采用復(fù)合材料的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及泡生法藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐的熱場(chǎng)領(lǐng)域，尤其涉及采用復(fù)合材料的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏，同時(shí)可適用于其他相似領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石又稱白寶石，是世界上硬度僅次于金剛石的晶體材料，由于具有高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、高透光性、熔點(diǎn)高（2045°C)等優(yōu)良的物理、機(jī)械、化學(xué)及紅外透光性能，一直是微電子、航空航天、軍工等領(lǐng)域急需的材料，憑借其極高的強(qiáng)度、硬度、紅外透過(guò)性能和抗熱沖擊性能。該材料在光學(xué)窗口、半導(dǎo)體照明、微波器件等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，已成為用量?jī)H次于硅單晶的一種功能晶體材料。尤其是光學(xué)級(jí)大尺寸藍(lán)寶石材料，由于其具有性能穩(wěn)定、市場(chǎng)需求量大、綜合利用率及產(chǎn)品附加值高等特點(diǎn)，成為近年國(guó)內(nèi)外研究開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化熱點(diǎn)。藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)方法很多，但只有泡生法才能獲得缺陷和應(yīng)力少的大尺寸高光學(xué)質(zhì)量的藍(lán)寶石晶體，目前70%的藍(lán)寶石材料是由泡生法制造的。
[0003]泡生法藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐包括爐體、熱場(chǎng)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)及動(dòng)力系統(tǒng)。為保證原料三氧化二鋁能夠保持在熔融狀態(tài)，從化料到長(zhǎng)晶結(jié)束，內(nèi)部需要維持2000°C以上的高溫，因此熱場(chǎng)作為保溫材料具有非常重要的作用。同時(shí)，因?yàn)闇囟雀撸瑹釄?chǎng)經(jīng)常損壞，必須更換，這就大大增加了藍(lán)寶石的生產(chǎn)成本。而其中，側(cè)保溫屏更換的頻率最高，價(jià)格也較昂貴。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一)要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0005]為了克服上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了采用復(fù)合材料的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏，將側(cè)保溫屏最容易損壞的地方設(shè)置為單獨(dú)結(jié)構(gòu)，可經(jīng)常更換，因?yàn)槊娣e小，因此成本也低，并且可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置為不同的材料。
[0006](二)技術(shù)方案
[0007]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了采用復(fù)合材料的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏，包括鉬上側(cè)屏I，鉬下側(cè)屏3和中側(cè)屏2，所述的鉬上側(cè)屏1、鉬下側(cè)屏3和中側(cè)屏2設(shè)置為直徑相同的圓筒狀保溫層，相互之間通過(guò)鉬卡環(huán)4連接固定。
[0008]所述的中側(cè)屏2設(shè)置在所述的鉬上側(cè)屏I和所述的鉬下側(cè)屏3之間，處在中部高溫區(qū)。
[0009]所述的中側(cè)屏2設(shè)置為鉬材質(zhì)。
[0010]所述的中側(cè)屏2設(shè)置為鎢材質(zhì)。
[0011]本實(shí)用新型的有益效果主要表現(xiàn)在:將側(cè)保溫屏最容易損壞的地方，設(shè)置為可單獨(dú)更換的結(jié)構(gòu)，可以因?yàn)槊娣e減小，從而達(dá)到降低成本的目的。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖I為復(fù)合結(jié)構(gòu)的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步展開(kāi)說(shuō)明，但需要指出的是，本實(shí)用新型所要求保護(hù)的結(jié)構(gòu)并不限于實(shí)施例及說(shuō)明書(shū)附圖中的具體結(jié)構(gòu)。對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以推知的其他結(jié)構(gòu)形式，亦屬于本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
[0014]請(qǐng)一并參閱圖1，采用復(fù)合材料的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏，包括鉬上側(cè)屏1，鉬下側(cè)屏3和中側(cè)屏2。所述的鉬上側(cè)屏I和鉬下側(cè)屏3采用鉬材質(zhì)，具有耐高溫，熱反射性能好的優(yōu)點(diǎn)。
[0015]所述的鉬上側(cè)屏1、鉬下側(cè)屏3和中側(cè)屏2設(shè)置為直徑相同的圓筒狀保溫層，相互之間通過(guò)鉬卡環(huán)4連接固定。
[0016]所述的中側(cè)屏2設(shè)置在所述的鉬上側(cè)屏I和所述的鉬下側(cè)屏3之間，處在中部高溫區(qū)。由于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐的發(fā)熱元件是設(shè)置在中部區(qū)域，由于高溫的原因保溫材料會(huì)揮發(fā)，并且經(jīng)過(guò)高溫?zé)疽院螅牧蠒?huì)變脆，易損害，因此所述的中側(cè)屏2是一個(gè)經(jīng)常更換的易損件。
[0017]所述的中側(cè)屏2設(shè)置為鉬材質(zhì)，具有耐高溫，價(jià)格較便宜的優(yōu)點(diǎn)，但是高溫以后脆性大，容易損壞。
[0018]所述的中側(cè)屏2設(shè)置為鎢材質(zhì)，具有耐高溫，不易損壞的優(yōu)點(diǎn)，但是價(jià)格很高。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.采用復(fù)合材料的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏，其特征在于:包括鉬上側(cè)屏（I)，鉬下側(cè)屏(3)和中側(cè)屏(2)，所述的鉬上側(cè)屏（1)、鉬下側(cè)屏(3)和中側(cè)屏(2)設(shè)置為直徑相同的圓筒狀保溫層，相互之間通過(guò)鉬卡環(huán)(4)連接固定。2.如權(quán)利要求I所述的采用復(fù)合材料的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏，其特征在于:所述的中側(cè)屏(2)設(shè)置在所述的鉬上側(cè)屏（I)和所述的鉬下側(cè)屏(3)之間，處在中部高溫區(qū)。3.如權(quán)利要求I所述的采用復(fù)合材料的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏，其特征在于:所述的中側(cè)屏(2)設(shè)置為鉬材質(zhì)。4.如權(quán)利要求I所述的采用復(fù)合材料的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏，其特征在于:所述的中側(cè)屏(2)設(shè)置為鎢材質(zhì)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種采用復(fù)合材料的藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐側(cè)保溫屏，包括鉬上側(cè)屏（1），鉬下側(cè)屏（3）和中側(cè)屏（2），所述的鉬上側(cè)屏（1）、鉬下側(cè)屏（3）和中側(cè)屏（2）設(shè)置為直徑相同的圓筒狀保溫層，相互之間通過(guò)鉬卡環(huán)（4）連接固定，所述的中側(cè)屏（2）設(shè)置在所述的鉬上側(cè)屏（1）和所述的鉬下側(cè)屏（3）之間，處在中部高溫區(qū)，所述的中側(cè)屏（2）設(shè)置為鉬材質(zhì)，也可以設(shè)置為鎢材質(zhì)。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)處于高溫區(qū)的部件經(jīng)常更換，避免整體更換側(cè)保溫屏，達(dá)到降低成本的效果。
【IPC分類】C30B29/20, C30B17/00
【公開(kāi)號(hào)】CN205152395
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520879327
【發(fā)明人】胡軒, 杜慧江, 劉瑜
【申請(qǐng)人】寧波晶工晶體科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年4月13日
【申請(qǐng)日】2015年11月6日