一種多波段led熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，包括主照明系統(tǒng)，還包括波長不同的N個(gè)輔照明系統(tǒng)，N為大于等于1的整數(shù)，輔照明系統(tǒng)的波長與主照明系統(tǒng)的波長不同，輔照明系統(tǒng)包括第一LED光源、第二LED光源、第一分色鏡和第二分色鏡，第一LED光源的波長和第二LED光源的波長不同；第二分色鏡設(shè)置在主照明系統(tǒng)的光路上，第二分色鏡和主照明系統(tǒng)的光路之間的夾角為45度，第一LED光源的光束先通過第一分色鏡反射后再通過第二分色鏡反射出去，第二LED光源的光束先通過第一分色鏡透射后再通過第二分色鏡反射出去，主照明系統(tǒng)的光束通過第二分色鏡透射出去；優(yōu)點(diǎn)是效率較高，操作簡單，結(jié)構(gòu)簡單，成本較低。
【專利說明】
一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，尤其是涉及一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的熒光顯微鏡，大部分都采用汞燈作為其照明系統(tǒng)的光源，但是汞燈的能耗較大，目前正逐漸被能耗低且體積小的LED光源所取代。LED光源作為照明系統(tǒng)，目前已在在單波段的熒光顯微鏡中得到了廣泛應(yīng)用。但是，在多波段的熒光顯微鏡中，由于需要2個(gè)及以上的波長段，而LED光源的波長單一，由此LED光源在多波段的熒光顯微鏡的應(yīng)用上遇到了不少困難。我們將采用LED光源作為照明系統(tǒng)光源的多波段熒光顯微鏡稱為多波段LED熒光顯微鏡。現(xiàn)有的多波段LED熒光顯微鏡為了獲取多波段的激發(fā)光，或者采用人工方式對LED光源進(jìn)行替換，或者采用機(jī)械切換裝置對LED光源進(jìn)行切換。但是，采用人工方式對LED光源進(jìn)行替換效率較低，且操作繁雜，采用機(jī)械切換裝置對LED光源進(jìn)行切換雖然效率較高，但是機(jī)械切換裝置的增加使得多波段LED熒光顯微鏡結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種效率較高，結(jié)構(gòu)簡單，且成本較低的多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)。
[0004]本發(fā)明解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為:一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，包括主照明系統(tǒng)，還包括波長不同的N個(gè)輔照明系統(tǒng)，N為大于等于I的整數(shù)，所述的輔照明系統(tǒng)的波長與所述的主照明系統(tǒng)的波長不同，所述的輔照明系統(tǒng)包括第一 LED光源、第二 LED光源、第一分色鏡和第二分色鏡，所述的第一 LED光源I的波長和所述的第二 LED光源的波長不同；所述的第二分色鏡設(shè)置在所述的主照明系統(tǒng)的光路上，所述的第二分色鏡和所述的主照明系統(tǒng)的光路之間的夾角為45度，所述的第一 LED光源的光束先通過所述的第一分色鏡反射后再通過所述的第二分色鏡反射出去，所述的第二 LED光源的光束先通過所述的第一分色鏡透射后再通過所述的第二分色鏡反射出去，所述的主照明系統(tǒng)的光束通過所述的第二分色鏡透射出去。
[0005 ]所述的第一LED光源的光束、所述的第二 LED光源的光束和所述的主照明系統(tǒng)的光束通過所述的第二分色鏡后重合。
[0006]所述的主照明系統(tǒng)包括第三LED光源、第四LED光源和第三分色鏡，所述的第三LED光源和所述的第四LED光源的波長不同，所述的第三分色鏡設(shè)置在所述的第四LED光源的光路上，所述的第三分色鏡和所述的第四LED光源的夾角為45度，所述的第三LED光源的光束通過所述的第三分色鏡反射出去，所述的第四LED光源的光束通過所述的第三分色鏡透射出去。
[0007]所述的第三LED光源的光束和所述的第四LED光源的光束通過所述的第二分色鏡后重合。
[0008]所述的輔照明系統(tǒng)的數(shù)量為一個(gè)，所述的第一LED光源的波長為400nm-410nm，所述的第二 LED光源的波長為465nm-488nm，所述的第三LED光源的波長為625nm-647nm，所述的第四LED光源的波長為515nm-545nm0
[0009]所述的第一分色鏡的上表面和下表面均設(shè)置有第一分光膜，所述的第二分色鏡的上表面和下表面均設(shè)置有第二分光膜，所述的第三分色鏡的上表面和下表面均設(shè)置有第三分光膜。
[0010]所述的第一分光膜由至少十八個(gè)第一單元膜層疊形成，所述的第一單元膜由第一上膜層和第一下膜層層疊而成，所述的第一下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，所述的第一上膜層的材料為Si02，所述的第一下膜層的厚度為92.2nm?151.8nm，所述的第一上膜層的厚度為38.16nm?155.2nm;所述的第二分光膜由至少十八個(gè)第二單元膜層疊形成，所述的第二單元膜由第二上膜層和第二下膜層層疊而成，所述的第二下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，所述的第二上膜層的材料為Si02，所述的第二下膜層的厚度為103nm?172.5nm，所述的第二上膜層的厚度為40.56nm?105.4nm;所述的第三分光膜由至少十八個(gè)第三單元膜層疊形成，所述的第三單元膜由第三上膜層和第三下膜層層疊而成，所述的第三下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，所述的第三上膜層的材料為Si02，所述的第三下膜層的厚度為130.1nm?214.3nm，所述的第三上膜層的厚度為20.3nm?209.9nm。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于通過在照明系統(tǒng)設(shè)置波長不同的N個(gè)輔照明系統(tǒng)，N為大于等于I的整數(shù)，輔照明系統(tǒng)的波長與主照明系統(tǒng)的波長不同，輔照明系統(tǒng)包括第一 LED光源、第二 LED光源、第一分色鏡和第二分色鏡，第一 LED光源I的波長和第二 LED光源的波長不同，第二分色鏡設(shè)置在主照明系統(tǒng)的光路上，第二分色鏡和主照明系統(tǒng)的光路之間的夾角為45度，第一 LED光源的光束先通過第一分色鏡反射后再通過第二分色鏡反射出去，第二 LED光源的光束先通過第一分色鏡透射后再通過第二分色鏡反射出去，主照明系統(tǒng)的光束通過第二分色鏡透射出去，由此使用者不需要采用人工方式對LED光源進(jìn)行替換，僅需開啟或者關(guān)閉各個(gè)輔照明系統(tǒng)和主照明系統(tǒng)即可實(shí)現(xiàn)LED光源的切換，效率較高，操作簡單，同時(shí)，也不需要額外設(shè)置機(jī)械切換裝置對LED光源進(jìn)行切換，結(jié)構(gòu)簡單，成本較低；
[0012]當(dāng)?shù)谝籐ED光源的光束、第二 LED光源的光束和主照明系統(tǒng)的光束通過第二分色鏡后重合時(shí)，在同時(shí)使用第一LED光源和第二LED光源時(shí)，可以提高第一LED光源光束和第二LED光源的光束的聚合性；
[0013]當(dāng)主照明系統(tǒng)包括第三LED光源、第四LED光源和第三分色鏡，第三LED光源和第四LED光源的波長不同，第三分色鏡設(shè)置在第四LED光源的光路上，第三分色鏡和第四LED光源的夾角為45度，第三LED光源的光束通過第三分色鏡反射出去，第四LED光源的光束通過第三分色鏡透射出去時(shí)，通過開啟或者關(guān)閉第三LED光源和第四LED光源，可以得到三種不同波段的光束，進(jìn)一步拓展了照明系統(tǒng)的波段；
[0014]當(dāng)?shù)谌齃ED光源的光束和第四LED光源的光束通過第二分色鏡后重合時(shí)，在同時(shí)使用第三LED光源和第四LED光源時(shí)，可以提高第三LED光源光束和第四LED光源的光束的聚合性；
[0015]當(dāng)輔照明系統(tǒng)的數(shù)量為一個(gè)，第一LED光源的波長為400nm-410nm，第二 LED光源的波長為465nm-488nm，第三LED光源的波長為625nm-647nm，第四LED光源的波長為515nm-545nm時(shí)，可以保證第一LED光源的光束、第二LED光源的光束、第三LED光源的光束和第時(shí)LED光源的光束在分色鏡處的透射率或者折射率較大；
[0016]當(dāng)?shù)谝环稚R的上表面和下表面均設(shè)置有第一分光膜，第二分色鏡的上表面和下表面均設(shè)置有第二分光膜，第三分色鏡的上表面和下表面均設(shè)置有第三分光膜時(shí)，進(jìn)一步增加第一 LED光源的光束、第二 LED光源的光束、第三LED光源的光束和第時(shí)LED光源的光束在分色鏡處的透射率或者折射率；
[0017]當(dāng)?shù)谝环止饽び芍辽偈藗€(gè)單元膜層疊形成，單元膜由上膜層和下膜層層疊而成，下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，上膜層的材料為Si02，下膜層的厚度為92.2nm?151.8nm，上膜層的厚度為38.16nm?155.2nm，第二分光膜由至少十八個(gè)第二單元膜層疊形成，第二單元膜由第二上膜層和第二下膜層層疊而成，第二下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，第二上膜層的材料為Si02，第二下膜層的厚度為103nm?172.5nm，第二上膜層的厚度為40.56nm?105.4nm;第三分光膜由至少十八個(gè)第三單元膜層疊形成，第三單元膜由第三上膜層和第三下膜層層疊而成，第三下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，第三上膜層的材料為Si02，第三下膜層的厚度為130.1nm?214.3nm，第三上膜層的厚度為20.3nm?209.9nm時(shí)，可以使第一LED光源的光束在第一分色鏡處的反射率達(dá)到99%以上，第二LED光源的光束在第一分色鏡處的透射率達(dá)到98%以上，第三LED光源的光束在第三分色鏡處的反射率達(dá)到99%以上，第四LED光源的光束在第三分色鏡處的反透射率達(dá)到97%以上，第一LED光源的光束和第二LED光源的光束在第三分色鏡處的反射率達(dá)到98%以上，第二LED光源的光束和第四LED光源的光束在第三分色鏡處的透射率達(dá)到99 %以上，照明系統(tǒng)的光損耗較小。
【附圖說明】
[0018]圖1為本發(fā)明的多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖；
[0019]圖2為本發(fā)明的多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)的第一分色鏡的光譜圖；
[0020]圖3為本發(fā)明的多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)的第二分色鏡的光譜圖；
[0021]圖4為本發(fā)明的多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)的第三分色鏡的光譜圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]以下結(jié)合附圖實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0023]實(shí)施例一:如圖1所示，一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，包括主照明系統(tǒng)，還包括波長不同的N個(gè)輔照明系統(tǒng)，N為大于等于I的整數(shù)，輔照明系統(tǒng)的波長與主照明系統(tǒng)的波長不同，輔照明系統(tǒng)包括第一LED光源1、第二LED光源2、第一分色鏡3和第二分色鏡4，第一 LED光源I的波長和第二 LED光源2的波長不同；第二分色鏡4設(shè)置在主照明系統(tǒng)的光路上，第二分色鏡4和主照明系統(tǒng)的光路之間的夾角為45度，第一 LED光源I的光束先通過第一分色鏡3反射后再通過第二分色鏡4反射出去，第二LED光源2的光束先通過第一分色鏡3透射后再通過第二分色鏡4反射出去，主照明系統(tǒng)的光束通過第二分色鏡4透射出去。
[0024]本實(shí)施例中，第一LED光源I的光束、第二LED光源2的光束和主照明系統(tǒng)的光束通過第二分色鏡4后重合。
[0025]本實(shí)施例中，主照明系統(tǒng)包括第三LED光源5、第四LED光源6和第三分色鏡7，第三LED光源5和第四LED光源6的波長不同，第三分色鏡7設(shè)置在第四LED光源6的光路上，第三分色鏡7和第四LED光源6的夾角為45度，第三LED光源5的光束通過第三分色鏡7反射出去，第四LED光源6的光束通過第三分色鏡7透射出去。
[0026]本實(shí)施例中，第三LED光源5的光束和第四LED光源6的光束通過第二分色鏡4后重入口 ο
[0027]本實(shí)施例中，第一LED光源I的波長為400nm-410nm，第二LED光源2的波長為465nm-488nm，第三LED光源5的波長為625nm_647nm，第四LED光源6的波長為515nm_545nm。
[0028]本實(shí)施例中，第一分色鏡3的上表面和下表面均設(shè)置有第一分光膜，第二分色鏡4的上表面和下表面均設(shè)置有第二分光膜，第三分色鏡7的上表面和下表面均設(shè)置有第三分光膜。
[0029]實(shí)施例二:如圖1所示，一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，包括主照明系統(tǒng)，還包括一個(gè)輔照明系統(tǒng)，輔照明系統(tǒng)的波長與主照明系統(tǒng)的波長不同，輔照明系統(tǒng)包括第一LED光源1、第二LED光源2、第一分色鏡3和第二分色鏡4，第一LED光源I的波長和第二LED光源2的波長不同；第二分色鏡4設(shè)置在主照明系統(tǒng)的光路上，第二分色鏡4和主照明系統(tǒng)的光路之間的夾角為45度，第一 LED光源I的光束先通過第一分色鏡3反射后再通過第二分色鏡4反射出去，第二LED光源2的光束先通過第一分色鏡3透射后再通過第二分色鏡4反射出去，主照明系統(tǒng)的光束通過第二分色鏡4透射出去。
[0030]本實(shí)施例中，第一LED光源I的光束、第二LED光源2的光束和主照明系統(tǒng)的光束通過第二分色鏡4后重合。
[0031]本實(shí)施例中，主照明系統(tǒng)包括第三LED光源5、第四LED光源6和第三分色鏡7，第三LED光源5和第四LED光源6的波長不同，第三分色鏡7設(shè)置在第四LED光源6的光路上，第三分色鏡7和第四LED光源6的夾角為45度，第三LED光源5的光束通過第三分色鏡7反射出去，第四LED光源6的光束通過第三分色鏡7透射出去。
[0032]本實(shí)施例中，第三LED光源5的光束和第四LED光源6的光束通過第二分色鏡4后重入口 ο
[0033]本實(shí)施例中，第一LED光源I的波長為400nm-410nm，第二LED光源2的波長為465nm-488nm，第三LED光源5的波長為625nm_647nm，第四LED光源6的波長為515nm_545nm。
[0034]本實(shí)施例中，第一分色鏡3的上表面和下表面均設(shè)置有第一分光膜，第二分色鏡4的上表面和下表面均設(shè)置有第二分光膜，第三分色鏡7的上表面和下表面均設(shè)置有第三分光膜。
[0035]本實(shí)施例中，第一分光膜由二十五個(gè)單元膜層疊形成，單元膜由上膜層和下膜層層疊而成，下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，上膜層的材料為Si02，下膜層的厚度為92.2nm，上膜層的厚度為38.16nm，第二分光膜由二十五個(gè)第二單元膜層疊形成，第二單元膜由第二上膜層和第二下膜層層疊而成，第二下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，第二上膜層的材料為Si02，第二下膜層的厚度為103nm，第二上膜層的厚度為40.56nm;第三分光膜由二十五個(gè)第三單元膜層疊形成，第三單元膜由第三上膜層和第三下膜層層疊而成，第三下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，第三上膜層的材料為Si02，第三下膜層的厚度為130.1歷，第三上膜層的厚度為20.3111110
[0036]實(shí)施例三:如圖1所示，一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，包括主照明系統(tǒng)，還包括一個(gè)輔照明系統(tǒng)，輔照明系統(tǒng)的波長與主照明系統(tǒng)的波長不同，輔照明系統(tǒng)包括第一LED光源1、第二LED光源2、第一分色鏡3和第二分色鏡4，第一LED光源I的波長和第二LED光源2的波長不同；第二分色鏡4設(shè)置在主照明系統(tǒng)的光路上，第二分色鏡4和主照明系統(tǒng)的光路之間的夾角為45度，第一 LED光源I的光束先通過第一分色鏡3反射后再通過第二分色鏡4反射出去，第二LED光源2的光束先通過第一分色鏡3透射后再通過第二分色鏡4反射出去，主照明系統(tǒng)的光束通過第二分色鏡4透射出去。
[0037]本實(shí)施例中，第一LED光源I的光束、第二LED光源2的光束和主照明系統(tǒng)的光束通過第二分色鏡4后重合。
[0038]本實(shí)施例中，主照明系統(tǒng)包括第三LED光源5、第四LED光源6和第三分色鏡7，第三LED光源5和第四LED光源6的波長不同，第三分色鏡7設(shè)置在第四LED光源6的光路上，第三分色鏡7和第四LED光源6的夾角為45度，第三LED光源5的光束通過第三分色鏡7反射出去，第四LED光源6的光束通過第三分色鏡7透射出去。
[0039]本實(shí)施例中，第三LED光源5的光束和第四LED光源6的光束通過第二分色鏡4后重入口 ο
[0040]本實(shí)施例中，第一LED光源I的波長為400nm-410nm，第二LED光源2的波長為465nm-488nm，第三LED光源5的波長為625nm_647nm，第四LED光源6的波長為515nm_545nm。
[0041 ]本實(shí)施例中，第一分色鏡3的上表面和下表面均設(shè)置有第一分光膜，第二分色鏡4的上表面和下表面均設(shè)置有第二分光膜，第三分色鏡7的上表面和下表面均設(shè)置有第三分光膜。
[0042]本實(shí)施例中，第一分光膜由二十五個(gè)單元膜層疊形成，單元膜由上膜層和下膜層層疊而成，下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，上膜層的材料為Si02，下膜層的厚度為151.8nm，上膜層的厚度為155.2nm，第二分光膜由二十五個(gè)第二單元膜層疊形成，第二單元膜由第二上膜層和第二下膜層層疊而成，第二下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，第二上膜層的材料為Si02，第二下膜層的厚度為172.5nm，第二上膜層的厚度為105.4nm;第三分光膜由二十五個(gè)第三單元膜層疊形成，第三單元膜由第三上膜層和第三下膜層層疊而成，第三下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，第三上膜層的材料為Si02，第三下膜層的厚度為214.3nm，第三上膜層的厚度為209.9nmo
[0043]本實(shí)施例中，將第一 LED光源1、第二 LED光源2、第三LED光源5和第四LED光源6同時(shí)開啟，第一LED光源I的光束、第二LED光源2的光束、第三LED光源5的光束和第四LED光源6的光束通過第二分色鏡4后形成多波段混合光源。本實(shí)施例的多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)的第一分色鏡的光譜圖如圖2所示;本實(shí)施例的多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)的第二分色鏡的光譜圖如圖3所示;本實(shí)施例的多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)的第三分色鏡的光譜圖如圖4所示。
[0044]分析圖2可知，第一LED光源I的光束在第一分色鏡3處的反射率大約為99.7%，第二LED光源2的光束在第一分色鏡3處的透射率大約為98.6%。第一分色鏡3的反射率在99%以上，透射率在98.5%以上，保障光束最大限度的反射或者透射，大大的降低了光損耗。分析圖3可知，第一LED光源I和第二LED光源2的混合光束在第二分色鏡4處的反射率大約為99.9%，第三LED光源5和第四LED光源6的混合光束在第二分色鏡4處的透射率大約為98.9%。第二分色鏡4的反射率在99%以上，透射率在98.5%以上，保障光束最大限度的反射或者透射，大大的降低了光損耗。分析圖4可知，第三LED光源5的光束在第三分色鏡7處的反射率大約為98.9%，第是LED光源6的光束在第三分色鏡7處的透射率大約為99.9%。第三分色鏡7的反射率在98.5 %以上，透射率在99%以上，保障光束最大限度的反射或者透射，大大的降低了光損耗。
[0045]本發(fā)明的多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)可以通過開啟或者關(guān)閉其內(nèi)設(shè)置的各個(gè)LED光源來實(shí)現(xiàn)LED光源的切換，操作方便，效率較高，結(jié)構(gòu)簡單，成本較低;并且，通過設(shè)置的第一分光膜、第二分光膜和第三分光膜大大提高了分色鏡的透射率和反射率，大大的降低了光損耗。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，包括主照明系統(tǒng)，其特征在于還包括波長不同的N個(gè)輔照明系統(tǒng)，N為大于等于I的整數(shù)，所述的輔照明系統(tǒng)的波長與所述的主照明系統(tǒng)的波長不同，所述的輔照明系統(tǒng)包括第一 LED光源、第二 LED光源、第一分色鏡和第二分色鏡，所述的第一 LED光源的波長和所述的第二 LED光源的波長不同；所述的第二分色鏡設(shè)置在所述的主照明系統(tǒng)的光路上，所述的第二分色鏡和所述的主照明系統(tǒng)的光路之間的夾角為45度，所述的第一 LED光源的光束先通過所述的第一分色鏡反射后再通過所述的第二分色鏡反射出去，所述的第二 LED光源的光束先通過所述的第一分色鏡透射后再通過所述的第二分色鏡反射出去，所述的主照明系統(tǒng)的光束通過所述的第二分色鏡透射出去。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，其特征在于所述的第一LED光源的光束、所述的第二 LED光源的光束和所述的主照明系統(tǒng)的光束通過所述的第二分色鏡后重合。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，其特征在于所述的主照明系統(tǒng)包括第三LED光源、第四LED光源和第三分色鏡，所述的第三LED光源和所述的第四LED光源的波長不同，所述的第三分色鏡設(shè)置在所述的第四LED光源的光路上，所述的第三分色鏡和所述的第四LED光源的夾角為45度，所述的第三LED光源的光束通過所述的第三分色鏡反射出去，所述的第四LED光源的光束通過所述的第三分色鏡透射出去。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，其特征在于所述的第三LED光源的光束和所述的第四LED光源的光束通過所述的第二分色鏡后重合。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，其特征在于所述的輔照明系統(tǒng)的數(shù)量為一個(gè)，所述的第一 LED光源的波長為400nm-41 Onm，所述的第二 LED光源的波長為465nm-488nm，所述的第三LED光源的波長為625nm-647nm，所述的第四LED光源的波長為515nm-545nm。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，其特征在于所述的第一分色鏡的上表面和下表面均設(shè)置有第一分光膜，所述的第二分色鏡的上表面和下表面均設(shè)置有第二分光膜，所述的第三分色鏡的上表面和下表面均設(shè)置有第三分光膜。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種多波段LED熒光顯微鏡的照明系統(tǒng)，其特征在于所述的第一分光膜由至少十八個(gè)第一單元膜層疊形成，所述的第一單元膜由第一上膜層和第一下膜層層疊而成，所述的第一下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，所述的第一上膜層的材料為Si02，所述的第一下膜層的厚度為92.2nm?151.8nm，所述的第一上膜層的厚度為.38.16nm?155.2nm;所述的第二分光膜由至少十八個(gè)第二單元膜層疊形成，所述的第二單元膜由第二上膜層和第二下膜層層疊而成，所述的第二下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，所述的第二上膜層的材料為Si02，所述的第二下膜層的厚度為103nm?172.5nm，所述的第二上膜層的厚度為40.56nm?105.4nm;所述的第三分光膜由至少十八個(gè)第三單元膜層疊形成，所述的第三單元膜由第三上膜層和第三下膜層層疊而成，所述的第三下膜層的材料為Nb205、Ti02或者Ta205，所述的第三上膜層的材料為Si02，所述的第三下膜層的厚度為130.1nm?214.3nm，所述的第三上膜層的厚度為20.3nm?209.9nm。
【文檔編號】G02B21/06GK106054365SQ201610585172
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年7月21日 公開號201610585172.9, CN 106054365 A, CN 106054365A, CN 201610585172, CN-A-106054365, CN106054365 A, CN106054365A, CN201610585172, CN201610585172.9
【發(fā)明人】張克奇, 邱慧, 姚晨
【申請人】寧波永新光學(xué)股份有限公司