本技術(shù)屬于芯片生產(chǎn)，尤其涉及一種芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)。

背景技術(shù)：

1、隨著科技的快速發(fā)展，芯片被廣泛應(yīng)用于電視、電腦、手機(jī)等電子產(chǎn)品中，液晶顯示器的生產(chǎn)過程中，芯片生產(chǎn)需要經(jīng)過多次涂膠、曝光、顯影等操作，涂膠顯影設(shè)備是關(guān)鍵的裝置之一，它決定了芯片的品質(zhì)和性能。

2、然而，在利用現(xiàn)有的涂膠顯影設(shè)備進(jìn)行芯片生產(chǎn)時，由于涂膠過程中使用的膠具有一定的揮發(fā)性，會產(chǎn)生大量的揮發(fā)性溶劑，這些揮發(fā)性溶劑不僅會對環(huán)境造成污染，破壞生產(chǎn)車間的空氣質(zhì)量，還會對操作人員的健康造成潛在的危害。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型提供一種芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，旨在解決目前現(xiàn)有涂膠顯影設(shè)備在涂膠過程中，由于膠的揮發(fā)性造成環(huán)境污染的問題。

2、本實用新型是這樣實現(xiàn)的，一種芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，包括：機(jī)身，所述機(jī)身的頂部設(shè)置有工作臺；設(shè)置在所述工作臺上用于放置顯影待涂膠芯片的放置平臺；設(shè)置在所述放置平臺上方用于對芯片涂膠處理的涂膠機(jī)構(gòu)；固定在所述工作臺一側(cè)用于裝配所述涂膠機(jī)構(gòu)的頂板；設(shè)置在所述工作臺上用于驅(qū)動所述放置平臺運動的電動滑軌，所述電動滑軌的輸出塊與所述放置平臺固定連接；固定在所述工作臺上的安裝殼，所述安裝殼上設(shè)置有用于凈化處理揮發(fā)性溶解劑的凈化箱；設(shè)置在所述安裝殼的頂部內(nèi)壁上用于收集揮發(fā)性溶解劑的收集管；固定在所述安裝殼上用于配合所述收集管抽送揮發(fā)性溶解劑至所述凈化箱內(nèi)的風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)端與所述收集管的出風(fēng)端固定連接，所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)端上固定安裝有連接管，所述連接管的出風(fēng)端與所述凈化箱固定連通；設(shè)置在所述安裝殼上用于中和處理膠水異味的異味中和機(jī)構(gòu)。

3、優(yōu)選地，所述異味中和機(jī)構(gòu)包括：固定在所述安裝殼頂部用于盛放除味液中和處理膠水異味的除味箱；設(shè)置在所述除味箱的內(nèi)用于導(dǎo)送氣體的連通管，所述連通管的進(jìn)氣端延伸出所述除味箱外并于所述凈化箱固定連通；轉(zhuǎn)動安裝在所述除味箱內(nèi)用于攪拌除味液的攪拌桿，所述攪拌桿的軸桿頂端延伸出所述除味箱外；固定在所述除味箱的頂部用于驅(qū)動所述攪拌桿轉(zhuǎn)動的電機(jī)，所述電機(jī)的輸出軸與所述攪拌桿的軸桿固定連接。

4、優(yōu)選地，所述除味箱的頂部開設(shè)有補液口，所述補液就內(nèi)設(shè)置有插拔式塞蓋，所述塞蓋上固定連通有排放氣體的排氣管。

5、優(yōu)選地，所述凈化箱內(nèi)設(shè)置有若干用于凈化膠水異味的可拆卸式濾板，所述凈化箱的頂部鉸接有箱蓋，所述箱蓋的頂部固定有用于抓握的把手。

6、優(yōu)選地，所述安裝殼的一側(cè)開設(shè)有觀察口，所述觀察口內(nèi)鑲嵌有透明玻璃，所述安裝殼的頂部開設(shè)有與所述收集管的出風(fēng)端相適配的管孔。

7、優(yōu)選地，所述涂膠機(jī)構(gòu)包括:固定在頂板上的電動伸縮桿；裝配在所述電動伸縮桿的輸出桿頂端上的連接桿；裝配在所述連接桿底端上的涂膠器。

8、優(yōu)選地，所述安裝殼的上開設(shè)有可供所述放置平臺通口，所述除味箱的一側(cè)開設(shè)有用于更換除味液時排液的排液管，所述排液管上設(shè)置有閥門。

9、優(yōu)選地，所述機(jī)身的底部對稱固定安裝有若干支撐柱，若干所述支撐柱的底端上均固定安裝有防滑腳墊。

10、與相關(guān)技術(shù)相比較，本實用新型提供的芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)具有如下有益效果：

11、通過設(shè)置電動滑軌驅(qū)動放置平臺的運動，可以方便地調(diào)整涂膠機(jī)構(gòu)與芯片之間的相對位置，從而提高涂膠的精度和效率，進(jìn)而提高芯片的生產(chǎn)效率和合格率，通過收集管和風(fēng)機(jī)配合使用，可以將涂膠過程中產(chǎn)生的揮發(fā)性溶劑收集起來，并通過凈化箱進(jìn)行凈化處理，同時，凈化箱內(nèi)部設(shè)有異味中和機(jī)構(gòu)，有效地中和涂膠過程中產(chǎn)生的膠水異味，進(jìn)一步改善工作環(huán)境，保護(hù)操作人員的健康；通過收集管和風(fēng)機(jī)將揮發(fā)性溶劑收集起來，并經(jīng)過凈化箱的凈化處理，有效減少了對環(huán)境的污染，符合環(huán)保要求。

技術(shù)特征：

1.一種芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，其特征在于，所述異味中和機(jī)構(gòu)包括：

3.如權(quán)利要求2所述的芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，其特征在于，所述除味箱(11)的頂部開設(shè)有補液口，所述補液口內(nèi)設(shè)置有插拔式塞蓋(15)，所述塞蓋(15)上固定連通有排放氣體的排氣管(16)。

4.如權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，其特征在于，所述凈化箱(8)內(nèi)設(shè)置有若干用于凈化膠水異味的可拆卸式濾板(17)，所述凈化箱(8)的頂部鉸接有箱蓋(18)，所述箱蓋(18)的頂部固定有用于抓握的把手。

5.如權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，其特征在于，所述安裝殼(7)的一側(cè)開設(shè)有觀察口，所述觀察口內(nèi)鑲嵌有透明玻璃(19)，所述安裝殼(7)的頂部開設(shè)有與所述收集管(9)的出風(fēng)端相適配的管孔。

6.如權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，其特征在于，所述涂膠機(jī)構(gòu)(4)包括:

7.如權(quán)利要求2所述的芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，其特征在于，所述安裝殼(7)的上開設(shè)有可供所述放置平臺(3)通口，所述除味箱(11)的一側(cè)開設(shè)有用于更換除味液時排液的排液管，所述排液管上設(shè)置有閥門。

8.如權(quán)利要求1所述的芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，其特征在于，所述機(jī)身(1)的底部對稱固定安裝有若干支撐柱，若干所述支撐柱的底端上均固定安裝有防滑腳墊。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)適用于芯片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)，包括機(jī)身，所述機(jī)身的頂部設(shè)置有工作臺；設(shè)置在所述工作臺上用于放置顯影待涂膠芯片的放置平臺；設(shè)置在所述放置平臺上方用于對芯片涂膠處理的涂膠機(jī)構(gòu)；固定在所述工作臺一側(cè)用于裝配所述涂膠機(jī)構(gòu)的頂板；設(shè)置在所述工作臺上用于驅(qū)動所述放置平臺運動的電動滑軌，所述電動滑軌的輸出塊與所述放置平臺固定連接；固定在所述工作臺上的安裝殼，所述安裝殼上設(shè)置有用于凈化處理揮發(fā)性溶解劑的凈化箱。本方案提供的芯片生產(chǎn)用顯影機(jī)同時具備常規(guī)的顯影涂膠功能，且能夠收集凈化處理影涂膠時產(chǎn)生的揮發(fā)性溶劑，從而減少對環(huán)境的污染，改善工作環(huán)境。

技術(shù)研發(fā)人員：鄒長廣,褚明輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢萬贏半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240306
技術(shù)公布日：2024/10/21