一種廢砂漿在線回收尾渣的處理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及砂漿切割液的處理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及到一種廢砂漿在線回收尾渣的處理方法。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片是半導(dǎo)體，是太陽(yáng)能、液晶顯示的基礎(chǔ)材料。隨著太陽(yáng)能的發(fā)展，硅片的使用越來(lái)越多。目前硅片切割采用線切割，通過(guò)切割線供應(yīng)帶有磨料的砂漿，通過(guò)磨料、切割線及硅晶體之間的摩擦磨損原理實(shí)現(xiàn)硅片的切割，該方式可實(shí)現(xiàn)多片硅片的切割，切割效率高，且硅片表面質(zhì)量好，但會(huì)產(chǎn)生大量的砂漿廢料。由于砂漿中主要成分是聚乙二醇和碳化硅(金剛砂)，因此，砂漿廢料中也含有大量的聚乙二醇和碳化硅，同時(shí)還有少量的金屬鐵和硅肩。
[0003]砂漿廢料的處理可以分為在線回收處理和離線回收處理；在線回收處理的方法和離線回收處理的方式不一樣。離線回收處理的工藝一般包含了分離、脫色、酸洗、堿洗和離子交換等工藝過(guò)程，例如在以及公開(kāi)的中國(guó)專利CN201010523968.4，其公開(kāi)了從硅片線切割加工廢砂漿中回收碳化硅微粉和線切割液的方法，實(shí)質(zhì)上是一種離線回收處理方法。
[0004]砂漿廢料中的成分主要為切割液聚乙二醇、金屬細(xì)肩、碳化硅粉、二氧化硅粉；采用離線回收砂漿廢料通常需要經(jīng)過(guò)機(jī)械過(guò)濾來(lái)實(shí)現(xiàn)。例如在已經(jīng)公開(kāi)的中國(guó)專利CN104249414 A，其公開(kāi)了使用物理方法進(jìn)行在線回收廢砂漿的方法。
[0005]砂漿廢料在線處理過(guò)程中，通過(guò)使用沉降離心機(jī)將廢砂漿進(jìn)行分離，分離得到包括碳化硅和聚乙二醇的混合物以及包括硅粉(二氧化硅)、少量聚乙二醇和少量水分的混合物。由于碳化硅和聚乙二醇的經(jīng)濟(jì)價(jià)值更高，在線回收系統(tǒng)往往以提高這兩種物質(zhì)的回收率作為主要目的；而包含少量水分、少量金屬細(xì)肩、少量聚乙二醇和大量硅粉的經(jīng)濟(jì)價(jià)值較低的混合物則成為了在線回收的廢渣；因此，廢渣中主要含有較多的硅粉和其他少量雜質(zhì)，但是這些雜質(zhì)使得硅粉的再生利用價(jià)值大大降低，采用現(xiàn)有技術(shù)中的處理方法處理廢渣成本較高，流程長(zhǎng)。因此，現(xiàn)有技術(shù)中并未提及如何更好的處理廢渣的工藝或者方法。
[0006]廢渣中主要成分為硅粉，硅粉的粒徑非常小，其具有非常大的表面積。由于廢渣中含有水分，硅粉接觸水分和氧氣后會(huì)發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生大量熱量。由于廢渣一般均堆積在一起，使得熱量不容易散失，進(jìn)而使得廢渣中的聚乙二醇發(fā)生自燃，進(jìn)而造成安全事故。因此，采用一種行之有效的方法處理廢渣是必須的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的是提供一種廢砂漿在線回收尾渣的處理方法。
[0008]為達(dá)上述目的，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中提供了一種廢砂漿在線回收尾渣的處理方法，包括以下步驟:
(I )、在尾渣中加入水，尾渣和水的重量比為1:1~2，攪拌均勻反應(yīng)3~6小時(shí)，得到混合漿料； (2 )、對(duì)混合漿料進(jìn)行固液分離，分別收集固相和液相，得到回收液和固相物料；
(3)、在步驟2中收集的固相物料中加入其重量1~2倍的水，混合攪拌均勻后進(jìn)行固液分離，分別收集得到液相物料和固相精料；
(4)、將固相精料進(jìn)行旋流分級(jí)處理，工作壓力為0.2 MPa -0.3MPa，得到硅粉。
[0009]本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，步驟I中尾渣和水混合后反應(yīng)5小時(shí)；固液分離的過(guò)程中，采用壓濾機(jī)進(jìn)行壓濾，操作壓力大于0.5MPa。
[0010]本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中，還包括將步驟3中的液相物料加入到步驟I中的尾渣進(jìn)行混合的步驟。
[0011]綜上所述，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
本發(fā)明的處理方法可以對(duì)廢渣進(jìn)行凈化分離處理，避免廢渣堆積產(chǎn)生的安全事故，并可以將廢渣中的硅粉分離出來(lái)，提高廢渣利用率和經(jīng)濟(jì)價(jià)值。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本發(fā)明的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]實(shí)施例1
在100kg尾渣中加入100kg水，在攪拌罐內(nèi)攪拌均勻自然反應(yīng)5小時(shí)，得到混合漿料。使用壓濾機(jī)對(duì)混合漿料進(jìn)行固液分離，操作壓力為0.5MPa，分離后收集液相和固相，得到了 IlOOkg回收液和870kg固相物料；回收液可以單獨(dú)進(jìn)入回收液回收工藝，收集回收其中的聚乙二醇。
[0014]在固相物料中加入其2倍重量的水，混合攪拌均勻后再次進(jìn)行固液分離，該固液分離的操作壓力為0.6MPa，分別收集固相和液相，得到了液相物料和固相精料。
[0015]將固相精料進(jìn)行旋流分級(jí)處理，工作壓力為0.2 MPa,通過(guò)4級(jí)~6級(jí)的交錯(cuò)旋流工藝分離碳化娃與其余固體雜質(zhì)，得到娃粉。
[0016]實(shí)施例2
在100kg尾渣中加入1300kg水，在攪拌罐內(nèi)攪拌均勻自然反應(yīng)6小時(shí)，得到混合漿料。使用壓濾機(jī)對(duì)混合漿料進(jìn)行固液分離，操作壓力為0.6MPa，分離后收集液相和固相，得到了 1380kg回收液和880kg固相物料。
[0017]在固相物料中加入等重量的水，混合攪拌均勻后再次進(jìn)行固液分離，該固液分離的操作壓力為0.7MPa，分別收集固相和液相，得到了液相物料和固相精料。
[0018]將固相精料進(jìn)行旋流分級(jí)處理，工作壓力為0.2 MPa,通過(guò)4級(jí)~6級(jí)的交錯(cuò)旋流工藝分離碳化硅與其余固體雜質(zhì)，得到硅粉。此外，旋流分級(jí)得到的液態(tài)物質(zhì)中含有較多的聚乙二醇，可以收集回收。
[0019]實(shí)施例3
在100kg尾渣中加入500kg水和500kg實(shí)施例2的步驟3中產(chǎn)生的液相物料，在攪拌罐內(nèi)攪拌均勻自然反應(yīng)5小時(shí)，得到混合漿料。使用壓濾機(jī)對(duì)混合漿料進(jìn)行固液分離，操作壓力為0.5MPa，分離后收集液相和固相，得到了 IlOOkg回收液和870kg固相物料。
[0020]在固相物料中加入其2倍重量的水，混合攪拌均勻后再次進(jìn)行固液分離，該固液分離的操作壓力為0.6MPa，分別收集固相和液相，得到了液相物料和固相精料。
[0021]將固相精料進(jìn)行旋流分級(jí)處理，工作壓力為0.2 MPa,通過(guò)4級(jí)~6級(jí)的交錯(cuò)旋流工藝分離碳化娃與其余固體雜質(zhì)，得到娃粉。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種廢砂漿在線回收尾渣的處理方法，包括以下步驟: (I )、在尾渣中加入水，尾渣和水的重量比為1:1~2，攪拌均勻反應(yīng)3~6小時(shí)，得到混合漿料； (2 )、對(duì)混合漿料進(jìn)行固液分離，分別收集固相和液相，得到回收液和固相物料； (3)、在步驟2中收集的固相物料中加入其重量1~2倍的水，混合攪拌均勻后進(jìn)行固液分離，分別收集得到液相物料和固相精料； (4)、將固相精料進(jìn)行旋流分級(jí)處理，工作壓力為0.2 MPa -0.3MPa，得到硅粉。
2.如權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于:所述步驟I中尾渣和水混合后反應(yīng)5小時(shí)。
3.如權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于:所述固液分離的過(guò)程中，采用壓濾機(jī)進(jìn)行壓濾，操作壓力大于0.5MPa。
4.如權(quán)利要求1所述的處理方法，其特征在于:還包括將步驟3中的液相物料加入到步驟I中的尾渣進(jìn)行混合的步驟。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種廢砂漿在線回收尾渣的處理方法，包括在尾渣中加入水，攪拌均勻反應(yīng)3~6小時(shí)；對(duì)混合漿料進(jìn)行固液分離，分別收集固相和液相；在固相物料中加入其重量1~2倍的水，混合攪拌均勻后進(jìn)行固液分離，分別收集得到液相物料和固相精料；將固相精料進(jìn)行旋流分級(jí)處理，工作壓力為0.2MPa ~0.3MPa，得到硅粉。本發(fā)明的處理方法可以對(duì)廢渣進(jìn)行凈化分離處理，避免廢渣堆積產(chǎn)生的安全事故，并可以將廢渣中的硅粉分離出來(lái)，提高廢渣利用率和經(jīng)濟(jì)價(jià)值。
【IPC分類】C10M175-00, C08J11-08, C08J11-06, C01B33-12, C08L71-08
【公開(kāi)號(hào)】CN104817717
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510226806
【發(fā)明人】石振亮
【申請(qǐng)人】四川正潔科技有限責(zé)任公司
【公開(kāi)日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年5月7日