本申請涉及半導體加工設備，特別是涉及一種光學鏡組切換裝置及晶圓激光加工組件。

背景技術：

1、近年來光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，高集成度和高性能的半導體晶圓需求不斷增長，硅、碳化硅、藍寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應用于新型顯示led晶圓、半導體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高，晶圓趨向于輕薄化，傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用，于是在部分工序引入了激光切割技術。

2、針對泛半導體行業(yè)研發(fā)的超快精密皮秒激光設備目前已經(jīng)廣泛應用于led芯片、mems芯片、frid芯片、sim芯片、存儲芯片等諸多晶圓的切割領域。隨著行業(yè)的發(fā)展，市場的需求，泛半導體晶圓的生產(chǎn)過程也對于激光設備產(chǎn)生了新的需求，尤其對于效率的提升尤為迫切，因此在激光加中引入分光加工系統(tǒng)。例如在新型led晶圓激光切割中。4英寸大小所需加工時間為10min/片，引入分光加工系統(tǒng)后，可實現(xiàn)成倍的加工效率提升。

3、對于泛半導體晶圓，不同類型或同類型不同尺寸的晶圓，芯片與芯片之間間距、對于激光切割加工的工藝效果的差距，使得分光系統(tǒng)需求的分光束及分光間距也不一樣，因此，分光系統(tǒng)需具備快速切換鏡片來調整分光數(shù)量以及精確定位分光間距。

技術實現(xiàn)思路

1、本申請主要提供一種光學鏡組切換裝置及晶圓激光加工組件，以解決現(xiàn)有系統(tǒng)切換光學鏡組效率不高的問題。

2、為解決上述技術問題，本申請采用的一個技術方案是：提供一種光學鏡組切換裝置。該光學鏡組切換裝置，包括：多個光學鏡組，包括鏡片，所述鏡片設置在鏡架上，所述鏡片為衍射光學器件鏡片；鏡組切換組件，包括分度轉盤和旋轉驅動件，所述分度轉盤周向設置多個可容置所述光學鏡組的通孔，所述旋轉驅動件連接所述分度轉盤并用于驅動所述分度轉盤轉動，使得其中任意一個通孔位于預設工位；所述光學鏡組通過第一連接件磁吸連接在所述通孔內；其中，激光從位于預設工位的所述光學鏡組一側入射，另一側出射；鏡組定距組件，包括中空件，所述中空件設置在預設工位，光學鏡組可通過第三連接件與中空件磁吸連接；所述鏡組定距組件還包括驅動機構，驅動所述中空件沿激光入射方向往復移動，靠近并接觸預設工位的所述光學鏡組，使所述光學鏡組脫離所述通孔連接并連接在所述中空件上，及遠離所述光學鏡組，使所述光學鏡組脫離所述中空件并連接在通孔上；其中，所述驅動機構還驅動所述中空件旋轉，從而帶動其連接的所述光學鏡組旋轉。

3、在一些實施例中，所述驅動機構包括中空電機和直線驅動件，所述中空電機設有第二中空通道，所述第二中空通道與所述中空件的第一中空通道共軸線，所述中空電機用于驅動所述中空件旋轉，所述中空電機連接在所述直線驅動件上，所述直線驅動件用于驅動所述中空電機沿激光入射方向往復移動。

4、在一些實施例中，所述第一連接件為第一磁性連接件，所述分度轉盤的通孔內設置有所述第一磁性連接件，所述光學鏡組上配合設置有第二磁性連接件，所述第二磁性連接件和所述第一磁性連接件磁吸連接；所述第三連接件為第三磁性連接件，所述中空件上配合設置第四磁性連接件，所述第四磁性連接件和所述第三磁性連接件磁性連接。

5、在一些實施例中，所述鏡組定距組件設置在激光入射所述鏡組切換組件的一側，所述中空件朝向所述通孔設置；所述第四磁性連接件設置在所述中空件朝向所述通孔的側壁，所述第三磁性連接件設置在所述鏡架朝向所述中空件的側壁上；

6、所述中空件通過所述驅動機構沿激光入射方向移動，靠近并接觸所述光學鏡組，繼續(xù)移動使所述光學鏡組脫離所述通孔并連接在所述中空件上，所述中空電機帶動所述中空件及其上的所述光學鏡組旋轉。

7、在一些實施例中，所述中空件上設有至少一個第二對位部，所述光學鏡組上設有至少一個第一對位部，所述第二對位部用以與所述第一對位部定位配合；所述第二對位部設置在所述中空件朝向所述通孔的側壁，所述第一對位部和所述第三磁性連接件設置在光學鏡組鏡架的同一側壁上。

8、在一些實施例中，所述第一對位部和所述第二對位部形成銷孔定位、卡槽定位或錐銷定位。

9、在一些實施例中，所述通孔的側壁設有安裝槽，所述安裝槽的槽底靠近中空件設置，所述第一磁性連接件設置在所述安裝槽的槽底上，所述第二磁性連接件設置在所述光學鏡組的鏡架靠近所述安裝槽一側的側壁上。

10、在一些實施例中，所述安裝槽上設有至少一個定位件，所述光學鏡組上設有與所述定位件相配合的定位部；所述定位部和所述第一磁性連接件設置在于光學鏡組的鏡架的同側側壁上。

11、在一些實施例中，所述定位件和所述定位部形成銷孔定位、卡槽定位或錐銷定位。

12、為解決上述技術問題，本申請采用的另一個技術方案是：提供一種晶圓激光加工組件。該晶圓激光加工組件包括如上述的光學鏡組切換裝置，其中，還包括激光加工模組，所述激光加工模組位于預設工位，朝向位于所述預設工位的所述光學鏡組發(fā)射激光。

13、本申請的有益效果是：區(qū)別于現(xiàn)有技術的情況，本申請公開了一種光學鏡組切換裝置及晶圓激光加工組件。通過分度轉盤周向設置有多個可容置光學鏡組的通孔，旋轉驅動件可位于切換分度轉盤上所需的光學鏡組至預設工位，再通過鏡組定距組件的中空件及驅動機構配合，以捕獲并分離出預設工位上的光學鏡組，以及旋轉光學鏡組，從而獲得所需的各出射光之間的間距，從而能夠高效地切換及調整光學鏡組，快速適配不同類型或不同尺寸的晶圓的激光加工需求，以適應于各類晶圓切割工況。

技術特征：

1.一種光學鏡組切換裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的光學鏡組切換裝置，其特征在于，所述驅動機構包括中空電機和直線驅動件，所述中空電機設有第二中空通道，所述第二中空通道與所述中空件的第一中空通道共軸線，所述中空電機用于驅動所述中空件旋轉，所述中空電機連接在所述直線驅動件上，所述直線驅動件用于驅動所述中空電機沿激光入射方向往復移動。

3.根據(jù)權利要求2所述的光學鏡組切換裝置，其特征在于，所述第一連接件為第一磁性連接件，所述分度轉盤的通孔內設置有所述第一磁性連接件，所述光學鏡組上配合設置有第二磁性連接件，所述第二磁性連接件和所述第一磁性連接件磁吸連接；所述第三連接件為第三磁性連接件，所述中空件上配合設置第四磁性連接件，所述第四磁性連接件和所述第三磁性連接件磁吸連接。

4.根據(jù)權利要求3所述的光學鏡組切換裝置，其特征在于，所述鏡組定距組件設置在激光入射所述鏡組切換組件的一側，所述中空件朝向所述通孔設置；所述第四磁性連接件設置在所述中空件朝向所述通孔的側壁，所述第三磁性連接件設置在所述鏡架朝向所述中空件的側壁上；

5.根據(jù)權利要求4所述的光學鏡組切換裝置，其特征在于，所述中空件上設有至少一個第二對位部，所述光學鏡組上設有至少一個第一對位部，所述第二對位部用以與所述第一對位部定位配合；所述第二對位部設置在所述中空件朝向所述通孔的側壁，所述第一對位部和所述第三磁性連接件設置在光學鏡組鏡架的同一側壁上。

6.根據(jù)權利要求5所述的光學鏡組切換裝置，其特征在于，所述第一對位部和所述第二對位部形成銷孔定位、卡槽定位或錐銷定位。

7.根據(jù)權利要求3至6任一所述的光學鏡組切換裝置，其特征在于，所述通孔的側壁設有安裝槽，所述安裝槽的槽底靠近中空件設置，所述第一磁性連接件設置在所述安裝槽的槽底上，所述第二磁性連接件設置在所述光學鏡組的鏡架靠近所述安裝槽一側的側壁上。

8.根據(jù)權利要求7所述的光學鏡組切換裝置，其特征在于，所述安裝槽上設有至少一個定位件，所述光學鏡組上設有與所述定位件相配合的定位部；所述定位部和所述第一磁性連接件設置在于光學鏡組的鏡架的同側側壁上。

9.根據(jù)權利要求8所述的光學鏡組切換裝置，其特征在于，所述定位件和所述定位部形成銷孔定位、卡槽定位或錐銷定位。

10.一種晶圓激光加工組件，其特征在于，包括權利要求1至9任一所述的光學鏡組切換裝置，其中，

技術總結
本申請公開了一種光學鏡組切換裝置及晶圓激光加工組件。該光學鏡組切換裝置包括：多個光學鏡組；鏡組切換組件，包括分度轉盤和旋轉驅動件，分度轉盤周向設置多個可容置光學鏡組的通孔，旋轉驅動件連接分度轉盤并用于驅動分度轉盤轉動，使得其中任意一個通孔位于預設工位；光學鏡組通過第一連接件磁吸連接在通孔內；鏡組定距組件，包括中空件，光學鏡組可通過第三連接件與中空件磁吸連接；鏡組定距組件還包括驅動機構，驅動中空件沿激光入射方向往復移動，驅動機構還驅動中空件旋轉，從而帶動其連接的光學鏡組旋轉。通過上述方式，本申請?zhí)峁┑墓鈱W鏡組切換裝置能夠快速且高效地切換及調節(jié)光學鏡組。

技術研發(fā)人員：饒浩乾,萬勝
受保護的技術使用者：武漢帝爾激光科技股份有限公司
技術研發(fā)日：20231228
技術公布日：2024/9/29