一種掩膜板的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種掩膜板，包括疊層設(shè)置的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板上設(shè)置有第一開(kāi)口，所述第一開(kāi)口與目標(biāo)顯示面板相對(duì)應(yīng)；所述第二掩膜板上設(shè)置有第二開(kāi)口區(qū)域，所述第二開(kāi)口區(qū)域包括多個(gè)第二開(kāi)口，且第二開(kāi)口區(qū)域覆蓋所述至少一個(gè)第一開(kāi)口；由于制造第一掩膜板只需保證第一開(kāi)口的形狀和大小與目標(biāo)顯示面板的大小和形狀相同即可，無(wú)需進(jìn)一步制造用于形成像素圖形的開(kāi)口，因此，相對(duì)于現(xiàn)有的掩膜板來(lái)說(shuō)，制造工藝簡(jiǎn)單且制造成本低。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種掩膜板
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及OLED真空蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掩膜板。
【背景技術(shù)】
[0002]在0LED(0rganic Light-Emitting D1de，有機(jī)發(fā)光二極管)技術(shù)中，真空蒸鍍工藝是有機(jī)發(fā)光二極管制程的主要工藝，掩膜板是真空蒸鍍工藝的關(guān)鍵組件。掩膜板內(nèi)陣列設(shè)置有多個(gè)開(kāi)口，用于使蒸鍍材料在背板玻璃的顯示面板上形成像素圖形。多個(gè)開(kāi)口形成多個(gè)開(kāi)口區(qū)域，各開(kāi)口區(qū)域的形狀和大小與背板玻璃上顯示面板的形狀和大小相同，開(kāi)口區(qū)域的分布與背板玻璃上顯示面板的分布相同。隨著顯示行業(yè)的快速發(fā)展和人們需求的多樣化，可穿戴設(shè)備領(lǐng)域等需求的顯示面板的形狀已不僅僅是傳統(tǒng)的矩形，而是更具有設(shè)計(jì)感的圓形或非規(guī)則形狀。
[0003]現(xiàn)有的掩膜板存在以下缺陷:
[0004]現(xiàn)有的掩膜板為一層的結(jié)構(gòu)，掩膜板上的開(kāi)口區(qū)域與目標(biāo)顯示面板的形狀和大小相對(duì)應(yīng)，因此，若要制備不同形狀與大小的顯示面板，就需要采用不同的掩膜板，相應(yīng)的，需要制造不同形狀和大小的掩膜板，而制造掩膜板內(nèi)用于形成像素圖形的開(kāi)口的工藝較為復(fù)雜，制造精度要求較高，導(dǎo)致掩膜板制造成本較高。
[0005]因此，亟需一種掩膜板以解決上述技術(shù)問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供一種掩膜板，用以至少部分解決掩膜板制造成本高的問(wèn)題。
[0007]本實(shí)用新型提供一種掩膜板，包括疊層設(shè)置的第一掩膜板和第二掩膜板；
[0008]所述第一掩膜板設(shè)置有第一開(kāi)口，所述第一開(kāi)口與目標(biāo)顯示面板相對(duì)應(yīng)；
[0009]所述第二掩膜板設(shè)置有第二開(kāi)口區(qū)域，所述第二開(kāi)口區(qū)域包括多個(gè)第二開(kāi)口，且第二開(kāi)口區(qū)域覆蓋至少一個(gè)所述第一開(kāi)口。
[0010]優(yōu)選的，所述第一開(kāi)口的面積大于所述目標(biāo)顯示面板的面積。
[0011]優(yōu)選的，所述第一開(kāi)口在背板玻璃上的投影的邊緣與背板玻璃上目標(biāo)顯示面板的邊緣之間的間距為75-150umo
[0012]優(yōu)選的，所述第二開(kāi)口區(qū)域的形狀為矩形。
[0013]優(yōu)選的，所述第二開(kāi)口區(qū)域?yàn)槎鄠€(gè)，各第二開(kāi)口區(qū)域的形狀相同。
[0014]優(yōu)選的，所述第二開(kāi)口區(qū)域的大小相同。
[0015]優(yōu)選的，所述第二掩膜板覆蓋于第一掩膜板上。
[0016]優(yōu)選的，所述第一掩膜板與第二掩膜板的大小和形狀相同。
[0017]優(yōu)選的，所述第一掩膜板為一個(gè)，所述第二掩膜板由多個(gè)形狀和大小相同的部分拼接形成。
[0018]進(jìn)一步的，所述掩膜板還包括掩膜板邊框，所述第一掩膜板與掩膜板邊框通過(guò)第一焊點(diǎn)焊接，第二掩膜板的各部分與第一掩膜板通過(guò)第二焊點(diǎn)焊接。
[0019]優(yōu)選的，所述第一焊點(diǎn)的位置與第二焊點(diǎn)的位置之間的間距大于2_。
[0020]優(yōu)選的，所述第一焊點(diǎn)位于所述第一掩膜板的周邊位置，所述第二焊點(diǎn)位于所述第二掩膜板的各部分的第一側(cè)和第二側(cè)，所述第一側(cè)與第二側(cè)為第二掩膜板的各部分的非相鄰側(cè)。
[0021]優(yōu)選的，所述第一掩膜板與第二掩膜板采用金屬因瓦合金材料制成。
[0022]優(yōu)選的，所述第一掩膜板的厚度為100-150um，所述第二掩膜板的厚度為20-40umo
[0023]本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0024]本實(shí)用新型提供的掩膜板為兩層結(jié)構(gòu)，包括疊層設(shè)置的第一掩膜板和第二掩膜板，第一掩膜板上設(shè)置有與目標(biāo)顯示面板的形狀和大小相同的第一開(kāi)口。第二掩膜板上設(shè)置有第二開(kāi)口區(qū)域，第二開(kāi)口區(qū)域內(nèi)陣列設(shè)置有多個(gè)用于形成像素圖形的第二開(kāi)口，第二開(kāi)口區(qū)域覆蓋第一開(kāi)口。若要制備不同形狀與大小的顯示面板，只需將第一掩膜板的第一開(kāi)口設(shè)置為與目標(biāo)顯示面板的大小和形狀相同，并與原有的第二掩膜板相配合，即可形成新的掩膜板。由于制造第一掩膜板只需保證第一開(kāi)口的形狀和大小與目標(biāo)顯示面板的大小和形狀相同即可，無(wú)需進(jìn)一步制造用于形成像素圖形的開(kāi)口，因此，相對(duì)于現(xiàn)有的掩膜板來(lái)說(shuō)，制造工藝簡(jiǎn)單且制造成本低。
【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1a為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的背板玻璃的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖1b為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖之一；
[0027]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的第一開(kāi)口與顯示面板的投影示意圖；
[0028]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖之二；
[0029]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖之三。
[0030]附圖標(biāo)記:
[0031]1、第一掩膜板2、第二掩膜板3、背板玻璃
[0032]4、掩膜板邊框11、第一開(kāi)口 12、遮擋區(qū)域13、第一焊點(diǎn)
[0033]21、第二開(kāi)口區(qū)域22、條狀結(jié)構(gòu)23、第二焊點(diǎn)31、顯示面板
[0034]211、第二開(kāi)口 231、第一側(cè) 232、第二側(cè)
【具體實(shí)施方式】
[0035]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0036]如圖1a所示，背板玻璃3包括多個(gè)目標(biāo)顯示面板31，在本實(shí)用新型實(shí)施例中，以顯示面板31的形狀是圓形為例進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，背板玻璃3也可以包括一個(gè)目標(biāo)顯示面板31。
[0037]如圖1b所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種掩膜板，包括:第一掩膜板I和第二掩膜板2，第一掩膜板I與第二掩膜板2疊層設(shè)置，第一掩膜板I上設(shè)置有第一開(kāi)口 11，第一掩膜板I上非第一開(kāi)口 11的區(qū)域?yàn)檎趽鯀^(qū)域12。第一開(kāi)口 11的形狀和大小與背板玻璃3上顯示面板31的形狀和大小相同，即第一開(kāi)口 11與目標(biāo)顯示面板31相對(duì)應(yīng)。第二掩膜板2上設(shè)置有第二開(kāi)口區(qū)域21，且第二開(kāi)口區(qū)域21覆蓋至少一個(gè)第一開(kāi)口 11。第二開(kāi)口區(qū)域21包括多個(gè)第二開(kāi)口 211，各第二開(kāi)口 211陣列設(shè)置并與各像素相對(duì)應(yīng)，用于形成像素圖形。
[0038]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的掩膜板為兩層結(jié)構(gòu)，包括疊層設(shè)置的第一掩膜板I和第二掩膜板2，第一掩膜板I上設(shè)置有與目標(biāo)顯示面板31的形狀和大小相同的第一開(kāi)口 11。第二掩膜板2上設(shè)置有第二開(kāi)口區(qū)域21，第二開(kāi)口區(qū)域21內(nèi)陣列設(shè)置有多個(gè)用于形成像素圖形的第二開(kāi)口 211，第二開(kāi)口區(qū)域21覆蓋第一開(kāi)口 11。若要制備不同形狀與大小的顯示面板31，只需將第一掩膜板I的第一開(kāi)口 11設(shè)置為與目標(biāo)顯示面板31的大小和形狀相同，并與原有的第二掩膜板2相配合，即可形成新的掩膜板。由于制造第一掩膜板I只需保證第一開(kāi)口11的形狀和大小與目標(biāo)顯示面板31的大小和形狀相同即可，無(wú)需進(jìn)一步制造用于形成像素圖形的開(kāi)口，因此，相對(duì)于現(xiàn)有的掩膜板來(lái)說(shuō)，制造工藝簡(jiǎn)單且制造成本低。
[0039]如圖1b所示，第一開(kāi)口11的面積略大于顯示面板31的面積。這樣在掩膜板張網(wǎng)拉伸過(guò)程中，即使第一開(kāi)口 11的形狀和大小發(fā)生變化，也不會(huì)出現(xiàn)蒸鍍材料無(wú)法蒸鍍到顯示面板31上的問(wèn)題。
[0040]優(yōu)選的，第一開(kāi)口11在背板玻璃3上的投影的邊緣與背板玻璃3上相應(yīng)的顯示面板31的邊緣之間的間距為75-150um。在本實(shí)施例中，以顯示面板31與第一開(kāi)口 11的形狀為圓形為例進(jìn)行說(shuō)明。如圖2所示，第一開(kāi)口 11在背板玻璃3上的投影的邊緣與背板玻璃3上相應(yīng)的顯示面板31的邊緣之間的間距hi為75-150um，即第一開(kāi)口 11的直徑D2比顯示面板31的直徑Dl大150-300um。
[0041]第二開(kāi)口區(qū)域21的形狀可以為圓形、矩形、多邊形等，優(yōu)選的，第二開(kāi)口區(qū)域21的形狀為矩形。在掩膜板張網(wǎng)拉伸過(guò)程中，矩形形狀的第二開(kāi)口區(qū)域21相比于非矩形形狀的第二開(kāi)口區(qū)域21受力應(yīng)變更均勻，因此，可以保證第二掩膜板2不會(huì)產(chǎn)生褶皺，避免蒸鍍工藝后顯示面板出現(xiàn)混色不良的問(wèn)題。
[0042]如圖1b所示，當(dāng)?shù)谝谎谀ぐ錓設(shè)置有多個(gè)第一開(kāi)口11，且第二掩膜板2設(shè)置有多個(gè)第二開(kāi)口區(qū)域21時(shí)，第二掩膜板2上的各第二開(kāi)口區(qū)域21的形狀可以不受顯示面板31的形狀、排列、分布以及邊框電路的限制。只要保證各第二開(kāi)口區(qū)域21的形狀相同，在掩膜板張網(wǎng)拉伸過(guò)程中，各第二口區(qū)域21之間受力應(yīng)變均勻，第二掩膜板2不會(huì)產(chǎn)生褶皺，相應(yīng)的，各第二開(kāi)口區(qū)域21內(nèi)的各第二開(kāi)口 211產(chǎn)生的形變均相同，通過(guò)第二開(kāi)口 211形成的像素圖形大小和形狀一致，從而可以解決蒸鍍工藝后顯示面板出現(xiàn)混色不良的問(wèn)題。
[0043]優(yōu)選的，各第二開(kāi)口區(qū)域21的大小也相同，這樣在掩膜板張網(wǎng)拉伸過(guò)程中，各形狀與大小均相同的第二開(kāi)口區(qū)域21之間受力應(yīng)變更為均勻。
[0044]如圖1b所示，第二掩膜板2覆蓋于第一掩膜板I上，蒸鍍方向是從第二掩膜板2向第一掩膜板I蒸鍍。第一掩膜板I與第二掩膜板2之間存在間距，蒸鍍材料會(huì)在第一掩膜板I與第二掩膜板2之間擴(kuò)散。蒸鍍材料先經(jīng)過(guò)第二掩膜板2上的第二開(kāi)口區(qū)域21內(nèi)的第二開(kāi)口211，擴(kuò)散后經(jīng)過(guò)第一掩膜板I上的第一開(kāi)口 11。由于第一掩膜板I在第二掩膜板2的下方，第一掩膜板I上的遮擋區(qū)域12對(duì)蒸鍍材料起到遮擋作用，因此，蒸鍍材料不會(huì)蒸鍍到顯示面板31以外的區(qū)域。
[0045]優(yōu)選的，第一掩膜板I與第二掩膜板2的大小和形狀相同。
[0046]第二開(kāi)口區(qū)域21可以覆蓋一個(gè)或多個(gè)第一開(kāi)口11，例如，可以覆蓋兩個(gè)第一開(kāi)口11，也可以覆蓋四個(gè)第一開(kāi)口 11。在本實(shí)施例中，如圖1b所示，第二開(kāi)口區(qū)域21覆蓋四個(gè)第一開(kāi)口 Ilo
[0047]如圖3所示，第一掩膜板I為一個(gè)，第二掩膜板2可以由多個(gè)形狀和大小相同的部分拼接形成。在本實(shí)用新型的實(shí)施例中，第二掩膜板2的各部分呈條狀，各條狀部分22拼接形成的第二掩膜板2的大小和形狀與玻璃背板的大小和形狀相同，本實(shí)用新型實(shí)施例以第二掩膜板2由四個(gè)條狀部分22構(gòu)成為例進(jìn)行說(shuō)明。在掩膜板張網(wǎng)拉伸過(guò)程中，各條狀部分22可以平均分擔(dān)第二掩膜板2在張網(wǎng)過(guò)程所受的拉力，使各條狀部分22之間應(yīng)變更為均勻，進(jìn)一步保證了蒸鍍工藝后顯示面板不會(huì)出現(xiàn)混色不良。
[0048]需要說(shuō)明的是，第一掩膜板I上各第一開(kāi)口11的邊角位置處設(shè)置有第一對(duì)位孔(圖中未繪示)，在第二掩膜板2上各第二開(kāi)口區(qū)域21內(nèi)，與各第一開(kāi)口 21的邊角位置相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有第二對(duì)位孔(圖中未繪示)，通過(guò)第一對(duì)位孔與第二對(duì)位孔相互配合對(duì)位，能夠?qū)⒌谝谎谀ぐ錓和第二掩膜板2正確對(duì)位。
[0049]如圖4所示，本實(shí)用新型提供的掩膜板還包括掩膜板邊框4，第一掩膜板I與掩膜板邊框4通過(guò)第一焊點(diǎn)13焊接，第二掩膜板2的各條形部分22與第一掩膜板I通過(guò)第二焊點(diǎn)23焊接。這樣，即使第一掩膜板I與掩膜板邊框4焊接錯(cuò)誤，在進(jìn)行修復(fù)重新焊接時(shí)，可以不用修復(fù)各條狀結(jié)構(gòu)22的焊接位置，從而大幅提高修復(fù)效率。
[0050]優(yōu)選的，如圖4所示，第一焊點(diǎn)13的位置與第二焊點(diǎn)23的位置之間的間距h2大于2mm，以方便焊接，避免焊接位置錯(cuò)誤。
[0051]第一焊點(diǎn)13位于第一掩膜板I的周邊位置，第二焊點(diǎn)23位于第二掩膜板2的各條狀部分22的第一側(cè)231與第二側(cè)232。所述第一側(cè)231與第二側(cè)232是指第二掩膜板2的各條狀部分22的非相鄰側(cè)。
[0052]優(yōu)選的，第一掩膜板I與第二掩膜板2可以采用金屬因瓦合金材料制成。
[°°53]優(yōu)選的，第一掩膜板I的厚度可以為100-150um，第二掩膜板2的厚度可以為20-40umo
[0054]為了清楚說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，以下結(jié)合圖4，對(duì)本實(shí)用新型提供的掩膜板張網(wǎng)拉伸過(guò)程進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0055]首先利用張網(wǎng)機(jī)(圖中未繪示)對(duì)第一掩膜板I進(jìn)行張網(wǎng)拉伸，通過(guò)第一對(duì)位孔確定第一掩膜板I的位置后，將第一掩膜板I與掩膜板邊框4通過(guò)第一焊點(diǎn)13焊接，其中，第一掩膜板的下垂量小于150um。然后對(duì)第二掩膜板2的各條狀部分22進(jìn)行張網(wǎng)拉伸，通過(guò)第二對(duì)位孔確定各條狀結(jié)構(gòu)22的位置后，將第二掩膜板2的各條狀部分22與第一掩膜板I通過(guò)第二焊點(diǎn)23焊接，從而完成整個(gè)掩膜板的組裝。
[0056]圓形形狀的顯示面板的生產(chǎn)制作對(duì)于掩膜板的要求較高，本實(shí)用新型提供的掩膜板與背板玻璃完全對(duì)應(yīng)，第一掩膜板與第二掩膜板組合使用，能夠減少顯示面板的周邊電路和蒸鍍工藝對(duì)掩膜板在設(shè)計(jì)上的限制，從而使掩膜板按照最優(yōu)設(shè)計(jì)進(jìn)行制作。利用本實(shí)用新型的掩膜板不但可以生產(chǎn)圓形等其它非傳統(tǒng)矩形形狀的顯示面板，還可以減少掩膜板引起的不良從而提尚廣品良率。
[0057]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掩膜板，其特征在于，包括疊層設(shè)置的第一掩膜板和第二掩膜板； 所述第一掩膜板設(shè)置有第一開(kāi)口，所述第一開(kāi)口與目標(biāo)顯示面板相對(duì)應(yīng)； 所述第二掩膜板設(shè)置有第二開(kāi)口區(qū)域，所述第二開(kāi)口區(qū)域包括多個(gè)第二開(kāi)口，且第二開(kāi)口區(qū)域覆蓋至少一個(gè)所述第一開(kāi)口。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一開(kāi)口的面積大于所述目標(biāo)顯示面板的面積。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一開(kāi)口在背板玻璃上的投影的邊緣與背板玻璃上目標(biāo)顯示面板的邊緣之間的間距為75-150um。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二開(kāi)口區(qū)域的形狀為矩形。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二開(kāi)口區(qū)域?yàn)槎鄠€(gè)，各第二開(kāi)口區(qū)域的形狀相同。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述第二開(kāi)口區(qū)域的大小相同。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二掩膜板覆蓋于第一掩膜板上。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板與第二掩膜板的大小和形狀相同。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板為一個(gè)，所述第二掩膜板由多個(gè)形狀和大小相同的部分拼接形成。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掩膜板，其特征在于，還包括掩膜板邊框，所述第一掩膜板與掩膜板邊框通過(guò)第一焊點(diǎn)焊接，第二掩膜板的各部分與第一掩膜板通過(guò)第二焊點(diǎn)焊接。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的掩膜板，其特征在于，所述第一焊點(diǎn)的位置與第二焊點(diǎn)的位置之間的間距大于2mm。12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的掩膜板，其特征在于，所述第一焊點(diǎn)位于所述第一掩膜板的周邊位置，所述第二焊點(diǎn)位于所述第二掩膜板的各部分的第一側(cè)和第二側(cè)，所述第一側(cè)與第二側(cè)為第二掩膜板的各部分的非相鄰側(cè)。13.根據(jù)權(quán)利要求1-12任一項(xiàng)所述的掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板與第二掩膜板采用金屬因瓦合金材料制成。14.根據(jù)權(quán)利要求1-12任一項(xiàng)所述的掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板的厚度為100-150um，所述第二掩膜板的厚度為20-40um。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK205688000SQ201620661367
【公開(kāi)日】2016年11月16日
【申請(qǐng)日】2016年6月29日 公開(kāi)號(hào)201620661367.2, CN 201620661367, CN 205688000 U, CN 205688000U, CN-U-205688000, CN201620661367, CN201620661367.2, CN205688000 U, CN205688000U
【發(fā)明人】白珊珊
【申請(qǐng)人】鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司