本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種成型效率高的針模。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體微針模組通常是通過(guò)微加工技術(shù)進(jìn)行加工成型的。微加工技術(shù)包括光刻、薄膜沉積、蝕刻、離子注入等工藝步驟。這些工藝可以在半導(dǎo)體材料上進(jìn)行精確的加工，以實(shí)現(xiàn)微針模組的制造。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，大多數(shù)的半導(dǎo)體微針模組在蝕刻過(guò)程中會(huì)采用螺紋固定的方式對(duì)微針模組進(jìn)行定位，以防止其在蝕刻過(guò)程中發(fā)生偏移，但由于蝕刻過(guò)程中的化學(xué)反應(yīng)和液體流動(dòng)，可能會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)和沖擊，導(dǎo)致螺紋固定的松動(dòng)或變形，從而影響模組的穩(wěn)定性，并且螺紋固定通常需要在模組上增加螺紋孔或螺紋部件，這會(huì)增加模組的尺寸和重量，從而不利于實(shí)現(xiàn)微針模組的輕量化，因此我們提出一種成型效率高的針模來(lái)解決這個(gè)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是為了解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題，而提出的一種成型效率高的針模。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

3、一種成型效率高的針模，包括：

4、基板和微針模組本體，所述微針模組本體設(shè)置于基板的頂部，所述基板的頂部設(shè)置有定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)用于對(duì)微針模組本體進(jìn)行定位。

5、優(yōu)選的，所述定位機(jī)構(gòu)包括兩塊固定板、兩個(gè)螺紋套、兩根螺桿和兩塊定位板，兩塊所述固定板均固定安裝在基板的頂部，所述固定板呈對(duì)稱設(shè)置。

6、優(yōu)選的，兩塊所述固定板上均開(kāi)設(shè)有通孔，兩個(gè)所述螺紋套分別轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在對(duì)應(yīng)的通孔內(nèi)，兩個(gè)所述螺桿分別螺紋連接在對(duì)應(yīng)的螺紋套內(nèi)。

7、優(yōu)選的，兩塊所述定位板分別固定安裝在兩塊螺桿的相互靠近一端，所述定位板與微針模組本體配合使用，兩塊所述定位板的底部均固定安裝有兩根限位桿，所述基板的頂部開(kāi)設(shè)有四個(gè)限位槽，所述限位桿滑動(dòng)連接在限位槽內(nèi)。

8、優(yōu)選的，所述基板左側(cè)固定安裝有u形板，所述u形板的左側(cè)內(nèi)壁上固定安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸右端貫穿基板，并延伸至其右側(cè)。

9、優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸外側(cè)固定套設(shè)有兩個(gè)驅(qū)動(dòng)齒輪，兩個(gè)所述螺紋套的外側(cè)均固定套設(shè)有從動(dòng)齒輪，所述驅(qū)動(dòng)齒輪與從動(dòng)齒輪相嚙合。

10、本實(shí)用新型中，所述的一種成型效率高的針模，通過(guò)將基板固定在蝕刻機(jī)上，接著，將微針模組本體放置在基板的頂部，接著，啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)兩個(gè)驅(qū)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)齒輪與從動(dòng)齒輪嚙合，進(jìn)而能夠帶動(dòng)兩個(gè)螺紋套轉(zhuǎn)動(dòng)，兩個(gè)螺紋套轉(zhuǎn)動(dòng)會(huì)使對(duì)應(yīng)的螺桿帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的定位板在對(duì)應(yīng)的限位桿的限位下進(jìn)行移動(dòng)，從而能夠使兩塊定位板相互靠近；

11、本實(shí)用新型中，所述的一種成型效率高的針模，通過(guò)兩塊定位板相互靠近，能夠使兩塊定位板對(duì)微針模組本體進(jìn)行夾緊，接著便可對(duì)工件進(jìn)行蝕刻，在蝕刻完成后只需控制兩塊定位板相互遠(yuǎn)離，即可解除對(duì)工件的定位，然后便可將工件取出；

12、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，通過(guò)設(shè)置定位機(jī)構(gòu)能夠確保微針模組的穩(wěn)定性，減少模組在蝕刻過(guò)程中的移動(dòng)和晃動(dòng)，從而提高蝕刻的精度和一致性，與螺紋固定相比，夾緊固定不需要額外的螺紋部件，減少了模組的尺寸和重量，實(shí)現(xiàn)了微針模組的輕量化，并且?jiàn)A緊固定操作簡(jiǎn)單便捷，從而能夠提高微針模組的生產(chǎn)效率和靈活性。

技術(shù)特征：

1.一種成型效率高的針模，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種成型效率高的針模，其特征在于，兩塊所述固定板(301)上均開(kāi)設(shè)有通孔，兩個(gè)所述螺紋套(302)分別轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在對(duì)應(yīng)的通孔內(nèi)，兩個(gè)所述螺桿(303)分別螺紋連接在對(duì)應(yīng)的螺紋套(302)內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種成型效率高的針模，其特征在于，兩塊所述定位板(304)分別固定安裝在兩塊螺桿(303)的相互靠近一端，所述定位板(304)與微針模組本體(2)配合使用，兩塊所述定位板(304)的底部均固定安裝有兩根限位桿(305)，所述基板(1)的頂部開(kāi)設(shè)有四個(gè)限位槽(306)，所述限位桿(305)滑動(dòng)連接在限位槽(306)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種成型效率高的針模，其特征在于，所述基板(1)左側(cè)固定安裝有u形板(4)，所述u形板(4)的左側(cè)內(nèi)壁上固定安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(5)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(5)輸出軸右端貫穿基板(1)，并延伸至其右側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種成型效率高的針模，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(5)的輸出軸外側(cè)固定套設(shè)有兩個(gè)驅(qū)動(dòng)齒輪(6)，兩個(gè)所述螺紋套(302)的外側(cè)均固定套設(shè)有從動(dòng)齒輪(7)，所述驅(qū)動(dòng)齒輪(6)與從動(dòng)齒輪(7)相嚙合。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種成型效率高的針模，包括基板和微針模組本體，所述微針模組本體設(shè)置于基板的頂部，所述基板的頂部設(shè)置有定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)用于對(duì)微針模組本體進(jìn)行定位，所述定位機(jī)構(gòu)包括兩塊固定板、兩個(gè)螺紋套、兩根螺桿和兩塊定位板，兩塊所述固定板均固定安裝在基板的頂部。本技術(shù)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，通過(guò)設(shè)置定位機(jī)構(gòu)能夠確保微針模組的穩(wěn)定性，減少模組在蝕刻過(guò)程中的移動(dòng)和晃動(dòng)，從而提高蝕刻的精度和一致性，與螺紋固定相比，夾緊固定不需要額外的螺紋部件，減少了模組的尺寸和重量，實(shí)現(xiàn)了微針模組的輕量化，并且?jiàn)A緊固定操作簡(jiǎn)單便捷，從而能夠提高微針模組的生產(chǎn)效率和靈活性。

技術(shù)研發(fā)人員：李俊敏
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東莞市睿輝機(jī)電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20230911
技術(shù)公布日：2024/10/21