鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)，包括修正板，所述修正板連接橫桿，該橫桿通過連接塊連接立柱，橫桿與立柱垂直設(shè)置，立柱安裝在鍍膜箱體的底部，調(diào)整位置使得修正板位于鍍膜坩堝的上方；所述鍍膜箱體的頂部設(shè)有掛具板，掛具板通過連桿連接滾輪，滾輪連接行星盤，行星盤上夾固反光鏡；該鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)采用修正板置于蒸發(fā)源和被鍍光學(xué)元件之間，以改變工作室中膜厚分布，使工件盤各個(gè)位置上的膜厚達(dá)到均勻的要求，解決鍍膜工作室中膜厚分布不均勻的技術(shù)問題，解決三元或多元行星盤上的反光鏡片不能有很好的膜層均勻性的問題，具有工藝簡(jiǎn)單、方便可靠等優(yōu)點(diǎn)，值得大力推廣。
【專利說明】
鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及鍍膜加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。現(xiàn)有的鍍膜機(jī)工作室中存在著膜厚分布不均勻這一關(guān)鍵性的技術(shù)問題，對(duì)于要求很高的光學(xué)薄膜元件，常因膜厚均勻性不佳而不能使用，大大降低了光學(xué)薄膜元件的質(zhì)量和成品率，特別是三元或多元行星盤上的反光鏡片不能有很好的膜層均勻性，在膜厚沒有修正的情況下，鏡片左右兩邊的膜厚是不均勻的，這樣的反光鏡使用的話照射出來的光就會(huì)是五顏六色的，這樣的產(chǎn)品根本是不能使用的。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型旨在提供一種采用修正板置于蒸發(fā)源和被鍍光學(xué)元件之間，以改變工作室中膜厚分布，使工件盤各個(gè)位置上的膜厚達(dá)到均勻的要求的鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)，包括修正板，所述修正板連接橫桿，該橫桿通過連接塊連接立柱，橫桿與立柱垂直設(shè)置，立柱安裝在鍍膜箱體的底部，修正板位于鍍膜坩禍的上方。
[0005]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案:所述修正板整體呈弧形。
[0006]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案:所述修正板的材料為不銹鋼板。
[0007]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案:所述鍍膜箱體的頂部設(shè)有掛具板，掛具板通過連桿連接滾輪，滾輪連接行星盤，行星盤上夾固反光鏡。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:該鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)采用修正板置于蒸發(fā)源和被鍍光學(xué)元件之間，以改變工作室中膜厚分布，使工件盤各個(gè)位置上的膜厚達(dá)到均勻的要求，解決鍍膜工作室中膜厚分布不均勻的技術(shù)問題，解決三元或多元行星盤上的反光鏡片不能有很好的膜層均勻性的問題，具有工藝簡(jiǎn)單、方便可靠等優(yōu)點(diǎn)，值得大力推廣。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的整體不意圖；
[0010]圖2為本實(shí)用新型的正視圖；
[0011]圖3為本實(shí)用新型的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0013]請(qǐng)參閱圖1-3，本實(shí)用新型實(shí)施例中，鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)，包括修正板I，所述修正板I連接橫桿2，該橫桿2通過連接塊3連接立柱4，橫桿2與立柱4垂直設(shè)置，立柱4安裝在鍍膜箱體5的底部，調(diào)整位置使得修正板I位于鍍膜坩禍6的上方;所述鍍膜箱體5的頂部設(shè)有掛具板21，掛具板21通過連桿連接滾輪22，滾輪22連接行星盤23，行星盤23上夾固反光鏡24。
[0014]修正板I的制作:在制作修正板I的過程中，是一個(gè)不斷修剪的過程:剛開始剪一個(gè)初始的長(zhǎng)方形板，把板彎成和軌道一樣的弧度，然后鍍制一個(gè)中心波長(zhǎng)550NM的7層膜，測(cè)試鏡片兩邊的波長(zhǎng)是在55(MM的前面還是后面，如果波長(zhǎng)向前了，就是把靠近修正板I的邊剪去5mm，反之，則在修正板I上加5mm的薄鋁片，然后再同樣鍍膜這樣的一爐，再測(cè)鏡片兩邊的波長(zhǎng)，再修剪修正板I，直到鏡片兩邊的波長(zhǎng)都在550NM，這時(shí)把修正板I取下來，用一張新的不銹鋼板剪成反復(fù)修剪的后的修正板I，這樣的修正板I就能夠正常使用了，不同的產(chǎn)品可能會(huì)用到不同的修正板I，每次用這個(gè)方法找到正確的修正板I后，作好標(biāo)記，就可以在鍍什么產(chǎn)品時(shí)用相對(duì)應(yīng)的修正板I了，減去繁復(fù)的工作。
[0015]修正板I的作用就是去解決鍍膜工作室中膜厚分布不均勻這一關(guān)鍵性的技術(shù)問題，我們采用截流蒸氣云靜止擋板技術(shù)，來消除膜厚分布的不均勻性，該項(xiàng)技術(shù)就是采用特定形狀的靜止擋板，置于蒸發(fā)源和被鍍光學(xué)元件之間，以改變工作室中膜厚分布，使工件盤各個(gè)位置上的膜厚達(dá)到均勻的要求，該技術(shù)具有工藝簡(jiǎn)單、方便可靠等優(yōu)點(diǎn)。
[0016]對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無(wú)論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
[0017]此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)，包括修正板(I)，其特征在于，所述修正板(I)連接橫桿(2)，該橫桿(2)通過連接塊(3)連接立柱(4)，橫桿(2)與立柱(4)垂直設(shè)置，立柱(4)安裝在鍍膜箱體(5)的底部，修正板(I)位于鍍膜坩禍(6)的上方。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述修正板(I)整體呈弧形。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述修正板(I)的材料為不銹鋼板。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜機(jī)膜厚分布修正結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述鍍膜箱體(5)的頂部設(shè)有掛具板(21)，掛具板(21)通過連桿連接滾輪(22)，滾輪(22)連接行星盤(23)，行星盤(23)上夾固反光鏡(24)。
【文檔編號(hào)】C23C14/54GK205529023SQ201620124700
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年2月17日
【發(fā)明人】朱文斌
【申請(qǐng)人】蘇州靈菱照明鍍膜科技有限公司