防止成膜熱損傷的卷取式ito成膜裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種卷取式ΙΤ0成膜裝置，尤其是一種可以防止成膜熱損傷的卷取式ΙΤ0成膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]因為ΙΤ0薄膜具有良好的透明性與導(dǎo)電性，同時還具有良好的刻蝕性，因而被大量運用于平面液晶顯示(IXD)，電致發(fā)光顯示(ELD)，電致色彩顯示(E⑶)等。隨著近幾年來，國內(nèi)液晶顯示器產(chǎn)業(yè)的大力發(fā)展，對ΙΤ0產(chǎn)品的需求量增大的同時，對產(chǎn)品的質(zhì)量有了新的要求?，F(xiàn)存的ΙΤ0薄膜生產(chǎn)工藝中，特別是在濺射成膜的時候，薄膜基材表面暴露在高能粒子和等離子體的環(huán)境下，帶電粒子入射，大量的電流流動，造成電流熱效應(yīng)的熱量很大。薄膜基材在被高溫加熱的情況下，薄膜基材會產(chǎn)生變形和褶皺等熱損傷現(xiàn)象，造成ΙΤ0薄膜的成品率不穩(wěn)定，其生產(chǎn)速度受限制，美觀度不高等不良現(xiàn)象。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)存在之缺失，其主要目的是提供一種可以防止成膜熱損傷的卷取式ΙΤ0成膜裝置。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下之技術(shù)方案:
[0005]—種防止成膜熱損傷的卷取式ΙΤ0成膜裝置，包括密封腔體，以及設(shè)置于密封腔體內(nèi)的放料輥、卷取輥、濺射主輥、靶材，所述放料輥及卷取輥分別位于密封腔體內(nèi)兩側(cè)，所述濺射主輥處于放料輥與卷取輥之間的下方，所述濺射主輥內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，內(nèi)部設(shè)有冷卻系統(tǒng)。
[0006]本實用新型進(jìn)一步方案，所述冷卻系統(tǒng)為水循環(huán)系統(tǒng)。
[0007]本實用新型進(jìn)一步方案，所述卷取式ΙΤ0成膜裝置還設(shè)有除靜電裝置，所述除靜電裝置處于卷取輥旁，并且該除靜電裝置生成的帶電粒子射向卷取輥上的ΙΤ0薄膜。
[0008]本實用新型進(jìn)一步方案，所述卷取式ΙΤ0成膜裝置還設(shè)有放料導(dǎo)輥和收料導(dǎo)輥，所述放料導(dǎo)輥包括第一放料導(dǎo)輥和第二放料導(dǎo)輥，第一放料導(dǎo)輥處于放料輥及濺射主輥之間，并且位于放料輥的右下方，第二放料導(dǎo)輥在第一放料導(dǎo)輥下方；所述收料導(dǎo)輥包括第一收料導(dǎo)輥和第二收料導(dǎo)輥，第二收料導(dǎo)輥處于卷取輥左下方，第一收料導(dǎo)輥位于第二收料導(dǎo)輥和濺射主輥之間。
[0009]本實用新型進(jìn)一步方案，所述卷取式ΙΤ0成膜裝置還設(shè)有張力擺輥、展平輥，所述張力擺輥在第二放料導(dǎo)輥的左下方，所述展平輥在張力擺輥的左下方。
[0010]本實用新型進(jìn)一步方案，所述放料輥上的基材按順序經(jīng)過第一放料導(dǎo)輥和第二放料導(dǎo)輥外側(cè)，張力擺輥、展平輥內(nèi)側(cè)，濺射主輥，第一收料導(dǎo)輥內(nèi)側(cè)，第二收料導(dǎo)輥外側(cè)后，到卷取棍收卷。
[0011]本實用新型進(jìn)一步方案，所述濺射主輥和第一收料導(dǎo)輥與地線相連接。
[0012]本實用新型進(jìn)一步方案，所述展平輥從中軸線開始往兩邊設(shè)有對稱螺紋，該展平輥主要由丁晴橡膠添加靜電液生成。
[0013]本實用新型進(jìn)一步方案，所述靶材包括有第一靶材、第二靶材和第三靶材，第一靶材和第三靶材分別設(shè)于濺射主輥左右兩邊的密封腔體壁面上，第二靶材設(shè)于濺射主輥下方的密封腔體壁面上。
[0014]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，有以下幾個進(jìn)步:(1)、濺射主輥內(nèi)部增加水循環(huán)系統(tǒng)，帶走基材在濺射過程中所產(chǎn)生的部分溫度，降低熱損傷或變形產(chǎn)生的機率，提高ΙΤ0薄膜的生產(chǎn)質(zhì)量；(2)、濺射主輥、第一收料導(dǎo)輥做接地線處理，除掉部分電荷，減少產(chǎn)生熱損傷的情況出現(xiàn)，提高ΙΤ0薄膜產(chǎn)品的優(yōu)品率；(3)、增加除靜電裝置，經(jīng)過除電步驟后，可有效減少成膜表面的電荷，避免開箱后因靜電對人的電擊和收卷后膜層之間形成的電暈紋，使ΙΤ0薄膜的生產(chǎn)更加安全，提高產(chǎn)品質(zhì)量；(4)、增加張力擺輥和展平輥的聯(lián)合使用，使基材與濺射主輥更好的接觸，減少變形的產(chǎn)生，從而加快ΙΤ0的成膜速度。
[0015]為更清楚地闡述本實用新型的結(jié)構(gòu)特征、技術(shù)手段及其所達(dá)到的具體目的和功能，下面結(jié)合附圖與具體實施例來對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明:
【附圖說明】
[0016]圖1是本實用新型之實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]附圖標(biāo)識說明:
[0018]1-第一放料導(dǎo)輥，2-第二放料導(dǎo)輥，3-第一收料導(dǎo)輥，4-第二收料導(dǎo)輥，5-第一靶材，6-第二革E材，7-第二革E材，8-放料棍，9-張力擺棍，10-展平棍，11-派射主棍，12-密封腔體，13-除靜電裝置，14-卷取輥，15-基材。
【具體實施方式】
[0019]如圖1所示，一種防止成膜熱損傷的卷取式ΙΤ0成膜裝置，包括密封腔體12，以及設(shè)置于密封腔體12內(nèi)的放料輥6、卷取輥14、濺射主輥11、靶材，所述放料輥8及卷取輥14分別位于密封腔體12內(nèi)兩側(cè)，所述濺射主輥11處于放料輥8與卷取輥14之間的下方，所述濺射主輥11內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，并且設(shè)有冷卻系統(tǒng)，這樣能有效的防止薄膜基材15因濺射所產(chǎn)生的電流熱量而產(chǎn)生損傷，所述冷卻系統(tǒng)是水循環(huán)系統(tǒng)。
[0020]該派射主棍11與地線相連接，帶走部分電荷，減少基材15被擊穿或發(fā)生裙皺等現(xiàn)象的發(fā)生。
[0021]所述卷取式ΙΤ0成膜裝置還設(shè)有放料導(dǎo)輥和收料導(dǎo)輥，所述放料導(dǎo)輥包括第一放料導(dǎo)輥1和第二放料導(dǎo)輥2，第一放料導(dǎo)輥1處于放料輥8及濺射主輥11之間，并且位于放料輥8的右下方，第二放料導(dǎo)輥2位在第一放料導(dǎo)輥1下方；所述收料導(dǎo)輥包括第一收料導(dǎo)輥3和第二收料導(dǎo)輥4，第二收料導(dǎo)輥4處于卷取輥14左下方，第一收料導(dǎo)輥3位于第二收料導(dǎo)輥4和濺射主輥11之間。
[0022]所述卷取式ΙΤ0成膜裝置還設(shè)有張力擺輥9、展平輥10，所述張力擺輥9在第二放料導(dǎo)輥2的左下方，所述展平輥10在張力擺輥9的左下方。張力擺輥9和展平輥10的聯(lián)合使用使基材15與濺射主輥11更好的接觸，減變形的產(chǎn)生。
[0023]所述展平輥10從中軸線開始往兩邊設(shè)有對稱螺紋，該輥主要由丁晴橡膠添加靜電液生成。
[0024]所述靶材包括有第一靶材5、第二靶材6和第三靶材7，第一靶材5和第三靶7材分別設(shè)于濺射主輥11左右兩邊的密封腔體12壁面上，第二靶材6設(shè)于濺射主輥11下方的密封腔體12壁面上。
[0025]所述卷取式ΙΤ0成膜裝置還設(shè)有除靜電裝置13，所述除靜電裝置13位于卷取輥14旁，并且該除靜電裝置13生成的帶電粒子射向ΙΤ0薄膜，利用異性電荷相吸原理，消除IT0薄膜上的電荷，達(dá)到除靜電的效果。
[0026]除靜電裝置13的安裝和第一收料導(dǎo)輥3的接地處理，可有效減少成膜表面的電荷，避免了開箱后因靜電對人的電擊和收卷后膜層之間形成的電暈紋。
[0027]在濺射過程中，通過輥的轉(zhuǎn)動，放料輥8上的基材15按順序經(jīng)過第一放料導(dǎo)輥1和第二放料導(dǎo)輥2外側(cè)，張力擺輥9、展平輥10內(nèi)側(cè)，濺射主輥11，第一收料導(dǎo)輥3內(nèi)側(cè)，第二收料導(dǎo)輥4外側(cè)后，經(jīng)除靜電裝置除靜電后，到卷取輥14收卷。期間，基材15先后經(jīng)過第一靶材5、第二靶材6和第三靶材7濺射。
[0028]以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，故凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實際對以上實施例所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于:包括密封腔體，以及設(shè)置于密封腔體內(nèi)的放料輥、卷取輥、濺射主輥、靶材，所述放料輥及卷取輥分別位于密封腔體內(nèi)兩側(cè)，所述濺射主輥處于放料輥與卷取輥之間的下方，所述濺射主輥內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，內(nèi)部設(shè)有冷卻系統(tǒng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于:所述冷卻系統(tǒng)為水循環(huán)系統(tǒng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于:還包括有除靜電裝置，所述除靜電裝置設(shè)于卷取輥旁，并且該除靜電裝置生成的帶電粒子射向卷取輥上的ITO薄膜。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于:還包括有放料導(dǎo)輥和收料導(dǎo)輥，所述放料導(dǎo)輥包括第一放料導(dǎo)輥和第二放料導(dǎo)輥，第一放料導(dǎo)輥處于放料輥及濺射主輥之間，并且位于放料輥的右下方，第二放料導(dǎo)輥位于第一放料導(dǎo)輥下方；所述收料導(dǎo)輥包括第一收料導(dǎo)輥和第二收料導(dǎo)輥，第二收料導(dǎo)輥處于卷取輥左下方，第一收料導(dǎo)輥位于第二收料導(dǎo)輥和濺射主輥之間。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于:還包括有張力擺輥、展平輥，所述張力擺輥在第二放料導(dǎo)輥的左下方，所述展平輥在張力擺輥的左下方。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于:所述放料輥上的基材按順序經(jīng)過第一放料導(dǎo)輥和第二放料導(dǎo)輥外側(cè)，張力擺輥、展平輥內(nèi)側(cè)，濺射主輥，第一收料導(dǎo)輥內(nèi)側(cè)，第二收料導(dǎo)輥外側(cè)后，到卷取輥收卷。7.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于:所述派射主棍和第一收料導(dǎo)棍與地線相連接。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于:所述展平輥從中軸線開始往兩邊設(shè)有對稱螺紋，該展平輥主要由丁晴橡膠添加靜電液生成。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于:所述靶材包括有第一靶材、第二靶材和第三靶材，第一靶材和第三靶材分別設(shè)于濺射主輥左右兩側(cè)的密封腔體壁面上，第二靶材設(shè)于濺射主輥下方的密封腔體壁面上。
【專利摘要】本實用新型公開一種防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置包括密封腔體，以及設(shè)置于密封腔體內(nèi)的放料輥、卷取輥、濺射主輥、靶材，所述放料輥及卷取輥分別位于密封腔體內(nèi)兩側(cè)，所述濺射主輥處于放料輥與卷取輥之間的下方。本實用新型在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過對濺射主輥內(nèi)部設(shè)水循環(huán)系統(tǒng)，使濺射主輥和第一收料導(dǎo)輥與地線相連接，在卷取輥旁設(shè)一除靜電裝置，增加張力擺輥和展平輥等技術(shù)改良，有效地減少熱損傷、變形、電擊人體等現(xiàn)象的發(fā)生，使ITO薄膜的生產(chǎn)過程更加安全、高效，其產(chǎn)品更加美觀，提高優(yōu)品率。
【IPC分類】C23C14/34, C23C14/08
【公開號】CN205077128
【申請?zhí)枴緾N201520826715
【發(fā)明人】由龍, 黃振革
【申請人】山東金鼎電子材料有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年10月23日