基板夾持對位裝置和基板加工系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及夾持對位裝置，尤其涉及一種基板夾持對位裝置和基板加工系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]如圖1所示，常用的機械夾持對位裝置I通常采用在玻璃基板101的四角設置夾持滾輪102來矯正玻璃基板101的位置，從而使得玻璃基板完成定位動作。
[0003]當前，玻璃基板行業(yè)的發(fā)展趨勢為小厚度及大尺寸的基板。對于此類玻璃基板，其質量較大，即需吸收的沖擊能量較大，而較小的厚度會使其抗沖擊強度較低，由夾持導致邊裂的可能性變大，從而提高了由邊裂導致產品報廢的風險。
[0004]如圖1所示，在玻璃基板101所在的平面內，共有橫向平移、豎向平移和繞垂直玻璃基板101平面方向的轉動的3個自由度，而玻璃基板101長邊上兩側各有2個滾輪102，組成4對約束;短邊上同理，4對約束。因此玻璃基板101在定位過程中，若玻璃基板101存在轉動偏移或移動偏移，多個滾輪102形成的定位為過定位，容易使得夾持位置不正確，從而造成玻璃基板101卡住，產生邊裂。

【發(fā)明內容】

[0005]本發(fā)明提供一種基板夾持對位裝置，能夠降低對玻璃基板的沖擊，并且可以減少對玻璃基板的約束，避免過定位的發(fā)生。
[0006]本發(fā)明提供一種基板夾持對位裝置，用于對玻璃基板進行夾持對位，包括至少一個第一定位部和/或至少一個第二定位部，所述第一定位部包括桿體以及與所述桿體相連的第一滾輪，所述第二定位部包括彈簧以及與所述彈簧相連的第二滾輪，所述第一滾輪和/或所述第二滾輪用于抵靠所述玻璃基板的所述側邊。
[0007]其中，所述第一定位部的所述桿體為剛性桿體。
[0008]其中，所述第一定位部的數量亦為四個，四個所述第一定位部兩兩相對設置。
[0009]其中，所述第二定位部的數量為八個，一個所述第一定位部和兩個所述第二定位部構成一個定位組件，四個所述定位組件兩兩相對設置。
[0010]其中，在每一個所述定位組件中，兩個所述第二定位部位于所述第一定位部的兩側。
[0011]其中，在每一個所述定位組件中，兩個所述第二定位部位于所述第一定位部的同一側。
[0012]本發(fā)明還提供一種基板加工系統(tǒng)，包括如前述任一項所述的基板夾持對位裝置。
[0013]相較于現(xiàn)有技術，本發(fā)明通過增加滾輪，可以增大夾持對位裝置與玻璃基板的接觸面積，從而降低對玻璃基板的沖擊力，并且增設帶彈簧的滾輪，可以減少滾輪對玻璃基板的約束，還可以對玻璃基板回復中心位置起正反饋作用。
【附圖說明】
[0014]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0015]圖1是現(xiàn)有的基板夾持對位裝置的示意圖；
[0016]圖2是根據本發(fā)明的基板夾持對位裝置的示意圖；
[0017]圖3是根據本發(fā)明的基板夾持對位裝置在去除第二定位部后的示意圖；
[0018]圖4是根據本發(fā)明的基板夾持對位裝置在基板發(fā)生豎向偏移時的示意圖；
[0019]圖5是根據本發(fā)明的基板夾持對位裝置在基板發(fā)生旋轉偏移時的示意圖。
【具體實施方式】
[0020]下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0021]參照圖2，示出根據本發(fā)明的基板夾持對位裝置2，用于對玻璃基板201進行夾持對位，基板夾持對位裝置2包括第一定位部202和第二定位部203，其中，第一定位部202包括桿體2021以及與桿體2021相連的第一滾輪2022，第二定位部203包括彈簧2031以及與彈簧2031相連的第二滾輪2032。其中，第一定位部202的桿體2021為剛性桿體。如圖2所示，根據本發(fā)明的基板夾持對位裝置2包括四個第一定位部202和八個第二定位部203，其中一個第一定位部202和兩個第二定位部203構成一個定位組件，如圖2所示，四個定位組件兩兩相對設置，并且在每一個定位組件中，兩個第二定位部203位于第一定位部202的兩側，而第一定位部202的第一滾輪2022抵靠在玻璃基板201的每個側邊的中間位置，第二定位部203的第二滾輪2032也均抵靠玻璃基板201。在夾持玻璃基板201時，第二定位部203的彈簧2031均會處于受壓狀態(tài)，以對玻璃基板201進行夾持對位。本發(fā)明與玻璃基板201的側邊接觸的滾輪的數量共有12個，相比于現(xiàn)有技術，本發(fā)明可以增大滾輪與玻璃基板201的接觸面積，在沖擊強度相等的情況下，玻璃基板201受到的沖擊力會減小，因此發(fā)生邊裂的風險也會降低，特別對于小厚度和大尺寸的玻璃基板而言，尤為重要。
[0022]進一步地，前述定位組件可以僅包括一個第一定位部202。
[0023]更進一步地，前述定位組件可以包括一個第一定位部202和一個第二定位部203。
[0024]更進一步地，前述定位組件可以包括一個第一定位部202和兩個第二定位部203，而兩個第二定位部203位于第一定位部202的同一側。
[0025]參照圖3，由于本發(fā)明中帶彈簧2031的第二定位部203對玻璃基板201只施加受力，無自由度約束限制，因此對于玻璃基板201的自由度約束可簡化成如圖3所示的示意圖。其中，由于第一定位部202的桿體2031是剛性桿體，因此玻璃基板201的長邊和短邊上抵靠的各I個第一滾輪2022能夠分別約束玻璃基板201的橫向和豎向位移，另兩個第一滾輪2022組成另一約束約束玻璃基板201的旋轉運動。因此，一共存在3個約束將玻璃基板201限制在指定位置，消除了玻璃基板201的過定位風險，減小了玻璃基板201邊裂的可能性。
[0026]此外，帶彈簧2031的第二滾輪2032不僅可以分散玻璃基板201的沖擊力，并且可以對玻璃基板201回復指定位置的運動，產生正反饋作用。
[0027]如圖4所示，當玻璃基板201在橫向或豎向上發(fā)生偏移時，偏移側的彈簧壓縮量比另一側大，玻璃基板201在偏移側所受的力F1大于另一側所受的力F1^在夾緊過程中，帶彈簧2031的第二滾輪2032對玻璃基板201進行輔助對位，輔助玻璃基板201回復中心位置。玻璃基板201偏移量越大，？!與?!’的差值越大，越有助于輔助玻璃基板201回復原位，形成以原位為中心的正反饋自對位功能。
[0028]如圖5所示，當玻璃基板201在所在平面內旋轉偏移時，例如繞其中心旋轉偏移一定角度，玻璃基板201的受帶彈簧2031的第二滾輪2032的擠壓側的受力為F2,另一未被擠壓側的受力為F2’，其中F2大于F2’，玻璃基板201對邊斜對側的一對受*F2形成一組力矩M，另一對受力F2’形成另一組力矩M’，由于F2大于F2’，而力臂大致相等，因此力矩M大于力矩M’，會使得玻璃基板201朝著力矩M的方向旋轉，因而玻璃基板201可以回復到原位，并且玻璃基板201旋轉角度越大，受力F2越大、F2，越小，形成的力矩M越大、M’越小1與11’的差值越大，對玻璃基板201回復原位幫助越大。
[0029]以上所揭露的僅為本發(fā)明較佳實施例而已，當然不能以此來限定本發(fā)明之權利范圍，本領域普通技術人員可以理解實現(xiàn)上述實施例的全部或部分流程，并依本發(fā)明權利要求所作的等同變化，仍屬于發(fā)明所涵蓋的范圍。
【主權項】
1.一種基板夾持對位裝置，用于對玻璃基板進行夾持對位，其特征在于，包括至少一個第一定位部和/或至少一個第二定位部，所述第一定位部包括桿體以及與所述桿體相連的第一滾輪，所述第二定位部包括彈簧以及與所述彈簧相連的第二滾輪，所述第一滾輪和/或所述第二滾輪用于抵靠所述玻璃基板的所述側邊。2.如權利要求1所述的基板夾持對位裝置，其特征在于，所述第一定位部的所述桿體為剛性桿體。3.如權利要求2所述的基板夾持對位裝置，其特征在于，所述第一定位部的數量亦為四個，四個所述第一定位部兩兩相對設置。4.如權利要求3所述的基板夾持對位裝置，其特征在于，所述第二定位部的數量為八個，一個所述第一定位部和兩個所述第二定位部構成一個定位組件，四個所述定位組件兩兩相對設置。5.如權利要求4所述的基板夾持對位裝置，其特征在于，在每一個所述定位組件中，兩個所述第二定位部位于所述第一定位部的兩側。6.如權利要求4所述的基板夾持對位裝置，其特征在于，在每一個所述定位組件中，兩個所述第二定位部位于所述第一定位部的同一側。7.—種基板加工系統(tǒng)，其特征在于，包括如權利要求1至6任一項所述的基板夾持對位目.ο
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基板夾持對位裝置，用于對玻璃基板進行夾持對位，包括至少一個第一定位部和/或至少一個第二定位部，所述第一定位部包括桿體以及與所述桿體相連的第一滾輪，所述第二定位部包括彈簧以及與所述彈簧相連的第二滾輪，所述第一滾輪和/或所述第二滾輪用于抵靠所述玻璃基板的所述側邊。根據本發(fā)明的基板夾持對位裝置能夠降低對玻璃基板的沖擊，并且可以減少對玻璃基板的約束，避免過定位的發(fā)生。本發(fā)明還提供一種基板加工系統(tǒng)。
【IPC分類】B65G49/06
【公開號】CN105668234
【申請?zhí)枴緾N201610147766
【發(fā)明人】潘緒文, 劉開欣, 葉曉龍
【申請人】武漢華星光電技術有限公司
【公開日】2016年6月15日
【申請日】2016年3月15日