一種工作波段為3900-5500nm的中紅外帶通濾光片的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及一種帶通濾光片，特別涉及一種工作波段為3900-5500nm的中紅外帶通濾光片。
【背景技術(shù)】
[0002]帶通濾光片是一種對(duì)某一波段具有高的透射率，而對(duì)其兩端的波段高度截止的濾光片。中紅外帶通濾光片是在中紅外波長(zhǎng)范圍內(nèi)，在中心波長(zhǎng)有較高的透過(guò)率，而在其余波段截止。其主要應(yīng)用在紅外光譜探測(cè)系統(tǒng)，在航天領(lǐng)域有非常重要的應(yīng)用。隨著空間紅外技術(shù)的發(fā)展，對(duì)紅外帶通濾光片的波形要求也越來(lái)越高，需要能夠有效濾除背景雜散信號(hào)，提高探測(cè)系統(tǒng)的信噪比。另外，除了對(duì)濾光片光學(xué)特性的高要求，在空間技術(shù)領(lǐng)域?qū)t外濾光片膜層可靠性也有極高的要求，目前可供選擇的紅外濾光片膜層材料品種很少，在制備時(shí)仍有很大的難度。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種工作波段為3900-5500nm的中紅外帶通濾光片。
[0004]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用如下的技術(shù)方案:
[0005]—種工作波段為3900-5500nm的中紅外帶通濾光片，包括正面膜系、基片和背面膜系，所述正面膜系由硫化鋅層和鍺膜層交替疊加組成，所述硫化鋅層和鍺膜層共26層;所述背面膜系由硫化鋅層和鍺膜層交替疊加組成，所述硫化鋅層和鍺膜層共40層。
[0006]進(jìn)一步的，所述基片為鍺基片，所述基片厚度為0.3mm。
[0007]相對(duì)現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果為:
[0008]本實(shí)用新型中的紅外帶通濾光片，在工作波段3.9-5.5微米內(nèi)有高的透過(guò)率，而在其它波段高度截止。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例所述的一種工作波段為3900-5500nm的中紅外帶通濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例所述的正面膜系透過(guò)率曲線圖；
[0011]圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例所述的反面膜系透過(guò)率曲線圖；
[0012]圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例所述的工作波段為3900-5500nm的中紅外帶通濾光片的透過(guò)率曲線透過(guò)率曲線圖。
[0013]附圖標(biāo)記
[0014]1-正面膜系；2-基片;3-背面膜系。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說(shuō)明書(shū)文字能夠據(jù)以實(shí)施。
[0016]參閱圖1，一種工作波段為3900-5500nm的中紅外帶通濾光片，包括正面膜系1、基片2和背面膜系3，所述正面膜系I由硫化鋅層和鍺膜層交替疊加組成，所述硫化鋅層和鍺膜層共26層;所述背面膜系3由硫化鋅層和鍺膜層交替疊加組成，所述硫化鋅層和鍺膜層共40層。
[0017]所述基片2為鍺基片，所述基片2厚度為0.3mm。所述鍺基片兩面拋光，兩個(gè)面上分別鍍制正面膜系和反面膜系。
[0018]作為本實(shí)用新型的一實(shí)施例，正面膜系I為5.5微米后截止膜系:λ = 6.2μπι，Η代表厚度為λο/4的鍺膜層，L代表厚度為λο/4的ZnS膜層。
[0019]其中正面膜系I的主要構(gòu)成如下:
[0020]0.2Η 0.095L 0.25Η 1.134L 1.063Η 1.003L 0.988Η 0.976L 0.972H0.967L
0.97Η 0.963L 0.971Η 0.962L 0.974Η 0.966L 0.979Η 0.973L0.987H 0.986L 1.002Η1.007L 1.038Η 1.057L 1.097Η 0.55L
[0021]正面膜系I透過(guò)率曲線如圖2所示。
[0022]反面膜系3為3.9微米前截止膜系，λ= 2.884μm，H代表厚度為λQ/4的鍺膜層，L為代表厚度為λο/4的ZnS膜層。
[0023]反面膜系3的主要構(gòu)成如下:
[0024]0.2Η 0.416L 1.004Η 0.985L 1.02Η 0.933L 0.986Η 1.231L 1.025H0.852L1.287Η 0.96L 1.192Η 0.806L 1.169Η 0.762L 0.571Η 0.501L0.906H 0.832L 0.985Η
0.778L 0.681Η 0.392L 0.953Η 0.838L 0.641H0.71L 0.449Η 0.552L 0.867Η 0.141L
0.579Η 0.823L 0.61Η 0.812L0.51H 0.257L 1.683Η 1.609L
[0025]反面膜系3透過(guò)率曲線如圖3所述。
[0026]當(dāng)正面膜系和反面膜系鍍于基板上時(shí)，最終得到的中紅外帶通濾光片的透過(guò)率曲線如圖4所示。
[0027]該濾光片在可見(jiàn)光-3.5μπι，絕對(duì)透過(guò)率<1.0%;
[0028]在3.6-3.7μπι范圍內(nèi)，透過(guò)率<5.0%;
[0029]在3.85-3.954111和在5.5-5.64111范圍內(nèi)，透過(guò)率=50%；
[0030]在4.05-5.2μπι范圍內(nèi)，絕對(duì)透過(guò)率2 90 % ;
[0031]在5.3口111處，透過(guò)率280%;
[0032]在5.7-6μπι范圍內(nèi)，透過(guò)率<5.0%。
[0033]本專(zhuān)利中的紅外帶通濾光片，在工作波段3.9-5.5μπι內(nèi)有高的透過(guò)率，而在其它波段高度截止。
[0034]盡管本實(shí)用新型的實(shí)施方案已公開(kāi)如上，但其并不僅僅限于說(shuō)明書(shū)和實(shí)施方式中所列運(yùn)用，它完全可以被適用于各種適合本實(shí)用新型的領(lǐng)域，對(duì)于熟悉本領(lǐng)域的人員而言，可容易地實(shí)現(xiàn)另外的修改，因此在不背離權(quán)利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實(shí)用新型并不限于特定的細(xì)節(jié)和這里示出與描述的圖例。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種工作波段為3900-5500nm的中紅外帶通濾光片，其特征在于包括正面膜系、基片和背面膜系，所述正面膜系由硫化鋅層和鍺膜層交替疊加組成，所述硫化鋅層和鍺膜層共26層;所述背面膜系由硫化鋅層和鍺膜層交替疊加組成，所述硫化鋅層和鍺膜層共40層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述工作波段為3900-5500nm的中紅外帶通濾光片，其特征在于所述基片為錯(cuò)基片，所述基片厚度為0.3 mm。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種工作波段為3900-5500nm的中紅外帶通濾光片，包括正面膜系、基片和背面膜系，所述正面膜系由硫化鋅層和鍺膜層交替疊加組成，所述硫化鋅層和鍺膜層共26層；所述背面膜系由硫化鋅層和鍺膜層交替疊加組成，所述硫化鋅層和鍺膜層共40層。本實(shí)用新型中的紅外帶通濾光片，在工作波段3.9-5.5微米內(nèi)有高的透過(guò)率，而在其它波段高度截止。
【IPC分類(lèi)】G02B5/20
【公開(kāi)號(hào)】CN205374789
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620081799
【發(fā)明人】周東平
【申請(qǐng)人】蘇州晶鼎鑫光電科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年7月6日
【申請(qǐng)日】2016年1月28日