塊3的釘帽部32位于所述保護(hù)膜固定件2的外側(cè)。所述固定滑塊3的斜面部31穿過所述保護(hù)膜固定件2的徑向孔21且嵌入在保護(hù)膜I凹槽11中，所述斜面部31的上斜面向下傾斜、下斜面向上傾斜，所述斜面部31靠近所述釘帽部32的一端設(shè)有貫穿所述斜面部31且徑向與所述徑向孔21的徑向垂直的貫穿孔32 ；壓緊彈簧4，所述壓緊彈簧4 一端41穿過固定滑塊3上的貫穿孔32，另一端42通過壓緊螺釘5固定在保護(hù)膜固定件2上，所述保護(hù)膜固定件2的外側(cè)壁上還設(shè)有導(dǎo)向槽22，所述徑向孔21位于所述導(dǎo)向槽22中，所述壓緊彈簧4位于導(dǎo)向槽22內(nèi)，利于壓緊彈簧4固定，所述壓緊彈簧4通過壓緊螺釘5和所述貫穿孔32壓置在所述導(dǎo)向槽22內(nèi)，所述導(dǎo)向槽22 —端設(shè)有與壓緊螺釘5相配合的螺紋孔(圖中未示)。所述固定滑塊3在壓緊彈簧4的回復(fù)力作用下可沿保護(hù)膜固定件2徑向移動(dòng)，通過固定滑塊3上的斜面部31配合保護(hù)膜I的凹槽11可完成安裝和拆卸，所述保護(hù)膜固定件2底部設(shè)有通槽23，便于拿取保護(hù)膜I。所述物鏡保護(hù)裝置位于物鏡6下方,避免光刻時(shí)娃片表面的光刻膠揮發(fā)對物鏡6
產(chǎn)生影響。所述物鏡保護(hù)裝置還可以位于物鏡6上方，保護(hù)物鏡6不受環(huán)境中顆粒物的污染。如圖6a_6d所示為保護(hù)膜安裝過程中各個(gè)示意圖。本實(shí)施例的保護(hù)膜安裝的具體過程如下如圖6a所示，將保護(hù)膜I對準(zhǔn)保護(hù)膜固定件2，向上壓入，當(dāng)保護(hù)膜I上邊緣與固定滑塊3的斜面部31向上的下斜面接觸時(shí)，固定滑塊3的斜面部31會(huì)有一個(gè)沿保護(hù)膜I
徑向的一個(gè)分力，推動(dòng)固定滑塊3向外運(yùn)動(dòng)；如圖6b所示，直到保護(hù)膜I邊緣到達(dá)固定滑塊3下斜面的終結(jié)處，繼續(xù)向上壓入保護(hù)膜1，直到經(jīng)過固定滑塊3的豎直面，到達(dá)固定滑塊3的向下的上斜面；如圖6c和6d所示，固定滑塊3在壓緊彈簧4的推力下開始向里運(yùn)動(dòng)，直到保護(hù)膜I上表面與保護(hù)膜固定件接觸，從而完成了保護(hù)膜的裝入，由于壓緊彈簧4可以提供足夠大的力，可以承受保護(hù)膜I重量，保證保護(hù)膜I不會(huì)掉下來。如圖7a_7d所示為保護(hù)膜拆卸過程中各個(gè)示意圖。本實(shí)施例的拆卸保護(hù)膜的具體過程如下如圖7a所示，在保護(hù)膜固定件2底部的通槽23處，用手直接將保護(hù)膜I拉出，在拉出過程中，固定滑塊3斜面部31的上斜面受到壓力，產(chǎn)生一個(gè)沿徑向的分力，當(dāng)這個(gè)分力大于壓緊彈簧4提供的彈力時(shí)，就可以推開固定滑塊3向外運(yùn)動(dòng)；如圖7b所示，繼續(xù)向下拉取保護(hù)膜1，如圖7c所示，直到保護(hù)膜I邊緣經(jīng)過固定滑塊3的上斜面終結(jié)，取出保護(hù)膜1，如圖7d所示，固定滑塊3在壓緊彈簧4的彈力作用下復(fù)位，重新回到壓緊保護(hù)膜的狀態(tài)，完成保護(hù)膜的卸下工作。綜上所述，本實(shí)用新型采用保護(hù)膜固定件上的固定滑塊及固定滑塊上與保護(hù)膜凹槽相配合的斜面部，更換保護(hù)膜時(shí)只需上壓和下拉，實(shí)現(xiàn)保護(hù)膜的更換，操作方便快捷，解決由于空間限制，操作不便問題。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，凡依本實(shí)用新型權(quán)利要求范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本實(shí)用新型權(quán)利要求的涵蓋范圍。
權(quán)利要求1.一種物鏡保護(hù)裝置，其特征在于，包括 保護(hù)膜，所述保護(hù)膜的側(cè)壁上設(shè)有凹槽； 保護(hù)膜固定件，所述保護(hù)膜固定件位于保護(hù)膜的外側(cè)，所述保護(hù)膜固定件的側(cè)壁上設(shè)有貫穿保護(hù)膜固定件且徑向指向所述保護(hù)膜的徑向孔； 固定滑塊，所述固定滑塊包括釘帽部及其固定連接的斜面部，所述釘帽部位于所述保護(hù)膜固定件外側(cè)，所述斜面部靠近所述釘帽部的一端設(shè)有貫穿所述斜面部且徑向與所述徑向孔的徑向垂直的貫穿孔，所述斜面部遠(yuǎn)離所述釘帽部的一端具有與所述徑向孔配合的上斜面和下斜面，所述上斜面向下傾斜、下斜面向上傾斜，所述斜面部穿過所述保護(hù)膜固定件的徑向孔且嵌入所述保護(hù)膜的凹槽中； 壓緊彈簧，所述壓緊彈簧一端穿過所述貫穿孔，另一端通過壓緊螺釘固定在保護(hù)膜固定件側(cè)壁上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于所述物鏡保護(hù)裝置位于物鏡上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于所述物鏡保護(hù)裝置位于物鏡下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于所述保護(hù)膜固定件的外側(cè)壁上還設(shè)有導(dǎo)向槽，所述徑向孔位于所述導(dǎo)向槽中，所述壓緊彈簧通過壓緊螺釘和所述貫穿孔壓置在所述導(dǎo)向槽內(nèi)，所述導(dǎo)向槽設(shè)有與所述壓緊螺釘相配合的螺紋孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于所述保護(hù)膜固定件底部設(shè)有通槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于所述徑向孔為方孔或圓孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的物鏡保護(hù)裝置，其特征在于所述斜面部為棱臺(tái)、棱錐、圓錐或圓臺(tái)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種物鏡保護(hù)裝置，包括保護(hù)膜，所述保護(hù)膜的側(cè)壁上設(shè)有凹槽；保護(hù)膜固定件，位于保護(hù)膜的外側(cè)，所述保護(hù)膜固定件的側(cè)壁上設(shè)有貫穿保護(hù)膜固定件的徑向孔；固定滑塊，所述固定滑塊包括釘帽部和斜面部，所述釘帽部位于所述保護(hù)膜固定件外側(cè)，所述斜面部靠近所述釘帽部的一端設(shè)有貫穿斜面部且與徑向孔垂直的貫穿孔，所述斜面部的上斜面向下傾斜、下斜面向上傾斜，所述斜面部穿過徑向孔且嵌入在保護(hù)膜的凹槽中；壓緊彈簧，所述壓緊彈簧一端穿過所述貫穿孔，另一端通過壓緊螺釘固定在保護(hù)膜固定件側(cè)壁上。本實(shí)用新型采用保護(hù)膜固定件上的固定滑塊及固定滑塊上與保護(hù)膜凹槽相配合的斜面部，更換保護(hù)膜時(shí)只需上壓和下拉，操作方便快捷。
文檔編號(hào)G02B7/00GK202677061SQ20122032006
公開日2013年1月16日 申請日期2012年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月3日
發(fā)明者劉寶會(huì) 申請人:上海微電子裝備有限公司