顆粒狀多晶硅生產(chǎn)流化床的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[〇〇〇1]本實用新型屬于流化床技術(shù)領(lǐng)域，特指一種顆粒狀多晶硅生產(chǎn)流化床。
【背景技術(shù)】
[0002]將大量固體顆粒懸浮于運動的流體之中，從而使顆粒具有流體的某些表觀特征，這種流固接觸狀態(tài)稱為固體流態(tài)化，即流化床。
[0003]在顆粒狀多晶硅生產(chǎn)過程中，需要對硅晶種進(jìn)行流化；現(xiàn)有技術(shù)中的流化床為通用型，其存在導(dǎo)熱性差、產(chǎn)品純度低、使用壽命較短等缺點。而且，現(xiàn)有流化床配備的加熱器也存在加熱控制效果差、能耗高、溫度穩(wěn)定性差等缺點，從而影響多晶硅的生產(chǎn)質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、安全可靠、使用壽命長、產(chǎn)品純度高、加熱效果好、穩(wěn)定可控的顆粒狀多晶硅生產(chǎn)流化床。
[0005]本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：
[0006]顆粒狀多晶硅生產(chǎn)流化床，包括筒體狀的流化床本體，流化床本體下端設(shè)置有進(jìn)料口和進(jìn)風(fēng)口，流化床本體下部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有襯里，流化床本體下部的外側(cè)設(shè)置有加熱裝置。
[0007]所述加熱裝置由多段相互獨立的導(dǎo)熱骨架組成，導(dǎo)熱骨架相互間隔包覆于流化床本體的下部；每段所述的導(dǎo)熱骨架外圍分布加熱器和熱電偶，加熱器與熱電偶通過保溫層隔離，相鄰的兩個導(dǎo)熱骨架之間也設(shè)置有熱電偶，每個熱電偶分別連接對應(yīng)的控制器并通過控制系統(tǒng)對加熱器進(jìn)行統(tǒng)一控制。
[0008]每個加熱器均配備有對應(yīng)的熱電偶。
[0009]所述的加熱器為電阻加熱器；所述的電阻加熱器為碳化硅、硅碳棒、石墨、碳纖維中的一種或其中至少二種以上混合制作成型。
[0010]所述的導(dǎo)熱骨架為石墨、碳纖維、碳化硅、硅中的一種或其中至少二種混合制作成型。
[0011]所述的流化床襯里為石英襯里，避免流化床內(nèi)壁的金屬雜質(zhì)與產(chǎn)品接觸，保證生產(chǎn)的多晶硅純度達(dá)到電子級。
[0012]所述進(jìn)風(fēng)口主要通入流化氣體和風(fēng)選氣體，流化氣體保證了床內(nèi)反應(yīng)的正常進(jìn)行，當(dāng)反應(yīng)結(jié)后通入適當(dāng)速度的風(fēng)選氣體對反應(yīng)中生產(chǎn)的適合尺寸的多晶硅顆粒產(chǎn)品進(jìn)行篩選。
[0013]本實用新型相比現(xiàn)有技術(shù)突出且有益的技術(shù)效果是：
[0014]本實用新型在流化床本體下部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有石英襯里，襯里的設(shè)計使得流化床的耐腐蝕性增強并且提高了產(chǎn)品的純度；本實用新型的加熱裝置采用分體加熱方式，能夠使整個流化床內(nèi)快速、均勻升溫，能夠更精確的控制床內(nèi)溫度，通過調(diào)節(jié)各加熱器的功率和數(shù)量能夠使系統(tǒng)快速達(dá)到設(shè)定溫度并保持這一溫度，系統(tǒng)溫度波動小、穩(wěn)定性好，更加有利于反應(yīng)的進(jìn)行，能夠?qū)Υ矁?nèi)局部的溫度進(jìn)行升高或降低的控制，溫度控制方式更靈活，能耗更低；進(jìn)風(fēng)口通入風(fēng)選氣體能夠快速對反應(yīng)生產(chǎn)的適合尺寸的多晶硅顆粒產(chǎn)品進(jìn)行篩選。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)簡圖。
[0016]圖2是本實用新型的加熱裝置的結(jié)構(gòu)簡圖。
[0017]圖3是圖2的A-A剖視圖。
[0018]圖中：1_流化床本體；2-加熱裝置；3-進(jìn)料□ ;4_石英襯里；5-導(dǎo)熱骨架；6-導(dǎo)熱骨架；7-導(dǎo)熱骨架；8-導(dǎo)熱骨架；
[0019]21-加熱器；22-保溫層；23-熱電偶；24-熱電偶。
【具體實施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖以具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步描述：
[0021]顆粒狀多晶硅生產(chǎn)流化床，包括筒體狀的流化床本體1，流化床本體1下端設(shè)置有進(jìn)料口 3,流化床本體1下部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有石英襯里4,流化床本體下部的外側(cè)設(shè)置有加熱裝置2,石英襯里的設(shè)計使得流化床的耐腐蝕性增強且保證產(chǎn)品的純度。
[0022]所述加熱裝置2由多段相互獨立的導(dǎo)熱骨架5,6, 7,8組成，導(dǎo)熱骨架相互間隔包覆于流化床本體1的下部；每段所述的導(dǎo)熱骨架1外圍分布加熱器21和熱電偶23,加熱器21與熱電偶23通過保溫層隔離，相鄰的兩個導(dǎo)熱骨架之間也設(shè)置有熱電偶24,每個熱電偶23, 24分別連接對應(yīng)的控制器并通過顯示屏將數(shù)據(jù)集中統(tǒng)一管理，加熱裝置采用分體加熱方式，能夠使整個流化床內(nèi)快速、均勻升溫，能夠更精確的控制床內(nèi)溫度。
[0023]每個加熱器21均配備有對應(yīng)的熱電偶。
[0024]所述的加熱器21為電阻加熱器；所述的電阻加熱器為碳化硅、硅碳棒、石墨、碳纖維中的一種或其中至少二種以上混合制作成型。
[0025]所述的導(dǎo)熱骨架5,6,7,8為石墨、碳纖維、碳化娃、娃中的一種或其中至少二種混合制作成型。
[0026]上述實施例僅為本實用新型的較佳實施例，并非依此限制本實用新型的保護(hù)范圍，故：凡依本實用新型的結(jié)構(gòu)、形狀、原理所做的等效變化，均應(yīng)涵蓋于本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.顆粒狀多晶娃生產(chǎn)流化床，其特征在于，包括筒體狀的流化床本體，流化床本體下端設(shè)置有進(jìn)料口，流化床本體下部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有襯里，流化床本體下部的外側(cè)設(shè)置有加熱裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒狀多晶硅生產(chǎn)流化床，其特征在于，所述襯里為石英襯里。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒狀多晶硅生產(chǎn)流化床，其特征在于，所述加熱裝置由多段相互獨立的導(dǎo)熱骨架組成，導(dǎo)熱骨架相互間隔包覆于流化床本體的下部；每段所述的導(dǎo)熱骨架外圍分布加熱器和熱電偶，加熱器與熱電偶通過保溫層隔離，相鄰的兩個導(dǎo)熱骨架之間也設(shè)置有熱電偶，每個熱電偶分別連接對應(yīng)的控制器并通過控制系統(tǒng)對加熱器進(jìn)行統(tǒng)一控制。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顆粒狀多晶硅生產(chǎn)流化床，其特征在于，每個加熱器均配備有對應(yīng)的熱電偶。
【專利摘要】本實用新型屬于流化床技術(shù)領(lǐng)域，特指一種顆粒狀多晶硅生產(chǎn)流化床，顆粒狀多晶硅生產(chǎn)流化床，包括筒體狀的流化床本體，流化床本體下端設(shè)置有進(jìn)料口，流化床本體下部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有石英襯里，流化床本體下部的外側(cè)設(shè)置有加熱裝置。本實用新型在流化床本體下部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有石英襯里，石英襯里的設(shè)計使得流化床的耐腐蝕性增強且保證了產(chǎn)品純度，使用壽命增加；本實用新型的加熱裝置采用分體加熱方式，能夠使整個流化床內(nèi)快速、均勻升溫，能夠更精確的控制床內(nèi)溫度。
【IPC分類】C01B33/021
【公開號】CN205099368
【申請?zhí)枴緾N201520678021
【發(fā)明人】陶剛義
【申請人】內(nèi)蒙古興洋新材料科技有限公司
【公開日】2016年3月23日
【申請日】2015年9月1日