本發(fā)明涉及直寫式曝光系統(tǒng)，尤其是涉及一種光學(xué)擴(kuò)展模組和具有其的光學(xué)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、相關(guān)技術(shù)中的光學(xué)擴(kuò)展模組，通常僅僅支持單種倍率透鏡的使用，按照所需透鏡倍率和設(shè)備指標(biāo)，通常只能在某一種制程的產(chǎn)品使用，滿足高階設(shè)備的解析，就無法滿足中低階設(shè)備的產(chǎn)能；或者滿足中低階的產(chǎn)能，就無法兼顧高階產(chǎn)品的解析力。

2、但是，高中低階曝光設(shè)備同時購買，這樣會增加了客戶總擁有成本，也大大降低了利潤；如果僅僅購買高解析設(shè)備，雖然可以滿足中低階產(chǎn)品的解析能力，但無法獲得中低階曝光設(shè)備的產(chǎn)能，

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明的一個目的在于提出一種光學(xué)擴(kuò)展模組，該光學(xué)擴(kuò)展模組同一模組具有不同的倍率成像系統(tǒng)，提高了產(chǎn)品的兼容性等優(yōu)點(diǎn)。

2、本發(fā)明還提出了一種具有光學(xué)擴(kuò)展模組的光學(xué)系統(tǒng)。

3、為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例提出了一種光學(xué)擴(kuò)展模組，包括：空間光調(diào)制器，所述空間光調(diào)制器構(gòu)造有主成像鏡頭；擴(kuò)展鏡組，所述擴(kuò)展鏡組設(shè)置于所述主成像鏡頭的一側(cè)，所述擴(kuò)展鏡組通過所述主成像鏡頭、所述擴(kuò)展鏡組以形成多個展開光路，所述展開光路包括多個第一展開光路和多個第二展開光路；多個第一倍率透鏡，所述第一倍率透鏡與所述第一展開光路一一對應(yīng)設(shè)置，所述第一倍率透鏡設(shè)置于所述擴(kuò)展鏡組的遠(yuǎn)離所述空間光調(diào)制器的一側(cè)，所述第一展開光路適于在第一曝光基底成像；多個第二倍率透鏡，所述第二倍率透鏡的成像倍率大于所述第一倍率透鏡的成像倍率，所述第二倍率透鏡與所述第二展開光路一一對應(yīng)設(shè)置，所述第二倍率透鏡設(shè)置于所述擴(kuò)展鏡組的遠(yuǎn)離所述光制調(diào)制器的一側(cè)，所述第二展開光路適于在第二曝光基底成像。

4、根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)擴(kuò)展模組，通過空間光調(diào)制器發(fā)射出的光束被擴(kuò)展鏡組有效利用形成多個展開光路，意味著同時產(chǎn)生多束光線進(jìn)行利用，提高了光學(xué)處理的效果，相比于單束光的處理，多束光的并行處理顯著提升了單位時間內(nèi)可以處理的光信息量，從而提高了線路的曝光效率。拓展鏡組通過主成像鏡頭形成多束展開光束，而光學(xué)拓展模組集成多個第一倍率透鏡和第二倍率透鏡，多束展開光束分別對應(yīng)第一倍率透鏡和第二倍率透鏡，在同一個光學(xué)拓展模組中，用戶可以根據(jù)不同的應(yīng)用需求可以選擇第二倍率透鏡和第一倍率透鏡的使用，當(dāng)量產(chǎn)料號需要使用低倍率進(jìn)行解析，則光刻數(shù)據(jù)自動顯示在空間光調(diào)制器進(jìn)行顯示，通過對應(yīng)的擴(kuò)展鏡組進(jìn)行投影曝光。當(dāng)量產(chǎn)料號需要使用高倍率進(jìn)行解析，則光刻數(shù)據(jù)自動顯示在空間光調(diào)制器進(jìn)行顯示，通過對應(yīng)的擴(kuò)展鏡組進(jìn)行投影曝光，這樣既滿足中低階產(chǎn)品的產(chǎn)能，又能滿足高階產(chǎn)品的解析力，提高了光學(xué)拓展模組的兼容性。

5、其中，可以將空間光調(diào)制器面劃分為m部分，每部分可單獨(dú)控制，其中m取值為大于1的自然數(shù)，根據(jù)劃分的m部分，每部分由擴(kuò)展鏡組進(jìn)行成像，而多個第一倍率透鏡和多個第二倍率透鏡的放大倍率不同，可以同時適合高解析力產(chǎn)品和低解析能力產(chǎn)品，根據(jù)設(shè)定的m，將相同倍率的成像系統(tǒng)投影到同一個曝光面上，不同倍率可在不同曝光面上，亦可在同一曝光面上。

6、因此，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)擴(kuò)展模組，同一模組具有不同的倍率成像系統(tǒng)，提高了產(chǎn)品的兼容性等優(yōu)點(diǎn)。

7、根據(jù)本發(fā)明的一些具體實(shí)施例，所述擴(kuò)展鏡組具有反射鏡組和/或棱鏡組，且包括：第一擴(kuò)展鏡組，所述第一擴(kuò)展鏡組內(nèi)形成多個第一光路；第二擴(kuò)展鏡組，所述第二擴(kuò)展鏡組內(nèi)形成多個第二光路；其中，所述第一擴(kuò)展鏡組、所述第二擴(kuò)展單元組的進(jìn)光區(qū)域與所述空間光調(diào)制器的位置對應(yīng)，每個所述第一擴(kuò)展鏡組的出光區(qū)域彼此間隔且分別對應(yīng)一個所述第一倍率透鏡，每個所述第二擴(kuò)展單元組的出光區(qū)域彼此間隔且分別對應(yīng)一個所述第二倍率透鏡。

8、根據(jù)本發(fā)明的一些具體實(shí)施例，所述第一擴(kuò)展鏡組包括：第一擴(kuò)展單元和第二擴(kuò)展單元；所述第二擴(kuò)展鏡組包括：第三擴(kuò)展單元和第四擴(kuò)展單元；其中，所述第一擴(kuò)展單元、所述第二擴(kuò)展單元、所述第三擴(kuò)展單元和所述第四擴(kuò)展單元的進(jìn)光區(qū)域并排排列成多行且與所述主成像鏡頭對應(yīng)；所述第一擴(kuò)展單元、所述第二擴(kuò)展單元、所述第三擴(kuò)展單元和所述第四擴(kuò)展單元的出光區(qū)域展開成多列，多個所述第一倍率透鏡以及多個所述第二倍率透鏡均排列于不同行和不同列。

9、根據(jù)本發(fā)明的一些具體實(shí)施例，所述第一擴(kuò)展單元、所述第二擴(kuò)展單元和所述第三擴(kuò)展單元的進(jìn)光區(qū)域處于同一平面內(nèi)；所述第一擴(kuò)展單元、所述第二擴(kuò)展單元和所述第三擴(kuò)展單元的出光區(qū)域處于同一平面內(nèi)。

10、根據(jù)本發(fā)明的一些具體實(shí)施例，所述第一擴(kuò)展單元包括：第一反射鏡組和第一棱鏡，所述第一棱鏡連接所述第一反射鏡組且內(nèi)部形成第一光路；所述第二擴(kuò)展單元包括：第二反射鏡組和第二棱鏡，所述第二棱鏡連接所述第二反射鏡組且內(nèi)部形成第二光路；所述第三擴(kuò)展單元包括：第三反射鏡組和第三棱鏡，所述第三棱鏡連接所述第三反射鏡組且內(nèi)部形成第三光路；所述第四擴(kuò)展單元包括：第四反射鏡組和第四棱鏡，所述第四棱鏡連接所述第四反射鏡組且內(nèi)部形成第四光路。

11、根據(jù)本發(fā)明的一些具體實(shí)施例，所述第一棱鏡和所述第二棱鏡的進(jìn)光區(qū)域彼此間隔排列，所述第三棱鏡的進(jìn)光區(qū)域位于所述第一棱鏡和所述第二棱鏡之間，所述第四棱鏡的進(jìn)光區(qū)域位于所述第三棱鏡的遠(yuǎn)離所述第二棱鏡的一側(cè)。

12、根據(jù)本發(fā)明的一些具體實(shí)施例，所述第一反射鏡組包括兩個平行設(shè)置的第一反射鏡，兩個所述第一反射鏡位于所述擴(kuò)展鏡組厚度方向的一側(cè)；所述第二反射鏡組包括兩個平行設(shè)置的第二反射鏡，兩個所述第二反射鏡位于所述擴(kuò)展鏡組厚度方向的另一側(cè)；所述第三反射鏡組包括兩個平行設(shè)置的第三反射鏡，其中一個所述第三反射鏡在所述擴(kuò)展鏡組的厚度方向上位于所述第一反射鏡組和所述第二反射鏡組之間，另一個所述第三反射鏡在所述擴(kuò)展鏡組的厚度方向上位于所述第二反射鏡組的外側(cè)；所述第四反射鏡組包括兩個平行設(shè)置的第四反射鏡，兩個所述第四反射鏡在所述擴(kuò)展鏡組的厚度方向上排列且位于所述第二反射鏡組的外側(cè)；其中，所述第一反射鏡組、所述第二反射鏡組和所述第三反射鏡組的出光區(qū)域在所述擴(kuò)展鏡組的厚度方向錯開排列。

13、根據(jù)本發(fā)明的一些具體實(shí)施例，第一擴(kuò)展單元和第二擴(kuò)展單元、第三擴(kuò)展單元和第四擴(kuò)展單元的進(jìn)光區(qū)域均構(gòu)造成矩形且并排排列；所述第一擴(kuò)展單元和第二擴(kuò)展單元、第三擴(kuò)展單元和第四擴(kuò)展單元的出光區(qū)域均構(gòu)造成矩形且沿平行四邊形排列。

14、根據(jù)本發(fā)明第二方面的實(shí)施例提出了一種光學(xué)系統(tǒng)，包括根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的光學(xué)擴(kuò)展模組，多個所述光學(xué)擴(kuò)展模組陣列排布。

15、根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)系統(tǒng)，通過利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)擴(kuò)展模組，同一模組具有不同的倍率成像系統(tǒng)，提高了產(chǎn)品的兼容性等優(yōu)點(diǎn)。

16、根據(jù)本發(fā)明的一些具體實(shí)施例，多個所述擴(kuò)展鏡組的出光區(qū)域均在其厚度方向錯開排列成多行；不同的所述光學(xué)擴(kuò)展模組的擴(kuò)展鏡組的出光區(qū)域沿其所在的行陣列排布。

17、本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種光學(xué)擴(kuò)展模組，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)擴(kuò)展模組，其特征在于，所述擴(kuò)展鏡組具有反射鏡組和/或棱鏡組，且包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)擴(kuò)展模組，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)擴(kuò)展模組，其特征在于，所述第一擴(kuò)展單元、所述第二擴(kuò)展單元和所述第三擴(kuò)展單元、所述第四擴(kuò)展單元的進(jìn)光區(qū)域處于同一平面內(nèi)；

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)擴(kuò)展模組，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)擴(kuò)展模組，其特征在于，所述第一棱鏡和所述第二棱鏡的進(jìn)光區(qū)域彼此間隔排列，所述第三棱鏡的進(jìn)光區(qū)域位于所述第一棱鏡和所述第二棱鏡之間，所述第四棱鏡的進(jìn)光區(qū)域位于所述第三棱鏡的遠(yuǎn)離所述第二棱鏡的一側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)擴(kuò)展模組，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)擴(kuò)展模組，其特征在于，所述第一擴(kuò)展單元和所述第二擴(kuò)展單元、所述第三擴(kuò)展單元和所述第四擴(kuò)展單元的進(jìn)光區(qū)域均構(gòu)造成矩形且并排排列；

9.一種光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，包括：多個根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的光學(xué)擴(kuò)展模組，多個所述光學(xué)擴(kuò)展模組陣列排布。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，多個所述擴(kuò)展鏡組的出光區(qū)域均在其厚度方向錯開排列成多行；

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種光學(xué)擴(kuò)展模組和具有其的光學(xué)系統(tǒng)，光學(xué)擴(kuò)展模組包括：空間光調(diào)制器，空間光調(diào)制器構(gòu)造有主成像鏡頭；擴(kuò)展鏡組，擴(kuò)展鏡組設(shè)置于主成像鏡頭的一側(cè)，擴(kuò)展鏡組通過主成像鏡頭、擴(kuò)展鏡組以形成多個展開光路，展開光路包括第一展開光路和第二展開光路；第一倍率透鏡，第一倍率透鏡與第一展開光路一一對應(yīng)設(shè)置，第一倍率透鏡設(shè)置于擴(kuò)展鏡組的遠(yuǎn)離空間光調(diào)制器的一側(cè)；第二倍率透鏡，第二倍率透鏡的成像倍率大于第一倍率透鏡的成像倍率，第二倍率透鏡與第二展開光路一一對應(yīng)設(shè)置，第二倍率透鏡設(shè)置于擴(kuò)展鏡組的遠(yuǎn)離光制調(diào)制器的一側(cè)。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光學(xué)擴(kuò)展模組，同一模組具有不同的倍率成像系統(tǒng)，提高了產(chǎn)品的兼容性等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：趙美云,曲魯杰,蔡銀銀,程剛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/9/29