一種可拆式氣體噴淋頭的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種可拆式氣體噴淋頭，包括氣體導(dǎo)入管、蓋板、第一氣體分配板及第二氣體分配板，蓋板和第一氣體分配板之間設(shè)有第一氣體緩沖室，第一氣體分配板和第二氣體分配板之間設(shè)有第二氣體緩沖室，第一氣體分配板、第二氣體分配板上設(shè)有貫穿上表面和下表面的多個(gè)第一通孔和第二通孔；其中蓋板、第一氣體分配板通過鎖緊裝置和第二氣體分配板活動(dòng)連接。本實(shí)用新型第一氣體緩沖室與第二氣體緩沖室，使得氣體在腔室中分布得更加均勻，并且噴淋板之間通過鎖緊裝置活動(dòng)連接，方便對(duì)噴淋板進(jìn)行拆卸式保養(yǎng)。
【專利說明】
一種可拆式氣體噴淋頭
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池制備領(lǐng)域，尤其涉及一種可拆式氣體噴淋頭。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)制備硅基薄膜材料已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用。在異質(zhì)結(jié)電池制備過程中，因采用經(jīng)過制絨后的硅片，且制備的硅基薄膜厚度很薄，對(duì)PECVD設(shè)備要求更高，S卩PECVD設(shè)備在制絨后的硅片上制備的硅基薄膜均勻性必須很好，也就是對(duì)電極結(jié)構(gòu)提出了更高要求，首先是電極噴出的氣流均勻性必須好，其次是電極的電場(chǎng)分布必須均勻。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)的噴淋頭由于采用焊接形成，故容易出現(xiàn)縫隙，脫焊等情況，從而會(huì)造成氣體的泄露，且噴淋板上直通式氣孔，使得氣體流速變慢，導(dǎo)致氣體在制程室中分布與混合不均勻，制程一段時(shí)間后噴淋板上會(huì)附著大量的顆粒，待顆粒逐漸堆積形成大的顆粒物，掉落至制程腔中會(huì)污染腔體，影響輝光。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]針對(duì)上述問題，本實(shí)用新型提供了一種可拆式氣體噴淋頭，解決了噴淋頭故容易出現(xiàn)縫隙，脫焊等情況，從而會(huì)造成氣體的泄露，布?xì)獠痪鶆虻默F(xiàn)象。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種可拆式氣體噴淋頭，包括氣體導(dǎo)入管、蓋板、第一氣體分配板及第二氣體分配板，所述蓋板和第一氣體分配板之間設(shè)有第一氣體緩沖室，第一氣體分配板和第二氣體分配板之間設(shè)有第二氣體緩沖室，所述第一氣體分配板、第二氣體分配板上設(shè)有貫穿上表面和下表面的多個(gè)第一通孔和第二通孔;所述蓋板、第一氣體分配板通過鎖緊裝置和第二氣體分配板活動(dòng)連接。
[0006]進(jìn)一步的，所述第一通孔和第二通孔等距錯(cuò)開排布。
[0007]進(jìn)一步的，所述第一通孔與和第二通孔為上寬下窄的椎體結(jié)構(gòu)。
[0008]進(jìn)一步的，所述鎖緊裝置為螺栓連接。
[0009]由上述對(duì)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的描述可知，和現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)占.V.
[0010]本實(shí)用新型一種可拆式氣體噴淋頭，第一氣體緩沖室與第二氣體緩沖室，使得氣體在腔室中分布得更加均勻。其中第一通孔與第二通孔等距錯(cuò)開排布，且通孔上寬下窄，中間用錐面過渡，使得氣體從上一個(gè)緩沖室到下一個(gè)緩沖室及反應(yīng)室氣體流速增加，壓力下降，提高了氣體在緩沖室及反應(yīng)室中的混合性和均勻性。并且噴淋板之間通過鎖緊裝置活動(dòng)連接，方便對(duì)噴淋板進(jìn)行拆卸式保養(yǎng)。
【附圖說明】
[0011]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0012]圖1為本實(shí)用新型一種可拆式氣體噴淋頭結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2為本實(shí)用新型蓋板、第一氣體分配板、第一氣體緩沖室、第二氣體分配板、第二氣體緩沖室的分布示意圖；
[0014]圖3為本實(shí)用新型述蓋板、第一氣體分配板和第二氣體分配板的連接示意圖；
[0015]圖4為本實(shí)用新型第一氣體分配板、第二氣體分配板上上第一瞳孔和第二通孔的分布示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0017]實(shí)施例
[0018]如圖1-圖4所示，所示為了解決噴淋頭故容易出現(xiàn)縫隙，脫焊等情況，從而會(huì)造成氣體的泄露，布?xì)獠痪鶆虻默F(xiàn)象，本實(shí)用新型一種可拆式氣體噴淋頭，包括氣體導(dǎo)入管14、蓋板11、第一氣體分配板12及第二氣體分配板13，蓋板11和第一氣體分配板12之間設(shè)有第一氣體緩沖室21，第一氣體分配板12和第二氣體分配板13之間設(shè)有第二氣體緩沖室22，所述第一氣體分配板12、第二氣體分配板13上設(shè)有貫穿上表面和下表面的多個(gè)第一通孔31和第二通孔31，第一通孔31和第二通32孔等距錯(cuò)開排布，且第一通孔31和第二通孔32上寬下窄，中間用錐面過渡，第一通孔31和第二通孔32的錯(cuò)開排布和上寬下窄的結(jié)構(gòu)，使得氣體從第一氣體緩沖室21到第二氣體緩沖室22及反應(yīng)室氣體流速增加，壓力下降，提高了氣體在緩沖室及反應(yīng)室中的混合性和均勻性，從而解決現(xiàn)有技術(shù)中噴淋板上直通式氣孔，使得氣體流速變慢，導(dǎo)致氣體在制程室中分布與混合不均勻的現(xiàn)象。蓋板11及第一氣體分配板12通過邊緣多個(gè)螺栓41連接第二氣體分配板13，待第二氣體分配板13工作一段時(shí)間后可拆下緊固螺栓41對(duì)第二氣體分配板13進(jìn)行保養(yǎng)清潔，以保證反應(yīng)腔室不受到污染，解決了現(xiàn)有技術(shù)容易出現(xiàn)縫隙，脫焊從而會(huì)造成氣體的泄露。
[0019]綜上所述本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，第一氣體緩沖室21與第二氣體緩沖室22，使得氣體在腔室中分布得更加均勻，并且噴淋板之間通過鎖緊裝置活動(dòng)連接，方便對(duì)噴淋板進(jìn)行拆卸式保養(yǎng)。
[0020]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可拆式氣體噴淋頭，包括氣體導(dǎo)入管、蓋板、第一氣體分配板及第二氣體分配板，其特征在于: 所述蓋板和第一氣體分配板之間設(shè)有第一氣體緩沖室，第一氣體分配板和第二氣體分配板之間設(shè)有第二氣體緩沖室，所述第一氣體分配板、第二氣體分配板上設(shè)有貫穿上表面和下表面的多個(gè)第一通孔和第二通孔； 所述蓋板、第一氣體分配板通過鎖緊裝置和第二氣體分配板活動(dòng)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種可拆式氣體噴淋頭，其特征在于:所述第一通孔和第二通孔等距錯(cuò)開排布。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種可拆式氣體噴淋頭，其特征在于:所述第一通孔與和第二通孔為上寬下窄的椎體結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種可拆式氣體噴淋頭，其特征在于:所述鎖緊裝置為螺栓連接。
【文檔編號(hào)】C23C16/455GK205529030SQ201620201845
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年3月16日
【發(fā)明人】李鵬飛, 王樹林, 陳劍雨, 王武鵬
【申請(qǐng)人】鈞石(中國(guó))能源有限公司