專利名稱：耐場強(qiáng)平面電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光電子學(xué)成像系統(tǒng)中平面電極結(jié)構(gòu)的改進(jìn)。
平面電極是光電子學(xué)成像系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用的一種電極形式，在工作中電極間加有高壓電場，電子從一側(cè)電極逸出，在電場驅(qū)動下，電子加速運(yùn)動到達(dá)另一側(cè)電極熒光屏上成像，由于電子逸出時受橫向速度的影響，到達(dá)第二電極時，電子圖像產(chǎn)生彌散，降低了成像的空間分辨率。為了系統(tǒng)地得到較高的空間分辨率，可以從兩個途徑來解決問題，即提高電極場強(qiáng)和縮小兩電極間隙，但這樣很容易造成電極擊穿打火，毀壞整個成像系統(tǒng)。
本實(shí)用新型的目的是提出一種耐場強(qiáng)平面電極的結(jié)構(gòu)，使之在較高場強(qiáng)下，不易造成電極擊穿打火，實(shí)現(xiàn)成像系統(tǒng)的空間分辨率及亮度的提高。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是以如下方式實(shí)現(xiàn)的在平面電極兩相對面的其中一面鍍有2-3μm厚的絕緣耐壓層。
本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的耐場強(qiáng)平面電極，由于制有絕緣耐壓層，從而使電極間隙減小到300-400μm，使電極耐壓上升到10KV以上，克服了系統(tǒng)因場強(qiáng)擊穿打火的問題，保證了整個系統(tǒng)的正常工作。同時由于場強(qiáng)的增加，大大減小了電子彌散的影響，使成像亮度增加，空間分辨率倍增。其具有結(jié)構(gòu)簡單、制作容易的優(yōu)點(diǎn)。
附


圖1為本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)耐場強(qiáng)平面電極的一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中1為微通道板，2為輸出電極，3為絕緣耐壓層，4為纖維面板，5為熒光屏(輸入電極)。
以下結(jié)合附圖來說明本實(shí)用新型的實(shí)施例。
附圖中為雙近貼變像管結(jié)構(gòu)示意，其只是本實(shí)用新型的一個非限定性的實(shí)施例。在微通道板的輸出電極2端面上，用濺射鍍膜的方法鍍有三氧化二鋁玻璃絕緣耐壓層3，其厚度為2-3μm。在測試時與熒光屏4(輸出電極)間隔300-400μm，在微通道板上加電壓后，經(jīng)測試工作電場強(qiáng)度可達(dá)十幾千伏/毫米，來出現(xiàn)擊穿打火現(xiàn)象，電子達(dá)到熒光屏?xí)r，幾乎沒有彌散影響，成像亮度好，空間分辨率倍增。本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的耐場強(qiáng)平面電極可廣泛應(yīng)用于當(dāng)前飛躍發(fā)展的成像系統(tǒng)和診斷技術(shù)中去，如X射線增強(qiáng)器、條紋像機(jī)，MCP選通分幅像機(jī)，CCD等需要較高空間分辨率的儀器、設(shè)備。
權(quán)利要求1，一種用于光電子學(xué)成像系統(tǒng)中的耐場強(qiáng)平面電極，其特征在于在平面電極兩相對面的其中一面鍍有2-3μm厚的絕緣耐壓層。
專利摘要一種耐場強(qiáng)平面電極，本實(shí)用新型的特點(diǎn)是在平面電極兩相對面的其中一面鍍有絕緣耐壓層，從而使電極工作時的電場強(qiáng)度達(dá)十幾千伏/毫米，電子移動幾乎不產(chǎn)生彌散、成像系統(tǒng)的空間分辨率和增益得到很大提高，這一技術(shù)可廣泛應(yīng)用于光電子學(xué)的成像系統(tǒng)和診斷技術(shù)中。
文檔編號H01J1/30GK2252406SQ95245038
公開日1997年4月16日 申請日期1995年9月22日 優(yōu)先權(quán)日1995年9月22日
發(fā)明者常增虎, 劉秀琴 申請人:中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所