一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩，所述石英鐘罩，為下端圓柱形筒，上端為帶有多個石英圓環(huán)的半球形封口；所述石英圓環(huán)呈水平陣列分布于半球形封口的中下部，且石英圓環(huán)的外徑與圓柱形筒的外徑相同，在外加風冷的條件下，該石英圓環(huán)起到增加散熱的作用。應(yīng)用本實用新型在微波等離子體化學(xué)氣相沉積的過程中，能有效提高石英鐘罩的散熱能力，降低石英鐘罩的溫度，減緩活性基團在半球形封口內(nèi)表面上的沉積，降低沉積物對等離子體放電的影響及對試樣污染的傾向，有時降低石英鐘罩溫度，也會減輕等離子體對石英鐘罩的刻蝕，采用本實用新型可適當提高輸入的微波功率，提高試樣的沉積速率和質(zhì)量。
【專利說明】
一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及微波等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在中等功率運行下的石英鐘罩式微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置，還在廣泛的應(yīng)用，此類裝置的優(yōu)點在于，石英鐘罩腔室清理方便，并且石英鐘罩容易更換。但是為了提高沉積速率和品質(zhì)，需適當提高微波輸入的功率，有時為了獲得較厚的試樣，需要延長單次處理時間，這樣會導(dǎo)致石英鐘罩溫度升高，尤其是石英鐘罩上端的半球形封口，腔室內(nèi)的活性基團易于在半球形石英封口內(nèi)表面沉積，會干擾微波穿透石英鐘罩，影響等離子體放電，并且處理過程中沉積物的脫落會污染試樣，并且如果石英鐘罩的散熱能力差，也會對試樣的溫度產(chǎn)生影響，有時降低石英鐘罩溫度，也會減輕等離子體對石英鐘罩的刻蝕，減輕對試樣造成的硅污染。
[0003]例如，當進行微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石膜或金剛石單晶時，易于在石英鐘罩內(nèi)部結(jié)炭，當石英鐘罩結(jié)炭后，即使進行有效地清理，還可能會在下次生長時原位結(jié)炭;如果造成石英鐘罩刻蝕，對石英鐘罩的破壞將不可恢復(fù)。
[0004]對于石英鐘罩，大多采用風冷法對其進行冷卻，因此，增加半球形石英封口與氣流的接觸面積，能有效降低其溫度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩，應(yīng)用該石英鐘罩在微波等離子體化學(xué)氣相沉積的過程中，能有效提高石英鐘罩的散熱能力，降低石英鐘罩的溫度，減緩活性基團在半球形封口內(nèi)表面上的沉積，降低沉積物對等離子體放電的影響及對試樣污染的傾向，有時降低石英鐘罩溫度，也會減輕等離子體對石英鐘罩的刻蝕，減輕對試樣造成的硅污染，采用本發(fā)明可適當提高輸入的微波功率，提高沉積速率和質(zhì)量。
[0006]本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
[0007]一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩，石英鐘罩下端為圓柱形筒，上端為帶有多個石英圓環(huán)的半球形封口。
[0008]進一步的，所述石英圓環(huán)數(shù)量為I?3個，呈水平陣列分布于半球形封口的中下部，石英圓環(huán)的外徑與圓柱形筒的外徑相同，且石英圓環(huán)的厚度不大于圓柱形筒的壁厚。
[0009]進一步的，所述石英鐘罩包括下端圓柱形筒和上端帶有三個石英圓環(huán)的半球形封口，且三個石英圓環(huán)的外徑與圓柱形筒的外徑相同，厚度為圓柱形筒壁厚的一半。
[0010]由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，應(yīng)用該石英鐘罩在微波等離子體化學(xué)氣相沉積的過程中，能有效提高石英鐘罩的散熱能力，降低石英鐘罩的溫度，減緩活性基團在半球形封口內(nèi)表面上的沉積，降低沉積物對等離子體放電的影響及對試樣污染的傾向，有時降低石英鐘罩溫度，也會減輕等離子體對石英鐘罩的刻蝕，減輕對試樣造成的硅污染，采用本發(fā)明可適當提高輸入的微波功率，提高沉積速率和質(zhì)量。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案，下面將對實施例中使用的附圖做簡要介紹，很顯然，下面的附圖僅僅是本發(fā)明的一個實施例，對于本領(lǐng)域的普通工作人員，還可以根據(jù)這個附圖獲得其他附圖。
[0012]圖1為本發(fā)明實施所述用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明的保護范圍。
[0014]如圖1所示，為本發(fā)明實施所述用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩結(jié)構(gòu)示意圖，所述石英鐘罩包括下端圓柱形筒I和上端帶有三個石英圓環(huán)3的半球形封口。
[0015]所述石英圓環(huán)3呈水平陣列分布于半球形封口 2的中下部，且三個石英圓環(huán)3的外徑與圓柱形筒I的外徑相同。
[0016]所述石英圓環(huán)3的數(shù)量為3個，厚度為圓柱形筒I壁厚的一半。
[0017]綜上所述，本發(fā)明在石英鐘罩上端的半球形封口上水平陣列分布有石英環(huán)，以此來加大石英鐘罩中上端與氣流的接觸面積，增大鐘罩中上端的散熱能力，降低該處的溫度，減緩腔室半球形封口內(nèi)表面活性基團的沉積，降低沉積物對等離子體放電的影響及對試樣污染的傾向，有時降低石英鐘罩的溫度，也會減輕等離子體對石英鐘罩的刻蝕，減輕對試樣造成的娃污染，提尚沉積質(zhì)量。
[0018]以上所述，僅為本發(fā)明較佳的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護范圍為準。
【主權(quán)項】
1.一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩，其特征在于:所述石英鐘罩下端為圓柱形筒，上端為帶有多個石英圓環(huán)的半球形封口。2.如權(quán)利要求1所述用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩，其特征在于:所述石英圓環(huán)數(shù)量為I?3個，呈水平陣列分布于半球形封口的中下部，石英圓環(huán)的外徑與圓柱形筒的外徑相同，且石英圓環(huán)的厚度不大于圓柱形筒的壁厚。3.如權(quán)利要求1所述用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置的石英鐘罩，其特征在于:所述石英鐘罩包括下端圓柱形筒(I)和上端帶有三個石英圓環(huán)(3)的半球形封口(2)，且三個石英圓環(huán)(3)的外徑與圓柱形筒(I)的外徑相同，厚度為圓柱形筒(I)壁厚的一半。
【文檔編號】C23C16/44GK205529028SQ201620077526
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年1月26日
【發(fā)明人】李成明, 趙云, 安康, 劉金龍, 黑立富, 魏俊俊, 陳良賢
【申請人】北京科技大學(xué)