本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工，具體是一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在收音機(jī)、電視機(jī)以及測(cè)溫上有著廣泛的應(yīng)用。如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可受控制，范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。無(wú)論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看，半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產(chǎn)品，如計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)連。常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導(dǎo)體材料中，在商業(yè)應(yīng)用上最具有影響力的一種，在半導(dǎo)體進(jìn)行加工生產(chǎn)過(guò)程中需要進(jìn)行拋光處理。

2、拋光盤(pán)在對(duì)硅等半導(dǎo)體原料進(jìn)行拋光時(shí)，拋光打磨出的粉末易附著填塞至拋光盤(pán)表面，導(dǎo)致拋光盤(pán)的拋光效果較差，現(xiàn)有的設(shè)備無(wú)法對(duì)拋光盤(pán)表面的粉末進(jìn)行自動(dòng)清理，需要人工對(duì)其進(jìn)行清掃，導(dǎo)致整體的拋光效率較低。并且現(xiàn)有的設(shè)備在拋光加工時(shí)，無(wú)法對(duì)四處飄散的粉塵進(jìn)行清理，粉塵易被吸入工作人員體內(nèi)，影響工作人員身體健康。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

3、一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)表面固定安裝有固定架，所述固定架為倒u型結(jié)構(gòu)，固定架內(nèi)腔設(shè)置有拋光組件，所述拋光組件由液壓缸、電機(jī)、傳動(dòng)桿以及拋光盤(pán)組成，所述液壓缸固定安裝于固定架內(nèi)頂壁，電機(jī)固定安裝于液壓缸的伸縮端，電機(jī)的輸出軸與傳動(dòng)桿相連接，傳動(dòng)桿遠(yuǎn)離電機(jī)的一端與拋光盤(pán)固定連接，所述工作臺(tái)表面固定安裝有與拋光盤(pán)相對(duì)分布的底座，底座表面開(kāi)設(shè)有容納槽，所述固定架內(nèi)腔設(shè)置有與拋光盤(pán)相互配合的清理機(jī)構(gòu)，所述清理機(jī)構(gòu)包括有毛刷、第一定位組件與旋轉(zhuǎn)組件，所述第一定位組件位于固定架頂壁與工作臺(tái)之間并且與毛刷相連接，第一定位組件用以控制多組毛刷在固定架內(nèi)腔沿水平方向并列分布，所述旋轉(zhuǎn)組件包括有轉(zhuǎn)動(dòng)部與復(fù)位部，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部與所述復(fù)位部分別與第一定位組件相連接，轉(zhuǎn)動(dòng)部通過(guò)與第一定位組件相互配合的方式控制毛刷在拋光盤(pán)下方旋轉(zhuǎn)，復(fù)位部通過(guò)與第一定位組件相互配合的方式控制毛刷處于拋光盤(pán)外側(cè)，所述底座內(nèi)設(shè)置有集塵機(jī)構(gòu)，所述集塵機(jī)構(gòu)包括有防塵罩、第二定位組件與導(dǎo)排組件，所述防塵罩為矩形環(huán)狀結(jié)構(gòu)并且套接于容納槽外側(cè)，第二定位組件位于底座內(nèi)并且與防塵罩相連接，第二定位組件通過(guò)與拋光盤(pán)相互配合的方式在底座表面控制防塵罩沿豎直方向移動(dòng)，導(dǎo)排組件位于工作臺(tái)底壁，導(dǎo)排組件用以對(duì)防塵罩內(nèi)腔的粉塵進(jìn)行收集。

4、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述第一定位組件包括有固定架頂壁與工作臺(tái)之間轉(zhuǎn)動(dòng)安裝的立柱，所述立柱位于拋光盤(pán)外側(cè)，立柱表面固定安裝有橫桿，多組毛刷均勻分布于橫桿表面。

5、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述轉(zhuǎn)動(dòng)部包括有立柱表面固定安裝的位于橫桿上方的第一固定齒盤(pán)，所述傳動(dòng)桿表面固定安裝有與第一固定齒盤(pán)嚙合配合的第二固定齒盤(pán)。

6、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述復(fù)位部包括有立柱表面固定安裝的定位盤(pán)，定位盤(pán)為扇形結(jié)構(gòu)，所述定位盤(pán)由磁性材料制成，固定架側(cè)壁固定安裝有支架，所述支架朝向立柱的一端固定安裝有與定位盤(pán)相互配合的磁性環(huán)，所述磁性環(huán)為弧形結(jié)構(gòu)。

7、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述第二定位組件包括有底座表面向下開(kāi)設(shè)的矩形環(huán)狀的收納腔，所述收納腔套于容納槽外側(cè)，所述防塵罩滑動(dòng)安裝于收納腔外側(cè)壁，收納腔底壁固定安裝有多組復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧的伸縮端與防塵罩底壁相連接，防塵罩頂端開(kāi)設(shè)有多組球槽，所述球槽內(nèi)放置有延伸至防塵罩外側(cè)的滾珠。

8、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述導(dǎo)排組件包括有集塵盒，所述集塵盒頂端固定安裝有頂板，所述頂板由磁性材料制成，所述工作臺(tái)底壁固定安裝有與頂板相互配合的磁性塊，所述收納腔底壁向下開(kāi)設(shè)有導(dǎo)排孔，所述導(dǎo)排孔向下穿過(guò)工作臺(tái)并且與集塵盒連通。

9、作為本發(fā)明再進(jìn)一步的方案：所述收納腔側(cè)壁開(kāi)設(shè)有沿豎直方向分布的導(dǎo)向槽，所述防塵罩側(cè)壁固定安裝有與導(dǎo)向槽滑動(dòng)連接的導(dǎo)向塊。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：通過(guò)設(shè)置由復(fù)位部、轉(zhuǎn)動(dòng)部組成的旋轉(zhuǎn)組件與第一定位組件相互配合，可以便捷的調(diào)整毛刷和拋光盤(pán)之間的相對(duì)位置，進(jìn)而可以對(duì)拋光盤(pán)表面填塞的粉塵進(jìn)行自動(dòng)清理，有效提高拋光效率；通過(guò)設(shè)置第二定位組件與導(dǎo)排組件相互配合，可以便捷的調(diào)整防塵罩和拋光盤(pán)的相對(duì)位置，可以對(duì)拋光產(chǎn)生的粉塵進(jìn)行自動(dòng)收集，有效避免粉塵四處飄散。解決了現(xiàn)有的設(shè)備無(wú)法對(duì)拋光盤(pán)表面的粉末進(jìn)行自動(dòng)清理，并且無(wú)法對(duì)四處飄散的粉塵進(jìn)行清理的問(wèn)題。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)表面固定安裝有固定架，所述固定架為倒u型結(jié)構(gòu)，固定架內(nèi)腔設(shè)置有拋光組件，所述拋光組件由液壓缸、電機(jī)、傳動(dòng)桿以及拋光盤(pán)組成，所述液壓缸固定安裝于固定架內(nèi)頂壁，電機(jī)固定安裝于液壓缸的伸縮端，電機(jī)的輸出軸與傳動(dòng)桿相連接，傳動(dòng)桿遠(yuǎn)離電機(jī)的一端與拋光盤(pán)固定連接，所述工作臺(tái)表面固定安裝有與拋光盤(pán)相對(duì)分布的底座，底座表面開(kāi)設(shè)有容納槽，其特征在于，所述固定架內(nèi)腔設(shè)置有與拋光盤(pán)相互配合的清理機(jī)構(gòu)，所述清理機(jī)構(gòu)包括有毛刷、第一定位組件與旋轉(zhuǎn)組件，所述第一定位組件位于固定架頂壁與工作臺(tái)之間并且與毛刷相連接，第一定位組件用以控制多組毛刷在固定架內(nèi)腔沿水平方向并列分布，所述旋轉(zhuǎn)組件包括有轉(zhuǎn)動(dòng)部與復(fù)位部，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部與所述復(fù)位部分別與第一定位組件相連接，轉(zhuǎn)動(dòng)部通過(guò)與第一定位組件相互配合的方式控制毛刷在拋光盤(pán)下方旋轉(zhuǎn)，復(fù)位部通過(guò)與第一定位組件相互配合的方式控制毛刷處于拋光盤(pán)外側(cè)，所述底座內(nèi)設(shè)置有集塵機(jī)構(gòu)，所述集塵機(jī)構(gòu)包括有防塵罩、第二定位組件與導(dǎo)排組件，所述防塵罩為矩形環(huán)狀結(jié)構(gòu)并且套接于容納槽外側(cè)，第二定位組件位于底座內(nèi)并且與防塵罩相連接，第二定位組件通過(guò)與拋光盤(pán)相互配合的方式在底座表面控制防塵罩沿豎直方向移動(dòng)，導(dǎo)排組件位于工作臺(tái)底壁，導(dǎo)排組件用以對(duì)防塵罩內(nèi)腔的粉塵進(jìn)行收集。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置，其特征在于，所述第一定位組件包括有固定架頂壁與工作臺(tái)之間轉(zhuǎn)動(dòng)安裝的立柱，所述立柱位于拋光盤(pán)外側(cè)，立柱表面固定安裝有橫桿，多組毛刷均勻分布于橫桿表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部包括有立柱表面固定安裝的位于橫桿上方的第一固定齒盤(pán)，所述傳動(dòng)桿表面固定安裝有與第一固定齒盤(pán)嚙合配合的第二固定齒盤(pán)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置，其特征在于，所述復(fù)位部包括有立柱表面固定安裝的定位盤(pán)，定位盤(pán)為扇形結(jié)構(gòu)，所述定位盤(pán)由磁性材料制成，固定架側(cè)壁固定安裝有支架，所述支架朝向立柱的一端固定安裝有與定位盤(pán)相互配合的磁性環(huán)，所述磁性環(huán)為弧形結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置，其特征在于，所述第二定位組件包括有底座表面向下開(kāi)設(shè)的矩形環(huán)狀的收納腔，所述收納腔套于容納槽外側(cè)，所述防塵罩滑動(dòng)安裝于收納腔外側(cè)壁，收納腔底壁固定安裝有多組復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧的伸縮端與防塵罩底壁相連接，防塵罩頂端開(kāi)設(shè)有多組球槽，所述球槽內(nèi)放置有延伸至防塵罩外側(cè)的滾珠。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置，其特征在于，所述導(dǎo)排組件包括有集塵盒，所述集塵盒頂端固定安裝有頂板，所述頂板由磁性材料制成，所述工作臺(tái)底壁固定安裝有與頂板相互配合的磁性塊，所述收納腔底壁向下開(kāi)設(shè)有導(dǎo)排孔，所述導(dǎo)排孔向下穿過(guò)工作臺(tái)并且與集塵盒連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置，其特征在于，所述收納腔側(cè)壁開(kāi)設(shè)有沿豎直方向分布的導(dǎo)向槽，所述防塵罩側(cè)壁固定安裝有與導(dǎo)向槽滑動(dòng)連接的導(dǎo)向塊。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種半導(dǎo)體加工用拋光裝置，其技術(shù)要點(diǎn)是：包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)表面固定安裝有固定架，固定架內(nèi)腔設(shè)置有拋光組件，所述拋光組件由液壓缸、電機(jī)、傳動(dòng)桿以及拋光盤(pán)組成，所述工作臺(tái)表面固定安裝有與拋光盤(pán)相對(duì)分布的底座，底座表面開(kāi)設(shè)有容納槽，所述固定架內(nèi)腔設(shè)置有與拋光盤(pán)相互配合的清理機(jī)構(gòu)，所述清理機(jī)構(gòu)包括有毛刷、第一定位組件與旋轉(zhuǎn)組件，所述旋轉(zhuǎn)組件包括有轉(zhuǎn)動(dòng)部與復(fù)位部，所述底座內(nèi)設(shè)置有集塵機(jī)構(gòu)，所述集塵機(jī)構(gòu)包括有防塵罩、第二定位組件與導(dǎo)排組件，解決了現(xiàn)有的設(shè)備無(wú)法對(duì)拋光盤(pán)表面的粉末進(jìn)行自動(dòng)清理，并且無(wú)法對(duì)四處飄散的粉塵進(jìn)行清理的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：林浩,朱麗華,曹祥俊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇正其心半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21