一種藍(lán)寶石雙面研磨設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及藍(lán)寶石研磨技術(shù)，尤其涉及一種用于藍(lán)寶石雙面研磨的設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前國產(chǎn)雙面研磨機(jī)是為研磨水晶而設(shè)計，水晶硬度為莫氏硬度7，而藍(lán)寶石硬度為莫氏硬度9遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于水晶，雙面研磨需要解決的關(guān)鍵是:提高去除速率和表面平整度、研磨盤耐長時間磨耗并易于修整、降低加工成本。傳統(tǒng)的雙面研磨工藝是使用單電機(jī)拖動的研磨機(jī)，即由一臺電機(jī)帶動內(nèi)轉(zhuǎn)動軸，并通過傳動齒輪，帶動上下研磨盤，外轉(zhuǎn)動軸和行星傳動系統(tǒng)同步運動。采用鑄鐵研磨盤，盤面上面車成網(wǎng)狀或十字槽溝，用于貯存研磨液。人工將配重塊加在上研磨盤上，以調(diào)整研磨壓力。傳統(tǒng)雙面研磨機(jī)有如下缺點:
[0003]a由于上下研磨盤、外轉(zhuǎn)動軸和行星傳動系統(tǒng)同步運動，晶片運動方式單一且軌跡不長和重復(fù)，晶片研磨后表面平整度不理想；
[0004]b研磨壓力調(diào)整困難，配重太重壓碎寶石晶片，配重太輕研磨壓力低，研磨去除速率低；
[0005]c網(wǎng)狀或十字槽溝不利于新研磨液參與研磨，制約去除速率；
[0006]d不易于修整研磨盤面；
[0007]e去除速率低，加工周期長，影響效益。
【實用新型內(nèi)容】
[0008]本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，操作方便，成本低廉的藍(lán)寶石雙面研磨設(shè)備。
[0009]本實用新型所要解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
[0010]—種藍(lán)寶石雙面研磨設(shè)備，包括內(nèi)轉(zhuǎn)動軸、外轉(zhuǎn)動軸、上研磨盤、下研磨盤、研磨液輸入軟管和支撐架；所述內(nèi)轉(zhuǎn)動軸上帶有外齒輪，外轉(zhuǎn)動軸上帶有內(nèi)齒輪，內(nèi)轉(zhuǎn)動軸與外轉(zhuǎn)動軸通過內(nèi)外齒輪卡接；外轉(zhuǎn)動軸上通過柱銷連接有下研磨盤，下研磨盤上設(shè)有上研磨盤，上下研磨盤之間安裝有支撐架，支撐架上設(shè)置有襯底晶片并連接研磨液輸入軟管。
[0011]所述內(nèi)轉(zhuǎn)動軸和外轉(zhuǎn)動軸分別與外接電機(jī)連接。
[0012]本實用新型的有益效果是:為了使研磨的晶片表面的高平整度，需要使其運動軌跡復(fù)雜化(盡量不重復(fù))，被加工的晶片放在支撐架內(nèi)，支撐架作為由帶有外齒輪的內(nèi)轉(zhuǎn)動軸和帶有內(nèi)齒輪的外轉(zhuǎn)動軸所構(gòu)成的差動輪系中的行星齒輪。只要改變內(nèi)轉(zhuǎn)動軸和外轉(zhuǎn)動軸的運動參數(shù)，即可獲得不同的支撐架運動軌跡，被加工的晶片亦可獲得不同的運動軌跡；通過研磨液輸入軟管滴入研磨液，晶片一邊旋轉(zhuǎn)運動，一邊被研磨；加工時間短，效果更顯著。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]其中:1-內(nèi)轉(zhuǎn)動軸；2_外轉(zhuǎn)動軸；3-柱銷；4_下研磨盤；5_上研磨盤；6_研磨液輸入軟管；7_襯底晶片；8_支撐架。
【具體實施方式】
[0015]為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進(jìn)一步闡述本實用新型。
[0016]—種藍(lán)寶石雙面研磨設(shè)備，包括內(nèi)轉(zhuǎn)動軸1、外轉(zhuǎn)動軸2、上研磨盤4、下研磨盤5、研磨液輸入軟管6和支撐架8 ;內(nèi)轉(zhuǎn)動軸I上帶有外齒輪，外轉(zhuǎn)動軸2上帶有內(nèi)齒輪，內(nèi)轉(zhuǎn)動軸I與外轉(zhuǎn)動軸2通過內(nèi)外齒輪卡接；內(nèi)轉(zhuǎn)動軸I和外轉(zhuǎn)動軸2分別于外接電機(jī)連接，外轉(zhuǎn)動軸2上通過柱銷3連接有下研磨盤4，下研磨盤4上設(shè)有上研磨盤5，上下研磨盤之間安裝有支撐架8，支撐架8上設(shè)置有襯底晶片7并連接研磨液輸入軟管6。
[0017]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項】
1.一種藍(lán)寶石雙面研磨設(shè)備，包括內(nèi)轉(zhuǎn)動軸、外轉(zhuǎn)動軸、上研磨盤、下研磨盤、研磨液輸入軟管和支撐架；其特征在于:所述內(nèi)轉(zhuǎn)動軸上帶有外齒輪，外轉(zhuǎn)動軸上帶有內(nèi)齒輪，內(nèi)轉(zhuǎn)動軸與外轉(zhuǎn)動軸通過內(nèi)外齒輪卡接；外轉(zhuǎn)動軸上通過柱銷連接有下研磨盤，下研磨盤上設(shè)有上研磨盤，上下研磨盤之間安裝有支撐架，支撐架上設(shè)置有襯底晶片并連接研磨液輸入軟管。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種藍(lán)寶石雙面研磨設(shè)備，其特征在于:所述內(nèi)轉(zhuǎn)動軸和外轉(zhuǎn)動軸分別與外接電機(jī)連接。
【專利摘要】一種藍(lán)寶石雙面研磨設(shè)備，屬于藍(lán)寶石研磨技術(shù)領(lǐng)域，包括內(nèi)轉(zhuǎn)動軸、外轉(zhuǎn)動軸、上研磨盤、下研磨盤、研磨液輸入軟管和支撐架；所述內(nèi)轉(zhuǎn)動軸上帶有外齒輪，外轉(zhuǎn)動軸上帶有內(nèi)齒輪，內(nèi)轉(zhuǎn)動軸與外轉(zhuǎn)動軸通過內(nèi)外齒輪卡接；外轉(zhuǎn)動軸上通過柱銷連接有下研磨盤，下研磨盤上設(shè)有上研磨盤，上下研磨盤之間安裝有支撐架，支撐架上設(shè)置有襯底晶片并連接研磨液輸入軟管。本實用新型的有益效果是：為了使研磨的晶片表面的高平整度，需要使其運動軌跡復(fù)雜化(盡量不重復(fù))，通過改變內(nèi)轉(zhuǎn)動軸和外轉(zhuǎn)動軸的運動參數(shù)，獲得不同的支撐架運動軌跡，同時使得被加工的晶片獲得不同的運動軌跡；加工時間短，效果更顯著。
【IPC分類】B24B37/08, B24B57/02
【公開號】CN204843822
【申請?zhí)枴緾N201520421674
【發(fā)明人】陳子榮, 王海彤, 強(qiáng)國, 佘衛(wèi)東, 周俊
【申請人】銅陵市琨鵬光電科技有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年6月17日