一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，主要包括可抽真空爐體、氣體供給控制系統(tǒng)、真空及尾氣處理系統(tǒng)。本實(shí)用新型由涂層清除和再涂覆兩道工藝系統(tǒng)組成，兩道工藝系統(tǒng)既可獨(dú)立工作，如僅進(jìn)行葉片內(nèi)、外表面涂層清洗或者內(nèi)表面涂層制備；也可組合工作，如進(jìn)行服役葉片的內(nèi)表面涂層清除與再涂覆一體化修復(fù)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作靈活、方便，尾氣處理能力強(qiáng)，無污染，生產(chǎn)效率高，能夠滿足葉片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)要求。
【專利說明】
一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
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[0001]本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備。
【背景技術(shù)】
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[0002]燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片表面涂層的清除與再涂覆技術(shù)對(duì)于葉片制造與透平葉片修復(fù)具有重要的意義。一方面，在涂層制造過程中，基體合金微小的冶金缺陷、涂層厚度或化學(xué)成分的超標(biāo)等都會(huì)造成葉片涂層質(zhì)量不合格，但是，高溫合金制造成本高、葉片形狀復(fù)雜等客觀原因?qū)е氯~片的加工費(fèi)用遠(yuǎn)高于涂層制造費(fèi)用，若僅因涂層質(zhì)量不合格而報(bào)廢葉片會(huì)造成很大的經(jīng)濟(jì)浪費(fèi)，因此，對(duì)涂層不合格葉片的返工或返修是十分必要的；另一方面，燃?xì)馔钙饺~片在高溫燃?xì)?、?nèi)孔道氣流沖刷和熱應(yīng)力循環(huán)作用下，葉片表面涂層會(huì)出現(xiàn)高溫氧化、腐蝕、鼓包、剝落等失效形式，或在服役過程中遭到意外損傷，都需要對(duì)葉片及涂層及時(shí)進(jìn)行修復(fù)，以便葉片重新投入使用。
[0003]燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片表面涂層的清除和再涂覆可能會(huì)引起葉片從尺寸到結(jié)構(gòu)性能的很多變化，這些變化將影響燃?xì)廨啓C(jī)的性能，甚至?xí)＜鞍踩?。因此，必須?duì)涂層的清除和再涂覆工藝及設(shè)備進(jìn)行認(rèn)真深入地研究。目前，關(guān)于葉片涂層清除的方法很多，如噴砂、砂紙打磨、高壓水等物理清除方法，化學(xué)溶液清洗、鹵化物清洗、電解等化學(xué)清除方法；關(guān)于葉片涂層涂覆，特別是燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層的涂覆方法有固體粉末法、料漿法以及化學(xué)氣相沉積法等。涂層修復(fù)方法雖多種多樣，但通常都是以上兩道工藝在不同的設(shè)備或裝置中獨(dú)立進(jìn)行，花費(fèi)成本較高、工藝時(shí)間較長(zhǎng)，針對(duì)涂層清除與再涂覆的一體化修復(fù)設(shè)備鮮有報(bào)道。
【實(shí)用新型內(nèi)容】:
[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，該設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，無污染、生產(chǎn)效率高，能夠滿足透平葉片內(nèi)孔道表面涂層制造和修復(fù)的工業(yè)化生產(chǎn)要求。
[0005]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用如下的技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):
[0006]—種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，包括可抽真空爐體、氣體供給控制系統(tǒng)、真空及尾氣處理系統(tǒng);其中，
[0007]可抽真空爐體的周向及頂端由外至內(nèi)依次為爐外保溫材料層、外爐殼、耐火材料襯里和加熱器，可抽真空爐體的底部設(shè)置有用于密封的密封底盤，可抽真空爐體內(nèi)設(shè)置有可拆卸不銹鋼內(nèi)膽，密封底盤上設(shè)置有與可拆卸不銹鋼內(nèi)膽相連通的進(jìn)氣管道和出氣管道，可拆卸不銹鋼內(nèi)膽內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)氣支座，導(dǎo)氣支座上設(shè)置有若干個(gè)導(dǎo)氣孔，導(dǎo)氣支座與可拆卸不銹鋼內(nèi)膽內(nèi)的上方形成涂層修復(fù)區(qū)，進(jìn)氣管道的出氣端位于導(dǎo)氣支座與可拆卸不銹鋼內(nèi)膽內(nèi)的下方形成的空腔內(nèi)，出氣管道的進(jìn)氣端穿過導(dǎo)氣支座伸入至涂層修復(fù)區(qū)內(nèi)，出氣管道的出氣端與真空及尾氣處理系統(tǒng)相連通，氣體供給控制系統(tǒng)分別與進(jìn)氣管道和出氣管道相連通。
[0008]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)在于:密封底盤與可抽真空爐體的底部之間還設(shè)置有O型密封圈。
[0009]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)在于:可拆卸不銹鋼內(nèi)膽通過放置在密封底盤上的固定底座設(shè)置在可抽真空爐體內(nèi)。
[0010]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)在于:進(jìn)氣管道的出氣端周向是設(shè)置有熱輻射屏蔽板。
[0011]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)在于:進(jìn)氣管道的出氣端設(shè)置有盤狀進(jìn)氣管道。
[0012]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)在于:每個(gè)導(dǎo)氣孔的周向上設(shè)置有可拆卸不銹鋼外殼。
[0013]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)在于:可抽真空爐體的底部以及密封底盤的底部均設(shè)置有地面支撐座。
[0014]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)在于:真空及尾氣處理系統(tǒng)包括依次連接的多層過濾器、真空系統(tǒng)、堿液過濾器以及放空燃燒結(jié)構(gòu)，出氣管道的出氣端通過水平管道與多層過濾器相連。
[0015]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)在于:氣體供給控制系統(tǒng)包括高純Ar瓶、高純出瓶、高純HF氣瓶、高純HCl氣瓶和CO2氣瓶;其中，高純HF氣瓶的周向上設(shè)置有水循環(huán)控溫系統(tǒng)，高純Ar瓶的出口、⑶2氣瓶的出口以及高純HF氣瓶的出口均與進(jìn)氣管道的進(jìn)氣端相連，高純HF氣瓶的出口、高純H2瓶的出口和高純HCl氣瓶的出口均與氣體混合罐的進(jìn)氣口相連，氣體混合罐的出氣口與氯化鋁氣體生成器的進(jìn)氣口相連，氯化鋁氣體生成器的出氣口與進(jìn)氣管道的進(jìn)氣端相連，且氯化鋁氣體生成器內(nèi)設(shè)置有Al金屬顆粒床。
[0016]本實(shí)用新型進(jìn)一步的改進(jìn)在于:高純Ar瓶的出口管道上、CO2氣瓶的出口管道上、高純H2瓶的出口管道上和高純HCl氣瓶的出口管道上均設(shè)置有氣體減壓閥和質(zhì)量流量計(jì)，高純HF氣瓶的出口管道上設(shè)置有HF氣體流量計(jì)，氣體混合罐的出氣口管道上設(shè)置有電磁開關(guān)，氯化鋁氣體生成器的出氣口管道上設(shè)置有數(shù)顯流量調(diào)節(jié)閥。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下的優(yōu)點(diǎn):
[0018]I)、本實(shí)用新型提供的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)葉片內(nèi)孔道表面涂層清除與再涂覆一體化，同時(shí)保證葉片外表面不受破壞。
[0019]2)、本實(shí)用新型提供的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行操作方便，可有效控制尾氣中有害氣體對(duì)設(shè)備的損壞和環(huán)境的污染，縮短批量生產(chǎn)周期，滿足工業(yè)化生產(chǎn)和環(huán)保的要求。
【附圖說明】

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[0020]以下參考附圖是對(duì)具體實(shí)施例的詳細(xì)描述，將會(huì)更好地解釋本實(shí)用新型的內(nèi)容與特點(diǎn)，其中:
[0021]附圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]附圖2是氣體供給控制系統(tǒng)流程圖。
[0023]其中:1.可抽真空爐體;2.耐火材料襯里;3.加熱器;4.可拆卸不銹鋼內(nèi)膽;5.固定底座;6.涂層修復(fù)區(qū)；7.氣體供給控制系統(tǒng);8.進(jìn)氣管道;9.導(dǎo)氣支座；10.可拆卸不銹鋼外殼；11.盤狀進(jìn)氣管道;12.熱輻射屏蔽板;13.密封底盤；14.0形密封圈；15.出氣管道;16.水平管道；17.多層過濾器；18.真空系統(tǒng)；19.堿液過濾器；20.放空燃燒結(jié)構(gòu)；21.高純Ar瓶；22.高純出瓶;23.高純HF氣瓶;24.高純HCl氣瓶;25.CO2氣瓶;26.氣體減壓閥；27.質(zhì)量流量計(jì)；28.水循環(huán)控溫系統(tǒng)；29.HF氣體流量計(jì);30.氣體混合罐;31.電磁開關(guān);32.氯化鋁氣體生成器;33.Al金屬顆粒床;34.數(shù)顯流量調(diào)節(jié)閥。
【具體實(shí)施方式】
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[0024]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合參照附圖，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0025]在圖1的實(shí)施例中，本實(shí)用新型的設(shè)備包括:一個(gè)可抽真空爐體I，一個(gè)氣體供給控制系統(tǒng)7，以及一個(gè)真空及尾氣處理系統(tǒng)。
[0026]本實(shí)用新型的可抽真空爐體I的立式方形爐膛的耐火材料襯里2周圍均勻分布有加熱器3，加熱器3與可抽真空爐體I聯(lián)體安裝，保證爐內(nèi)加熱的均勻性?？沙檎婵諣t體I內(nèi)設(shè)置可拆卸不銹鋼內(nèi)膽4，可拆卸不銹鋼內(nèi)膽4通過固定底座5非全密封至可抽真空爐體I內(nèi)，將爐體內(nèi)腔隔離出涂層修復(fù)區(qū)6，內(nèi)置熱電偶圖中未顯示由可抽真空爐體I底部進(jìn)入涂層修復(fù)區(qū)6，將實(shí)測(cè)溫度傳遞給控溫系統(tǒng)圖中未顯示，不屬于本【實(shí)用新型內(nèi)容】，防止由于真空造成的溫差。涂層修復(fù)區(qū)6內(nèi)配置有與氣體供給控制系統(tǒng)7相連接的進(jìn)氣管道8，反應(yīng)氣體通過進(jìn)氣管道進(jìn)入涂層修復(fù)區(qū)6。葉片通過其下端的進(jìn)氣孔固定在導(dǎo)氣支座9上，保證了通氣時(shí)有足夠的反應(yīng)氣體通過葉片內(nèi)孔道。葉片外表面借助可拆卸不銹鋼外殼10，避免與反應(yīng)氣體接觸而遭到破壞，可拆卸不銹鋼外殼10內(nèi)填充易清洗、耐高溫的高粘度泥漿材料。涂層修復(fù)區(qū)6內(nèi)的進(jìn)氣管道為盤狀進(jìn)氣管道11，進(jìn)氣孔在管道下部，可防止反應(yīng)過程中生成的粉末狀產(chǎn)物阻塞進(jìn)氣孔，固定支座5上方安裝有多層熱輻射屏蔽板12，用于反射熱輻射，達(dá)到爐體保溫的效果?？沙檎婵諣t體I外借助密封底盤13與壓緊耐氟化氫氣體腐蝕、耐高溫的O形密封圈14全密封。固定底座上設(shè)置有出氣管道15，出氣管道15通過水平管道16與真空及尾氣處理系統(tǒng)相連接。真空及尾氣處理系統(tǒng)通過聚丙烯材料管道依次連接多層過濾器17、真空系統(tǒng)18、堿液過濾器19以及放空燃燒結(jié)構(gòu)20。可抽真空爐體I外的進(jìn)氣管道8與出氣管道15外表面均安裝有加熱保溫套，防止反應(yīng)氣體與尾氣中的氯化鋁氣體在溫度低于180°C時(shí)冷凝阻塞管道。
[0027]在圖2的實(shí)施例中，本實(shí)用新型的氣體供給控制系統(tǒng)7主要包括:高純Ar瓶21、高純H2瓶22、高純HF氣瓶23，高純HCl氣瓶24以及氣態(tài)反應(yīng)物CO2氣瓶25。系統(tǒng)通過氣體減壓閥26和質(zhì)量流量計(jì)27精確控制Ar、H2、HCl及C02等氣體流量，通過水循環(huán)控溫系統(tǒng)28和HF氣體流量計(jì)29精確控制HF氣體流量。在涂層清除工藝過程中，出與冊(cè)氣體以一定比例通過進(jìn)氣管道8進(jìn)入涂層修復(fù)區(qū)6;在涂層再涂覆工藝過程中，出與此丨氣體以一定比例進(jìn)入氣體混合罐30，混合罐30通過電磁開關(guān)31連接氯化鋁氣體生成器32，生成器內(nèi)設(shè)置有Al金屬顆粒床33，氯化鋁氣體通過數(shù)顯流量調(diào)節(jié)閥34連接進(jìn)氣管道8。氣態(tài)反應(yīng)物CO2以一定的流量通過管道16上進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)，與未反應(yīng)的氯化鋁氣體反應(yīng)生成固態(tài)顆粒物。氣態(tài)反應(yīng)物不僅限于CO2氣體，也可以是C0、N0x等可與氯化鋁氣體反應(yīng)生成固態(tài)顆粒物的其他氣體。
[0028]在涂層再涂覆工藝過程中，盤狀進(jìn)氣管道上部設(shè)置一多孔氣體分散板，在涂層清除工藝時(shí)，此板上的篩網(wǎng)上可選擇性放置石墨塊，提高清除效率及效果，在涂層再涂覆工藝時(shí)，此板上的篩網(wǎng)上可放置鋁-鉻合金顆粒，顆粒尺寸分布為0.95cm?1.27cm之間。
[0029]葉片外表面借助可拆卸不銹鋼外殼，避免與反應(yīng)氣體接觸而遭到破壞，不銹鋼外殼內(nèi)填充易清洗、耐高溫的高粘度泥漿材料。
[0030]氣體供給控制系統(tǒng)包括高純Ar (氬氣，純度多99.999 % )瓶、高純H2 (純度多99.999%)瓶、高純HF氣(純度彡99.99%)瓶，高純HCl氣(純度彡99.999%)瓶以及氣態(tài)反應(yīng)物CO2 (二氧化碳)氣瓶，高純HF氣瓶?jī)?nèi)水汽含量須低于3ppm，其它氣瓶?jī)?nèi)水汽含量均須低于1ppm0
[0031]在涂層清除工藝過程中，出與冊(cè)氣體以一定比例通過進(jìn)氣管道進(jìn)入涂層修復(fù)區(qū)。在涂層再涂覆工藝過程中，H2與HCl氣體以一定比例進(jìn)入氣體混合罐，混合罐通過電磁開關(guān)連接氯化鋁氣體生成器，生成器內(nèi)設(shè)置有Al金屬顆粒床，AlClx(氯化鋁)氣體通過數(shù)顯流量調(diào)節(jié)閥連接進(jìn)氣管道。
[0032]此外，爐體外的進(jìn)氣管道與出氣管道外表面均安裝有加熱保溫套，防止反應(yīng)氣體與尾氣中的氯化鋁氣體在溫度低于180°C時(shí)冷凝阻塞管道。
[0033]使用本實(shí)用新型進(jìn)行燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層清除時(shí)，裝爐密封，加熱前預(yù)抽真空，通入氬氣排空爐體內(nèi)空氣，開啟加熱裝置，在氬氣保護(hù)下加熱爐體至810°C?1100°C后，即可進(jìn)行涂層清除工藝;使用本實(shí)用新型進(jìn)行燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層再涂覆時(shí)，必須先通入氬氣確保排空爐體內(nèi)前道工藝遺留的反應(yīng)氣體或空氣，然后進(jìn)行涂層再涂覆工藝;尾氣處理系統(tǒng)中的多層過濾器與真空系統(tǒng)須定期拆下進(jìn)行清理與維護(hù)，堿液過濾器中的堿液定期進(jìn)行更換，確保尾氣處理徹底以及設(shè)備正常運(yùn)行;設(shè)備環(huán)境內(nèi)必須設(shè)置有HF氣體報(bào)警裝置。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，其特征在于:包括可抽真空爐體(1)、氣體供給控制系統(tǒng)(7)、真空及尾氣處理系統(tǒng);其中， 可抽真空爐體(I)的周向及頂端由外至內(nèi)依次為爐外保溫材料層、外爐殼、耐火材料襯里(2)和加熱器(3)，可抽真空爐體(I)的底部設(shè)置有用于密封的密封底盤(13)，可抽真空爐體(I)內(nèi)設(shè)置有可拆卸不銹鋼內(nèi)膽(4)，密封底盤(13)上設(shè)置有與可拆卸不銹鋼內(nèi)膽(4)相連通的進(jìn)氣管道(8)和出氣管道(15)，可拆卸不銹鋼內(nèi)膽(4)內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)氣支座(9)，導(dǎo)氣支座(9)上設(shè)置有若干個(gè)導(dǎo)氣孔，導(dǎo)氣支座(9)與可拆卸不銹鋼內(nèi)膽(4)內(nèi)的上方形成涂層修復(fù)區(qū)(6)，進(jìn)氣管道(8)的出氣端位于導(dǎo)氣支座(9)與可拆卸不銹鋼內(nèi)膽(4)內(nèi)的下方形成的空腔內(nèi)，出氣管道(15)的進(jìn)氣端穿過導(dǎo)氣支座(9)伸入至涂層修復(fù)區(qū)(6)內(nèi)，出氣管道(15)的出氣端與真空及尾氣處理系統(tǒng)相連通，氣體供給控制系統(tǒng)(7)分別與進(jìn)氣管道(8)和出氣管道(15)相連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，其特征在于:密封底盤(13)與可抽真空爐體(I)的底部之間還設(shè)置有O型密封圈(14)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，其特征在于:可拆卸不銹鋼內(nèi)膽(4)通過放置在密封底盤(13)上的固定底座(5)設(shè)置在可抽真空爐體(I)內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，其特征在于:進(jìn)氣管道(8)的出氣端周向是設(shè)置有熱輻射屏蔽板(12)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，其特征在于:進(jìn)氣管道(8)的出氣端設(shè)置有盤狀進(jìn)氣管道(11)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，其特征在于:每個(gè)導(dǎo)氣孔的周向上設(shè)置有可拆卸不銹鋼外殼(10)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，其特征在于:可抽真空爐體(I)的底部以及密封底盤(13)的底部均設(shè)置有地面支撐座(B)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，其特征在于:真空及尾氣處理系統(tǒng)包括依次連接的多層過濾器(17)、真空系統(tǒng)(18)、堿液過濾器(19)以及放空燃燒結(jié)構(gòu)(20)，出氣管道(15)的出氣端通過水平管道(16)與多層過濾器(17)相連。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，其特征在于:氣體供給控制系統(tǒng)(7)包括高純Ar瓶(21)、高純出瓶(22)、高純HF氣瓶(23)、高純HCl氣瓶(24)和CO2氣瓶(25);其中，高純HF氣瓶(23)的周向上設(shè)置有水循環(huán)控溫系統(tǒng)(38)，高純Ar瓶(21)的出口、CO2氣瓶(25)的出口以及高純HF氣瓶(23)的出口均與進(jìn)氣管道(8)的進(jìn)氣端相連，高純HF氣瓶(23)的出口、高純出瓶(22)的出口和高純HCl氣瓶(24)的出口均與氣體混合罐(30)的進(jìn)氣口相連，氣體混合罐(30)的出氣口與氯化鋁氣體生成器(32)的進(jìn)氣口相連，氯化鋁氣體生成器(32)的出氣口與進(jìn)氣管道(8)的進(jìn)氣端相連，且氯化鋁氣體生成器(32)內(nèi)設(shè)置有Al金屬顆粒床(33)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種燃?xì)廨啓C(jī)燃?xì)馔钙饺~片內(nèi)孔道表面涂層修復(fù)設(shè)備，其特征在于:高純Ar瓶(21)的出口管道上、CO2氣瓶(25)的出口管道上、高純出瓶(22)的出口管道上和高純HCl氣瓶(24)的出口管道上均設(shè)置有氣體減壓閥(26)和質(zhì)量流量計(jì)(27)，高純HF氣瓶(23)的出口管道上設(shè)置有HF氣體流量計(jì)(29)，氣體混合罐(30)的出氣口管道上設(shè)置有電磁開關(guān)(31)，氯化鋁氣體生成器(32)的出氣口管道上設(shè)置有數(shù)顯流量調(diào)節(jié)閥(34)。
【文檔編號(hào)】C23C16/02GK205710903SQ201620716521
【公開日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年7月7日
【發(fā)明人】南晴, 肖俊峰, 唐文書, 高斯峰, 李永君, 張炯, 李園園
【申請(qǐng)人】華能國(guó)際電力股份有限公司, 西安熱工研究院有限公司