用于激光加工機的、用于激光射線的射線成形的光學(xué)組件的制作方法
【專利摘要】光學(xué)組件(1),用于改變激光射線(2)的正交的兩個射線橫截面軸線(a,b)在焦平面(F)中的比例,其根據(jù)本發(fā)明包括:準直光具(4),用于準直發(fā)散的激光射線(2a);布置在該準直光具(4)后面的柱面透鏡望遠鏡(5),用于僅在第二射線橫截面軸線(b)的方向上改變準直過的射線(2b)的射線橫截面,其中,該柱面透鏡望遠鏡(5)具有在射線方向(3)上具有正焦距、負焦距和正焦距的三個透鏡或透鏡組(51,52,53),與在所述柱面透鏡望遠鏡(5)的輸入部上相比,所述透鏡或透鏡組在所述柱面透鏡望遠鏡(5)的輸出部上產(chǎn)生在第二射線橫截面軸線(b)的方向上具有較小射線直徑和較大剩余發(fā)散度的準直過的射線(2c);以及布置在該柱面透鏡望遠鏡(5)后面的聚焦光具(6),用于聚焦在所述兩個射線橫截面軸線(a,b)的方向上準直過的激光射線(2b,2c)。
【專利說明】
用于激光加工機的、用于激光射線的射線成形的光學(xué)組件
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種光學(xué)組件,其用于改變激光射線的兩個正交的射線橫截面軸線在焦平面中的比例?!颈尘凹夹g(shù)】
[0002]在激光材料加工的不同任務(wù)中,例如在工件的去層或表面處理(例如拋光,熱處理)中以及在特定的焊接應(yīng)用或切割應(yīng)用中,所希望的是工件表面上的非圓形的焦點幾何形狀。在對工件去層或做表面處理時,激光射線通常被線形地聚焦到工件表面上。在此有利的是,線長度和線寬度之間的比例是可變的,以將加工光具構(gòu)型為能在多方面使用,或者, 以在工件特性或過程參數(shù)變化時不必更換整個加工光具。
[0003]用于改變聚焦到工件上的激光射線的直徑的最簡單的可能性在于聚焦光具在軸向上失調(diào)(Dejustierung)。在聚焦光具軸向移動時,加工平面從光具的焦平面運動出來。在此,利用在焦點后或焦點前發(fā)散的射線特性,以在工件表面產(chǎn)生較大的激光光斑。然而,激光射線的功率分布僅在焦平面中相應(yīng)于光纖激光器或光導(dǎo)光纖的光纖端部上的功率分布 (頂-帽輪廓,“Top-Hat”-Profil),所述光導(dǎo)光纖是如使用在具有固體激光器的機器上的那種光導(dǎo)光纖。而在散焦較大時,功率分布更相應(yīng)于角度分布(高斯輪廓)。由此,在該輪廓上形成強的功率密度波動。替代地,為了改變射線在焦平面中的直徑,必須改變所述光學(xué)系統(tǒng)的成像比例。為了該目的,該光學(xué)系統(tǒng)的透鏡組或單個透鏡(所謂的變化器)布置成可軸向移動。因為通過變化器的移動,激光射線的焦點位置同樣移動,所以在所述光學(xué)系統(tǒng)中必須布置可軸向移動的第二透鏡(透鏡組)。這種所謂的補償器用于,將焦點位置重新移動到初始位置。所述變化器和補償器的調(diào)整路程一般處于非線性的關(guān)系中。
[0004]為了改變光學(xué)系統(tǒng)的成像比例,由US 4,353,617已知,將可調(diào)整的無焦望遠鏡布置在激光光具的準直物鏡和聚焦物鏡之間的準直光路中。該無焦望遠鏡用于,將半導(dǎo)體激光器的具有橢圓形射線直徑的輸出射線變成具有圓形射線直徑的射線。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]相對地,本發(fā)明的任務(wù)在于,提供用于激光加工機的光學(xué)組件,通過該光學(xué)組件可改變或調(diào)整激光射線的兩個正交的射線橫截面軸線的比例并且尤其可在工件表面上產(chǎn)生盡可能為線形的射線焦點,所述射線焦點具有能無級調(diào)整的長寬比。
[0006]根據(jù)本發(fā)明,該任務(wù)通過一種光學(xué)組件解決,所述光學(xué)組件用于改變激光射線的兩個正交的射線橫截面軸線的比例,該光學(xué)組件具有:準直光具,用于準直發(fā)散的激光射線;布置在該準直光具后面的柱面透鏡望遠鏡,用于僅在第二射線橫截面軸線的方向上改變準直過的射線的射線橫截面,其中,該柱面透鏡望遠鏡具有三個在射線方向上具有正焦距、負焦距和正焦距的透鏡或透鏡組,所述透鏡或透鏡組在柱面透鏡望遠鏡的輸出部上產(chǎn)生與在柱面透鏡望遠鏡的輸入部上相比在第二射線橫截面軸線的方向上具有較小射線直徑并從而具有較大剩余發(fā)散度的準直過的射線;以及布置在該柱面透鏡望遠鏡后面的聚焦光具,用于聚焦在兩個射線橫截面軸線方向上準直過的激光射線。
[0007]根據(jù)本發(fā)明,所述柱面透鏡望遠鏡在第一射線橫截面軸線的方向上對激光射線不起作用,使得激光射線在工件上沿該方向的焦點直徑不可變。以該方式實現(xiàn),激光射線在第一射線橫截面軸線方向上的射線質(zhì)量不會由于柱面透鏡望遠鏡而改變,從而保持不變,在所述第一射線橫截面軸線方向上希望有高的射線質(zhì)量。用于將準直過的輸出射線成像到射線焦點中的聚焦光具布置在所述柱面透鏡望遠鏡后面。激光射線在第一射線橫截面軸線方向上的成像借助通過準直光具和聚焦光具實現(xiàn)的遠心成像來實現(xiàn)。該方向上的成像比例% 僅通過準直焦距與聚焦焦距的比例確定。在第一射線橫截面軸線的方向上,激光射線在工件上的焦點直徑是不可變的,并且,激光射線的射線質(zhì)量在穿過柱面透鏡望遠鏡時保持不變,使得在該方向上形成具有高焦深的射線焦點。
[0008]所述柱面透鏡望遠鏡在第二射線橫截面軸線的方向上這樣起作用,使得射入的準直過的射線的射線直徑Din和剩余發(fā)散度被改變。根據(jù)本發(fā)明,該柱面透鏡望遠鏡這樣設(shè)計, 使得射出的準直過的激光射線與射入的射線相比始終具有減小的射線直徑Daus。射線直徑的減小導(dǎo)致:射出的準直過的激光射線的剩余發(fā)散度大致以相同的系數(shù)變大。即根據(jù)本發(fā)明,所述柱面透鏡望遠鏡的(角度)放大系數(shù)ViDm/lUt大于1(V>1)。通過聚焦光具將準直過的激光射線以系數(shù)V放大地成像,其原因是,準直過的輸出射線的更大的剩余發(fā)散度被轉(zhuǎn)化成焦平面中的更大的圖像,即被轉(zhuǎn)化成在該方向上的更大直徑。即在總體上,在該方向上通過光學(xué)組件以成像比例MsiMAV成像激光射線?;谕h鏡鏡片的成像誤差,在第二射線橫截面軸線的方向上出現(xiàn)射線質(zhì)量惡化,但是該射線品質(zhì)在該空間方向上可被接受。
[0009]所述柱面透鏡望遠鏡的透鏡組分別由兩個或多個柱面透鏡組成,以將成像誤差保持小。替代地,該柱面透鏡望遠鏡的至少第一透鏡組以及必要時第二透鏡組可完全通過非柱面透鏡替換或部分通過非柱面透鏡替換,以將所需的透鏡數(shù)量最小化。[〇〇1〇]優(yōu)選地,射入到所述準直光具中的發(fā)散的激光射線在兩個射線橫截面軸線的方向上具有相同的射線質(zhì)量,并且,準直光具和聚焦光具實施成球面式或?qū)嵤┏煞乔蛎媸降摹?[〇〇11]為了可通過所述光學(xué)組件可變地調(diào)整兩個射線橫截面軸線的比例,具有正焦距的兩個透鏡或透鏡組中的一個透鏡或透鏡組和具有負焦距的透鏡或透鏡組分別可在軸向上移動,其中,對于具有正焦距的所述一個透鏡/透鏡組的每個移動位置,都存在具有負焦距的透鏡/透鏡組的一個移動位置,使得在柱面透鏡望遠鏡的輸出部上存在與在柱面透鏡望遠鏡的輸入部上相比在第二射線橫截面軸線方向上具有較小射線直徑和較大剩余發(fā)散度的準直過的射線。優(yōu)選地,第二透鏡組和第三透鏡組實施為可在軸向上移動,但是替代地也可以是第一透鏡組和第二透鏡組可在軸向上移動。透鏡組的軸向調(diào)整可借助調(diào)整螺釘手動地進行。但是替代地也可能的是,通過馬達實施透鏡組的調(diào)整并且將該調(diào)整與控制裝置結(jié)合。在通過馬達調(diào)整時,可在加工期間調(diào)整放大系數(shù)并從而調(diào)整工件上的功率密度。
[0012]為了實現(xiàn)能盡可能寬地調(diào)整的放大范圍,有利地,所述三個透鏡/透鏡組的焦距間距S12、S23以及所述具有負焦距的透鏡/透鏡組的移動路程的路程長度e處于以下限制中:
[0013]fl+f2^S12^fl+f3
[0014]〇<S23<f3+f2(V+l)
[0015]0>f2=[e/2-fi]*(l/2)
[0016]f3>-f2(V+l)[〇〇17]以該方式可實現(xiàn)最終成線形的射線焦點的不同長寬比的寬范圍,而不必更換系統(tǒng)中的構(gòu)件,所述寬范圍例如為3:1至10:1。[〇〇18]優(yōu)選地,在所述準直光具前面布置有光纖,激光射線從該光纖的光纖芯發(fā)散地射出。在光纖具有圓形光纖芯橫截面的情況下,在焦點中獲得橢圓形的射線橫截面。在光纖具有方形或矩形光纖芯橫截面的情況下,只要方形或矩形的光纖芯射出面的側(cè)邊與柱面透鏡望遠鏡的主軸線平行地取向,在焦點中就獲得矩形或近似線形的射線橫截面。這種線形焦點例如最適合用于工件的去層或表面處理。
[0019]特別優(yōu)選地,所述光纖和所述柱面透鏡望遠鏡布置成能相對彼此圍繞所述準直光具的光學(xué)軸線旋轉(zhuǎn),以可通過改變相對旋轉(zhuǎn)位置來調(diào)整射線焦點的形狀。如果光纖芯射出面的側(cè)邊與柱面透鏡望遠鏡主軸線平行地取向,則獲得矩形的射線焦點,而在所述光纖相對于柱面透鏡望遠鏡未對準(Dejustage)時,獲得菱形的焦點橫截面,該菱形的焦點橫截面對于工件的特定表面處理能夠是有利的。
[0020]有利地,光學(xué)組件模塊化地構(gòu)造有可更換的準直光具和聚焦光具,以擴寬兩個射線橫截面軸線的不同比例的可實現(xiàn)范圍并從而擴寬射線焦點的不同線長度和線寬度的可實現(xiàn)范圍。
[0021]本發(fā)明也涉及一種激光加工機,其具有用于產(chǎn)生激光射線的射線產(chǎn)生器并且具有如上面所述的光學(xué)組件,該光學(xué)組件用于將激光射線成像到工件上。
[0022]所述激光加工機優(yōu)選具有布置在所述光學(xué)組件前面的光纖,射線產(chǎn)生器的激光射線耦入到該光纖中。然后,激光射線發(fā)散地從該光纖射出。射線在光纖端面上的功率分布通過所述光學(xué)組件被成像到工件表面上。
[0023]在根據(jù)本發(fā)明的激光加工機的一種有利實施方式中,所述光纖和光學(xué)組件共同地 (即作為單元)以可圍繞準直光具的光學(xué)軸線旋轉(zhuǎn)的方式受支承。因此,例如在方形或矩形光纖的情況下,可改變焦點線在工件上的優(yōu)選方向。這例如在激光拋光或在用高亮光纖激光器切割時是有利的,其原因是,僅當焦點線的取向始終保持與運動軌跡成直角時,向工件中的功率引入才均勻地進行。
[0024]本發(fā)明的主題的其他優(yōu)點和有利構(gòu)型由說明書、權(quán)利要求書和附圖得知。之前提到的特征以及之后還會舉出的特征同樣可分別單獨使用或針對多個特征的情況以任意組合來使用。所示出的和所描述的實施方式不視為窮舉,而是僅具有用于描述本發(fā)明的示例性特征。附圖的圖示極其示意地示出本發(fā)明的主題并且不應(yīng)理解為按比例尺繪制?!靖綀D說明】
[0025]圖la、lb根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)組件在激光射線的第一射線橫截面軸線的平面中的光路(圖la)以及在激光射線的正交的第二射線橫截面軸線的平面中的光路(圖lb);
[0026]圖2根據(jù)本發(fā)明的光學(xué)組件在第二射線橫截面軸線的平面中的光路,標出了焦距和透鏡間距;[〇〇27]圖3a、3b在角度放大倍數(shù)為V = 3(圖2a)以及角度倍數(shù)放大為V = 9(圖2b)時,圖1所示的光學(xué)組件在第二射線橫截面軸線的平面中的光路;
[0028]圖4a_4c輸入側(cè)的圓形射線橫截面變化成輸出側(cè)的橢圓形射線橫截面的變化(圖4a),輸入側(cè)的方形射線橫截面變化成輸出側(cè)的矩形射線橫截面的變化(圖4b),輸入側(cè)的方形射線橫截面變化成輸出側(cè)的菱形射線橫截面的變化(圖4c);以及
[0029]圖5示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的激光加工機,該激光加工機具有圖1所示的光學(xué)組件。
[0030]在后面的附圖描述中,對相同的或功能相同的構(gòu)件使用相同的附圖標記。【具體實施方式】
[0031]在圖la、lb中示出通過用于激光加工機的光學(xué)組件1的光路,該光學(xué)組件用于圓形激光射線2的射線成形,并且確切來說,圖la是在激光射線2的第一射線橫截面軸線a的平面中,而圖lb是在激光射線2的正交的第二射線橫截面軸線b的平面中。這兩個射線橫截面軸線a、b分別與射線方向3成直角地延伸。
[0032]光學(xué)組件1包括:球面的或非球面的準直光具4,用于準直發(fā)散地入射的激光射線 2a;以及布置在該準直光具4后面的柱面透鏡望遠鏡5,用于僅在第二射線橫截面軸線b中改變準直過的射線2b的射線橫截面。柱面透鏡望遠鏡5具有三個在射線方向3上具有正焦距、 負焦距和正焦距的透鏡或透鏡組51、52、53,所述透鏡或透鏡組在柱面透鏡望遠鏡5的輸出部上產(chǎn)生與在柱面透鏡望遠鏡5的輸入部上相比在第二射線橫截面軸線b中具有較小射線直徑D?t和較大剩余發(fā)散度的準直過的射線2c。
[0033]光學(xué)組件1還包括布置在柱面透鏡望遠鏡5后面的、球面或非球面的聚焦光具6,用于聚焦在兩個射線橫截面軸線a、b中準直過的激光射線2b、2c。[〇〇34]如在圖lb中示出的那樣,具有正焦距的第三透鏡/透鏡組53可在區(qū)域g內(nèi)軸向移動,而具有負焦距的第二透鏡/透鏡組52可在區(qū)域e內(nèi)軸向移動。在此,對于第三透鏡/透鏡組53的每個移動位置,都存在透鏡/透鏡組52的一個移動位置,使得在柱面透鏡望遠鏡5的輸出部上存在與柱面透鏡望遠鏡5的輸入部相比在第二射線橫截面軸線b中具有較小射線直徑和較大剩余發(fā)散度的準直過的射線2c。[〇〇35]柱面透鏡望遠鏡5在第一射線橫截面軸線a的方向上對激光射線2b不起作用,使得該射線直徑在焦平面F中不可變。以該方式實現(xiàn),激光射線在第一射線橫截面軸線a的方向上的射線質(zhì)量不會由于柱面透鏡望遠鏡5而改變,從而保持不變,在所述第一射線橫截面軸線a方向上希望有高的射線質(zhì)量,從而有良好的可聚焦性。將激光射線成像到焦平面F中借助通過準直光具和聚焦光具4、6實現(xiàn)的遠心成像來進行,并且光學(xué)組件1在該方向上的成像比例施僅通過準直焦距與聚焦焦距的比例確定。
[0036]柱面透鏡望遠鏡5在第二射線橫截面軸線b的方向上這樣起作用,使得射入的準直過的激光射線2b的射線直徑Din和剩余發(fā)散度被改變。柱面透鏡望遠鏡5這樣設(shè)計,使得射出的準直過的激光射線2c與射入的射線2b相比始終具有減小的射線直徑Dc^t。射線直徑的減小導(dǎo)致:射出的準直過的激光射線2〇的剩余發(fā)散度大致以相同的系數(shù)變大。即柱面透鏡望遠鏡5的角度放大系數(shù)ViDwlUt大于1(V>1)。通過聚焦光具6將穿過光學(xué)組件1的激光射線以系數(shù)V放大地成像,因為準直過的輸出射線2c的更大的剩余發(fā)散度被轉(zhuǎn)化成焦平面F的更大圖像,即被轉(zhuǎn)化成沿該方向的更大直徑。即光學(xué)組件1在該方向上的成像比例為M2 =?;诓⑽幢3稚渚€質(zhì)量的成像,在第二射線橫截面軸線b的方向上出現(xiàn)射線質(zhì)量惡化,但是該射線質(zhì)量在該空間方向上是可接受的。
[0037]在圖2中為圖lb中示出的光路補充了三個透鏡組5^5^53的焦距和它們的透鏡間距812、823以及第二透鏡/透鏡組52的移動路程的路程長度e,這些參數(shù)優(yōu)選處于以下限制中:
[0038]fi+f2^si2^fi+f3
[0039]0<s23<f3+f2*(V+l)
[0040]〇>f2=[e/2-fi]*(l/2)
[0041]f3>-f2*(V+l)[〇〇42]其中,柱面透鏡望遠鏡5的(角度)放大系數(shù)V通過V = Din/Dcmt來定義(Din =在柱面透鏡望遠鏡5的輸入部上沿第二射線橫截面軸線b方向的射線直徑,而Dc>ut =在柱面透鏡望遠鏡5的輸出部上沿第二射線橫截面軸線b方向的射線直徑)。[〇〇43]如在圖1中還示出的那樣,在準直光具4前面布置有光纖10,激光射線2a從該光纖的光纖芯11(參見圖4a_4c)發(fā)散地射出,但是優(yōu)選具有在兩個射線橫截面軸線a、b中相同的射線質(zhì)量。[〇〇44]圖3a、3b示出在放大倍數(shù)為V = 3(圖3a)和為V = 9(圖3b)時光學(xué)組件1在第二射線橫截面軸線b的平面中的光路。為了在圖3b中實現(xiàn)大的放大倍數(shù),第二和第三透鏡組52、53在軸向上分別這樣移動,使得在柱面透鏡望遠鏡5的輸出部上存在準直過的激光射線2c,其具有與圖3a相比較小的射線直徑D?t以及具有與圖3a相比相應(yīng)較大的剩余發(fā)散度。[〇〇45]如在圖4a中示出的那樣,在光纖芯11為圓形的情況下,輸入側(cè)的圓形射線橫截面在走過光學(xué)組件1之后在輸出側(cè)變成橢圓形射線橫截面,該橢圓形射線橫截面的長軸向為 V*a。如在圖4b中不出的那樣,在光纖芯11為方形的情況下,只要方形的光纖芯射出面10a的側(cè)邊與柱面透鏡望遠鏡5的主軸線平行地取向,則輸入側(cè)的方形射線橫截面在走過光學(xué)組件1之后在輸出側(cè)變成矩形射線橫截面。該矩形射線橫截面的長側(cè)邊為V*a。
[0046]如在圖4c中示出的那樣,在光纖芯11為方形的情況下,只要方形的光纖芯射出面 l〇a的以虛線示出的對角線與柱面透鏡望遠鏡5的主軸線平行地取向,則輸入側(cè)的方形射線橫截面在走過光學(xué)組件1之后在輸出側(cè)變成菱形射線橫截面。該菱形射線橫截面的長對稱軸線為V*a。在光纖芯11為非圓形的情況下,光纖10和柱面透鏡望遠鏡5布置為能相對彼此圍繞準直光具4的光學(xué)軸線旋轉(zhuǎn),以可通過改變相對旋轉(zhuǎn)位置來調(diào)整射線焦點的形狀。 [〇〇47]圖5示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的激光加工機20,其具有用于產(chǎn)生激光射線2的射線產(chǎn)生器21,以及具有用于將激光射線21成像到工件22上的光學(xué)組件1。激光產(chǎn)生器21的激光射線2被耦入到光纖10中并且作為發(fā)散的激光射線從光纖10射出,該光纖10的光纖芯射出面通過光學(xué)組件1被成像到工件表面上。
[0048]對于特定應(yīng)用,光纖10和光學(xué)組件1可整體地(即作為單元)以能圍繞準直光具4的光學(xué)軸線旋轉(zhuǎn)的方式受支承。因此,例如在方形或矩形光纖的情況下,可改變焦點線在工件上的優(yōu)選方向。
【主權(quán)項】
1.光學(xué)組件(1),用于改變激光射線(2)的正交的兩個射線橫截面軸線(a,b)在焦平面 (F)中的比例,該光學(xué)組件具有:準直光具(4),該準直光具用于準直發(fā)散的激光射線(2a);布置在該準直光具(4)后面的柱面透鏡望遠鏡(5),該柱面透鏡望遠鏡用于僅在第二射 線橫截面軸線(b)的方向上改變準直過的射線(2b)的射線橫截面,其中,該柱面透鏡望遠鏡 (5)具有三個透鏡或透鏡組(5^52,53),所述三個透鏡或透鏡組在射線方向(3)上具有正焦 距、負焦距和正焦距,所述透鏡或透鏡組在所述柱面透鏡望遠鏡(5)的輸出部上產(chǎn)生準直過 的射線(2c),所述準直過的射線與在所述柱面透鏡望遠鏡(5)的輸入部上相比在第二射線 橫截面軸線(b)的方向上具有較小的射線直徑和較大的剩余發(fā)散度;以及布置在該柱面透鏡望遠鏡(5)后面的聚焦光具(6),該聚焦光具用于聚焦在所述兩 個射線橫截面軸線(a,b)的方向上準直過的激光射線(2b,2c)。2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)組件,其特征在于,進入到所述準直光具(4)中的、發(fā)散的激 光射線(2a)在所述兩個射線橫截面軸線(a,b)的方向上具有相同的射線質(zhì)量。3.如前述權(quán)利要求中任一項所述的光學(xué)組件,其特征在于,具有正焦距的兩個所述透 鏡或透鏡組中的一個透鏡或透鏡組(53)和具有負焦距的透鏡或透鏡組(52)能在軸向上移 動,其中,對于具有正焦距的所述一個透鏡或透鏡組(53)的每個移動位置,都存在所述具有 負焦距的透鏡或透鏡組(52)的一個移動位置,使得在所述柱面透鏡望遠鏡(5)的輸出部上 存在準直過的射線(2c),所述準直過的射線與在所述柱面透鏡望遠鏡(5)的輸入部上相比 在所述第二射線橫截面軸線(b)的方向上具有較小的射線直徑、但是具有較大的剩余發(fā)散 度。4.如前述權(quán)利要求中任一項所述的光學(xué)組件,其特征在于,所述柱面透鏡望遠鏡(5)的 三個透鏡或透鏡組(5^5^53)的焦距出42、如和間距(S12、S23)以及具有負焦距的透鏡或 透鏡組(52)的移動路程的路程長度(e)處于以下限制中:fl+f2^S12^fl+f30<S23<f3+f2*(V+l)0>f2=[e/2-fi]*(l/2)f3>-f2*(V+l)其中,V是所述柱面透鏡望遠鏡(5)的角度放大系數(shù)。5.如前述權(quán)利要求中任一項所述的光學(xué)組件,其特征在于,在所述準直光具(4)的前面 布置有光纖(10),激光射線(2a)從所述光纖的光纖芯(11)發(fā)散地射出并且所述光纖的光纖 芯射出面(l〇a)布置在所述準直光具(4)的焦平面區(qū)域中。6.如權(quán)利要求5所述的光學(xué)組件,其特征在于,所述光纖芯(11)具有圓形的、方形的或 矩形的光纖橫截面。7.如權(quán)利要求6所述的光學(xué)組件,其特征在于,方形的或矩形的光纖芯射出面(10a)的 側(cè)邊與所述柱面透鏡望遠鏡(5)的主軸線平行地取向。8.如權(quán)利要求5至7中任一項所述的光學(xué)組件,其特征在于,所述光纖(10)和所述柱面 透鏡望遠鏡(5)布置成能相對彼此圍繞所述準直光具(4)的光學(xué)軸線旋轉(zhuǎn)。9.激光加工機(20),具有用于產(chǎn)生激光射線(2)的射線產(chǎn)生器(21)以及具有如前述權(quán) 利要求中任一項所述的光學(xué)組件(1),所述光學(xué)組件用于將所述激光射線(2)聚焦到工件(22)上。10.如權(quán)利要求9所述的激光加工機,其特征在于,在所述光學(xué)組件(1)前面布置有光纖 (10 ),激光射線(2a)從所述光纖的光纖芯(11)發(fā)散地射出。11.如權(quán)利要求10所述的激光加工機,其特征在于,所述光纖(10)和所述光學(xué)組件(1) 共同地以能圍繞所述準直光具(4)的光學(xué)軸線旋轉(zhuǎn)的方式受支承。
【文檔編號】G02B15/173GK105980912SQ201480067297
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2014年12月4日
【發(fā)明人】S·多雷爾, M·庫姆卡爾, C·蒂爾科恩
【申請人】通快激光有限責(zé)任公司, 通快激光與系統(tǒng)工程有限公司