本申請涉及半導(dǎo)體，具體涉及一種光刻機(jī)及附屬設(shè)備的冷卻水排水裝置及其使用方法。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體器件的各種加工工藝中，光刻處于硅片加工工程的中心環(huán)節(jié)，其本質(zhì)是把臨時電路結(jié)構(gòu)復(fù)制到需要進(jìn)行刻蝕和離子注入的硅片上，該步驟利用曝光和顯影在光刻膠上刻畫特征圖形，然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到襯底上。對于光刻機(jī)及附屬設(shè)備來說，由于機(jī)臺內(nèi)部含有大量發(fā)熱光源和發(fā)熱控制模塊等零部件，需用工藝?yán)鋮s水冷卻，同時水管冷卻部件布置其中。當(dāng)機(jī)臺發(fā)生故障，需要更換部件時，首先需要排除機(jī)臺內(nèi)冷卻水，才能拆除零部件上的冷卻水管并進(jìn)行更換。

2、現(xiàn)有離線排水工具中，只有氣管和普通排水管，盛水裝置就是如圖1所示的普通水桶或水箱，裝滿水后需要不停的倒水再排水，倒水不便的同時由于水壓過大，有時水花濺射出來，影響精密設(shè)備部件和人員安全，會造成重大安全隱患。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本申請的目的在于提供一種光刻機(jī)及附屬設(shè)備的冷卻水排水裝置及其使用方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中機(jī)臺裝置排水直接裝入普通水桶或水箱，倒水不便，且排水過程中容易濺射出水花，影響周邊部件的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的及其它相關(guān)目的，本申請?zhí)峁┮环N光刻機(jī)及附屬設(shè)備的冷卻水排水裝置，包括：

3、一水箱箱體，頂部設(shè)置有可翻轉(zhuǎn)的水箱蓋，底部四角設(shè)置有滾輪；

4、一水管快接頭，設(shè)置于水箱箱體的側(cè)面；

5、一排水管，一端連接水箱快接頭，另一端連接光刻機(jī)及附屬設(shè)備的機(jī)臺裝置排水口接頭；

6、一氣源裝置，該氣源裝置儲存或產(chǎn)生壓縮空氣；以及

7、一導(dǎo)氣管，一端連接氣源裝置，另一端連接光刻機(jī)及附屬設(shè)備的機(jī)臺裝置進(jìn)氣口。

8、優(yōu)選的，水管快接頭設(shè)置于水箱箱體側(cè)面的下部。

9、優(yōu)選的，水管快接頭采用快插等徑直接式水管快接頭。

10、優(yōu)選的，排水管采用外徑為20mm的ppr管。

11、優(yōu)選的，儲存壓縮空氣的氣源裝置包括儲氣瓶或儲氣罐。

12、優(yōu)選的，產(chǎn)生壓縮空氣的氣源裝置包括空氣泵。

13、本申請還提供一種如上述光刻機(jī)及附屬設(shè)備的冷卻水排水裝置的使用方法，排水前，用排水管連接光刻機(jī)及附屬設(shè)備的機(jī)臺裝置排水口接頭和水管快接頭，用導(dǎo)氣管連接光刻機(jī)及附屬設(shè)備的機(jī)臺裝置進(jìn)氣口和氣源裝置，在機(jī)臺裝置關(guān)閉總進(jìn)水閥門后，打開機(jī)臺裝置進(jìn)氣口開關(guān)和出水口開關(guān)；排水后至水箱箱體即將盛滿水時，關(guān)閉機(jī)臺裝置內(nèi)出水閥和進(jìn)氣閥，拔出水箱箱體側(cè)面的排水管將水箱箱體推至專用水池將水倒出。

14、如上所述，本申請?zhí)峁┑墓饪虣C(jī)及附屬設(shè)備的冷卻水排水裝置及其使用方法，具有以下有益效果：操作簡單，方便快捷，成本低廉，抽水效果好，具備防濺水功能，保證光刻機(jī)及附屬設(shè)備周圍精密部件不被損壞。

技術(shù)特征：

1.一種光刻機(jī)及附屬設(shè)備的冷卻水排水裝置，其特征在于，所述排水裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排水裝置，其特征在于，所述水管快接頭(102)設(shè)置于所述水箱

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的排水裝置，其特征在于，所述水管快接頭(102)采用快插等

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排水裝置，其特征在于，所述排水管(103)采用外徑為20mm的

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排水裝置，其特征在于，所述儲存壓縮空氣的氣源裝置(106)包

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排水裝置，其特征在于，所述產(chǎn)生壓縮空氣的氣源裝置(106)包

7.一種如權(quán)利要求1-6所述的排水裝置的使用方法，其特征在于，排水前，用所述排水

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┮环N光刻機(jī)及附屬設(shè)備的冷卻水排水裝置及其使用方法，該光刻機(jī)及附屬設(shè)備的冷卻水排水裝置包括：一水箱箱體，頂部設(shè)置有可翻轉(zhuǎn)的水箱蓋，底部四角設(shè)置有滾輪；一水管快接頭，設(shè)置于水箱箱體的側(cè)面；一排水管，一端連接水箱快接頭，另一端連接光刻機(jī)及附屬設(shè)備的機(jī)臺裝置排水口接頭；一氣源裝置，該氣源裝置儲存或產(chǎn)生壓縮空氣；以及一導(dǎo)氣管，一端連接氣源裝置，另一端連接光刻機(jī)及附屬設(shè)備的機(jī)臺裝置進(jìn)氣口。通過本申請實(shí)現(xiàn)操作簡單，提高效率，同時保證光刻機(jī)及附屬設(shè)備周圍精密部件不被損壞的目的。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭華明,徐曉敏,黃俊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華力集成電路制造有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21