精密測長機的遮蔽裝置的制造方法
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種遮蔽(Shutter)裝置，特別涉及一種用于液晶顯示領(lǐng)域的精密測長機的遮蔽裝置。
【【背景技術(shù)】】
[0002]精密測長機TTP(Total Pi tch)機臺是薄膜晶體管液晶顯示器(Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display ,TFT-LCD)制程重要的光學(xué)量測機臺，主要用于TFT基板/CF(彩色濾光片基板)基板第一層圖案制作時曝光機曝光精度參數(shù)總間距(TotalPitch)的量測，其量測結(jié)果直接決定了后續(xù)圖像制程的曝光對位，以及最終對組貼合的精度。
[0003]Total Pitch量測的基本原理是激光的邁克爾遜干涉，通過干涉條紋強度計算距離。激光的穩(wěn)定性易受溫度影響，所以需要保證機臺和量測的玻璃均保持在恒溫狀態(tài)，一般是將機臺放置于恒溫室中，溫度保持為23±0.1°C。玻璃則是先進入機臺外的冷卻緩沖機構(gòu)(Cooling Buffer)，定時恒溫后再透過機械手搬入機臺量測。
[0004]然而，恒溫室外界的無塵環(huán)境的溫度控制在23±0.5°C，在將玻璃搬送入恒溫室時，恒溫室與外界是相通的，而會造成恒溫室溫度的細小變化，會導(dǎo)致玻璃進入機臺后在量測過程中因溫度變化產(chǎn)生熱脹冷縮效應(yīng)，影響Total Pitch的量測準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
[0005]由上可知，業(yè)界迫切需要一種運送玻璃時確保恒溫室溫度保持固定的裝置，以提高量測的準(zhǔn)確性。
【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0006]本發(fā)明的個目的在于提供一種精密測長機的遮蔽裝置，其透過熱風(fēng)噴頭產(chǎn)生熱風(fēng)氣流，阻隔了腔體內(nèi)外的熱交換，確保了精密測長機所在的恒溫室的溫度恒定，防止基板產(chǎn)生溫度細微變化，保證了Total Pitch的量測準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。
[0007]為解決上述問題，本發(fā)明的優(yōu)選實施例提供了一種精密測長機的遮蔽裝置，用于隔絕腔體內(nèi)外溫度交換，所述遮蔽裝置包括:遮蔽門，設(shè)置于腔體上，用于進行所述腔體的開/關(guān)動作；以及至少二熱風(fēng)噴頭，設(shè)置于腔體之壁面并位于所述遮蔽門的左右兩側(cè)，用于當(dāng)所述遮蔽門打開時噴出干潔氣體(Clean Dry Air，CDA)以防止所述腔體與腔體外界溫度交換。
[0008]在本發(fā)明優(yōu)選實施例的遮蔽裝置中，所述遮蔽門是平行所述腔體的壁面往下打開。
[0009]在本發(fā)明優(yōu)選實施例的遮蔽裝置中，所述干潔氣體形成溫度均勻的水平的熱風(fēng)氣流。
[0010]在本發(fā)明優(yōu)選實施例的遮蔽裝置中，所述至少二熱風(fēng)噴頭包括在所述遮蔽門左側(cè)的三個垂直排列的熱風(fēng)噴頭，并包括在所述遮蔽門右側(cè)的三個垂直排列的熱風(fēng)噴頭。在本實施例中，所述左側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭水平對應(yīng)所述右側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭。在另一實施例中，所述左側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭垂直的交錯所述右側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭。
[0011]在本發(fā)明優(yōu)選實施例的遮蔽裝置中，所述精密測長機的遮蔽裝置進一步包括CDA氣源，并透過管路連接CDA氣源與所述至少二熱風(fēng)噴頭。在本實施例中，所述管路上設(shè)有溫度傳感器，以維持噴出CDA的溫度。
[0012]相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的精密測長機的遮蔽裝置透過熱風(fēng)噴頭產(chǎn)生水平熱風(fēng)氣流，阻隔了腔體內(nèi)外的熱交換，確保了精密測長機所在的腔體的溫度恒定，防止玻璃基板產(chǎn)生溫度細微變化，進而保證了精密測長機量測Total Pitch的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。
[0013]為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下:
【【附圖說明】】
[0014]圖1為本發(fā)明優(yōu)選實施例的精密測長機的遮蔽裝置的正視示意圖；
[0015]圖2為圖1的遮蔽裝置在打開腔體的正視示意圖；
[0016]圖3為本發(fā)明另一優(yōu)選實施例的精密測長機的遮蔽裝置在打開腔體的正視示意圖。
【【具體實施方式】】
[0017]以下各實施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實施的特定實施例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「側(cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。
[0018]在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號表示。
[0019]參照圖1及圖2，圖1為本發(fā)明優(yōu)選實施例的精密測長機的遮蔽裝置的正視示意圖，圖2為圖1的遮蔽裝置在打開腔體的正視示意圖。
[0020]如圖1所示，本發(fā)明的優(yōu)選實施例提供的精密測長機的遮蔽裝置10用于隔絕腔體20內(nèi)外溫度交換，其中精密測長機(圖未示)設(shè)置于腔體20內(nèi)，精密測長機用于量測TFT基板/CF(彩色濾光片基板)基板(圖未示)第一層圖案制作時曝光機曝光精度參數(shù)總間距(Total Pitch)。
[0021]本實施例的遮蔽裝置10包括遮蔽門(Shutter)120、至少二熱風(fēng)噴頭140、干潔氣體(CDA)氣源160及管路170。如圖所示，遮蔽門120設(shè)置于腔體20上，用于進行所述腔體20的開/關(guān)動作。在此實施例中，遮蔽門120是平行所述腔體20的壁面22往下打開，再往上關(guān)閉，如雙箭頭所示。如圖2所示，當(dāng)欲進行Total Pitch量測時，遮蔽門120會下降而打開腔體20，此時機械手(圖未示)會將TFT基板/CF基板送入腔體內(nèi)的精密測長機，待放置完成后，如圖1所示，遮蔽門120再上升關(guān)閉腔體20。
[0022]如圖2所示，至少二熱風(fēng)噴頭140設(shè)置于腔體20之壁面22并位于所述遮蔽門120的左右兩側(cè)。具體而言，熱風(fēng)噴頭140用于當(dāng)所述遮蔽門120打開時噴出如箭頭所示之干潔氣體(Clean Dry Air，⑶A)以防止所述腔體20與腔體外界溫度交換，并起到阻擋灰塵粒子的作用。進一步而言，所述CDA形成溫度均勻的水平的熱風(fēng)氣流30，而形成一道氣墻，阻隔腔體20與外界的熱交換。
[0023]如圖2所示，所述至少二熱風(fēng)噴頭140包括在所述遮蔽門120左側(cè)的三個垂直排列的熱風(fēng)噴頭141、142、143，并包括在所述遮蔽門12右側(cè)的三個垂直排列的熱風(fēng)噴頭144、145、146。在此實施例中，所述左側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭141、142、143水平對應(yīng)所述右側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭144、145、146。
[0024]參照圖3，圖3為本發(fā)明另一優(yōu)選實施例的精密測長機的遮蔽裝置在打開腔體的正視示意圖。在此另一實施例中，所述左側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭141、142、143垂直的交錯所述右側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭144、145、146。值得注意的是，本發(fā)明并不限制熱風(fēng)噴頭的數(shù)量及排列方式，其他如四個、五個、六個等熱風(fēng)噴頭及其他的排列方式，都在本發(fā)明的范圍中。
[0025]如圖1所示，所述⑶A氣源160透過管路連接⑶A氣源與所述至少二熱風(fēng)噴頭140。在本實施例中，所述管路170上設(shè)有溫度傳感器172，以維持噴出CDA的溫度。舉例來說，CDA氣源160送到熱風(fēng)噴頭140前，可通過溫度控制系統(tǒng)(未圖示)進行溫度控制。舉例來說，可透過預(yù)加熱裝置(未圖示)的預(yù)加熱形成溫度保持在23°C的CDA，使得從熱風(fēng)噴頭140吹出時形成溫度均勻的的熱風(fēng)氣流30。
[0026]另外，本發(fā)明的遮蔽裝置還可包括⑶A流量控制系統(tǒng)(圖未示)，⑶A流量控制系統(tǒng)連接CDA氣源160，可調(diào)節(jié)CDA送出的流量，使得玻璃送入時的穩(wěn)定性不受影響。
[0027]綜上所述，本發(fā)明的精密測長機的遮蔽裝置10透過熱風(fēng)噴頭140產(chǎn)生水平熱風(fēng)氣流30，阻隔了腔體20內(nèi)外的熱交換，確保了精密測長機所在的腔體20的溫度恒定，防止玻璃基板產(chǎn)生溫度細微變化，進而保證了精密測長機量測Total Pitch的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。
[0028]盡管已經(jīng)相對于一個或多個實現(xiàn)方式示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員基于對本說明書和附圖的閱讀和理解將會想到等價變型和修改。本發(fā)明包括所有這樣的修改和變型，并且僅由所附權(quán)利要求的范圍限制。特別地關(guān)于由上述組件執(zhí)行的各種功能，用于描述這樣的組件的術(shù)語旨在對應(yīng)于執(zhí)行所述組件的指定功能(例如其在功能上是等價的)的任意組件(除非另外指示)，即使在結(jié)構(gòu)上與執(zhí)行本文所示的本說明書的示范性實現(xiàn)方式中的功能的公開結(jié)構(gòu)不等同。此外，盡管本說明書的特定特征已經(jīng)相對于若干實現(xiàn)方式中的僅一個被公開，但是這種特征可以與如可以對給定或特定應(yīng)用而言是期望和有利的其他實現(xiàn)方式的一個或多個其他特征組合。而且，就術(shù)語“包括”、“具有”、“含有”或其變形被用在【具體實施方式】或權(quán)利要求中而言，這樣的術(shù)語旨在以與術(shù)語“包含”相似的方式包括。
[0029]雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實施例揭露如上，但上述優(yōu)選實施例幷非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項】
1.一種精密測長機的遮蔽裝置，用于隔絕腔體內(nèi)外溫度交換，其特征在于，所述遮蔽裝置包括: 遮蔽門，設(shè)置于腔體上，用于進行所述腔體的開/關(guān)動作；以及 至少二熱風(fēng)噴頭，設(shè)置于腔體之壁面并位于所述遮蔽門的左右兩側(cè)，用于當(dāng)所述遮蔽門打開時噴出干潔氣體以防止所述腔體與腔體外界溫度交換。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密測長機的遮蔽裝置，其特征在于，所述遮蔽門是平行所述腔體的壁面往下打開。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密測長機的遮蔽裝置，其特征在于，所述干潔氣體形成溫度均勻的水平的熱風(fēng)氣流。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密測長機的遮蔽裝置，其特征在于，所述至少二熱風(fēng)噴頭包括在所述遮蔽門左側(cè)的三個垂直排列的熱風(fēng)噴頭，并包括在所述遮蔽門右側(cè)的三個垂直排列的熱風(fēng)噴頭。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的精密測長機的遮蔽裝置，其特征在于，所述左側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭水平對應(yīng)所述右側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的精密測長機的遮蔽裝置，其特征在于，所述左側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭垂直的交錯所述右側(cè)的三個熱風(fēng)噴頭。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密測長機的遮蔽裝置，其特征在于，所述精密測長機的遮蔽裝置進一步包括CDA氣源，并透過管路連接CDA氣源與所述至少二熱風(fēng)噴頭。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的精密測長機的遮蔽裝置，其特征在于，所述管路上設(shè)有溫度傳感器，以維持噴出CDA的溫度。
【專利摘要】本發(fā)明的優(yōu)選實施例提供了一種精密測長機的遮蔽裝置，用于隔絕腔體內(nèi)外溫度交換，所述遮蔽裝置包括：遮蔽門，設(shè)置于腔體上，用于進行所述腔體的開/關(guān)動作；以及至少二熱風(fēng)噴頭，設(shè)置于腔體之壁面并位于所述遮蔽門的左右兩側(cè)，用于當(dāng)所述遮蔽門打開時噴出干潔氣體以防止所述腔體與腔體外界溫度交換，保證了精密測長機量測總間距的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。
【IPC分類】G02F1/13
【公開號】CN105549239
【申請?zhí)枴緾N201610121207
【發(fā)明人】楊二, 馬海買提, 陳中明
【申請人】武漢華星光電技術(shù)有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2016年3月3日