銅及銅合金工件化學(xué)拋光工作液及生產(chǎn)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種金屬工件化學(xué)拋光液及生產(chǎn)方法，尤其是一種拋光后清洗方便、高去除率、低損傷的銅及銅合金工件化學(xué)拋光工作液及生產(chǎn)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]化學(xué)拋光是利用化學(xué)試劑(拋光液)對(duì)樣品表面凹凸不平區(qū)域的選擇性溶解作用，消除磨痕、浸蝕整平的一種方法。目前，應(yīng)用于銅及銅合金工件的化學(xué)拋光工作液基本上都是由氧化劑、鈍化劑、腐蝕劑及活性劑等原料組成，雖然具有材料去除速率高的優(yōu)點(diǎn)，但卻存在著對(duì)拋光表面產(chǎn)生較大損傷的缺點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的上述技術(shù)問題，提供一種拋光后清洗方便、高去除率、低損傷的銅及銅合金工件化學(xué)拋光工作液及生產(chǎn)方法。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)解決方案是:一種銅及銅合金工件化學(xué)拋光工作液，其特征在于所用原料及質(zhì)量百分比如下:硝酸6?8%、硫酸46?56%、磷酸8?12%、鹽酸0.Γθ.5%，鉻酸酐
0.01?0.12%及水余量。
[0005]一種上述銅及銅合金工件化學(xué)拋光工作液的生產(chǎn)方法，其特征在于按如下步驟進(jìn)行:將計(jì)算稱量的去離子水加入到反應(yīng)釜中，加溫到45°C，開動(dòng)攪拌器控制轉(zhuǎn)速60轉(zhuǎn)/min，再將計(jì)算稱量硝酸、硫酸、磷酸、鹽酸，鉻酸酐依次加入到反應(yīng)釜中，邊加入邊攪拌至混合均勻，待溶液溫度降到室溫時(shí)，放料包裝。
[0006]本發(fā)明可有效去除銅及銅合金工件加工過程中生成的后氧化膜、潤(rùn)滑劑層(石墨層)和雜物，得到鏡面級(jí)拋光表面，具有高去除率、低損傷的優(yōu)點(diǎn)，而且拋光后清洗方便，省時(shí)省力，節(jié)省能耗。
【具體實(shí)施方式】
[0007]實(shí)施例1:
所用原料及質(zhì)量百分比如下:硝酸8%、硫酸46%、磷酸12%、鹽酸0.1%，鉻酸酐0.12%及水余量。
[0008]生產(chǎn)方法按如下步驟進(jìn)行:將計(jì)算稱量的去離子水加入到反應(yīng)釜中，加溫到450C，開動(dòng)攪拌器控制轉(zhuǎn)速60轉(zhuǎn)/min，再將計(jì)算稱量硝酸、硫酸、磷酸、鹽酸，鉻酸酐依次加入到反應(yīng)釜中，邊加入邊攪拌至混合均勻，待溶液溫度降到室溫時(shí)，放料包裝。
[0009]實(shí)施例2:
所用原料及質(zhì)量百分比如下:硝酸6%、硫酸6%、磷酸8%、鹽酸0.5%，鉻酸酐0.01%及水余量。
[0010]使用實(shí)施例1、2的化學(xué)拋光液原液，對(duì)經(jīng)前處理后的銅及銅合金工件在工作液溫度2(T40°C條件下，處理15?180s即達(dá)到全光亮。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種銅及銅合金工件化學(xué)拋光工作液，其特征在于所用原料及質(zhì)量百分比如下:硝酸6?8%、硫酸46?56%、磷酸8?12%、鹽酸0.Γθ.5%，鉻酸酐0.θΓθ.12%及水余量。
2.一種如權(quán)利要求1所述銅及銅合金工件化學(xué)拋光工作液的生產(chǎn)方法，其特征在于按如下步驟進(jìn)行:將計(jì)算稱量的去離子水加入到反應(yīng)釜中，加溫到45°C，開動(dòng)攪拌器控制轉(zhuǎn)速60轉(zhuǎn)/min，再將計(jì)算稱量硝酸、硫酸、磷酸、鹽酸，鉻酸酐依次加入到反應(yīng)釜中，邊加入邊攪拌至混合均勻，待溶液溫度降到室溫時(shí)，放料包裝。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種銅及銅合金工件化學(xué)拋光工作液，其特征在于所用原料及質(zhì)量百分比如下：硝酸6~8%、硫酸46~56%、磷酸8~12%、鹽酸0.1~0.5%，鉻酸酐0.01~0.12%及水余量。生產(chǎn)方法按如下步驟進(jìn)行：將計(jì)算稱量的去離子水加入到反應(yīng)釜中，加溫到45℃，開動(dòng)攪拌器控制轉(zhuǎn)速60轉(zhuǎn)/min，再將計(jì)算稱量硝酸、硫酸、磷酸、鹽酸，鉻酸酐依次加入到反應(yīng)釜中，邊加入邊攪拌至混合均勻，待溶液溫度降到室溫時(shí)，放料包裝。
【IPC分類】C23F3-06
【公開號(hào)】CN104711577
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310678618
【發(fā)明人】黃文飛, 王劍, 李文瀚
【申請(qǐng)人】三達(dá)奧克化學(xué)股份有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請(qǐng)日】2013年12月14日