金屬掩模連接結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種金屬掩模連接結(jié)構(gòu)，更具體地，涉及一種用于制造OLED的蒸鍍過程的金屬掩模連接結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]透過金屬掩模(FMM Mask)是在制備OLED過程中專用蒸鍍有機(jī)發(fā)光材料的掩模。這種掩模使用低膨脹材料形成，比常規(guī)的掩模更薄，例如厚度為0.03mmt至0.05mmt。目前的FMM掩?？梢酝ㄟ^焊接方式將多個(gè)層組合一起形成，例如將掩模兩端或外周通過激光焊接點(diǎn)與框架焊在一起，但是焊點(diǎn)高低不易保證。掩模表面不平整或突起將會(huì)導(dǎo)致接觸面不平，帶來蒸鍍的不均勻。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于此，本發(fā)明的目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中的問題的至少部分，提供一種金屬掩模連接結(jié)構(gòu)。
[0004]本發(fā)明的第一方面，提供一種金屬掩模連接結(jié)構(gòu)，包括多個(gè)連接點(diǎn)，所述多個(gè)連接點(diǎn)在平面內(nèi)分布在多個(gè)虛擬三角形區(qū)域內(nèi)。
[0005]本發(fā)明的第一方面，提供一種金屬掩模，包括前述的金屬掩模連接結(jié)構(gòu)。
【附圖說明】
[0006]圖1示出金屬掩模的一層的平面圖；
[0007]圖2示出現(xiàn)有的金屬掩模的一層的焊接點(diǎn)的分布；
[0008]圖3示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的金屬掩模的一層的連接點(diǎn)的分布。
【具體實(shí)施方式】
[0009]現(xiàn)在對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例提供詳細(xì)參考，其范例在附圖中說明，圖中相同的數(shù)字全部代表相同的元件。為解釋本發(fā)明下述實(shí)施例將參考附圖被描述。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，一種金屬掩模，用于制造OLED過程的蒸鍍過程。金屬掩?？梢园ǘ鄬?，例如包括金屬框架以及例如蓋片、固定片、分區(qū)片以及對(duì)準(zhǔn)片等多個(gè)功能層或片材。蓋片、固定片、分區(qū)片以及對(duì)準(zhǔn)片這些片材可以依次疊層并通過連接結(jié)構(gòu)連接至金屬框架，從而形成一個(gè)金屬掩模。
[0011]蓋片和固定片可以焊接在金屬框架的預(yù)先的凹槽內(nèi)。分區(qū)片以及對(duì)準(zhǔn)片在定位之后，它們的邊緣部分分別被焊接在金屬框架上。
[0012]為了保證金屬掩模的各個(gè)層對(duì)準(zhǔn)和固定，金屬掩模還包括金屬掩模連接結(jié)構(gòu)，所述連接結(jié)構(gòu)用于將多個(gè)層連接至金屬掩模的框架。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，一種金屬掩模連接結(jié)構(gòu)，用于將金屬掩模連接至金屬框架。此處，應(yīng)當(dāng)注意的是，金屬掩?？梢灾傅氖墙饘傺谀５囊粋€(gè)單獨(dú)的層或多個(gè)單獨(dú)的層，或多個(gè)層形成的整體；金屬掩模連接結(jié)構(gòu)用于將金屬掩模的一個(gè)單獨(dú)的層或多個(gè)單獨(dú)的層連接至金屬框架，或?qū)⒍鄠€(gè)層形成的整體連接至金屬框架。
[0014]圖1不出金屬掩模的一層，例如分區(qū)片，在掩模的工作區(qū)域內(nèi)包括多個(gè)小區(qū)域，這些小區(qū)域可以每一個(gè)對(duì)應(yīng)一個(gè)胞元或管芯。圖1中用字母A-K標(biāo)識(shí)了方位，例如A-D行，B-K列。為了固定金屬掩模的多個(gè)層以保證對(duì)準(zhǔn)，在這些小區(qū)域之間設(shè)置連接點(diǎn)。圖1中的連接點(diǎn)在相鄰的四個(gè)小區(qū)域中間。本公開的附圖中小區(qū)域用顏色較深的區(qū)域表示，這些小區(qū)域之間存在如圖所示的空白區(qū)。連接點(diǎn)設(shè)置小區(qū)域之間的線狀空白區(qū)。
[0015]圖2是多個(gè)連接點(diǎn)，這些連接點(diǎn)基本上覆蓋了整個(gè)金屬掩模，一種焊接方法是在如圖2所示的所有焊接點(diǎn)處焊接金屬掩模的多個(gè)層。這樣焊接可以將掩模的多個(gè)層固定在框架上，但是在實(shí)際生產(chǎn)中將導(dǎo)致成本高，并且當(dāng)一層損壞或不對(duì)準(zhǔn)時(shí)不易更換。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，金屬掩模連接結(jié)構(gòu)包括多個(gè)連接點(diǎn)，所述多個(gè)連接點(diǎn)在平面內(nèi)分布在多個(gè)虛擬三角形區(qū)域內(nèi)。例如，如圖3所示，連接點(diǎn)在平面內(nèi)分布成在至少兩個(gè)三角形區(qū)域內(nèi)(位于D、C、B行內(nèi)及邊緣的線狀空白區(qū)域內(nèi))，這些連接點(diǎn)分布的區(qū)域?qū)⒔缍ǔ鲋辽賰蓚€(gè)三角形區(qū)域，圖3的左邊區(qū)域(例如K、J、H、G、F列之間的線狀空白區(qū)域)內(nèi)由連接點(diǎn)覆蓋的區(qū)域是一個(gè)直角三角形，右邊區(qū)域(A/E、B、C、D、E列列之間的線狀空白區(qū)域)內(nèi)由連接點(diǎn)覆蓋的區(qū)域是一個(gè)直角三角形，這兩個(gè)直角三角形頂點(diǎn)鄰近，兩個(gè)直角三角形的一條長直角邊在一條直線上，兩個(gè)直角三角形的一條短直角邊，即K列和J列之間的線狀空白區(qū)域的連接點(diǎn)和B列右側(cè)的線狀空白區(qū)域的連接點(diǎn)相互遠(yuǎn)離。在兩個(gè)直角三角形的斜邊之間沒有連接點(diǎn)。這樣的布置是有利的，兩個(gè)直角三角形的布置形式可以帶來連接的穩(wěn)定性，并且在保持穩(wěn)定性的同時(shí)減少了連接點(diǎn)，有利更換不想要的掩模的層；并且，實(shí)際測量表面這樣的布置形式有利于掩模的流動(dòng)性，消除混色。
[0017]在本發(fā)明的實(shí)施例中，連接點(diǎn)可以是焊接點(diǎn)。在其他實(shí)施例中，連接點(diǎn)可以是粘結(jié)點(diǎn)。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，多個(gè)連接點(diǎn)在平面內(nèi)至少構(gòu)成三個(gè)不同的虛擬三角形區(qū)域。例如，如圖3所示，連接點(diǎn)分布成至少三個(gè)三角形，圖3的左邊區(qū)域(K、J、H、G、F列之間的線狀空白區(qū)域)內(nèi)由連接點(diǎn)覆蓋的區(qū)域是一個(gè)直角三角形，右邊區(qū)域(A/E、B、C、D、E列之間的線狀空白區(qū)域)內(nèi)由連接點(diǎn)覆蓋的區(qū)域是一個(gè)直角三角形，這兩個(gè)直角三角形頂點(diǎn)鄰近，兩個(gè)直角三角形的一條長直角邊在一條直線上，兩個(gè)直角三角形的一條短直角邊相互遠(yuǎn)離。在兩個(gè)直角三角形的斜邊之間沒有連接點(diǎn)。圖3的底部(A行下邊緣)還有一個(gè)連接點(diǎn)，該連接點(diǎn)位于底部中間(E列和F列之間的線狀空白區(qū)域)，這個(gè)連接點(diǎn)與相鄰的兩個(gè)連接點(diǎn)以確定一個(gè)等腰三角形頂點(diǎn)的形式分布。這樣，在圖3的連接點(diǎn)分布圖中，連接點(diǎn)分布在三個(gè)三角形區(qū)域內(nèi)。應(yīng)該知道，圖3僅給出一種連接點(diǎn)的布置形式，連接點(diǎn)可以以其他形式布置，這些布置形式可以包括其他形式的三角形區(qū)域。圖3中的連接點(diǎn)的布置形式相對(duì)于中間的連接點(diǎn)是對(duì)稱的。在保證固定的情況下，連接點(diǎn)的布置形式也可以是不對(duì)稱的多個(gè)三角形的形式。
[0019]在例如圖3中的實(shí)施例中，至少三個(gè)虛擬三角形區(qū)域中的一個(gè)虛擬三角形區(qū)域的頂點(diǎn)與其他兩個(gè)虛擬三角形區(qū)域的頂點(diǎn)在虛擬三角形區(qū)域的底邊的不同側(cè)。這樣的布置是有利的，三個(gè)直角三角形的布置形式可以帶來更好的連接的穩(wěn)定性，并且在保持穩(wěn)定性的同時(shí)減少了連接點(diǎn)，有利更換不想要的掩模的層；并且，實(shí)際測量表面這樣的布置形式進(jìn)一步地改善掩模的流動(dòng)性，消除混色。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，連接點(diǎn)可以是焊接點(diǎn)，也可以是粘結(jié)點(diǎn)。
[0020]在例如圖3中的實(shí)施例中，至少三個(gè)虛擬三角形區(qū)域中的所述其他兩個(gè)虛擬三角形區(qū)域中的連接點(diǎn)在掩模的靠近邊緣的部分的分布密度大于在掩模中間部分的分布密度。SP，在圖3中，在K列和J列之間的連接點(diǎn)(四個(gè))比G列和F列之間的連接點(diǎn)(一個(gè))多，在B列和A/E列之間的連接點(diǎn)(四個(gè))比E列和D列之間的連接點(diǎn)(一個(gè))多。
[0021]在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，連接點(diǎn)可以構(gòu)成多個(gè)三角形。例如，圖3中的J列和H列之間的三個(gè)連接點(diǎn)中的中間的連接點(diǎn)可以不存在，對(duì)應(yīng)右邊區(qū)域，即C列和B列之間的中間連接點(diǎn)可以不存在。本說明書沒有給出所有可能的形式，然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員基于本公開可以想到其他修改的形式。
[0022]盡管已經(jīng)參考本發(fā)明的典型實(shí)施例，具體示出和描述了本發(fā)明，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在不脫離所附權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)上的多種改變。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種金屬掩模連接結(jié)構(gòu)，用于將金屬掩模連接至物體，其特征在于， 所述金屬掩模連接結(jié)構(gòu)包括多個(gè)連接點(diǎn)，所述多個(gè)連接點(diǎn)在平面內(nèi)分布在多個(gè)虛擬三角形區(qū)域內(nèi)。2.如權(quán)利要求1所述的金屬掩模連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 多個(gè)連接點(diǎn)是焊接點(diǎn)。3.如權(quán)利要求1或2所述的金屬掩模連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述多個(gè)連接點(diǎn)在平面內(nèi)至少構(gòu)成三個(gè)不同的虛擬三角形區(qū)域。4.如權(quán)利要求3所述的金屬掩模連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 至少三個(gè)虛擬三角形區(qū)域中的一個(gè)虛擬三角形區(qū)域的頂點(diǎn)與其他兩個(gè)虛擬三角形區(qū)域的頂點(diǎn)在虛擬三角形區(qū)域的底邊的不同側(cè)。5.如權(quán)利要求4所述的金屬掩模連接結(jié)構(gòu)，其特征在于， 至少三個(gè)虛擬三角形區(qū)域中的所述其他兩個(gè)虛擬三角形區(qū)域中的連接點(diǎn)在物體邊緣部分的分布密度大于在物體中間部分的分布密度。6.—種金屬掩模，包括如前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的金屬掩模連接結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種金屬掩模連接結(jié)構(gòu)和金屬掩模。金屬掩模連接結(jié)構(gòu)包括多個(gè)連接點(diǎn)，所述多個(gè)連接點(diǎn)在平面內(nèi)分布在多個(gè)虛擬三角形區(qū)域內(nèi)。本實(shí)用新型的金屬掩模連接結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)金屬掩模的連接穩(wěn)定性，同時(shí)減少焊接點(diǎn)，改善流動(dòng)性，消除混色。
【IPC分類】C23C14/04, H01L51/56
【公開號(hào)】CN204825027
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520452546
【發(fā)明人】楊凡, 申章煥, 郭坤
【申請(qǐng)人】鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請(qǐng)日】2015年6月29日