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光固化性組合物、精細圖案形成體的制造方法和光學(xué)元件的制作方法

文檔序號:3696495閱讀:199來源:國知局

專利名稱::光固化性組合物、精細圖案形成體的制造方法和光學(xué)元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及光固化性組合物、使用該光固化性組合物的精細圖案形成體的制造方法、使用該精細圖案形成體的光學(xué)元件、尤其是線柵偏振器。
背景技術(shù)
:近年來,使表面具有精細圖案的模具按壓于基材上,從而制造表面具有該精細圖案的反轉(zhuǎn)圖案的基材的方法,即納米壓印法(nanoimprinttechnique)正受到注目。其中,如下方法正受到注目即,將熱固化性組合物或光固化性組合物按壓并夾持于基板的表面與模具的圖案面之間,接著通過加熱或光照射使熱固化性組合物或光固化性組合物中的單體聚合,從而得到由具有轉(zhuǎn)印了模具的精細圖案的表面的固化物構(gòu)成的精細圖案形成體,進而將固化物從模具剝離,制造與基板一體的精細圖案形成體。作為用于該方法的光固化性組合物,已知有包含至少1種的(甲基)丙烯酸酯類、和光聚合引發(fā)劑的光固化性組合物(參照專利文獻1。)。專利文獻1日本特開2006-152074號公報
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題然而,在欲使用市售的光固化性組合物作為專利文獻1中記載的光固化性組合物、或納米壓印法中使用的光固化性組合物來制造具有凸部和凹部的精細圖案形成體時,難以形成高精度的精細圖案。由于光固化性組合物的粘度過高、光固化性組合物的聚合收縮率大、固化物從模具的剝離性不充分等原因,精細圖案形成體的尺寸精度降低。尤其會產(chǎn)生精細圖案的凸部的尺寸精度降低的問題。另外,光固化性組合物的固化物的線性膨脹系數(shù)大時,會產(chǎn)生精細圖案的尺寸穩(wěn)定性降低的問題。此外,在使用精細圖案形成體作為光學(xué)元件時,透明性高也是必要的。用于解決問題的方案本發(fā)明提供一種能高效制造模具的精細圖案被高精度地轉(zhuǎn)印的精細圖案形成體的光固化性組合物。另外,本發(fā)明提供一種尺寸穩(wěn)定性高、透明性優(yōu)異的精細圖案形成體。本發(fā)明的要旨如下。一種光固化性組合物,其特征在于,其包含光固化性單體(A)、平均粒徑為200nm以下的膠體二氧化硅(B)和光聚合引發(fā)劑(C),它們的含量是相對于100質(zhì)量份的光固化性單體(A),膠體二氧化硅(B)(固體成分)的含量為560質(zhì)量份,光聚合引發(fā)劑(C)的含量為0.110質(zhì)量份,所述光固化性單體(A)至少包括下述多官能性單體(A1)和下述2官能性單體(A2),屬于多官能性單體(A1)或2官能性單體(A2)的化合物的至少一部分具有羥基,相對于多官能性單體(A1)與2官能性單體(A2)的總計量(mol),上述羥基的總量(mol)的比例為10%以上,多官能性單體(A1)在1分子中具有3個以上(甲基)丙烯酰氧基的化合物,2官能性單體(A2)在1分子中具有2個(甲基)丙烯酰氧基的化合物。一種精細圖案形成體,所述成形體由固化體構(gòu)成,所述固化體是在表面具有精細圖案的模具的該圖案面上將所述光固化性組合物固化而成的。一種精細圖案形成體的制造方法,其特征在于,其包括以下工序工序A將所述的光固化性組合物夾持在表面具有精細圖案的模具的該圖案面與基板的表面之間,并進行按壓;工序B:接著通過光照射使光固化性組合物固化,形成由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體,該固化物具有轉(zhuǎn)印有模具的精細圖案的表面;工序C:接著將模具和基板的至少一者從固化物剝離,得到精細圖案形成體、或者與基板一體的精細圖案形成體、或者與模具一體的精細圖案形成體。一種精細圖案形成體,其中,所述精細圖案形成體是通過所述的制造方法而制成的。一種光學(xué)元件,其特征在于,其使用了所述的精細圖案形成體。發(fā)明的效果通過使用本發(fā)明的光固化性組合物,能夠高效制造模具的精細圖案被高精度轉(zhuǎn)印的精細圖案形成體。因此通過本發(fā)明可實現(xiàn)高精度的納米壓印工藝。另外,本發(fā)明的精細圖案形成體的尺寸穩(wěn)定性、透明性優(yōu)異。圖1為示意在基板1上放置光固化性組合物3的狀態(tài)的截面圖。圖2為示意用基板1和模具2夾持并按壓光固化性組合物3的狀態(tài)的截面圖。圖3為示意使光固化性組合物3固化而形成固化物4的狀態(tài)的截面圖。圖4為示意由固化狀態(tài)至剝離了模具2的狀態(tài)的截面圖。圖5為示意從固化物4剝離基板1而形成僅固化物4的狀態(tài)的截面圖。圖6為示出本發(fā)明的線柵偏振器10的一例的立體圖。圖7為示出實施例1(例1-10)的圓筒型模具的制作方法中的一個工序的主視圖。圖8為示出在原模20上按壓圓筒型模具前體30的狀態(tài)的放大圖,該圖為從圓筒型模具前體30旋轉(zhuǎn)的方向觀察的圖。圖9為示出精細圖案形成體的制造方法的一例的主視圖。附圖標記說明1基板2模具3光固化性組合物4:固化物10線柵偏振器12:凸條14:精細圖案形成體16金屬細線20原模30圓筒型模具前體32透明氟樹脂層34丙烯酸類樹脂制的管40圓筒型模具42形成有圖案的透明氟樹脂層50:PET薄膜52光固化性組合物的涂膜60光源具體實施例方式本說明書中,將丙烯酰氧基和甲基丙烯酰氧基總稱為(甲基)丙烯酰氧基,將丙烯酸和甲基丙烯酸總稱為(甲基)丙烯酸,將丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯總稱為(甲基)丙烯酸酯。關(guān)于表示官能團數(shù)目的官能性,只要沒有特別說明則為每1分子中的(甲基)丙烯酰氧基的數(shù)目。另外,用化學(xué)式CH2=C(R)C00-表示(甲基)丙烯酰氧基(其中,R為氫原子或甲基)。本發(fā)明的光固化性組合物為包含光固化性單體(A)、平均粒徑為200nm以下的膠體二氧化硅⑶和光聚合引發(fā)劑(C)的光固化性組合物。其中,光固化性單體(A)為在后述光聚合引發(fā)劑(C)的存在下通過光照射而開始聚合反應(yīng)的單體。然而,本發(fā)明中,后述用于膠體二氧化硅(B)的表面修飾的含有(甲基)丙烯酰氧基的水解性硅烷化合物和以該化合物進行了表面修飾的膠體二氧化硅(B),即便具有(甲基)丙烯酰氧基,也不是符合光固化性單體(A)的化合物。本發(fā)明的光固化性組合物中,光固化性單體(A)至少包含下述多官能性單體(A1)和下述2官能性單體(A2),屬于多官能性單體(A1)或2官能性單體(A2)的一部分化合物具有羥基。另外,該游離的羥基為醇羥基。多官能性單體(A1)在1分子中具有3個以上(甲基)丙烯酰氧基的化合物。2官能性單體(A2)在1分子中具有2個(甲基)丙烯酰氧基的化合物。屬于多官能性單體(A1)或2官能性單體(A2)的至少一部分化合物具有羥基,且該羥基在光固化性單體(A)中以一定量以上存在,由此本發(fā)明的光固化性組合物即便為基本上不含溶劑的狀態(tài),其溶膠也穩(wěn)定,難以凝膠化,能夠進行精細圖案的精細轉(zhuǎn)印。作為光固化性單體㈧,也可以使用除多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)以外的光固化性單體。然而,為了充分實現(xiàn)本發(fā)明的課題,相對于光固化性單體(A)的總量,多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)的總計量優(yōu)選為80100質(zhì)量%,更優(yōu)選為90100質(zhì)量%。尤其優(yōu)選的是,光固化性單體(A)除了后述的功能性的單官能性單體以外,基本上其總量由多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)構(gòu)成。多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)中的(甲基)丙烯酰氧基,優(yōu)選醇的(甲基)丙烯酸酯中的(甲基)丙烯酰氧基、和環(huán)氧化物的(甲基)丙烯酸反應(yīng)物中的(甲基)丙烯酰氧基。也可以是酚類的(甲基)丙烯酸酯中的(甲基)丙烯酰氧基。具有羥基的多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)中的醇羥基,優(yōu)選多元醇類的部分(甲基)丙烯酸酯中未酯化的羥基、和環(huán)氧化物的環(huán)氧基與羧酸的羧基反應(yīng)生成的羥基等來源于環(huán)氧基的羥基。具有2個以上羥基的多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)中,可以具有這2種羥基。作為來源于環(huán)氧基的羥基,除上述以外,還有通過環(huán)氧基與含有羥基的化合物反應(yīng)而與醚鍵一起生成的羥基等。多官能性單體(A1)分類為以下范疇的化合物。具有羥基、且在1分子中具有3個以上(甲基)丙烯酰氧基的化合物(All),沒有羥基、且在1分子中具有3個以上(甲基)丙烯酰氧基的化合物(A12)。2官能性單體(A2)分類為以下范疇的化合物。具有羥基、且在1分子中具有2個(甲基)丙烯酰氧基的化合物(A21),沒有羥基、且在1分子中具有2個(甲基)丙烯酰氧基的化合物(A22)。作為(All)(A22),優(yōu)選多元醇與(甲基)丙烯酸形成的聚酯。其中的部分聚酯(殘留有多元醇的羥基的聚酯)為(All)和(A21),其中的完全聚酯(不殘留有多元醇的羥基的聚酯)為(A12)和(A22)。在使多元醇或其反應(yīng)性衍生物與(甲基)丙烯酸或其反應(yīng)性衍生物反應(yīng)而制造聚酯時,難以制造僅為完全聚酯,另外有意地制造完全聚酯與部分聚酯的混合物的情況也不少。而且,市售的多官能(甲基)丙烯酸酯也多為這種完全聚酯與部分聚酯的混合物。這種完全聚酯與部分聚酯的混合物可以用作本發(fā)明中的多官能性單體(A1)或2官能性單體(A2)。此時,通過分析,分類為(All)(A22)并求出其比例,從而能夠確定這些各種成分的使用量。另外,作為上述多元醇的反應(yīng)性衍生物可以列舉例如金屬醇鹽,作為上述(甲基)丙烯酸的反應(yīng)性衍生物可以列舉例如酰氯。作為(All)、(A21),另外,也可以是通過環(huán)氧基與含有活性氫的基團(羥基、羧基等)反應(yīng)而生成的含羥基化合物。例如,含有(甲基)丙烯酰氧基的環(huán)氧化物與多元醇或多元羧酸的反應(yīng)產(chǎn)物、具有(甲基)丙烯酰氧基的醇或(甲基)丙烯酸與聚環(huán)氧化物(即,具有2個以上環(huán)氧基的化合物)的反應(yīng)產(chǎn)物等。作為上述含有(甲基)丙烯酰氧基的環(huán)氧化物,可以列舉例如(甲基)丙烯酸縮水甘油酯。作為上述多元羧酸,可以列舉例如琥珀酸、己二酸等多羧酸。作為上述具有(甲基)丙烯酰氧基的醇,可以列舉例如所述部分聚酯、2_羥乙基(甲基)丙烯酸酯等羥烷基(甲基)丙烯酸酯。作為上述聚環(huán)氧化物,有被稱為環(huán)氧樹脂(的主劑)的聚縮水甘油醚、聚縮水甘油酯、聚環(huán)烯烴氧化物等。例如,可以列舉雙酚A-二縮水甘油醚、酚醛清漆-聚縮水甘油醚等芳香族聚縮水甘油醚,聚烷二醇二縮水甘油醚等脂肪族聚縮水甘油醚,乙烯基環(huán)己烯二酮等聚環(huán)烯烴氧化物等。作為(All)(A22),進而,也可以是具有(甲基)丙烯酰氧基的反應(yīng)性化合物的反應(yīng)產(chǎn)物。例如,具有(甲基)丙烯酰氧基的醇、與羧酸形成的酯,具有(甲基)丙烯酰氧基的羧酸、與醇形成的酯,具有(甲基)丙烯酰氧基的異氰酸酯、與醇形成的尿烷化物,具有(甲基)丙烯酰氧基的醇、與異氰酸酯形成的尿烷化物等。7通過使用具有2個以上(甲基)丙烯酰氧基的化合物作為這些具有(甲基)丙烯酰氧基的反應(yīng)性化合物,或者,通過使用具有2個以上反應(yīng)性基團的化合物作為與這些具有(甲基)丙烯酰氧基的反應(yīng)性化合物反應(yīng)的化合物,從而得到具有2個以上(甲基)丙烯酰氧基的化合物。另外在使用具有羥基的化合物時,以殘留羥基的方式進行反應(yīng),從而得到具有羥基的化合物。作為上述多元醇,可以列舉如下多元醇。脂肪族多元醇乙二醇、丙二醇、1,4_丁二醇、新戊二醇、1,6_己二醇、1,9_壬二醇、1,10-癸二醇等二醇;甘油、三羥甲基丙烷、季戊四醇等3元以上的脂肪族多元醇。脂肪族多元醇的多聚體二乙二醇、三乙二醇等聚乙二醇,二丙二醇、三丙二醇等聚丙二醇,其他二醇的多聚體;二甘油、三甘油、雙(三羥甲基)丙烷、二季戊四醇、三季戊四醇等3元以上的脂肪族多元醇的多聚體。單糖類、多糖類、糖醇等糖類果糖、半乳糖、葡萄糖、蔗糖、赤藻糖醇、山梨醇等。脂環(huán)族多元醇三環(huán)癸烷二甲醇、環(huán)己烷二甲醇、2,2_雙(4-羥基環(huán)己基)丙烷寸。含有羥基的異氰脲酸酯系多元醇三(2-羥乙基)異氰脲酸酯、三(2-羥丙基)異氰脲酸酯等三(羥基烷基)異氰脲酸酯。芳香族多元醇雙(2-羥乙基)雙酚A、雙(2-羥丙基)雙酚A、雙(2_羥乙基)雙酚F等。由上述多元醇的烯化氧加成物構(gòu)成的聚醚多元醇和由上述多元醇的環(huán)狀酯加成物構(gòu)成的聚酯多元醇三羥甲基丙烷_環(huán)氧乙烷加成物、三羥甲基丙烷_環(huán)氧丙烷加成物、甘油-環(huán)氧乙烷加成物、甘油-環(huán)氧丙烷加成物、山梨醇-環(huán)氧乙烷加成物、三羥甲基丙烷己內(nèi)酯加成物等。作為上述多官能性單體(All)的例子,可以列舉以下化合物。二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、雙(三羥甲基)丙烷三丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸二甘油酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與甘油的反應(yīng)產(chǎn)物、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與三羥甲基丙烷的反應(yīng)產(chǎn)物。作為上述多官能性單體(A12)的例子,可以列舉以下化合物。二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸甘油酯、三(2_(甲基)丙烯酰氧乙基)異氰脲酸酯、三(2_(甲基)丙烯酰氧丙基)異氰脲酸酯、三羥甲基丙烷_環(huán)氧乙烷加成物的三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷_環(huán)氧丙烷加成物的三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇-己內(nèi)酯加成物的六(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異氰脲酸酯_己內(nèi)酯加成物的三(甲基)丙烯酸酯。作為上述2官能性單體(A21)的例子,可以列舉以下化合物。季戊四醇二丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、由新戊二醇與三羥甲基丙烷的縮合物構(gòu)成的三醇的二(甲基)丙烯酸酯、雙(2_(甲基)丙烯酰氧乙基)-2-羥乙基異氰脲酸酯、雙酚A-二縮水甘油醚的(甲基)丙烯酸加成物、乙烯基環(huán)己烯二環(huán)氧化物的(甲基)丙烯酸加成物、二環(huán)戊二烯二環(huán)氧化物的(甲基)丙烯酸加成物、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與乙二醇的反應(yīng)產(chǎn)物、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與丙二醇的反應(yīng)產(chǎn)物、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與二乙二醇的反應(yīng)產(chǎn)物、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與1,6_己二醇的反應(yīng)產(chǎn)物、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯與三羥甲基丙烷的反應(yīng)產(chǎn)物等。作為上述2官能性單體(A22)的例子,可以列舉以下化合物。1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9_壬二醇二丙烯酸酯、1,10-癸二醇二丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三環(huán)癸烷二甲醇二丙烯酸酯、雙(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)雙酚A、雙(2_(甲基)丙烯酰氧乙基)雙酚S、雙(2-(甲基)丙烯酰氧乙基)雙酚F、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、分子量為2001000的聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、分子量為2001000的聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙(丙烯酰氧新戊二醇)己二酸酯、羥基特戊酸新戊二醇酯的二(甲基)丙烯酸酯、羥基特戊酸新戊二醇酯_己內(nèi)酯加成物的二(甲基)丙烯酸酯等。多官能性單體(Al)優(yōu)選3元以上的多元醇與(甲基)丙烯酸形成的聚酯。這種優(yōu)選的多官能性單體(Al)中,作為具有羥基的多官能性單體的多官能性單體(All),優(yōu)選4元以上的多元醇與(甲基)丙烯酸形成的部分聚酯,作為沒有羥基的多官能性單體的多官能性單體(A12),優(yōu)選3元以上的多元醇與(甲基)丙烯酸形成的完全聚酯。2官能性單體(A2)優(yōu)選2元以上的多元醇與(甲基)丙烯酸形成的聚酯。這種優(yōu)選的2官能性單體(A2)中,作為具有羥基的2官能性單體的2官能性單體(A21),優(yōu)選3元以上的多元醇與(甲基)丙烯酸形成的部分二酯,作為沒有羥基的2官能性單體的2官能性單體(A22),優(yōu)選2元醇與(甲基)丙烯酸形成的二酯。這樣,屬于多官能性單體(A1)或2官能性單體(A2)的具有羥基的化合物,優(yōu)選3元以上的多元醇與(甲基)丙烯酸形成的偏酯化物即含有羥基的聚(甲基)丙烯酸酯。另外,具有尿烷鍵的多官能性單體(A1)具有粘度升高的傾向,而且具有固化物的耐水性差的傾向,因此作為多官能性單體(A1)優(yōu)選不具有尿烷鍵的化合物。1分子多官能性單體(A1)中的(甲基)丙烯酰氧基的數(shù)目為3個以上,其上限優(yōu)選為20個。更優(yōu)選(甲基)丙烯酰氧基的數(shù)目為,多官能性單體(All)中優(yōu)選312個,尤其優(yōu)選310個,多官能性單體(A12)中優(yōu)選412個。每1分子中的羥基的數(shù)目為,多官能性單體(All)中優(yōu)選16個,尤其優(yōu)選14個,2官能性單體(A21)中優(yōu)選14個,尤其優(yōu)選12個。另外,在多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)中,由于光固化性組合物的固化物的線性膨脹系數(shù)降低,因此每1個(甲基)丙烯酰氧基的分子量優(yōu)選比較低。每1個(甲基)丙烯酰氧基的分子量優(yōu)選為300以下,尤其優(yōu)選為150以下。多官能性單體(A1)優(yōu)選3元以上的多元醇或其多聚體與(甲基)丙烯酸的聚酯,尤其優(yōu)選選自季戊四醇、作為季戊四醇的多聚體的聚季戊四醇、作為三羥甲基丙烷的多聚體的聚三羥甲基丙烷、作為甘油的多聚體的聚甘油中的4元以上的多元醇與(甲基)丙烯酸形成的聚酯。作為上述多元醇的多聚體,優(yōu)選24聚體。另外,這種多元醇的多聚體,通常作為單體與多聚體的混合物、縮合數(shù)不同的多聚體的混合物、單體與縮合數(shù)不同的多聚體的混合物等而獲得,使用其而得到的與(甲基)丙烯酸形成的聚酯也同樣為混合物。另外,市售的多官能(甲基)丙烯酸酯也多為這種官能團數(shù)目不同的混合物。這種官能團數(shù)目不同的混合物可以用作本發(fā)明中的多官能性單體(A1)或2官能性單體(A2)。此時,通過分析,分類為(All)(A22)并求出其比例,從而能夠確定這些各種成分的使用量。本發(fā)明中,屬于多官能性單體(A1)或2官能性單體(A2)的化合物的至少一部分具有羥基,相對于多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)的總計量(mol),上述羥基的總量(mol)的比例需要為10%以上。羥基的總量(mol)低于10%時,光固化性組合物具有凝膠化的傾向,若凝膠化則無法進行精細圖案的轉(zhuǎn)印。通過運動性高的羥基的存在,認為有助于無溶劑狀態(tài)下的溶膠的穩(wěn)定化。羥基的總量(mol)優(yōu)選為12%以上,更優(yōu)選為14%以上。羥基的總量(mol)的上限優(yōu)選為120%,更優(yōu)選為50%。相對于多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)的總量(mol),2官能性單體(A2)的量(mol)的比例優(yōu)選為2080%,更優(yōu)選為2575%。多官能性單體(A1)過多時,則固化反應(yīng)時受到應(yīng)力,固化物可能會產(chǎn)生應(yīng)變。多官能性單體(A1)過少時,則固化物的線性膨脹系數(shù)不足夠小,尺寸穩(wěn)定性可能會降低。多官能性單體(Al)、2官能性單體(A2)可以各自使用1種,也可以使用2種,通過將2種以上并用,更加容易調(diào)節(jié)固化前的粘度和確保固化物的尺寸穩(wěn)定性,因而優(yōu)選。作為多官能性單體(A1),優(yōu)選至少1種(甲基)丙烯酰氧基為58個的化合物、與至少1種(甲基)丙烯酰氧基為34個的化合物的混合物。尤其優(yōu)選至少1種(甲基)丙烯酰氧基為6個的化合物、與至少1種(甲基)丙烯酰氧基為34個的化合物的混合物。光固化性組合物可以包含1分子中具有1個(甲基)丙烯酰氧基的單官能性單體作為光固化性單體(A)。以下,將該光固化性的單官能性單體稱為單官能性單體(A3)。在光固化性組合物中含有的單體(A)的總質(zhì)量中,單官能性單體(A3)的比例優(yōu)選低于20質(zhì)量%,更優(yōu)選低于10質(zhì)量%。單官能性單體(A3)的比例升高時,固化物的線性膨脹系數(shù)可能會升高,尺寸穩(wěn)定性降低。另外,在該單官能性單體(A3)為具有羥基的單官能性單體時,所述羥基量是指相對于多官能性單體(A1)、2官能性單體(A2)和單官能性單體(A3)的總計量,包括含有羥基的單官能性單體的羥基在內(nèi)的全部羥基的量。此外,在后述憎水性賦予劑(D)等功能性的配合劑為1分子中具有1個(甲基)丙烯酰氧基的化合物時,該化合物(功能性的單官能性單體)也視為單官能性單體(A3)的1種。上述單官能性單體(A3)的比例也指包含這種配合劑在內(nèi)的總量。作為1分子中具有1個(甲基)丙烯酰氧基的單官能性單體,例如為以下化合物。(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2-羥乙基酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙基酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸四氫糠基酯、(甲基)丙烯酸芐基酯、1,4_丁二醇單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、苯基縮水甘油醚的(甲基)丙烯酸加成物。本發(fā)明的光固化性組合物包含膠體二氧化硅(B)。本發(fā)明的光固化性組合物中的膠體二氧化硅(B)為在分散介質(zhì)中分散成膠體狀的二氧化硅的超微顆粒,分散介質(zhì)沒有特定限制,但優(yōu)選水、低級醇類、溶纖劑類等。另外,本發(fā)明中的膠體二氧化硅(B)的使用量為除去分散介質(zhì)之外的僅膠體二氧化硅的量,也稱為固體成分(的量)。作為具體的分散介質(zhì),可以列舉水、甲醇、乙醇、異丙醇、正丁醇、乙二醇、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、丙二醇單甲醚醋酸酯、二甲基乙酰胺、甲苯、二甲苯、醋酸甲酯、醋酸乙酯、醋酸戊酯、丙酮等。為了抑制光學(xué)散射,使膠體二氧化硅(B)的平均粒徑為200nm以下,尤其優(yōu)選為150nm。該平均粒徑是指通過動態(tài)光散射法測定的平均粒徑。膠體二氧化硅(B)為了提高分散穩(wěn)定性,也可以用水解性硅烷化合物的水解物對顆粒表面進行修飾而使用。其中“用水解物修飾表面”是指水解性硅烷化合物的水解物與膠體二氧化硅顆粒的表面的一部分或全部的硅烷醇基物理性或化學(xué)性結(jié)合的狀態(tài),由此表面特性被改性。通過在二氧化硅顆粒存在下使水解性硅烷化合物的水解性基團的一部分或全部發(fā)生水解、或發(fā)生水解與縮合反應(yīng),從而能夠容易地進行該表面修飾。經(jīng)表面修飾的膠體二氧化硅例如通過如下方式獲得向分散于分散介質(zhì)中的狀態(tài)的膠體二氧化硅中添加水解性硅烷化合物,一邊攪拌一邊使水解性硅烷化合物在膠體二氧化硅表面反應(yīng),從而獲得。分散介質(zhì)中的膠體二氧化硅(B)的含量優(yōu)選為550質(zhì)量%左右。反應(yīng)可以在從室溫至分散介質(zhì)的沸點的溫度下進行,為了提高反應(yīng)速度優(yōu)選在50°C以上進行。反應(yīng)后,優(yōu)選在低于反應(yīng)溫度的溫度下繼續(xù)攪拌,進行熟化。例如,可以在50°C以上進行反應(yīng),在室溫下進行熟化。反應(yīng)時間優(yōu)選為30分鐘半天左右,熟化時間優(yōu)選為1小時1天左右。作為水解性硅烷化合物,優(yōu)選具有(甲基)丙烯酰氧基、氨基、環(huán)氧基、巰基等官能性基團的有機基團(與硅原子相結(jié)合的末端原子為碳原子的有機基團)和烷氧基或氯原子等水解性基團與硅原子相結(jié)合的硅烷化合物。另外,也可以是這種硅烷化合物的部分水解縮合物。作為水解性硅烷化合物,優(yōu)選可以列舉例如3-(甲基)丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、3_(甲基)丙烯酰氧丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基三甲氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧丙基三乙氧基硅烷、2-(甲基)丙烯酰氧乙基三乙氧基硅烷、3-氨丙基三乙氧基硅烷、3-氨丙基三甲氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3_氨丙基甲基二甲氧基硅烷、3-縮水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷、3-巰丙基三甲氧基硅烷等。作為水解性硅烷化合物,優(yōu)選具有容易與光固化性單體(A)相結(jié)合的官能團作為官能性基團的水解性硅烷化合物。通過膠體二氧化硅顆粒的表面與光固化性單體(A)的聚合物鏈相結(jié)合,從而具有降低光固化性組合物的固化物的線性膨脹系數(shù),提高其尺寸穩(wěn)定性的效果。作為水解性硅烷化合物的官能性基團,從與光固化性單體(A)反應(yīng)的容易程度出發(fā),優(yōu)選巰基或(甲基)丙烯酰氧基。巰基如果沒有來自外部的活性能量則反應(yīng)難以進行,因此經(jīng)表面修飾的膠體二氧化硅顆粒的貯藏穩(wěn)定性良好。另外,本發(fā)明中,用含有(甲基)丙烯酰氧基的水解性硅烷化合物進行了表面修飾的膠體二氧化硅不是符合光固化性單體(A)的化合物。此外,即便與該經(jīng)表面修飾的膠體二氧化硅的使用相隨而有含有(甲基)丙烯酰氧基的水解性硅烷化合物被帶入光固化性組合物中,該含有(甲基)丙烯酰氧基的水解性硅烷化合物也不是符合光固化性單體(A)的化合物。作為具有巰基的有機基團和水解性基團或羥基與硅原子相結(jié)合的含有巰基的硅烷化合物(S1),優(yōu)選由下式(S1)表示的化合物。HS-R2-SiR3rR43_r(SI)(式中,R2表示2價的烴基,R3表示羥基或水解性基團,R4表示1價的烴基,r表示13的整數(shù)。)式(S1)中的R2優(yōu)選碳原子數(shù)為26的亞烷基,尤其優(yōu)選碳原子數(shù)為3的亞烷基。R4優(yōu)選碳原子數(shù)為4以下的烷基,尤其優(yōu)選甲基和乙基。R3優(yōu)選水解性基團,更優(yōu)選鹵素原子或碳原子數(shù)為4以下的烷氧基,尤其優(yōu)選碳原子數(shù)為4以下的烷氧基。作為鹵素原子,優(yōu)選氯原子或溴原子。作為烷氧基,由于甲氧基和乙氧基的水解性良好,因而進一步優(yōu)選。r優(yōu)選2或3。以下例示上式所示的含有巰基的硅烷化合物的代表例。另外,Me表示甲基,OMe表示甲氧基,OEt表示乙氧基,OPr表示正丙氧基。HS-CH2CH2CH2-Si(OMe)3、HS_CH2CH2CH2_Si(OEt)3、HS-CH2CH2CH2-Si(OPr)3、HS-CH2CH2CH2-SiMe(OMe)2、HS-CH2CH2CH2-SiMe(0Et)2,HS-CH2CH2CH2-SiMe(OPr)2、HS-CH2CH2CH2-SiMe2(OMe)、HS-CH2CH2CH2-SiMe2(OEt)、HS-CH2CH2CH2-SiMe2(OPr)、HS-CH2CH2CH2-SiCl3、HS_CH2CH2CH2_SiBr3、HS_CH2CH2CH2_SiMeCl2、HS_CH2CH2CH2_SiMeBr2、HS-CH2CH2CH2-SiMe2Cl、HS_CH2CH2CH2_SiMe2Br。另外,作為具有(甲基)丙烯酰氧基的有機基團和水解性基團或羥基與硅原子相結(jié)合的含有(甲基)丙烯酰氧基的硅烷化合物(S2),優(yōu)選由下式(S2)表示的化合物。CH2=C(R)C00-R5-SiR6yR73-y(S2)(式中,R表示氫原子或甲基,R5表示2價的烴基,R6表示羥基或水解性基團,R7表示1價的烴基,y表示13的整數(shù)。)式(S2)中的R5優(yōu)選碳原子數(shù)為26的亞烷基,尤其優(yōu)選碳原子數(shù)為3的亞烷基。R6優(yōu)選為水解性基團,更優(yōu)選鹵素原子或碳原子數(shù)為4以下的烷氧基,尤其優(yōu)選碳原子數(shù)為4以下的烷氧基。作為鹵素原子,優(yōu)選氯原子或溴原子。作為烷氧基,由于甲氧基和乙氧基的水解性良好,因而進一步優(yōu)選。RM尤選碳原子數(shù)為4以下的烷基,尤其優(yōu)選甲基和乙基。y優(yōu)選2或3。以下例示上式所示的含有(甲基)丙烯酰氧基的硅烷化合物(S2)的代表例。CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2-Si(OMe)3>CH2=C(R)C00_CH2CH2CH2_Si(OEt)3、CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2-Si(OPr)3、CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2_SiMe(OMe)2、CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2-SiMe(OEt)CH2=C(R)C00_CH2CH2CH2_SiMe(OPr)2、CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2-SiMe2(OMe),CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2-SiMe2(OEt),CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2_SiMe2(0Pr)、CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2_SiCl3、CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2_SiBr3、CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2_SiMeCl2、CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2_SiMeBr2、CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2_SiMe2Cl、CH2=C(R)C00-CH2CH2CH2_SiMe2Br。從能夠容易抑制固化時的聚合收縮,且以優(yōu)異的精度形成固化物的觀點出發(fā),相對于100質(zhì)量份的光固化性單體(A),膠體二氧化硅⑶的配合量以固體成分計為560質(zhì)量份。配合量低于5質(zhì)量份時,則聚合收縮增大,轉(zhuǎn)印精度降低;配合量超過60質(zhì)量份時,則組合物的粘度增大,無法轉(zhuǎn)印。其中,優(yōu)選1050質(zhì)量份。另外,使用經(jīng)表面修飾的膠體二氧化硅時的固體成分量為修飾后的膠體二氧化硅的固體成分量。光固化性組合物包含光聚合引發(fā)劑(C)。作為光聚合引發(fā)劑(C)的具體例子,有芳酮系光聚合引發(fā)劑(例如,苯乙酮類、二苯甲酮類、烷基氨基二苯甲酮類、芐基類、苯偶姻類、苯偶姻醚類、苯偶酰基二甲基縮酮類、苯甲酸芐酯類、a-?;旷ヮ惖?、含硫系光聚合引發(fā)劑(例如,硫醚類、噻噸酮類等)、?;趸㈩?例如,酰基二芳基氧化膦等)、其他光聚合引發(fā)劑。該光聚合引發(fā)劑可以并用2種以上。另外,光聚合引發(fā)劑可以與胺類等光敏劑組合使用。相對于100質(zhì)量份的光固化性單體(A),光聚合引發(fā)劑(C)的配合量為0.110質(zhì)量份。尤其優(yōu)選0.55質(zhì)量份。配合量在該范圍時,固化性充分,固化時所有光聚合引發(fā)劑(C)容易分解。作為具體的光聚合引發(fā)劑,例如有以下化合物,但不限于此。4-苯氧基二氯苯乙酮、4-叔丁基-二氯苯乙酮、4-叔丁基-三氯苯乙酮、二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-(4_異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-甲基丙烷-1-酮、1-{4-(2-羥基乙氧基)苯基}-2-羥基-2-甲基-丙烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-甲基_1-{4-(甲硫基)苯基}_2_嗎啉代丙烷-1-酮。苯偶酰、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻異丁醚、苯偶酰二甲基縮酮、二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、羥基二苯甲酮、丙烯酰二苯甲酮、3,3’-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、3,3’,4,4’-四(叔丁基過氧化羰基)二苯甲酮、9,10-菲醌、樟腦醌、二苯并環(huán)庚酮(Dibenzosuberone)』-乙基蒽醌、4,,4”_二乙基異二苯代酚酞(diethylisophthalophenone)、(l-苯基-1,2_丙二酮-2(0-乙氧基羰基)肟)、a-酰基肟酯、苯甲酰甲酸甲酯。4-苯甲?;?4’-甲基二苯基硫醚、噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2,4_二甲基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2,4_二氯噻噸酮、2,4_二乙基噻噸酮、2,4_二異丙基噻噸酮、2,4,6-三甲基苯甲?;交趸ⅰ⒈郊柞;交趸?、2,6-二甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、雙(2,6-二甲氧基苯甲酰基)_2,4,4-三甲基戊基氧化膦。光固化性組合物優(yōu)選進一步包含憎水性賦予劑(D)。光固化性組合物的固化物的表面的憎水性提高,脫模性優(yōu)異,能夠從模具順利剝離。本發(fā)明中,憎水性賦予劑⑶是指,具有硅酮鏈(聚二有機硅氧烷鏈)、長鏈多氟有機基團、或這兩者作為發(fā)揮憎水性的基團(憎水性基團)的化合物。該憎水性賦予劑(D)優(yōu)選具有(甲基)丙烯酰氧基等光固化性基團。具有(甲基)丙烯酰氧基的憎水性賦予劑(D)在固化反應(yīng)時與光固化性組合物中的其他成分形成共價鍵。由此憎水性賦予劑(D)被固定在光固化性組合物的固化物的表面,不會揮發(fā)。因此,固化物的表面能夠長期呈現(xiàn)憎水性。如上所述,本發(fā)明中,具有(甲基)丙烯酰氧基的憎水性賦予劑⑶為符合光固化性單體(A)的化合物的1種。例如,具有1個(甲基)丙烯酰氧基的憎水性賦予劑(D)為單官能性單體(A3)的1種。與硅酮鏈中的硅原子鍵合的有機基團優(yōu)選烷基、多氟烷基、或苯基,1個硅酮鏈上可以具有2種以上這些有機基團。優(yōu)選的硅酮鏈為下式(D1)所示的聚二有機硅氧烷鏈。-Rn-SiR8R9-(0SiR8R9)m-R10(Dl)其中,R8、R9獨立地表示碳原子數(shù)為18的烷基、碳原子數(shù)為18的含氟烷基或苯基,R10表示任選包含碳原子數(shù)為18的醚性氧原子的烷基,R11表示任選包含碳原子數(shù)為28的醚性氧原子的亞烷基,m表示11000的整數(shù)。R8、R9在每個硅氧烷單元中可以相同或者不同。作為R8、R9,更優(yōu)選甲基、苯基、碳原子數(shù)為18的多氟烷基,均尤其優(yōu)選甲基。作為R"1,優(yōu)選碳原子數(shù)為14的烷基,尤其優(yōu)選甲基。作為R11優(yōu)選碳原子數(shù)為24的聚亞甲基(尤其是三亞甲基)或具有1個醚性氧原子的碳原子數(shù)為36的亞烷基。作為m,優(yōu)選2500。作為長鏈多氟有機基團,優(yōu)選碳原子數(shù)為4以上的全氟亞烷基、碳原子數(shù)為4以上的全氟(聚氧化烯基)鏈等具有4個以上經(jīng)全氟化的碳原子連結(jié)而成的(其中,碳原子間可以存在醚性氧原子)部分的長鏈多氟有機基團。作為長鏈多氟有機基團,優(yōu)選碳原子數(shù)為4以上的全氟烷基、選自全氟氧化乙烯基或全氟氧化丙烯基中的全氟氧化烯基重復(fù)2個以上而形成的全氟(聚氧化烯)基、在上述全氟(氧化烯)基的一個末端與全氟烷基鍵合且在另一末端與單氧化烯基或聚氧化烯基鍵合的1價有機基團等。作為長鏈多氟有機基團,優(yōu)選下式(D2)或式(D3)所示的長鏈多氟有機基團。-R12-Rfl(D2)-CH2-R13-CF2-(0Rf)h-0-Rf2(D3)其中,鏟表示碳原子數(shù)為2或3的全氟烯基,Rfl表示碳原子數(shù)為420的全氟烷基,Rf2表示碳原子數(shù)為120的全氟烷基,R12表示碳原子數(shù)為16的亞烷基,R13表示為單鍵且碳原子數(shù)為15的亞烷基或碳原子數(shù)15的氟亞烷基,h表示1100的整數(shù)。作為Rf優(yōu)選四氟乙烯基或六氟丙烯基。作為Rfl優(yōu)選碳原子數(shù)為412的直鏈狀全氟烷基,作為Rf2優(yōu)選碳原子數(shù)為112的全氟烷基。作為Rfl更優(yōu)選CF3(CF2)3-和CF3(CF2)5_,作為Rf2更優(yōu)選CF3-、CF3CF2-、CF3(CF2)2-、CF3(CF2)3-和CF3(CF2)5_。作為R12優(yōu)選碳原子數(shù)為24的亞烷基,作為R13優(yōu)選-(Ogk-KFl-所示的基團或單鍵(k、j獨立地為02的整數(shù))。在具有(甲基)丙烯酰氧基的憎水性賦予劑⑶中,上述(D1)(D3)所示的基團與(甲基)丙烯酰氧基可以直接鍵合,也可以介由包含尿烷鍵的有機基團而鍵合。此外,在(D1)(D3)所示的基團與(甲基)丙烯酰氧基或上述包含尿烷鍵的有機基團之間,可以介由聚醚鏈或聚酯鏈而與(甲基)丙烯酰氧基鍵合。存在這些鏈時,則與光固化性單體(A)的相容性提高。作為聚醚鏈,優(yōu)選聚氧乙烯鏈、聚氧丙烯鏈或聚(氧化乙烯/氧化丙烯)鏈,作為聚酯鏈,優(yōu)選通過環(huán)狀酯(尤其是己內(nèi)酯)的開環(huán)加成反應(yīng)形成的聚酯鏈。作為包含尿烷鍵的有機基團,優(yōu)選使包含(D1)(D3)所示的基團的羥基末端的化合物與(甲基)丙烯酸異氰基烷基酯(尤其是,甲基丙烯酸-2-異氰基乙酯)反應(yīng)而形成的基團。聚醚鏈和聚酯鏈優(yōu)選使包含(D1)(D3)所示的基團的羥基末端的化合物與烯化氧或環(huán)狀酯進行開環(huán)加成反應(yīng)而形成的物質(zhì)。作為沒有(甲基)丙烯酰氧基的憎水性賦予劑(D),可以列舉引入(甲基)丙烯酰氧基前的含羥基化合物、代替(甲基)丙烯酰氧基而引入了不具有不飽和基團的酰氧基的化合物、使不具有不飽和基團的異氰酸酯化合物反應(yīng)而得到的化合物等。作為具有(甲基)丙烯酰氧基的憎水性賦予劑(D)而尤其優(yōu)選的化合物為下式(D4)所示的化合物。另外,R8、R9、R1Q、Rf2、m與前述相同。CH2=C(R)C00-B-[Q2]-A-[Q1](D4)其中,[Ql]:-CH2CH2CH2-SiR8R9-(OSiR8R9)m-R10、-CH2CF2-(0C2F4)n-0-Rf2、或-CH2C2F4-(0C3F6)n-0-Rf2[Q2]:-(CpH2pC(=0)0)q_、或-(CH2CH20)z-(CH(CH3)CH20)w_A單鍵或-CH2CH20-。B-CH2CH2NHC(=0)0_或單鍵。n:l100的整數(shù)。p:35的整數(shù),q:120的整數(shù)。z:0100,w:0100,且為滿足5彡z+ff彡100的整數(shù)。作為n優(yōu)選250。如上所述,作為m優(yōu)選2500。m、n在該范圍時,固化物的憎水性優(yōu)異?;衔?D4)通過具有部位[Q2],從而具有呈現(xiàn)與光固化性組合物中的其他化合物的相容性的功能。作為q,更優(yōu)選210的整數(shù)。作為z、w,z為080,w為80,且為滿足5彡z+w^80的整數(shù)。在該范圍時,化合物(D4)對于光固化性組合物中其他成分具有適度的相容性。即,相容性過高時,則化合物(D4)難以在涂膜表面偏析,固化物的表面無法充分呈現(xiàn)憎水性。相容性過低時,則固化物的透明性受損?;衔?D4)可以如下制造。例如,對單末端具有羥基的聚二甲基硅酮的羥基直接聚合內(nèi)酯,或者在加成碳酸乙二酯后聚合內(nèi)酯。此外,對存在于產(chǎn)物的末端的羥基,使用(甲基)丙烯酸或(甲基)丙烯酰氯通過酯鍵而引入(甲基)丙烯酰氧基;或使用(甲基)15丙烯酸-2-異氰基乙酯通過尿烷鍵而引入(甲基)丙烯酰氧基?;蛘?,例如,對單末端為羥基(其中,羥基所鍵合的碳原子為亞甲基等的烴基的碳原子)、另一末端為全氟烷基的聚氧四氟乙烯化合物的末端羥基直接聚合內(nèi)酯,或在加成碳酸乙二酯后聚合內(nèi)酯。此外,對存在于產(chǎn)物的末端的羥基,使用(甲基)丙烯酸或(甲基)丙烯酰氯通過酯鍵而引入(甲基)丙烯酰氧基;或使用(甲基)丙烯酸-2-異氰基乙酯通過尿烷鍵而引入(甲基)丙烯酰氧基。相對于100質(zhì)量份的光固化性單體(A),憎水性賦予劑⑶的配合量優(yōu)選為0.0210質(zhì)量份,更優(yōu)選為0.055質(zhì)量份。在該范圍時,不會損害光固化性組合物的固化物的透明性,且固化物的表面的憎水性優(yōu)異。在不具有(甲基)丙烯酰氧基的憎水性賦予劑(D)的情況下,優(yōu)選上述范圍內(nèi)的較少的使用量(0.025質(zhì)量份),尤其更優(yōu)選為0.053質(zhì)量份。為了確保貯藏穩(wěn)定性,另外,為了抑制涂敷工藝中所不希望的聚合,光固化性組合物優(yōu)選包含阻聚劑(E)。作為阻聚劑(E)的具體例子,有N-亞硝基苯基羥胺、N-亞硝基苯基羥胺鋁絡(luò)合物等。相對于100質(zhì)量份的光固化性單體(A),阻聚劑(E)的配合量優(yōu)選為0.110質(zhì)量份。在該范圍時,貯藏穩(wěn)定性、工藝穩(wěn)定性優(yōu)異,另外,光固化性也良好。除了上述成分以外,光固化性組合物中根據(jù)需要還可以包含1種以上選自于紫外線吸收劑、光穩(wěn)定劑、抗氧化劑、熱阻聚劑、消泡劑、增稠劑、防沉降劑、顏料(有機著色顏料、無機顏料)、著色染料、紅外線吸收劑、焚光增白劑、分散劑、導(dǎo)電性微粒、抗靜電劑、防霧劑和偶聯(lián)劑構(gòu)成的組中的的功能性配合劑。作為紫外線吸收劑,優(yōu)選通常用作合成樹脂用紫外線吸收劑的苯并三唑系紫外線吸收劑、二苯甲酮系紫外線吸收劑、水楊酸系紫外線吸收劑、苯基三嗪系紫外線吸收劑等。作為光穩(wěn)定劑,優(yōu)選通常用作合成樹脂用光穩(wěn)定劑的受阻胺系光穩(wěn)定劑。作為抗氧化劑,可以列舉2,6-二叔丁基-ρ-甲酚等受阻酚系抗氧化劑、亞磷酸三苯酯等磷系抗氧化劑等。作為這些功能性配合劑,優(yōu)選屬于單官能性單體(A3)的具有1個(甲基)丙烯酰氧基的化合物。屬于單官能性單體(A3)的功能性配合劑,在光固化性組合物的固化反應(yīng)時與其他成分形成共價鍵,且由此被固定于光固化性組合物的固化物中,滲出到表面的可能性小。具體而言,可以列舉2-{2_羥基-5-(2-丙烯酰氧乙基)苯基}苯并三唑、2-羥基-3-甲基丙烯酰氧丙基-3-(3-苯并三唑-4-羥基-5-叔丁基苯基)丙酸酯等紫外線吸收劑,N-甲基-4-甲基丙烯酰氧_2,2,6,6-四甲基哌啶等受阻胺系光穩(wěn)定劑等。作為熱阻聚劑,可以列舉氫醌單甲基醚等。作為增稠劑,可以列舉聚甲基丙烯酸甲酯系聚合物、氫化蓖麻油系化合物、脂肪酸酰胺系化合物等。作為有機著色顏料,可以列舉縮合多環(huán)系有機顏料、酞菁系有機顏料等。作為無機顏料,可以列舉二氧化鈦、氧化鈷、鉬紅、鈦黑等。另外,作為著色染料,可以列舉有機溶劑可溶性偶氮系金屬絡(luò)鹽染料、有機溶劑可溶性酞菁系染料等。作為紅外線吸收劑,可以列舉聚甲炔系、酞菁系、金屬絡(luò)合物系、銨鐺鹽系、二亞胺(diimonium)系、蒽醌系、二硫酚金屬絡(luò)合物系、萘醌系、吲哚酚系、偶氮系、三芳基甲烷系的化合物等。作為導(dǎo)電性微粒,可以列舉鋅、鋁、鎳等的金屬粉,磷化鐵、銻摻雜型氧化錫等。作為抗靜電劑,可以列舉非離子系抗靜電劑、陽離子系抗靜電劑、陰離子系抗靜電劑等。作為偶聯(lián)劑,可以列舉硅烷偶聯(lián)劑、鈦酸鹽偶聯(lián)劑等。本發(fā)明的光固化性組合物中,除了光固化性單體㈧、膠體二氧化硅⑶和光聚合引發(fā)劑(C)這些必需的3成分以外的成分(包含憎水性賦予劑(D)和阻聚劑(E))的總量,相對于光固化性組合物,優(yōu)選為20質(zhì)量%以下。其中,該光固化性組合物是指不含下述溶劑的組合物。尤其是,相對于光固化性組合物,優(yōu)選為10質(zhì)量%以下?;旧喜缓軇┑谋景l(fā)明的光固化性組合物在50°C下的粘度優(yōu)選為1200mPa/s,更優(yōu)選為150mPa/s以下,尤其優(yōu)選為120mPa/s以下。在將光固化性組合物用于通過納米壓印法而制造精細圖案形成體時,光固化性組合物在基本上不含溶劑的狀態(tài)下按壓并夾持于模具上。因此,基本上不含溶劑的光固化性組合物的粘度優(yōu)選在上述范圍內(nèi)?;旧喜缓軇┦侵?,相對于光固化性組合物總量,溶劑的量低于5質(zhì)量%。為了提高光固化性組合物的涂布性、與基材表面的密合性,本發(fā)明的光固化性組合物可以配合溶劑而使用。以下,將含溶劑的光固化性組合物稱為光固化性組合物溶液。作為溶劑,只要對光固化性單體(A)、光聚合引發(fā)劑(C)、和其他添加劑的溶解性沒有問題,則沒有特定限制,只要是滿足上述性能的溶劑即可。另外,也可以并用2種以上的溶劑。相對于光固化性單體(A),溶劑的使用量以質(zhì)量計優(yōu)選為100倍以下,尤其優(yōu)選為50倍以下。作為溶劑,優(yōu)選可以列舉乙醇、丁醇、異丙醇等低級醇類,甲基異丁酮、甲乙酮、丙酮等酮類,二噁烷、二乙二醇二甲醚、四氫呋喃、甲基叔丁基醚等醚類,甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、丙二醇單甲基醚醋酸酯等溶纖劑類等溶劑。除此之外,也可以使用醋酸正丁酯、醋酸異戊酯、二乙二醇單醋酸酯等酯類,多氟己烷等多氟脂肪族烴類,多氟甲基環(huán)己烷、多氟-1,3-二甲基環(huán)己烷等多氟脂肪族烴類,雙(三氟甲基)苯等多氟芳香族烴類,二氯甲烷等氯化烴類,甲苯、二甲苯、己烷等烴類等。這些溶劑可以混合2種以上來使用。在本發(fā)明的光固化性組合物中配合溶劑而使用的情況下,根據(jù)涂布光固化性組合物的基板的種類,優(yōu)選選擇適當?shù)娜軇?。例如,在基板為拉伸的PET時,低級醇類、溶纖劑類、酯類、醚類、它們的混合物等是適當?shù)摹1景l(fā)明的光固化性組合物優(yōu)選用于在涂布于基板表面而形成涂膜后進行光固化的用途。光固化性組合物的涂膜可以利用各種涂布法形成。另外,在使用本發(fā)明的光固化性組合物的溶液時,可以利用同樣的涂布法形成光固化性組合物溶液的涂膜,之后揮發(fā)除去溶劑(以下,也稱為干燥),從而形成基本上不含溶劑的光固化性組合物的涂膜。接著,對光固化性組合物的涂膜進行光照射,使光固化性組合物光固化。作為涂布法,可以列舉例如浸漬法、旋涂法、淋涂法、噴霧法、刮刀涂布法、凹版涂布法、輥涂法、刮板涂布法、氣刀涂布法等方法。另外,作為光線,優(yōu)選可以列舉紫外線、電子射線、X射線、輻射線和高頻射線等,尤其是具有180500nm的波長的紫外線從經(jīng)濟上考慮而優(yōu)選。作為光源,可以使用氙氣燈、低壓汞燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、金屬鹵化物燈、碳弧燈、鎢絲燈等紫外線照射裝置、電子射線照射裝置、X射線照射裝置、高頻生成裝置等。光的照射時間可以根據(jù)光固化性單體㈧的種類、光聚合引發(fā)劑(C)的種類、涂膜的厚度、光源等條件而適宜改變。通常通過0.160秒的照射可達到目的,可以根據(jù)實驗而確定合適的照射時間。此外為了完成固化反應(yīng),也可以在光照射后進行加熱處理。作為上述基板,可以使用由各種材料構(gòu)成的基板??梢粤信e例如,玻璃基板、石英基板、金屬基板、硅酮基板、陶瓷基板等由無機材料構(gòu)成的基板,塑料基板等由有機材料構(gòu)成的基板,由這些材料的復(fù)合體構(gòu)成的基板等?;宓暮穸葲]有限制,可以是較薄的薄膜狀的基板。在2片基板間使光固化性組合物光固化時,需要至少一片基板具有透光性。在基板上或在2片基板間進行光固化后,固化物的膜(以下,也稱為固化膜)也可以從基板剝離。被剝離的基板的表面優(yōu)選為具有脫模性的表面。不剝離固化膜的基板優(yōu)選具有提高與固化膜的密合性的表面。這些基板表面的特性可以通過對基板表面進行表面處理而賦予。使本發(fā)明的光固化性組合物固化而得到的固化膜的厚度,根據(jù)需要可以采用各種厚度。通常優(yōu)選厚度0.150μm的固化膜,尤其優(yōu)選形成厚度0.210μm的固化膜。本發(fā)明的光固化性組合物容易獲得如下特性?!す袒锏恼凵渎?nd)為1.31.6?!す袒锏暮穸葹?00μm時的可見光透射率為92%以上?!す袒锉砻嬖谑覝叵聦λ慕佑|角在初期為90°以上且在耐濕試驗后(60°C,90%Rh,500小時)為85°以上?!す袒锏木€性膨脹系數(shù)在_50°C至200°C下為100ppm/°C以下。折射率(nd)是通過對厚度10μm的固化物使用阿貝折射率計(589nm,25°C)而測定的??梢姽馔干渎适峭ㄟ^使用積分式透光率測定器由400nm780nm的光的全光量Tl與樣品透射光T2的比(T2X100/T1)而求得的。對水的接觸角是使用接觸角測定裝置而測定的。使本發(fā)明的光固化性組合物固化而得到的固化物優(yōu)選為精細圖案形成體。本發(fā)明的光固化性組合物優(yōu)選作為如下光固化性組合物使用將表面具有精細圖案的模具按壓于本發(fā)明的光固化性組合物的覆膜上,將模具的精細圖案轉(zhuǎn)印后,通過光照射形成固化物,從而提供表面具有精細圖案的反轉(zhuǎn)圖案的精細圖案形成體。模具可以是表面具有精細圖案的所述基板,也可以是所述基板之外的其它模具。以下,無論是否為所述基板,均將表面具有精細圖案的物質(zhì)稱為模具,將表面沒有精細圖案的物質(zhì)稱為基板。本發(fā)明還為一種精細圖案形成體,其由將所述光固化性組合物在表面具有精細圖案的模具的該圖案面上固化而成的固化體構(gòu)成。所述光固化性組合物通過在與模具表面的精細的凹凸圖案接觸的狀態(tài)下固化,從而可得到由如下固化體構(gòu)成的精細圖案形成體,該固化體在表面具有由模具的精細圖案反轉(zhuǎn)(變成與模具的凹凸相反的凹凸)而成的精細圖案。精細圖案形成體優(yōu)選如下制造在模具與基板之間或在2個模具之間夾持光固化性組合物,并按壓,在該狀態(tài)下使光固化性組合物光固化,從而制造。更具體而言,與所述在基板上形成光固化性組合物的涂膜的方法同樣地,在模具或基板的表面形成光固化性組合物的涂膜,接著在涂膜表面按壓另一模具或基板來夾持光固化性組合物,并在該狀態(tài)下使光固化性組合物光固化。尤其優(yōu)選的是,在基板表面形成光固化性組合物的涂膜,接著在涂膜表面按壓模具來夾持光固化性組合物,在該狀態(tài)下使光固化性組合物光固化。精細圖案形成體不僅可以是由從基板或模具剝離的光固化性組合物的固化物單獨構(gòu)成的物品,也可以是與其制造中使用的基板或模具一體的狀態(tài)的物品。即,可以是在精細圖案形成體的單面或兩面附著有基板或模具的狀態(tài)的物品。以附著有基板或模具的狀態(tài)使用精細圖案形成體時,精細圖案形成體與基板或模具的接觸面優(yōu)選具有較高的粘合強度。相反地,在剝離基板或模具中的至少一者與精細圖案形成體時,剝離的基板或模具的表面優(yōu)選具有充分的脫模性。作為精細圖案形成體用的基板,可以使用前述基板。尤其優(yōu)選玻璃基板和塑料基板。作為這些基板,根據(jù)需要,可以考慮透明性、尺寸穩(wěn)定性、脫模性、耐磨耗性等。具體而言,在塑料基板的情況下,可以列舉例如由芳香族聚碳酸酯樹脂、聚甲基丙烯酸甲酯樹脂、聚甲基丙烯酰亞胺樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚氯乙烯樹脂、不飽和聚酯樹脂、聚烯烴樹脂、環(huán)狀聚烯烴樹脂、ABS樹脂、MS(甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯)樹脂等材料構(gòu)成的基板。另外,在之后剝離基板的情況下或者在用作反射型的元件的情況下,也可以是不透明的陶瓷基板或金屬基板。在之后剝離基板的情況下,可以預(yù)先對基板表面實施表面處理而使其具有脫模性。另外,在不剝離基板的情況下,可以預(yù)先對基板的表面實施表面處理(硅烷偶聯(lián)處理、硅氮烷處理等)而使其提高密合性。作為模具,可以列舉由硅晶圓、SiC、云母、金屬等非透光材料構(gòu)成的模具,由玻璃、石英、透明塑料等透光材料構(gòu)成的模具。其中,基板和模具的組合或者2片模具的組合中的至少一者需要對為了光固化而照射的光具有透光性。與基板的情況同樣地,在之后剝離模具的情況下,可以預(yù)先對模具表面實施表面處理而使其具有脫模性,在不剝離模具的情況下,可以預(yù)先對模具的表面實施表面處理而使其提高密合性。在光固化性組合物的光固化后剝離基板或模具的情況且其由透光性的材料構(gòu)成的情況下,作為該透光性的塑料材料,優(yōu)選聚二甲基硅氧烷等透明硅酮樹脂和透明氟樹脂。這些材料具有較高的透明性,同時脫模性優(yōu)異。由這些材料構(gòu)成的基板或模具可以是整體由這些材料構(gòu)成,也可以是在與光固化性組合物接觸的表面具有這些材料的層。尤其是,透明氟樹脂的透明性和脫模性優(yōu)異,即使反復(fù)使用脫模性也不會降低,從而優(yōu)選作為具有精細圖案的模具的表面材料。上述透明氟樹脂為在主鏈具有含氟脂肪族環(huán)結(jié)構(gòu)的含氟聚合物,該含氟聚合物為無定形或非晶性的聚合物,且透明性高。在主鏈具有含氟脂肪族環(huán)結(jié)構(gòu)是指,聚合物中的構(gòu)成含氟脂肪族環(huán)的環(huán)的1個以上碳原子為構(gòu)成聚合物主鏈的碳原子。構(gòu)成含氟脂肪族環(huán)的環(huán)的原子除了碳原子以外,還可以包含氧原子或氮原子等。優(yōu)選的含氟脂肪族環(huán)為具有12個氧原子的含氟脂肪族環(huán)。構(gòu)成含氟脂肪族環(huán)的原子的數(shù)目優(yōu)選為47個。在使環(huán)狀單體聚合而得到的聚合物的情況下,構(gòu)成主鏈的碳原子來源于聚合性雙鍵的碳原子,在使二烯系單體環(huán)化聚合而得到的聚合物的情況下,構(gòu)成主鏈的碳原子來源于2個聚合性雙鍵的4個碳原子。上述環(huán)狀單體是指具有含氟脂肪族環(huán)、且在構(gòu)成該含氟脂肪族環(huán)的碳原子_碳原子間具有聚合性雙鍵的單體;或者,具有含氟脂肪族環(huán)、且在構(gòu)成該含氟脂肪族環(huán)的碳原子與含氟脂肪族環(huán)以外的碳原子之間具有聚合性雙鍵的單體。上述二烯系單體是指具有2個聚合性雙鍵的單體。環(huán)狀單體和二烯系單體中,相對于與碳原子鍵合的氫原子和與碳原子鍵合的氟原子的總數(shù)的、與碳原子鍵合的氟原子的數(shù)目的比例分別優(yōu)選為80%以上,尤其優(yōu)選為100%。作為環(huán)狀單體,可以列舉例如全氟(2,2_二甲基-1,3-間二氧雜環(huán)戊烯)、全氟(2-亞甲基-1,3-二氧戊環(huán))。作為能夠環(huán)化聚合的二烯系單體,可以列舉例如全氟-3-氧雜-1,6-庚二烯、全氟-3-氧雜-1,5-己二烯。作為使用了這些透明氟樹脂的模具,可以列舉例如國際公開第2006/059580號小冊子中記載的模具。本發(fā)明的精細圖案形成體的制造方法優(yōu)選為至少具有以下工序A、工序B和工序C的方法。在工序A中,將本發(fā)明的光固化性組合物夾持在表面具有精細圖案的模具的該圖案面與基板的表面之間,并進行按壓。在隨后的工序B中,通過光照射而使光固化性組合物固化,形成由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體,該固化物具有轉(zhuǎn)印了模具的精細圖案的表面。在隨后的工序C中,將模具和基板的至少一者從固化物剝離,得到精細圖案形成體、與基板一體的精細圖案形成體、或與模具一體的精細圖案形成體。進而根據(jù)需要,作為工序D,將精細圖案形成體從基板或模具剝離,得到分離的精細圖案形成體。以下參照附圖來說明本發(fā)明的優(yōu)選的制造方法。圖1為示意在基板1上放置光固化性組合物3、并在其上配置形成有精細圖案的模具2的狀態(tài)的截面圖。圖2為示出用基板1和模具2夾持并按壓光固化性組合物3的狀態(tài)、并示意光固化性組合物3的表面變形為凹凸狀的狀態(tài)的截面圖。用圖1和圖2表示上述工序A。為了在基板上配置光固化性組合物,具體而言有以下方法。如圖1所示,將光固化性組合物配置于基板表面,然后向基板側(cè)按壓模具,使得光固化性組合物與模具的圖案面接觸。另外,相反地,也可以將光固化性組合物配置于模具的圖案面,然后向模具側(cè)按壓基板,使得光固化性組合物與基板接觸。另外,也可以預(yù)先組合基板和模具,在基板表面與模具的圖案面之間形成空隙,接著向該空隙注入并填充光固化性組合物,并用基板和模具進行按壓。另外,也可以利用注入壓力將光固化性組合物按壓于基板和模具。在基板面或模具的圖案面以薄膜狀配置光固化性組合物時,除了所述涂布法以外,也可以使用灌注(potting)法、流延法、L-B膜(Langmuir-Blodgett)法、真空蒸鍍法等方法。光固化性組合物可以包覆基板整面,也可以僅包覆基板的一部分。按壓基板和模具時的加壓壓力(表壓)優(yōu)選為lOMPa以下,更優(yōu)選為0.15MPa。作為向基板與模具之間的空隙注入并填充光固化性組合物的方法,可以使用與通常的液晶顯示元件等中所使用的真空注入法或加壓注入法類似的方法。另外,也可以是利用了毛細管現(xiàn)象的注入方法。圖3為示出對光固化性組合物進行光照射而使光固化性組合物固化從而形成固化物4的狀態(tài)的主視圖。圖3表示工序B。工序B中利用光照射進行的光固化性組合物的固化,可以通過如下方法進行在使用透光材料制的模具時從該模具側(cè)進行光照射的方法;在使用透光材料制的基板時從該基板側(cè)進行光照射的方法。所照射的光只要是如上使用的光固化性組合物可固化的波長的光即可,但通常優(yōu)選使用200400nm的光。作為光照射的光源,使用高壓汞燈等。由于本發(fā)明的光固化性組合物具有低粘性且固化性高的傾向,因此優(yōu)選在低溫區(qū)域即060°C下進行工序A或工序B。另外,該組合物的固化物的脫模性高,能夠順利地從模具剝離,因此工序C或工序D也優(yōu)選在低溫區(qū)域即060°C下進行。因此,本發(fā)明的制造方法的全部工序都能夠在低溫區(qū)域即060°C下進行,是有利的。圖4為示出從固化狀態(tài)剝離模具2的狀態(tài)的主視圖。圖4表示工序C。圖4中,示出了固化物4附著于基板1的狀態(tài),僅模具2被剝離。該狀態(tài)下,形成了固化物4附著于基板1的精細圖案形成體。圖5為示出從固化物4剝離基板1而形成僅固化物4的狀態(tài)的主視圖。圖5表示工序D。圖5中,示出了固化物4從基板1上被剝離而形成僅為固化物4的的狀態(tài)。該狀態(tài)下,僅由固化物4形成了精細圖案形成體。本發(fā)明的精細圖案形成體,可以如圖4所示,以固化物4附著于基板1的狀態(tài)作為精細圖案形成體而用作光學(xué)元件;也可以如圖5所示,作為剝離了基板1而僅由固化物4構(gòu)成的精細圖案形成體而用作光學(xué)元件。固化物4也能夠以與模具一體化的狀態(tài)而使用。除了上述方法之外,還可以使用輥狀或傳送帶狀的模具,連續(xù)制造長條狀的精細圖案形成體。另外,可以將如上剝離的精細圖案形成體層壓于例如相位板、衍射光柵、偏振器、透鏡等其他元件而使用。使用輥狀的模具時,模具優(yōu)選具有脫模性??梢粤信e例如表面進行了脫模處理的輥狀模具、表面具有脫模層的輥狀模具等。作為表面進行了脫模處理的輥狀模具,可以列舉例如為金屬、橡膠、樹脂、或陶瓷制的輥狀模具且表面用脫模劑處理了的模具。作為表面具有脫模層的輥狀模具,可以列舉例如為金屬、橡膠、樹脂、或陶瓷制的輥狀模具且表面設(shè)有脫模處理層的模具。作為脫模處理層,可以列舉表面張力小的層(由氟樹脂、硅酮樹脂、聚烯烴系樹脂、或它們的低聚物等構(gòu)成的包覆層;通過電鍍、蒸鍍、等離子體、燒結(jié)等而形成的金屬復(fù)合氧化物層、或陶瓷層等)。尤其優(yōu)選具有由脫模性優(yōu)異的氟樹脂構(gòu)成的包覆層的輥狀模具。作為這種模具的制造方法,可以列舉如下方法在輥表面涂布氟樹脂,并在氟樹脂層形成精細圖案的方法;在薄膜(PET或聚酰亞胺等)或金屬箔的表面涂布氟樹脂,在氟樹脂層形成精細圖案,并將具有氟樹脂層的薄膜或金屬箔貼付于輥上的方法。本發(fā)明中的精細圖案為表面具有凸部和凹部的精細圖案,尤其優(yōu)選凸部與凹部重復(fù)而形成的精細圖案,且凸部與凸部的間隔的平均值為lnm500ym的精細圖案。該精細圖案中凸部與凸部的間隔(L1)的平均值優(yōu)選為lnm100iim,尤其優(yōu)選為lOnmlOym。凸部的寬度(L2)的平均值優(yōu)選為lnm50iim,尤其優(yōu)選為lOnm5iim。凸部的高度(L3)的平均值優(yōu)選為lnm100um,尤其優(yōu)選為lOnm10ym。僅由固化物4構(gòu)成的精細圖案形成體的厚度(L4)為凸部的高度(L3)與精細圖案形成體的主體厚度的總厚度,精細圖案形成體的主體的厚度(L4-L3)優(yōu)選為lOnm以上,其上限不受限制。尤其是,精細圖案形成體的主體的厚度(L4-L3)優(yōu)選為其凸部的高度(L3)的平均值的同等以上,進一步優(yōu)選為其凸部的高度(L3)的平均值的同等以上且在lOOnm以上。精細圖案形成體的主體的厚度(L4-L3)的上限沒有限制,但過厚時,有固化物的透光性降低和熱膨脹的影響增大等問題的擔憂。因此,該厚度的上限優(yōu)選為1mm,尤其優(yōu)選為500iim。作為凸部的形狀,可以列舉圓柱狀、棱柱狀、三角錐狀、多面體狀、半球狀等。作為凸部的截面形狀,可以列舉截面四邊形、截面三角形、截面半圓形等。本發(fā)明中,即便模具的精細圖案的最小尺寸為50ym以下、更小為500nm以下、進一步為50nm以下,也能夠?qū)⒕殘D案高精度地轉(zhuǎn)印到固化物上。精細圖案的最小尺寸是指模具的凸部的高度、凸部的寬度、凹部的寬度中的最小的值。最小尺寸的下限沒有特別限制,優(yōu)選為lnm。本發(fā)明的精細圖案形成體的制造方法由于為光壓印法,因此與以往的光刻法相比制造工序少,能夠以高生產(chǎn)率制造精細圖案形成體,且能夠大面積化。通過本發(fā)明的制造方法而得到的精細圖案形成體在表面高精度地轉(zhuǎn)印有模具的精細圖案。該精細圖案形成體作為微透鏡陣列、光波導(dǎo)元件、光開關(guān)元件、菲涅耳帶板元件、二元光學(xué)元件、閃耀(Blazed)光學(xué)元件、光子學(xué)結(jié)晶等光學(xué)元件、防反射部件、生物芯片部件、微反應(yīng)器芯片部件、催化劑載體等是有用的。通過本發(fā)明的制造方法制造本發(fā)明的光固化性組合物而得到的精細圖案形成體作為線柵偏振器尤其有用。本發(fā)明的光固化性組合物的固化膜的折射率(nd)為1.6以下時,藍色光區(qū)域的P偏振光的透射性增高,在寬頻帶顯示較高的偏振光分離能力。本發(fā)明的光固化性組合物的固化膜的可見光透射率為92%以上時,P偏振光的透射性增高,偏振光分離能力增高。本發(fā)明的光固化性組合物的固化膜對水的接觸角為90°以上時,在通過光壓印法而形成凸條時,與模具的脫模性變好,能夠高精度轉(zhuǎn)印,所得到的線柵偏振器能夠充分發(fā)揮目標性能。圖6為示出本發(fā)明的線柵偏振器的一個例子的立體圖。線柵偏振器10具有多個凸條12相互平行且以一定的間距Pp形成在表面的由光固化樹脂構(gòu)成的精細圖案形成體14、以及形成在精細圖案形成體14的凸條12上的金屬細線16。凸條12的間距Pp為凸條12的寬度Dp與在凸條12間形成的槽的寬度的總計寬度。凸條12的間距Pp優(yōu)選為300nm以下,更優(yōu)選為50200nm。通過使間距Pp在300nm以下,則線柵偏振器10顯示出充分高的反射率,且即便在400nm左右的短波長區(qū)域也顯示出較高的偏振光分離能力。另外,衍射導(dǎo)致的著色現(xiàn)象被抑制。凸條12的寬度Dp與間距Pp之比(Dp/Pp)優(yōu)選為0.10.6,更優(yōu)選為0.250.55。通過使Dp/Pp為0.1以上,線柵偏振器10的偏振光分離能充分提高。通過使Dp/Pp為0.6以下,干涉導(dǎo)致的透射光的著色被抑制。凸條12的高度Hp優(yōu)選為50500nm,更優(yōu)選為60300nm。通過使高度Hp為50nm以上,金屬細線16在凸條12上的選擇性形成變得容易。通過使高度Hp為500nm以下,線柵偏振器10的偏光度的入射角度依賴性減小。金屬細線16的寬度Dm優(yōu)選與凸條12的寬度Dp相同。金屬細線16的高度Hm優(yōu)選為30300nm,更優(yōu)選為50200nm。通過使高度Hm為30nm以上,線柵偏振器10顯示出充分高的反射率和偏振光分離能力。通過使高度Hm為300nm以下,光的利用效率提高。精細圖案形成體14的厚度H優(yōu)選為0.5100iim,更優(yōu)選為0.650ym,尤其優(yōu)選為0.820iim。金屬細線僅形成于凸條上,幾乎不形成于凸條間的槽中。由于金屬細線僅形成于凸條上,因此線柵偏振器的折射率不是隱藏于金屬細線中的凸條中的光固化性組合物的固化物的折射率,而是存在于凸條間的槽中的空氣的折射率。因此,與在平坦的基板上形成有金屬細線的現(xiàn)有的線柵偏振器相比,瑞利共振的最大波長向短波長位移,短波長側(cè)的偏振光分離能力提高。作為金屬細線的材料,從對于可見光的反射率高、可見光的吸收少、且具有高電導(dǎo)率的觀點出發(fā),優(yōu)選為銀、鋁、鉻、鎂,尤其優(yōu)選鋁。作為金屬細線的截面形狀,可以列舉正方形、長方形、梯形、圓形、橢圓形、和其他各種形狀。金屬細線的厚度和寬度非常精細,略微的損傷就會導(dǎo)致線柵偏振器的性能降低。另外,銹也會導(dǎo)致金屬細線的電導(dǎo)率降低,線柵偏振器的性能降低。因此,為了抑制金屬細線的損傷和銹,可以用保護層包覆金屬細線。作為金屬細線16的形成方法,可以列舉蒸鍍法、濺射法、電鍍法等,從在凸條12上選擇性形成金屬細線16的觀點出發(fā),優(yōu)選斜向蒸鍍法。如本發(fā)明那樣具有狹窄的間距和凸條的高度情況下,通過從充分低的角度進行斜向蒸鍍,能夠在凸條12上選擇性形成金屬的層。另外,也可以利用斜向蒸鍍法形成較薄的金屬的層,然后利用電鍍法在其上重疊其他的金屬的層來形成所期望的厚度的金屬細線。以上說明的本發(fā)明的線柵偏振器具有多個凸條12彼此平行且以一定的間距形成在表面的精細圖案形成體、以及形成在該精細圖案形成體的凸條上的金屬細線,因此在可見光區(qū)域顯示出較高的偏振光分離能力。另外,精細圖案形成體由光固化性組合物構(gòu)成,因此耐熱性、耐久性優(yōu)異。實施例以下,基于實施例(例130、5257)、比較例(例3151)對本發(fā)明進行說明,但本發(fā)明不限于此。例157的光固化性組合物的組成示于表1、2。各例中的各種物性的測定和評價通過以下示出的方法來進行。例157的結(jié)果示于表35。光固化性組合物的測定和評價[羥基的比例]由原料的配合比例算出相對于光固化性組合物中的多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)的總計量(mol)的羥基的總量(mol)的比例(%),并記載于表2中(標記為“0H”)。另外,不含2官能性單體(A2)的光固化性組合物的例4050中,省略了羥基的比例。[2官能性單體(A2)的比例]由原料的配合比例算出相對于光固化性組合物中的多官能性單體(A1)和2官能性單體(A2)的總計量(mol)的2官能性單體(A2)的量(mol)的比例(%)。另外,在表2中,標記為“A2/(A1+A2)”。[膠體二氧化硅⑶的比例]算出相對于100質(zhì)量份的光固化性單體(A)的膠體二氧化硅⑶(固體成分)的比例,并在表3中標記為“B/A”。[粘度]使用E型粘度計(T0KIMEC公司制,TVE-20L),測定基本上不含溶劑的光固化性組合物在25°C和50°C下的粘度(mPas)。另外,例130中,僅對25°C下的粘度超過200mPas的組合物測定50°C下的粘度。固化膜的測定和評價[折射率]對于固化膜(厚度10ym),使用阿貝折射率計(589nm,25°C)進行測定。[濁度]對于固化膜(厚度200iim),使用濁度計(hazemeter)(東洋精機公司制,HAZE-GARDII)測定濁度(%)[透射率]對于固化膜(厚度200um),使用積分式光線透射率測定器,通過400nm780nm的光的全光量T1與樣品透射光T2的比(T2/T1X100)求得透射率(%)。[接觸角]使用自動接觸角計(DSA10D02獨”、卞公司制),在干燥狀態(tài)(20°C,相對濕度65%)下用針尖取蒸餾水的液滴(3yL),使其與固化膜的表面接觸,從而制作液滴。通過固體和液體相接觸的點處的液體表面的切線與固體表面所成的角,測定包含液體一方的角度(°)。另外,對初期樣品、和耐濕試驗后的樣品(60°C、相對濕度95%的濕潤環(huán)境下保存500小時)測定接觸角。[線性膨脹系數(shù)]對于固化膜(厚度100ym),使用載荷撓曲試驗裝置(島津制作所制,TMA-50),在溫度-50°C200°C下進行升溫、降溫,測定線性膨脹系數(shù)(ppm/°C)。精細圖案形成體的測定和評價[耐久性試驗]使用恒溫恒濕槽(夕K^工7“7夕;^公司制,PH-2KT)將精細圖案形成體在高溫高濕(60°C,90%RH)下保持1000小時。利用目視和顯微鏡觀察裂紋產(chǎn)生狀況和白濁狀況。線柵偏振器的測定和評價[光學(xué)特性]使用紫外可見分光光度計(JASC0公司制),對線柵偏振器分別入射p偏振光、s偏振光,測定450nm700nm處的p偏振光的透射率(Tp%)、s偏振光的反射率(Rs%)。另外,測定s偏振光的透射率(Ts%),基于下式計算消光比(ER)。消光比(ER)=10Xlog10(Tp/Ts)各原料使用下述所示的物質(zhì)。(1)光固化性單體(A)DPH:"NK^r^A-DPH,,(新中村化學(xué)工業(yè)公司制)根據(jù)本申請發(fā)明人等的1H-NMR分析,二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯以41:59(mol比)而含有。TMP:"NK^^r^AD-TMP,,(新中村化學(xué)工業(yè)公司制)根據(jù)本申請發(fā)明人等的分析,雙三羥甲基丙烷三丙烯酸酯和雙三羥甲基丙烷四丙烯酸酯以36:64(mol比)而含有。I¥M3L:"NK工7歹卟A-I¥M-3L”(新中村化學(xué)工業(yè)公司制)根據(jù)本申請發(fā)明人等的分析,季戊四醇二丙烯酸酯和季戊四醇三丙烯酸酯以4258(mol比)而含有。24I¥MT:“NK工7于卟A-TMMT”(新中村化學(xué)工業(yè)公司制)根據(jù)本申請發(fā)明人等的分析,季戊四醇三丙烯酸酯和季戊四醇四丙烯酸酯以1585(mol比)而含有。:"NK^r^A-TMPT”(新中村化學(xué)工業(yè)公司制),三羥甲基丙烷三丙烯酸"NK^r^A-NPG”(新中村化學(xué)工業(yè)公司制),新戊二醇二丙烯酸酯。NK^r^A-HD-N”(新中村化學(xué)工業(yè)公司制),1,6_己二醇二丙烯酸酯。:"NK^r^A-D0D-N”(新中村化學(xué)工業(yè)公司制),1,10-癸二醇二丙烯酸"NK^r^A-N0D-N”(新中村化學(xué)工業(yè)公司制),三環(huán)癸烷二甲醇二丙烯"NK工WVA-DCP”(新中村化學(xué)工業(yè)公司制)三環(huán)癸烷二甲醇二丙烯酸520"NK才'JEA-5520”(新中村化學(xué)工業(yè)公司制)1,4_丁二醇二縮水甘油醚二丙烯酸酯。而匕EA-1020"NK才V=EA-1020"(新中村化學(xué)工業(yè)公司制)雙酚A型環(huán)氧二丙烯酸AAE-100“y7—AAE-100”(日本油脂公司制)二乙二二醇單丙烯酸酯。C12Ac>>一LA”(日本油脂公司制)丙烯酸月桂酷oC16Ac“>>一CA”(日本油脂公司制)丙烯酸十六烷基酯。B18Ak父-B18A”(日本油脂公司制)丙烯酸(2-1}更脂酰)二十烷基酯。AAE-300“y7—AAE-300”(日本油脂公司制)六乙二二醇單丙烯酸酯。ALE-200“y■^一ALE-200”(日本油脂公司制)月桂畫1四乙二醇單丙烯酸爾(lauroxytetraethyleneglycolmonoacrylate)。U-15HA:具有羥基的二季戊四醇聚丙烯酸酯與部分脲酸酯化六亞甲基二異氰酸酯的反應(yīng)產(chǎn)物即聚氨酯丙烯酸酯(每1分子中平均含有15個丙烯酰氧基)。(2)膠體二氧化硅(B)B-1向100質(zhì)量份的乙基溶纖劑分散型膠體二氧化硅(硅含量30質(zhì)量%,平均粒徑llnm)中添加2.5質(zhì)量份的3-巰丙基三甲氧基硅烷,于80°C、在氮氣流下加熱攪拌5小時后,在室溫下熟化12小時而獲得。固體成分濃度為30%。B-2向100質(zhì)量份的乙基溶纖劑分散型膠體二氧化硅(硅含量30質(zhì)量%,平均粒徑llnm)中添加2.5質(zhì)量份的3-甲基丙烯酰氧三甲氧基硅烷,于80°C、在氮氣流下加熱攪拌5小時后,在室溫下熟化12小時而獲得。固體成分濃度為30%。(3)光聚合引發(fā)劑(C)c--1"IRGACURE907”(西巴特殊化學(xué)品公司制)。c--2"IRGACURE184”(西巴特殊化學(xué)品公司制)。c--3"IRGACURE754”(西巴特殊化學(xué)品公司制)。c--4"IRGACURE2959”(西巴特殊化學(xué)品公司制)。c--5"IRGACURE127”(西巴特殊化學(xué)品公司制)。而匕TMPT目曰oNPGHD“而匕D0D而臺而匕NOD阪目曰°而匕DCPEA-5,(4)憎水性賦予劑(D)D-l:向裝載有攪拌機和冷卻管的300mL的四口燒瓶中,加入四異丁氧基鈦(80mg)、單末端具有羥基的二甲基硅油(信越化學(xué)工業(yè)公司制“X-22-170BX”,羥值為18.5。)(100g)和己內(nèi)酯(25g),于150°C下攪拌5小時,己內(nèi)酯在二甲基硅油的單末端進行開環(huán)加成,得到白色蠟狀的化合物。己內(nèi)酯的平均聚合度為6.6。將得到的化合物冷卻至室溫,加入醋酸丁酯(50g)和2,6_二叔丁基-p-甲酚(250mg),攪拌30分鐘后,加入甲基丙烯酸-2-異氰基乙酯(5.05g),進一步在室溫下攪拌24小時,得到末端被甲基丙烯酰氧基修飾的化合物。數(shù)均分子量為約3750。(5)阻聚劑(E)E-l:“Q1301,,(和光純藥公司制)。[例1](例1-1)光固化性組合物的制備例向裝載有攪拌機和冷卻管的1000mL的四口燒瓶中,加入單體(DPH)(60g)、單體(NPG)(40g)、光聚合引發(fā)劑(C-l)(1.3g)、憎水性賦予劑(D-1)(0.13g)、阻聚劑(E-1)(1.0g)和環(huán)己酮(65.0g),在常溫和遮光的狀態(tài)下,攪拌1小時使其均勻化。接著一邊攪拌,一邊慢慢加入100g的膠體二氧化硅(B-1)(固體成分為30g),進一步在常溫和遮光的狀態(tài)下攪拌1小時使其均勻化。接著,加入環(huán)己酮(340g),在常溫和遮光的狀態(tài)下攪拌1小時得到光固化性組合物1的溶液。(例1-2)固化膜的形成例在由厚度0.5mm的玻璃板(lOOmmX100mm)構(gòu)成的基材的表面,使用旋涂器涂布所得到的光固化性組合物1的溶液(lOOOrpmX10秒),在90°C的熱風(fēng)循環(huán)爐中保持1分鐘使其干燥,形成光固化性組合物1的涂膜。接著,使用高壓汞燈照射1200mJ/cm2(波長300390nm區(qū)域的紫外線累積能量。以下相同。)的紫外線,使該涂膜固化,形成膜厚200ym的固化膜。同樣地,形成膜厚100ym的固化膜、膜厚10ym的固化膜。對于玻璃板一體型的固化膜,其評價結(jié)果示于表3。(例1-3)精細圖案形成體的制造例之1作為表面具有凹凸結(jié)構(gòu)的模具,使用石英制模具(20mm見方)。該模具在其表面的中心的10mm見方中形成有格子形狀的凹凸結(jié)構(gòu)(圖1中,Ml=500nm,M2=250nm,M3=350nm。凸條在圖1中的深度方向具有10mm的長度。與凸條的長度方向垂直的截面形狀為矩形。)。在由厚度100iim的高透射PET薄膜(帝人杜邦公司制“帝人〒卜口>03”(20mmX20mm)構(gòu)成的基材的表面,使用旋涂器涂布光固化性組合物1的溶液(lOOOrpmX10秒),在90°C的熱風(fēng)循環(huán)爐中保持1分鐘使其干燥,形成光固化性組合物1的涂膜。接著,如圖1和圖2所示那樣,將石英制模具按壓于PET薄膜上的光固化性組合物1的涂膜,以該狀態(tài)用0.5MPa(表壓)加壓。接著在25°C下,從模具側(cè)用高壓汞燈照射15秒鐘,得到光固化性組合物1的固化物。從固化物剝離模具,得到光固化性組合物1的固化物在PET薄膜上所形成的精細圖案形成體,所述固化物的表面具有由模具的凹凸結(jié)構(gòu)反轉(zhuǎn)而成的凹凸結(jié)構(gòu)。所得到的精細圖案形成體的厚度(圖5的L4;以下同樣)為Ιμπι。進而,還可以從PET基板剝離固化物而得到僅由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體。精細圖案形成體的尺寸示于表6。(例1-4)線柵的制造例之1在例1-3中得到的帶有PET基板的精細圖案形成體的凸條上,通過斜向蒸鍍法而蒸鍍鋁,從而在凸條上形成金屬膜(厚度150nm,寬度250nm),得到具有PET基板的線柵偏振器。其評價結(jié)果示于表5。另外,線柵的尺寸示于表7。(例1-5)精細圖案形成體的制造例之2作為表面具有凹凸結(jié)構(gòu)的模具,使用鎳制模具(20mm見方)。該模具在其表面的中心的10謹見方中形成有格子形狀的凹凸結(jié)構(gòu)(圖1中,Ml=150nm,M2=90nm,M3=200nm。凸條在圖1中的深度方向具有IOmm的長度。與凸條的長度方向垂直的方向的截面形狀為矩形。)。在由厚度500μm的石英基板(4英寸Φ)構(gòu)成的基材的表面,使用旋涂器涂布光固化性組合物1的溶液(lOOOrpmXlO秒),在90°C的熱風(fēng)循環(huán)爐中保持1分鐘使其干燥,形成光固化性組合物1的涂膜。接著,如圖1和圖2所示那樣,將鎳制模具按壓于石英基板上的光固化性組合物1的涂膜,以該狀態(tài)用0.5MPa(表壓)加壓。接著在25°C下,從石英基板側(cè)用高壓汞燈照射15秒鐘,得到光固化性組合物1的固化物。從固化物剝離模具,得到光固化性組合物1的固化物在石英基板上所形成的精細圖案形成體,所述固化物的表面具有由模具的凹凸結(jié)構(gòu)反轉(zhuǎn)而成的凹凸結(jié)構(gòu)。所得到的精細圖案形成體的厚度為2μm。進而,還可以從石英基板剝離固化物而得到僅由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體。精細圖案形成體的尺寸示于表6。(例1-6)線柵的制造例之2在例1-5中得到的帶有石英基板的精細圖案形成體的凸條上,通過斜向蒸鍍法而蒸鍍鋁,從而在凸條上形成金屬膜(厚度60nm,寬度60nm),得到具有石英基板的線柵偏振器。其評價結(jié)果示于表5。另外,線柵的尺寸示于表7。(例1-7)在帶有透明氟樹脂層的石英基板的透明氟樹脂層表面具有格子形狀的凹凸結(jié)構(gòu)的模具的制作例利用國際公開第2006/05980號小冊子的“實施例4”中記載的方法,制造表面具有由3-氧雜-1,6-庚二烯的環(huán)化聚合物構(gòu)成的透明氟樹脂層(層厚Iym)的石英基板(20mm見方)。接著,將例1-3中使用的石英模具加熱至120°C,以2.OMPa(絕對壓力)將模具按壓到上述石英基板的透明氟樹脂層側(cè)10分鐘。使模具和石英基板的溫度為30°C以下,然后剝離模具。其結(jié)果,得到在石英基板的透明氟樹脂層表面的中心的IOmm見方中具有格子形狀的凹凸結(jié)構(gòu)(圖1中,Ml=500nm,M2=250nm,M3=350nm。凸條在圖1中的深度方向具有IOmm的長度。與凸條的長度方向垂直的截面形狀為矩形。)的模具。(例1-8)精細圖案形成體的制造例之3在由厚度100μm的高透射PET薄膜(帝人杜邦公司制“帝人〒卜口>03”(20mmX20mm)構(gòu)成的基材的表面,使用旋涂器涂布例1_1中制備的光固化性組合物1的溶液(lOOOrpmXlO秒),在90°C的熱風(fēng)循環(huán)爐中保持1分鐘使其干燥,形成光固化性組合物1的涂膜。接著,如圖1和圖2所示那樣,將例1-7中制作的由帶有透明氟樹脂層的石英基板構(gòu)成模具按壓于PET薄膜上的光固化性組合物1的涂膜,并以該狀態(tài)用0.5MPa(表壓)加壓。接著在25°C下,從PET薄膜側(cè)用高壓汞燈照射15秒鐘,得到光固化性組合物1的固化物。從固化物剝離模具,得到光固化性組合物1的固化物在PET薄膜上所形成的精細圖案形成體,所述固化物的表面具有由模具的凹凸結(jié)構(gòu)反轉(zhuǎn)而成的凹凸結(jié)構(gòu)。所得到的精細圖案形成體的厚度為1μm。進而,還可以從PET基板剝離固化物而得到僅由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體。精細圖案形成體的尺寸示于表6。(例1-9)線柵的制造例之3在例1-8中得到的帶有PET基板的精細圖案形成體的凸條上,通過斜向蒸鍍法而蒸鍍鋁,從而在凸條上形成金屬膜(厚度60nm,寬度250nm),得到具有PET基板的線柵偏振器。其評價結(jié)果示于表5。另外,線柵的尺寸示于表7。(例1-10)在透明氟樹脂層表面具有格子形狀的凹凸結(jié)構(gòu)的圓筒型模具的制作例之1利用以下說明的方法,制造在丙烯酸類樹脂制的管(厚度1.8mm,直徑30mm,長度150mm)的表面具有由3-氧雜_1,6_庚二烯的環(huán)化聚合物構(gòu)成的透明氟樹脂層(層厚Iym)的圓筒狀的模具前體。首先,用水/異丙醇(1/7質(zhì)量比)的混合溶劑將抗靜電劑(,^一工一》S力&公司制,-二/>F-205)稀釋5倍,制備涂布用的抗靜電劑。一邊使管以120rpm的速度旋轉(zhuǎn),一邊利用旋涂法以1分鐘將該抗靜電劑涂布于丙烯酸類樹脂制的管上,用干燥器使其干燥,形成抗靜電層。抗靜電層的表面電阻為109Ω/口。一邊使管以120rpm的速度旋轉(zhuǎn),一邊利用旋涂法以1分鐘將國際公開第2006/05980號小冊子的“實施例2”中記載的“組合物1”涂布于抗靜電層上,用干燥器使其干燥,形成底涂層?!吺构芤?20rpm的速度旋轉(zhuǎn),一邊利用旋涂法以2分鐘將國際公開第2006/05980號小冊子的“實施例3”中記載的“組合物2”涂布于底涂層上,用干燥器使其干燥。當由3-氧雜-1,6-庚二烯的環(huán)化聚合物構(gòu)成的透明氟樹脂層的表面不流動時,將管放入干燥機中,在140°C下干燥2小時,得到圓筒型模具前體。抗靜電層、底涂層和由3-氧雜-1,6-庚二烯的環(huán)化聚合物構(gòu)成的透明氟樹脂層的總厚度為約1μm左右。作為原模,使用鎳制模具(50mm見方)。該模具在其表面的整個面形成有格子形狀的凹凸結(jié)構(gòu)(凸條與凸條的間隔150nm,凸條的寬度90nm,凸條的高度200nm。凸條在深度方向具有50mm的長度。與凸條的長度方向垂直的方向的截面形狀為矩形。)。如圖7和圖8所示那樣,將原模20加熱至150°C。在以約1.OMPa的壓力將圓筒型模具前體30的外周面按壓在原模20的表面上的狀態(tài),將圓筒型模具前體30以Irpm的旋轉(zhuǎn)速度向原模20的凸條的長度方向旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果,在圓筒型模具前體30的透明氟樹脂層32上,形成了原模20的凸條反轉(zhuǎn)而成的圖案,得到具有無接縫的圖案層的圓筒型模具。圓筒型模具的凸條與凸條的間隔為150nm,凸條的寬度為60nm,凸條的高度為196nm,與凸條的長度方向垂直的方向的截面形狀為矩形。(例1-11)精細圖案形成體的制造例之4在由厚度100μm的高透射PET薄膜(帝人杜邦公司制“帝人〒卜口>03”(長度2mX寬度200mm)構(gòu)成的基材的表面,使用口模式涂布機涂布例1_1中制備的光固化性組合物1的溶液,以1分鐘通過90°C的熱風(fēng)循環(huán)式連續(xù)干燥爐中,使溶劑干燥,形成光固化性組合物1的涂膜。如圖9所示那樣,在一邊以Irpm的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn)例1_10中制作的圓筒型模具40,一邊在室溫下以約0.IMPa的壓力將圓筒型模具40按壓于光固化性組合物1的涂膜52上的狀態(tài)下,從PET薄膜50側(cè)向涂膜52照射30秒鐘的高壓汞燈60,使光固化性組合物1固化。得到光固化性組合物1的固化物在PET薄膜上所形成的精細圖案形成體,所述固化物的表面具有由模具的凹凸結(jié)構(gòu)反轉(zhuǎn)而成的凹凸結(jié)構(gòu)。所得到的精細圖案形成體的厚度為1μm。進而,還可以從PET基板剝離固化物而得到僅由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體。精細圖案形成體的尺寸示于表6。(例1-12)線柵的制造例之3在例1-11中得到的帶有PET基板的精細圖案形成體的凸條上,通過斜向蒸鍍法而蒸鍍鋁,從而在凸條上形成金屬膜(厚度60nm,寬度90nm),得到具有PET基板的線柵偏振器。其評價結(jié)果示于表5。另外,線柵的尺寸示于表7。(例1-13)在透明氟樹脂層表面具有格子形狀的凹凸結(jié)構(gòu)的圓筒型模具的制作例之2與國際公開第2006/05980號小冊子的“實施例4”中記載的方法同樣地,在聚酰亞胺薄膜(東>·尹Λ水。>公司制“力卜>500Η,,,厚度125μm,長度630mm,寬度150mm)的表面形成由3-氧雜-1,6-庚二烯的環(huán)化聚合物構(gòu)成的透明氟樹脂層(層厚Iym)。接著,將例1-10中使用的鎳制模具加熱至150°C,在距離聚酰亞胺薄膜的短邊端3080mm、距離長邊端50IOOmm的位置以2.OMPa(絕對壓力)將鎳制模具按壓到聚酰亞胺薄膜的透明氟樹脂層側(cè)10分鐘。使模具和聚酰亞胺薄膜的溫度為30°C以下,然后剝離模具,在透明氟樹脂層上形成鎳制模具的凸條反轉(zhuǎn)而成的圖案。再次將上述鎳制模具加熱至150°C,在從形成的凸凹形狀圖案向聚酰亞胺薄膜的縱長方向移動了55mm的位置以2.OMPa(絕對壓力)將鎳制模具按壓到透明氟樹脂層側(cè)10分鐘。進一步重復(fù)該工藝4次,在聚酰亞胺薄膜的透明氟樹脂層上向縱長方向以50mm間隔形成6個凸凹條圖案。將該聚酰亞胺薄膜纏繞在直徑200mm、寬度200mm的不銹鋼制輥上,用粘合劑將聚酰亞胺薄膜的兩端粘合,制作表面具有圖案的圓筒型模具。(例1-14)精細圖案形成體的制造例之5利用與例1-11同樣的手法,在由厚度100μm的高透射PET薄膜(帝人杜邦公司制“帝人f卜口>03”(長度2mX寬度200mm)構(gòu)成的基材的表面形成光固化性組合物1的涂膜。除了使用例1-13中制作的圓筒型模具以外,與例1-11同樣地,得到光固化性組合物1的固化物在PET薄膜上所形成的精細圖案形成體,所述固化物的表面具有由模具的凹凸結(jié)構(gòu)反轉(zhuǎn)而成的凹凸結(jié)構(gòu)。所得到的精細圖案形成體的厚度為1μm。進而,還可以從PET基板剝離固化物而得到僅由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體。精細圖案形成體的尺寸示于表6。(例1-15)線柵的制造例之4在例1-14中得到的帶有PET基板的精細圖案形成體的凸條上,通過斜向蒸鍍法而蒸鍍鋁,從而在凸條上形成金屬膜(厚度60nm,寬度90nm),得到具有PET基板的線柵偏振器。其評價結(jié)果示于表5。另外,線柵的尺寸示于表7。(例1-16)在透明氟樹脂層表面具有格子形狀的凹凸結(jié)構(gòu)的圓筒型模具的制作例之3與國際公開第2006/05980號小冊子的“實施例4”中記載的方法同樣地,制造表面具有由3-氧雜-1,6-庚二烯的環(huán)化聚合物構(gòu)成的透明氟樹脂層(層厚Iym)的厚度75μπι的SUS406箔(新日鉄"^歹1J^^文公司制,100_X100mm)。接著,將例1_10中使用的鎳制模具加熱至150°C,以2.OMPa(絕對壓力)按壓到上述SUS箔的透明氟樹脂層的中央部分10分鐘。使模具和SUS箔的溫度為30°C以下,然后剝離模具,在透明氟樹脂層上形成鎳制模具的凸條反轉(zhuǎn)而成的圖案。準備2片這種SUS箔。在直徑100mm、寬度200mm的磁力輥的側(cè)面,貼付1片上述SUS箔,使得凸條的方向與圓周平行。在與該貼付的SUS箔相對的位置貼付另一片SUS箔。得到表面具有圖案的圓筒型模具。(例1-17)精細圖案形成體的制造例之5利用與例1-11同樣的手法,在由厚度100μm的高透射PET薄膜(帝人杜邦公司制“帝人f卜口>03”(長度2mX寬度200mm)構(gòu)成的基材的表面形成光固化性組合物1的涂膜。除了使用例1-16中制作的圓筒型模具以外,與例1-11同樣地,得到光固化性組合物1的固化物在PET薄膜上所形成的精細圖案形成體,所述固化物的表面具有由模具的凹凸結(jié)構(gòu)反轉(zhuǎn)而成的凹凸結(jié)構(gòu)。所得到的精細圖案形成體的厚度為1μm。進而,還可以從PET基板剝離固化物而得到僅由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體。精細圖案形成體的尺寸示于表6。(例1-18)線柵的制造例之5在例1-17中得到的帶有PET基板的精細圖案形成體的凸條上,通過斜向蒸鍍法而蒸鍍鋁,從而在凸條上形成金屬膜(厚度60nm,寬度90nm),得到具有PET基板的線柵偏振器。其評價結(jié)果示于表5。另外,線柵的尺寸示于表7。[例2](例2-1)光固化性組合物的制備例除了如表1那樣變更了原料的配合以外,與例1-1同樣地得到光固化性組合物2。另外,表1的原料的配合的單位為克(g)。(例2-2)固化膜的形成例除了將光固化性組合物1變更為光固化性組合物2以外,與例1-2同樣地得到固化膜。其評價結(jié)果示于表3。(例2-3)精細圖案形成體的制造例除了將光固化性組合物1變更為光固化性組合物2以外,與例1-3同樣地得到精細圖案形成體。所得到的精細圖案形成體的厚度為ιμm。精細圖案形成體的尺寸示于表6。(例2-4)線柵的制造例在例2-3中得到的帶有PET基板的精細圖案形成體的凸條上,與例1_4同樣地在凸條上形成金屬膜(厚度150nm,寬度250nm),得到具有PET基板的線柵偏振器。其評價結(jié)果示于表5。另外,線柵的尺寸示于表7。[例3](例3-1)光固化性組合物的制備例除了如表1那樣變更了原料的配合以外,與例1-1同樣地得到光固化性組合物3。(例3-2)固化膜的形成例除了將光固化性組合物1變更為光固化性組合物3以外,與例1-2同樣地得到固化膜。其評價結(jié)果示于表3。(例3-3)精細圖案形成體的制造例除了將光固化性組合物1變更為光固化性組合物3以夕卜,與例1-3同樣地得到精細圖案形成體。所得到的精細圖案形成體的厚度為lPm。精細圖案形成體的尺寸示于表6。(例3-4)線柵的制造例在例3-3中得到的帶有PET基板的精細圖案形成體的凸條上,與例1-4同樣地在凸條上形成金屬膜(厚度150nm,寬度250nm),得到具有PET基板的線柵偏振器。其評價結(jié)果示于表5。另外,線柵的尺寸示于表7。[例4](例4-1)光固化性組合物的制備例除了如表1那樣變更了原料的配合以外,與例1-1同樣地得到光固化性組合物4。(例4-2)固化膜的形成例除了將光固化性組合物1變更為光固化性組合物4以外,與例1-2同樣地得到固化膜。其評價結(jié)果示于表3。(例4-3)精細圖案形成體的制造例除了將光固化性組合物1變更為光固化性組合物4以外,與例1-3同樣地得到精細圖案形成體。所得到的精細圖案形成體的厚度為lPm。精細圖案形成體的尺寸示于表6。(例4-4)線柵的制造例在例4-3中得到的帶有PET基板的精細圖案形成體的凸條上,與例1-4同樣地在凸條上形成金屬膜(厚度150nm,寬度250nm),得到具有PET基板的線柵偏振器。其評價結(jié)果示于表5。另外,線柵的尺寸示于表7。[例5](例5-1)光固化性組合物的制備例除了如表1那樣變更了原料的配合以外,與例1-1同樣地得到光固化性組合物5。(例5-2)固化膜的形成例除了將光固化性組合物1變更為光固化性組合物5以外,與例1-2同樣地得到固化膜。其評價結(jié)果示于表3。(例5-3)精細圖案形成體的制造例作為表面具有凹凸結(jié)構(gòu)的模具,使用硅酮制模具(20mm見方)。該模具在其表面的中心的IOmm見方中形成有格子形狀的凹凸結(jié)構(gòu)(圖1中,M1=200nm,M2=120nm,M3=200nm。凸條在圖1中的深度方向具有IOmm的長度。與凸條的長度方向垂直的截面形狀為矩形。)。在溶解有Ig氟系脫模劑(夕-“>公司制才W—斤DX)的IOOg氟系溶劑的溶液中浸漬上述模具,并靜置10分鐘。從溶液中取出模具,在60°C、90%RH的恒溫高濕槽內(nèi)靜置1小時。從槽內(nèi)取出的模具返回到室溫后,將模具在IOOmL上述氟系溶劑中浸漬2小時,沖洗未反應(yīng)的氟系脫模劑。從氟系溶劑中取出模具,吹氣后,在60°C的恒溫槽內(nèi)干燥1小時。在由厚度100μm的高透射PET薄膜(帝人杜邦公司制“帝人〒卜口>03”(20mmX20mm)構(gòu)成的基材的表面,使用旋涂器涂布光固化性組合物5的溶液(IOOOrpmX10秒),在90°C的熱風(fēng)循環(huán)爐中保持1分鐘使其干燥,形成光固化性組合物5的涂膜。接著,如圖1和圖2所示那樣,將經(jīng)脫模處理的硅酮制模具按壓于PET薄膜上的光固化性組合物5的涂膜上,以該狀態(tài)用0.5MPa(表壓)加壓。接著在25°C下,從PET薄膜側(cè)用高壓汞燈照射15秒鐘,得到光固化性組合物5的固化物。從固化物剝離模具,得到光固化性組合物5的固化物在PET薄膜上所形成的精細圖案形成體,所述固化物的表面具有由模具的凹凸結(jié)構(gòu)反轉(zhuǎn)而成的凹凸結(jié)構(gòu)。所得到的精細圖案形成體的厚度為1μm。進而,還可以從PET薄膜剝離固化物而得到僅由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體。精細圖案形成體的尺寸示于表6。(例5-4)線柵的制造例在例5-3中得到的帶有PET基板的精細圖案形成體的凸條上,與例1-4同樣地在凸條上形成金屬膜(厚度150nm,寬度80nm),得到具有PET基板的線柵偏振器。其評價結(jié)果示于表5。另外,線柵的尺寸示于表7。[例6](例6-1)光固化性組合物的制備例除了如表1那樣變更了原料的配合以外,與例1-1同樣地得到光固化性組合物6。(例6-2)固化膜的形成例除了將光固化性組合物1變更為光固化性組合物6以外,與例1-2同樣地得到固化膜。其評價結(jié)果示于表3。(例6-3)精細圖案形成體的制造例作為表面具有凹凸結(jié)構(gòu)的模具,使用鎳制模具(20mm見方)。該模具在其表面的中心的IOmm見方中形成有人字形形狀的凹凸結(jié)構(gòu)(與凸條的長度方向垂直的方向的截面形狀為底邊80nm、高度200nm的等腰三角形。相鄰的凸條的頂點間的距離為80nm。凸條在圖1中的深度方向上具有IOmm的長度。)。在由厚度100μm的高透射PET薄膜(帝人杜邦公司制“帝人〒卜口>03”(20mmX20mm)構(gòu)成的基材的表面,使用旋涂器涂布光固化性組合物6的溶液(IOOOrpmX10秒),在90°C的熱風(fēng)循環(huán)爐中保持1分鐘使其干燥,形成光固化性組合物6的涂膜。接著,如圖1和圖2所示那樣,將石英制模具按壓于PET薄膜上的光固化性組合物6的涂膜上,以該狀態(tài)用0.5MPa(表壓)加壓。接著在25°C下,從PET薄膜側(cè)用高壓汞燈照射15秒鐘,得到光固化性組合物6的固化物。從固化物剝離模具,得到光固化性組合物6的固化物在PET薄膜上所形成的精細圖案形成體,所述固化物的表面具有由模具的凹凸結(jié)構(gòu)反轉(zhuǎn)而成的凹凸結(jié)構(gòu)。所得到的精細圖案形成體的厚度為lym。進而,還可以從PET基板剝離固化物而得到僅由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體。[例7][例57]除了如表1、2那樣變更了原料的配方以外,與例1-1同樣地制備光固化性組合物757。另外,表2的原料的配方的單位為克(g)。與例1-2同樣地嘗試了固化膜的形成。與例6-3同樣地,嘗試了精細圖案形成體的形成。固化膜的物性等示于表3、4。例32、38、39中,由于光固化性組合物凝膠化,因而未進行固化反應(yīng)。表4中標記為X。例31、33、36、37、46、51中,由于光固化性組合物的粘度高,因而無法轉(zhuǎn)印。表4中標記為Y。例34、4045、4750中,能夠轉(zhuǎn)印,但耐久性試驗中產(chǎn)生裂紋。表4中標記為Z。例35、4345中,能夠轉(zhuǎn)印,但耐久性試驗中白濁化。表4中標記為W。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage36</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>表5<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage38</column></row><table>產(chǎn)業(yè)上的可利用件通過本發(fā)明,能夠高效制造具有固化物層的精細圖案形成體,該固化物層具有作為微透鏡陣列、光波導(dǎo)元件、光開關(guān)元件、菲涅耳帶板、二元光學(xué)元件、閃耀光學(xué)元件、光子學(xué)結(jié)晶等光學(xué)元件、防反射部件、生物芯片部件、微反應(yīng)器芯片部件、催化劑載體等有用的精細圖案。尤其是,能夠以高生產(chǎn)率制造線柵偏振器。另外,將2007年9月28日申請的日本專利申請2007-255416號和2007年11月27日申請的日本專利申請2007-306402號的說明書、權(quán)利要求書、附圖和摘要的全部內(nèi)容援引于此,作為本發(fā)明說明書的公開內(nèi)容。權(quán)利要求一種光固化性組合物,其特征在于,所述光固化性組合物包含光固化性單體(A)、平均粒徑為200nm以下的膠體二氧化硅(B)和光聚合引發(fā)劑(C),它們的含量是相對于100質(zhì)量份的光固化性單體(A),膠體二氧化硅(B)(固體成分)為5~60質(zhì)量份,光聚合引發(fā)劑(C)為0.1~10質(zhì)量份,所述光固化性單體(A)至少包括下述多官能性單體(A1)和下述2官能性單體(A2),屬于多官能性單體(A1)或2官能性單體(A2)的化合物的至少一部分具有羥基,相對于多官能性單體(A1)與2官能性單體(A2)的總計摩爾量,上述羥基的總摩爾量的比例為10%以上,多官能性單體(A1)在1分子中具有3個以上(甲基)丙烯酰氧基的化合物,2官能性單體(A2)在1分子中具有2個(甲基)丙烯酰氧基的化合物。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光固化性組合物,其中,光固化性單體(A)的總量的80100質(zhì)量%由多官能性單體(Al)和2官能性單體(A2)構(gòu)成。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光固化性組合物,其中,相對于多官能性單體(Al)和2官能性單體(A2)的總計摩爾量,2官能性單體(A2)的摩爾量的比例為2080%。4.根據(jù)權(quán)利要求13中任一項所述的光固化性組合物,其中,多官能性單體(Al)為3元以上的多元醇與(甲基)丙烯酸的聚酯。5.根據(jù)權(quán)利要求14中任一項所述的光固化性組合物,其中,屬于多官能性單體(Al)或2官能性單體(A2)的具有羥基的化合物為含羥基的聚(甲基)丙烯酸酯,其為3元以上的多元醇與(甲基)丙烯酸的偏酯。6.根據(jù)權(quán)利要求15中任一項所述的光固化性組合物,其中,相對于100質(zhì)量份的光固化性單體(A),還包含0.0210質(zhì)量份的憎水性賦予劑(D)。7.根據(jù)權(quán)利要求16中任一項所述的光固化性組合物,其中,基本上不含溶劑的光固化性組合物在50°C時的粘度為1200mPa/s。8.根據(jù)權(quán)利要求17中任一項所述的光固化性組合物,其中,將光固化性組合物固化而得到的固化物的折射率(nd)為1.31.6,固化物的厚度為200μm時的可見光透射率為92%以上,固化物表面在室溫下對水的接觸角在初期為90°以上且在耐濕試驗后(60°C、90%Rh,500小時)為85°以上,固化物在_50°C200°C時的線性膨脹系數(shù)為100ppm/°C以下。9.一種精細圖案形成體,所述成形體由固化體構(gòu)成,所述固化體是通過在表面具有精細圖案的模具的該圖案面上將權(quán)利要求17中任一項所述的光固化性組合物固化而成的。10.一種精細圖案形成體的制造方法,其特征在于,包括以下工序工序A將權(quán)利要求17中任一項所述的光固化性組合物夾持在表面具有精細圖案的模具的該圖案面與基板的表面之間,并進行按壓;工序B:接著通過光照射使光固化性組合物固化,形成由固化物構(gòu)成的精細圖案形成體,該固化物具有轉(zhuǎn)印有模具的精細圖案的表面;工序C:接著將模具和基板的至少一者從固化物剝離,從而得到精細圖案形成體、或者與基板一體的精細圖案形成體、或者與模具一體的精細圖案形成體。11.一種精細圖案形成體,其中,所述精細圖案成形體是通過權(quán)利要求10所述的制造方法制成的。12.一種光學(xué)元件,其特征在于,其使用了權(quán)利要求9或11所述的精細圖案形成體。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學(xué)元件,其特征在于,光學(xué)元件為線柵偏振器。全文摘要提供一種能高效制造模具的精細圖案被高精度轉(zhuǎn)印的精細圖案形成體的光固化性組合物。所述光固化性組合物,其特征在于,相對于100質(zhì)量份的光固化性單體(A),包含5~60質(zhì)量份的平均粒徑為200nm以下的膠體二氧化硅(B)(固體成分)、和0.1~10質(zhì)量份的光聚合引發(fā)劑(C),光固化性單體(A)包含在1分子中具有3個以上(甲基)丙烯酰氧基的多官能性單體(A1)、和在1分子中具有2個(甲基)丙烯酰氧基的2官能性單體(A2),屬于多官能性單體(A1)或2官能性單體(A2)的化合物的至少一部分具有羥基,相對于多官能性單體(A1)與2官能性單體(A2)的總計量(mol),羥基的總量(mol)的比例為10%以上。文檔編號C08F2/44GK101809046SQ20088010831公開日2010年8月18日申請日期2008年9月26日優(yōu)先權(quán)日2007年9月28日發(fā)明者坂本寬,山本博嗣,海田由里子申請人:旭硝子株式會社
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