樹脂制模具的接合方法及由該接合方法制得的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種用于以輥對(duì)輥的方式大量生產(chǎn)樹脂結(jié)構(gòu)物(特別是樹脂制的復(fù)制模)的樹脂制模具的接合方法以及由該接合方法制得的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體，該接合方法在將樹脂制模具的端部彼此接合時(shí)，能充分加強(qiáng)接合部的強(qiáng)度且在接合部不產(chǎn)生高低差，藉此能良好地進(jìn)行所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的轉(zhuǎn)印。本發(fā)明的特征是在將形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的樹脂制模具的端部間對(duì)接時(shí)，在上述樹脂制模具的端部的對(duì)接部的間隙內(nèi)填充剝離性的樹脂，通過上述剝離性的樹脂的固化，將上述樹脂制模具的端部間接合成一體。
【專利說明】樹脂制模具的接合方法及由該接合方法制得的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及樹脂制模具的接合方法及由該接合方法制得的輥對(duì)輥(roll-to-roll)用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體，具體而言，涉及適合于從作為原版的I個(gè)模具連續(xù)制造大量樹脂結(jié)構(gòu)物(特別是樹脂制的復(fù)制模)的情況的樹脂制模具的接合方法及由該接合方法制得的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體。
【背景技術(shù)】
[0002]壓印技術(shù)是指將具有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的模具按壓在基板上的液狀樹脂等轉(zhuǎn)印材料上，藉此將模具的反轉(zhuǎn)圖案轉(zhuǎn)印至轉(zhuǎn)印材料的微細(xì)加工技術(shù)。
[0003]作為微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案，存在從IOnm水平的納米級(jí)圖案到IOOiim左右的圖案，用于半導(dǎo)體材料、光學(xué)材料、存儲(chǔ)介質(zhì)、微電機(jī)、生物、環(huán)境等各種領(lǐng)域。
[0004]另一方面，在從I個(gè)模具制造大量的復(fù)制模的情況下，如果使用柔軟且對(duì)于轉(zhuǎn)印材料具有追隨性的樹脂制模具、并通過輥對(duì)輥進(jìn)行連續(xù)轉(zhuǎn)印而形成復(fù)制模，則與對(duì)金屬輥的表面進(jìn)行切削加工而形成所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的情況相比，能夠以低成本制造。
[0005]此外，如果是樹脂制模具，即使存在金屬輥無法實(shí)現(xiàn)的納米級(jí)的要求，也能夠在短時(shí)間內(nèi)大量且低成本地進(jìn)行制造。
[0006]在這樣使用樹脂制模具并通過輥對(duì)輥來生產(chǎn)大量復(fù)制模的情況下，將多個(gè)樹脂制模具并列配置在片材上，將其作為I個(gè)單元卷繞在轉(zhuǎn)印用輥上。
[0007]S卩、如果將多個(gè)樹脂制模具并列配置在轉(zhuǎn)印用輥的周面，則在轉(zhuǎn)印用輥旋轉(zhuǎn)一次的期間，可同時(shí)形成多個(gè)復(fù)制模。
[0008]這里，作為將多個(gè)樹脂制模具配置于轉(zhuǎn)印用輥的技術(shù)，已知專利文獻(xiàn)I所述的技術(shù)。
[0009]該專利文獻(xiàn)I中公開了如下技術(shù):例如圖12(A)所示，將對(duì)接的樹脂膜20、20的端部用一對(duì)加熱器14、14夾住，用該加熱器14、14進(jìn)行加壓熔接的技術(shù)；或者如圖12(B)所示，將接合的樹脂膜20、20的端部配置成疊合的狀態(tài)，從該狀態(tài)對(duì)相應(yīng)的部分進(jìn)行加壓熔接的技術(shù)。
[0010]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0011]專利文獻(xiàn)
[0012]專利文獻(xiàn)1:W02011/049097號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0014]但是，如圖12(A)所示，在將樹脂膜20、20的端部彼此對(duì)接并進(jìn)行加壓熔接的情況下，存在無法將接合部充分接合、之后導(dǎo)致背離的問題。[0015]根據(jù)實(shí)驗(yàn)，在圖12(A)所示的對(duì)接狀態(tài)下將樹脂膜20、20間加壓熔接，將其卷繞在轉(zhuǎn)印用輥上，以輥對(duì)輥的方式來制造壓印用模具的情況下，4小時(shí)左右的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)下在樹脂膜20、20間的接合部發(fā)生剝離。
[0016]另一方面，在如圖12(B)所示的使欲接合的樹脂膜20、20的端部間處于部分疊合的狀態(tài)后對(duì)相應(yīng)的部分進(jìn)行加壓熔接的情況下，兩者的接合性雖然提高，但是在接合部會(huì)廣生聞低差(日語:段差)。
[0017]一旦這樣在接合部產(chǎn)生高低差，則會(huì)對(duì)之后進(jìn)行的反轉(zhuǎn)圖案的轉(zhuǎn)印造成不良影響。
[0018]本發(fā)明鑒于這種實(shí)際情況，其目的是提供一種用于以輥對(duì)輥的方式大量生產(chǎn)樹脂結(jié)構(gòu)物(特別是樹脂制的復(fù)制模)的樹脂制模具的接合方法以及由該接合方法制得的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體，該接合方法在將樹脂制模具的端部彼此接合時(shí)，能加強(qiáng)接合部的強(qiáng)度且在接合部不產(chǎn)生高低差，藉此能良好地進(jìn)行所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的轉(zhuǎn)印。
[0019]解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
[0020]本發(fā)明是為了解決如上所述的現(xiàn)有技術(shù)中的問題而完成的發(fā)明，本發(fā)明的樹脂制模具的接合方法是將形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的樹脂制模具的端部間對(duì)接的樹脂制模具的接合方法，其特征是，在上述樹脂制模具的端部的對(duì)接部的間隙內(nèi)填充剝離性的樹脂，通過上述剝離性的樹脂的固化，將上述樹脂制模具的端部間接合成一體。
[0021]如果采用這樣的樹脂制模具的接合方法，則能夠?qū)渲颇＞叩亩瞬康膶?duì)接部牢固地接合。
[0022]還有，因?yàn)樵趯?duì)接部的間隙內(nèi)填充有剝離性樹脂，所以不會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)印材料的樹脂進(jìn)入間隙內(nèi)。
[0023]此外，由于可進(jìn)行切實(shí)的接合，所以能防止接合部發(fā)生部分剝離等的不良情況。
[0024]此外，根據(jù)實(shí)驗(yàn)，在卷繞至轉(zhuǎn)印用輥、以輥對(duì)輥的方式制造復(fù)制模的情況下，能夠進(jìn)行8小時(shí)左右的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0025]此外，本發(fā)明的樹脂制模具的接合方法的特征是，上述樹脂制模具的對(duì)接部的間隙為0.5 u m?3mm。
[0026]如果是這樣的間隙，則通過裝填在間隙內(nèi)的剝離性樹脂的固化，能夠充分保持接合部的強(qiáng)度，并且能夠良好地實(shí)施接合作業(yè)。
[0027]此外，如果設(shè)有這樣的間隙，則不會(huì)在對(duì)接部形成對(duì)轉(zhuǎn)印造成不良影響的高低差。
[0028]此外，根據(jù)實(shí)驗(yàn)，高低差可在30 y m以下，該高低差的情況下不會(huì)對(duì)轉(zhuǎn)印造成影響。
[0029]此外，本發(fā)明的樹脂制模具的接合方法的特征是，上述剝離性的樹脂是有機(jī)硅樹脂。
[0030]這樣如果是有機(jī)硅樹脂，則能夠以低成本容易地獲得，并且對(duì)于通過輥對(duì)輥而轉(zhuǎn)印凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的轉(zhuǎn)印材料能充分發(fā)揮剝離性。
[0031]此外，本發(fā)明的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體是用于以輥對(duì)輥的方式大量復(fù)制形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的樹脂結(jié)構(gòu)物的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體，其特征是，上述輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體具備:形成有上述所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的多個(gè)樹脂制模具；以及將上述多個(gè)樹脂制模具平面并列配置，填充在上述平面并列的多個(gè)樹脂制模具間的間隙內(nèi)的剝離性的樹脂；通過將上述所填充的剝離性的樹脂固化，上述多個(gè)樹脂制模具形成一體。
[0032]如果是這樣的結(jié)構(gòu)，則能夠應(yīng)對(duì)適于大量生產(chǎn)的轉(zhuǎn)印用輥的直徑而進(jìn)行大型化，且能夠以低成本制造。此外，能夠耐受長(zhǎng)時(shí)間的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，藉此能夠高效地形成大量的樹脂結(jié)構(gòu)物。
[0033]還有，卷裝至轉(zhuǎn)印用輥時(shí)，不需要將輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體的端部彼此疊合，所以不會(huì)產(chǎn)生高低差。
[0034]此外，本發(fā)明的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體的特征是，上述樹脂結(jié)構(gòu)物是復(fù)制模。
[0035]這樣如果樹脂結(jié)構(gòu)物是復(fù)制模，則能夠使用本發(fā)明的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體高效地形成大量的復(fù)制模。
[0036]此外，本發(fā)明的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體的特征是，上述樹脂制模具并列配置在雙面膠粘帶上。
[0037]如果是這樣的結(jié)構(gòu)，則容易將輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體設(shè)置在轉(zhuǎn)印用輥上。
[0038]此外，本發(fā)明的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體的特征是，上述樹脂制模具與上述雙面膠粘帶的長(zhǎng)邊方向上的端部的位置相錯(cuò)開。
[0039]如果是這樣的結(jié)構(gòu)，則將輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體卷裝在轉(zhuǎn)印用輥上時(shí)，不會(huì)產(chǎn)生高低差，能夠?qū)⒈舜酥g切實(shí)地接合。
[0040]發(fā)明的效果
[0041]根據(jù)本發(fā)明，可提供一種用于以輥對(duì)輥的方式大量生產(chǎn)樹脂結(jié)構(gòu)物(特別是樹脂制的復(fù)制模)的樹脂制模具的接合方法以及由該接合方法制得的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體，該接合方法在將樹脂制模具的端部彼此接合時(shí)，能加強(qiáng)接合部的強(qiáng)度且在接合部不產(chǎn)生高低差，藉此能良好地進(jìn)行所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的轉(zhuǎn)印。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0042]圖1是本發(fā)明的一實(shí)施例的樹脂制模具的簡(jiǎn)要立體圖。
[0043]圖2是圖1所示的樹脂制模具的放大剖視圖。
[0044]圖3是為了形成輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體而在作為支承體的PET膜上并列配置多個(gè)樹脂制模具時(shí)的簡(jiǎn)要俯視圖。
[0045]圖4是從圖3的狀態(tài)在樹脂制模具的表面粘貼保護(hù)帶時(shí)的簡(jiǎn)要俯視圖。
[0046]圖5是從圖4的狀態(tài)剝離PET膜，在該處粘貼雙面膠粘帶時(shí)的簡(jiǎn)要剖視圖。
[0047]圖6是從圖5的狀態(tài)剝離表面?zhèn)鹊谋Ｗo(hù)帶時(shí)的簡(jiǎn)要剖視圖。
[0048]圖7(A)是表示本發(fā)明的一實(shí)施例的樹脂制模具的接合方法的簡(jiǎn)要剖視圖；圖7(B)是用圖7(A)的方法接合的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體的簡(jiǎn)要剖視圖。
[0049]圖8是將本發(fā)明的一實(shí)施例中所形成的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體粘貼在轉(zhuǎn)印用輥上，以輥對(duì)輥的方式對(duì)復(fù)制模進(jìn)行復(fù)制時(shí)的簡(jiǎn)要立體圖。
[0050]圖9(A)是表示本發(fā)明的其他實(shí)施例所涉及的在樹脂制模具的上表面貼附保護(hù)帶、再將其他保護(hù)帶粘貼于在長(zhǎng)邊方向的端部所設(shè)置的樹脂制模具的下表面?zhèn)鹊臓顟B(tài)的簡(jiǎn)要剖視圖；圖9(B)是表示從圖9(A)的狀態(tài)將雙面膠粘帶粘貼于下表面?zhèn)鹊臓顟B(tài)的簡(jiǎn)要剖視圖；圖9(C)是表示從圖9(B)的狀態(tài)用切割器將粘貼于下表面?zhèn)鹊谋Ｗo(hù)帶和雙面膠粘帶一起切除的切除后的狀態(tài)的簡(jiǎn)要剖視圖；圖9?)是從圖9(C)的狀態(tài)將上表面?zhèn)鹊谋Ｗo(hù)帶剝離、再于露出的樹脂制模具之間填充光固化性有機(jī)硅樹脂來制作輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體時(shí)的簡(jiǎn)要剖視圖。
[0051]圖10是將圖9(D)中制作的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體卷繞在轉(zhuǎn)印用輥上，將相當(dāng)于對(duì)接部的樹脂制模具間的間隙用光固化性有機(jī)硅樹脂填埋時(shí)的簡(jiǎn)要立體圖。
[0052]圖11是圖10的簡(jiǎn)要側(cè)剖視圖。
[0053]圖12(A)、(B)分別是表示作為用于采用以往的輥對(duì)輥的方式對(duì)復(fù)制模進(jìn)行復(fù)制而將樹脂膜彼此接合的一例、即專利文獻(xiàn)I公開的例子的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0054]下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行具體說明。
[0055]在實(shí)施本實(shí)施例的樹脂制模具的接合方法之前，首先如圖1所示，預(yù)先準(zhǔn)備一塊或多塊形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的近似矩形樹脂制模具2。
[0056]該樹脂制模具2是利用公知的壓印技術(shù)而形成的，是之后用于形成大量樹脂結(jié)構(gòu)物(特別是樹脂制的復(fù)制模)的原版。
[0057]該樹脂制模具2如圖2放大所示，在柔軟的基板4上具備具有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的樹脂層6。
[0058]作為基板4,可以例舉選自樹脂基板、玻璃基板、娃基板、監(jiān)寶石基板、碳基板和GaN基板中的一種。
[0059]其中，在具有柔性的樹脂制模具2的形成中優(yōu)選樹脂基板，具體而言，是由選自聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酯、聚烯烴、聚酰亞胺、聚砜、聚醚砜、環(huán)狀聚烯烴及聚萘二甲酸乙二醇酯的I種構(gòu)成的基板。
[0060]另一方面，作為形成樹脂層6的樹脂，可例舉熱塑性樹脂、熱固化性樹脂或光固化性樹脂。
[0061]作為熱塑性樹脂，優(yōu)選可例舉丙烯酸類樹脂、苯乙烯類樹脂、烯烴類樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚酯類樹脂。
[0062]作為熱固化性樹脂或光固化性樹脂，優(yōu)選可例舉環(huán)氧樹脂。更優(yōu)選可例舉聚甲基丙烯酸甲酯、環(huán)烯烴樹脂、苯乙烯樹脂、環(huán)氧樹脂、聚碳酸酯、對(duì)苯二甲酸乙二醇酯。
[0063]此外，樹脂層6中可以使用具有能與脫模劑鍵合的取代基和與上述的樹脂有相容性的取代基、且具有對(duì)樹脂的滲透性的添加劑。
[0064]作為添加劑，例如可例舉下述通式⑴所表示的化合物或其水解物。
[0065]Y3-n (CH3) nSi AX (I)
[0066](式(I)中，Y是甲氧基或乙氧基；A是單鍵、亞乙基或丙基；X是選自環(huán)氧基、環(huán)氧丙氧基、可具有取代基的苯基及氣基的一種；n是0或I。)
[0067]這里，認(rèn)為Y或其經(jīng)水解的基團(tuán)是上述的能與脫模劑鍵合的基團(tuán)，此外，認(rèn)為X是上述的與溶劑可溶性樹脂有相容性的基團(tuán)。
[0068]作為形成樹脂層6的樹脂，從與添加劑的相容性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選含有具有與X同種類的取代基的結(jié)構(gòu)單元的上述記載的熱塑性樹脂。具有與X同種類的取代基的結(jié)構(gòu)單元在樹脂的全部結(jié)構(gòu)單元中的含量?jī)?yōu)選為I?15重量％、更優(yōu)選為2?10重量％。
[0069]如果是該范圍，則樹脂和添加劑不會(huì)分離而發(fā)生添加劑向樹脂層表面的滲出。
[0070]將樹脂和添加劑的總量設(shè)為100重量份時(shí)，添加劑可以I?13重量份的比例添力口，優(yōu)選以2?9重量份的比例添加。
[0071]上述的樹脂層6的厚度通常為50nm?Imm,優(yōu)選為500nm?500 ii m。如果設(shè)為這
樣的厚度，則容易進(jìn)行壓印加工。
[0072]對(duì)樹脂層6的表面形狀(凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案)沒有特別限定，但優(yōu)選周期為IOnm?2_、深度為IOnm?500 u m、轉(zhuǎn)印面為1.0?1.0X 106mm2的表面形狀，更優(yōu)選周期為20nm?20 u m、深度為50nm?I U m、轉(zhuǎn)印面為1.0?0.25 X 10Bmm2的表面形狀。
[0073]如果這樣地設(shè)定，則能夠?qū)⑼暾陌纪箞D案的反轉(zhuǎn)圖案轉(zhuǎn)印至轉(zhuǎn)印體上。作為表面形狀，可例舉蛾眼、線、圓柱、石柱(日語:'J 7 )、圓錐、多棱錐、微透鏡(日語:K
夕口 > >文)。
[0074]可對(duì)樹脂層6的表面進(jìn)行用于防止與轉(zhuǎn)印體附著的剝離處理，剝離處理可以是形成剝離層(未圖示)的處理。
[0075]作為形成剝離層(未圖示)的脫模劑，優(yōu)選由選自氟類硅烷偶聯(lián)劑、具有氨基或羧基的全氟化合物及具有氨基或羧基的全氟醚化合物的至少I種構(gòu)成；更優(yōu)選由選自氟類硅烷偶聯(lián)劑、單末端胺化全氟(全氟醚)化合物以及單末端羧基化全氟(全氟醚)化合物的單體或單體與復(fù)合物的混合物的至少I種構(gòu)成。
[0076]如果使用上述物質(zhì)作為脫模劑，則對(duì)樹脂層6的密合良好，并且與進(jìn)行壓印的樹脂之間的剝離性良好。
[0077]剝離層(未圖不)的厚度優(yōu)選為0.5?20nm、更優(yōu)選0.5?10nm、最優(yōu)選0.5?5nm的范圍內(nèi)。
[0078]認(rèn)為通過集中存在于樹脂層6表面附近的添加劑的能與脫模劑鍵合的基團(tuán)與脫模劑化學(xué)鍵合，剝離層(未圖示)與樹脂層6接合?；瘜W(xué)鍵合被認(rèn)為是縮合。
[0079]上述添加劑為通式(I)所示的情況下，認(rèn)為取代基Y或其經(jīng)水解后的基團(tuán)是與脫模劑的取代基(也包括發(fā)生了水解的基團(tuán))化學(xué)鍵合的基團(tuán)。化學(xué)鍵合被認(rèn)為是縮合。
[0080]由這種材料形成的本實(shí)施例的樹脂制模具2例如是縱長(zhǎng)AX橫長(zhǎng)B為80mmX 80mm、厚度 t 為 130 u m。
[0081]這里，如果以輥對(duì)輥的方式連續(xù)地形成復(fù)制模，則與以往進(jìn)行的以印模式將樹脂制模具按壓在轉(zhuǎn)印材料上的情況相比，可極為高效地對(duì)復(fù)制模進(jìn)行復(fù)制。
[0082]此外，越是增大粘貼復(fù)制模的轉(zhuǎn)印用輥的直徑，則越能夠提高生產(chǎn)效率。
[0083]該情況下，優(yōu)選不使用I個(gè)樹脂制模具2而是使用多個(gè)樹脂制模具2，優(yōu)選將這些樹脂制模具2整齊排列成板狀后，卷繞在轉(zhuǎn)印用輥42上。
[0084]S卩、如果在轉(zhuǎn)印用輥42的周面上配置多個(gè)樹脂制模具2，則通過轉(zhuǎn)印用輥42的旋轉(zhuǎn)，能夠連續(xù)地形成多個(gè)復(fù)制模。
[0085]本實(shí)施例中，制造卷繞在轉(zhuǎn)印用輥42上的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40。
[0086]即、本實(shí)施例中，首先如圖3所示，將形成有微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的例如20塊的樹脂制模具2以彼此鄰接的方式在PET膜12上排列成兩列。
[0087]接著，如圖4所示，以覆蓋鄰接排列的樹脂制模具2的形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的表面的方式粘貼保護(hù)帶34。
[0088]在樹脂制模具2的形成有微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的表面?zhèn)日迟N保護(hù)帶34后，進(jìn)一步如圖5所示，取下背面?zhèn)鹊淖鳛橹С心な褂玫腜ET膜12，并且在該位置、即樹脂制模具2的背面?zhèn)日迟N各單面物性不同(強(qiáng)粘合性/再剝離性)的雙面膠粘帶36的強(qiáng)粘結(jié)側(cè)。
[0089]另外，該雙面膠粘帶36以PET樹脂作為基材36a，至少在一面具備脫模膜36b。
[0090]這樣，一面被脫模膜36b被覆的雙面膠粘帶36粘貼在樹脂制模具2的背面?zhèn)?。此時(shí)，樹脂制模具2與雙面膠粘帶36的長(zhǎng)邊方向上的端部?jī)?yōu)選錯(cuò)開地配置，這是因?yàn)樵诰砝@在轉(zhuǎn)印用輥42上時(shí)可消除接合部分的高低差、或減小高低差。
[0091]另外，作為其他形態(tài)，可以在PET膜12的兩面形成各單面物性不同的粘合劑層(強(qiáng)粘合性/再剝離性)。強(qiáng)粘合性的粘合劑層粘貼在樹脂制模具2的背面。該情況下，可省略雙面膠粘帶36。
[0092]此外，在該情況下，樹脂制模具2與PET膜12的長(zhǎng)邊方向上的端部也優(yōu)選是錯(cuò)開的，這是因?yàn)樵诰砝@在轉(zhuǎn)印用輥42上時(shí)可消除接合部分的高低差、或減小高低差。
[0093]再于之后的工序中，如圖6所示，將表面?zhèn)鹊谋Ｗo(hù)帶34剝離。本實(shí)施例中，在由于該保護(hù)帶34的剝離而露出的樹脂制模具2、2間的間隙內(nèi)，如圖7放大所示用微量移液管10填充剝離性樹脂8。
[0094]另外，樹脂制模具2a和與其鄰接的其他樹脂制模具2b的間隔距離S為0.5 y m?3mm，優(yōu)選I u m?2.5mm，更優(yōu)選2 u m?2mm。
[0095]剝離性樹脂8可使用有機(jī)硅樹脂、氟樹脂、醇酸樹脂、長(zhǎng)鏈烷基化合物、及蠟等，其中優(yōu)選有機(jī)硅樹脂。
[0096]如果是有機(jī)硅樹脂，則能夠以低成本容易地獲得，并且對(duì)于通過輥對(duì)輥而轉(zhuǎn)印凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的轉(zhuǎn)印材料能充分發(fā)揮剝離性。
[0097]通過在間隙內(nèi)裝填這樣的剝離性樹脂8，可使其隨著時(shí)間的經(jīng)過而自然地固化，或者利用紫外線照射而積極地使剝離性樹脂8固化。在利用剝離性樹脂8而形成一體的樹脂制模具2a、2b的接合部，間隙介由剝離性樹脂8而固結(jié)，所以其他樹脂等不會(huì)進(jìn)入該部分。
[0098]剝離性樹脂8的填充時(shí)的厚度越接近圖2所示的構(gòu)成樹脂制模具2的基板4的厚度越優(yōu)選。另外，如果與基板4的厚度相比超過±30 ym，則轉(zhuǎn)印材料容易堆積，因而不優(yōu)選。
[0099]此外，通過進(jìn)行UV照射等，可使剝離性樹脂8固化。
[0100]藉此，如圖7(B)所示，可形成輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40。剝離性樹脂8完全固化后，將圖7(B)所示的雙面膠粘帶36的背面?zhèn)鹊拿撃Ｄ?6b剝離。
[0101]本實(shí)施例中，由此所形成的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40如圖8所示，在轉(zhuǎn)印用輥42的表面卷繞成環(huán)狀(日文4一 狀)。
[0102]所卷繞的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40的卷頭和卷末的接縫處產(chǎn)生間隙時(shí)，優(yōu)選裝填剝離性樹脂8。
[0103]由此，在將輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40 —體地粘貼到轉(zhuǎn)印用輥42的周面上之后，轉(zhuǎn)印用輥42相對(duì)于圖8中如箭頭D所示從圖的左方運(yùn)送至右方的轉(zhuǎn)印材料46而順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，藉此大量(實(shí)施例中為20個(gè))的樹脂制模具2的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案被連續(xù)地轉(zhuǎn)印至下游側(cè)的轉(zhuǎn)印材料46’，獲得形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的樹脂結(jié)構(gòu)物。[0104]所得的樹脂結(jié)構(gòu)物優(yōu)選用作復(fù)制模，也可用作防反射膜。
[0105]這樣，本實(shí)施例中，可連續(xù)地通過輥對(duì)輥進(jìn)行使用樹脂制模具2的壓印。還有，根據(jù)實(shí)驗(yàn)，確認(rèn)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下可耐受8小時(shí)的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
[0106]以上對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施例進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不受該實(shí)施例的任何限制。
[0107]例如，上述實(shí)施例中，將20個(gè)樹脂制模具2卷繞在轉(zhuǎn)印用輥42上，但在例如作為原版形成有一塊大型的樹脂制模具的情況下，也可將這一塊大型的樹脂制模具在轉(zhuǎn)印用輥42上卷繞成環(huán)狀，在其兩端部間的接合處以使剝離性樹脂8介于之間的方式將彼此的端部接合。
[0108]以下，對(duì)于實(shí)際實(shí)施的實(shí)施例進(jìn)行說明。
[0109]實(shí)施例
[0110][實(shí)施例1]
[0111]<棍對(duì)棍用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40的制造>
[0112]作為樹脂制模具2，準(zhǔn)備與國(guó)際申請(qǐng)PCT/JP2011/067769號(hào)所述的實(shí)施例1相同的構(gòu)成的樹脂制模具(基板4:125 pm厚的對(duì)苯二甲酸乙二醇酯制的膜，樹脂層6:包含甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯和3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷的混合物，剝離層:全氟聚醚類)。
[0113]將該樹脂制模具2使用模板精確地切割成80mm見方的模具，制作20塊。
[0114]在另外準(zhǔn)備的PET膜12上，使形成有微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的面朝上的樹脂制模具2按照樹脂制模具2彼此的間隙達(dá)到Imm左右的方式排列。
[0115]在形成有微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的面上粘貼保護(hù)帶34后，使其反轉(zhuǎn)、取下PET膜12，用層壓機(jī)將各單面物性不同(強(qiáng)粘合性/再剝離性)的雙面膠粘帶36的強(qiáng)粘合性粘合劑側(cè)粘貼在樹脂制模具2的背面。
[0116]接著，剝離保護(hù)帶34，在樹脂制模具2彼此的間隙內(nèi)涂入具有剝離性的光固化性有機(jī)硅樹脂(剝離性樹脂8)，用UV光使其固化，制得長(zhǎng)條狀的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40。
[0117]將層疊于雙面膠粘帶36的再剝離性粘合劑側(cè)的脫模膜36b剝離，并將輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40粘貼在250mm的SUS制輥(轉(zhuǎn)印用輥42)上。
[0118]輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40的卷頭和卷末的接縫用與上述相同的光固化性有機(jī)硅樹脂(剝離性樹脂8)填埋。
[0119]<棍對(duì)棍連續(xù)轉(zhuǎn)印的結(jié)果〉
[0120]用模涂機(jī)將轉(zhuǎn)印樹脂(東洋合成株式會(huì)社(東洋合成社)制、PAK-02)涂布在PET原材料的轉(zhuǎn)印基材上(膜厚125 u m)，制得轉(zhuǎn)印材料46。
[0121]接著，重復(fù)進(jìn)行以送入速度Im/分鐘使卷繞有輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40的轉(zhuǎn)印用輥42旋轉(zhuǎn)，將樹脂制模具2按壓在上述轉(zhuǎn)印材料46上，用UV光使其固化后進(jìn)行脫模的工序。
[0122]其結(jié)果是，轉(zhuǎn)印樹脂不會(huì)進(jìn)入樹脂制模具2的對(duì)接部的間隙而堆積，此外不會(huì)發(fā)生樹脂制模具2的樹脂層6的缺陷，能夠?qū)崿F(xiàn)8小時(shí)以上的連續(xù)轉(zhuǎn)印。
[0123]對(duì)于轉(zhuǎn)印面積，可確保樹脂制模具2的反轉(zhuǎn)圖案面積的97%。對(duì)于形狀，用電子顯微鏡對(duì)樹脂制模具2和轉(zhuǎn)印品進(jìn)行了觀察，結(jié)果確認(rèn)到樹脂制模具2在8小時(shí)連續(xù)轉(zhuǎn)印后沒有表面的污染、也沒有形狀的破壞或變形，轉(zhuǎn)印品在轉(zhuǎn)印初期和末期具有同樣的形狀。
[0124][實(shí)施例2]
[0125]<輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40的制造>
[0126]與實(shí)施例1相同，使用模板精確地切割成80mm見方的樹脂制模具2，制作20塊。在另外準(zhǔn)備的PET膜12上，以使形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的面朝上、樹脂制模具2彼此的間隙達(dá)到1_左右的方式排列制得的20塊樹脂制模具2。
[0127]在形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的面上粘貼保護(hù)帶34后，使其反轉(zhuǎn)、取下PET膜12，按照?qǐng)D9(A)示意地示出的方式，在所排列的樹脂制模具2的長(zhǎng)邊方向的一方端部粘貼5mm寬的保護(hù)帶34’。
[0128]然后，如圖9(B)所示，使用層壓機(jī)將各單面物性不同的(強(qiáng)粘合性/再剝離性)雙面膠粘帶36的強(qiáng)粘合性粘合劑側(cè)粘貼在樹脂制模具2的背面。
[0129]然后，如圖9(C)所示，使用切割器將保護(hù)帶34’和層疊于保護(hù)帶34’的部分雙面膠粘帶36的一部分切除。
[0130]藉此，在長(zhǎng)邊方向上，可以使樹脂制模具2與雙面膠粘帶36的端部的位置錯(cuò)開。
[0131]接著，如圖9 (D)所示，剝離保護(hù)帶34，在樹脂制模具2彼此的間隙內(nèi)涂入具有剝離性的光固化性有機(jī)硅樹脂，用UV光使其固化，制得長(zhǎng)條狀的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40。
[0132]然后，將層疊于雙面膠粘帶36的再剝離性粘合劑側(cè)的脫模膜36b剝離，并將輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40粘貼在小250mm的SUS制的轉(zhuǎn)印用輥42上(參照?qǐng)D10)。
[0133]在棍對(duì)棍用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40的卷頭和卷末的接縫處,雙面膠粘帶36的接縫P與樹脂制模具2的接縫處于錯(cuò)開的狀態(tài)，只在樹脂制模具2的接縫處用由與上述相同的光固化性有機(jī)硅樹脂構(gòu)成的剝離性樹脂8，填埋(參照?qǐng)D11)。
[0134]<輥對(duì)輥連續(xù)轉(zhuǎn)印的結(jié)果>
[0135]接著，重復(fù)進(jìn)行以送入速度Im/分鐘使卷繞有輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體40的轉(zhuǎn)印用輥42旋轉(zhuǎn)，與實(shí)施例1同樣地將樹脂制模具2按壓在轉(zhuǎn)印材料46上，用UV光使其固化后進(jìn)行脫1吳的工序。
[0136]其結(jié)果是，轉(zhuǎn)印樹脂不會(huì)進(jìn)入樹脂制模具2的對(duì)接部的間隙而堆積，此外不會(huì)發(fā)生樹脂制模具2的樹脂層6的缺陷，能夠?qū)崿F(xiàn)8小時(shí)以上的連續(xù)轉(zhuǎn)印。
[0137]對(duì)于轉(zhuǎn)印面積，可確保樹脂制模具2的反轉(zhuǎn)圖案面積的97%。
[0138]對(duì)于形狀，用電子顯微鏡對(duì)樹脂制模具2和轉(zhuǎn)印品進(jìn)行了觀察，結(jié)果確認(rèn)到樹脂制模具2在8小時(shí)連續(xù)轉(zhuǎn)印后沒有表面的污染、也沒有形狀的破壞或變形，轉(zhuǎn)印品在轉(zhuǎn)印初期和末期具有同樣的形狀。
[0139]符號(hào)的說明
[0140]2 樹脂制模具
[0141]2a 樹脂制模具
[0142]2b 樹脂制模具
[0143]4 基板
[0144]6 樹脂層
[0145]8 剝離性樹脂
[0146]8，剝離性樹脂[0147]10微量移液管
[0148]12PET 膜
[0149]14加熱器
[0150]20樹脂膜
[0151]34保護(hù)帶
[0152]34’保護(hù)帶
[0153]36雙面膠粘帶
[0154]36a基材
[0155]36b脫模膜
[0156]40棍對(duì)棍用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體
[0157]42轉(zhuǎn)印用輥
[0158]46轉(zhuǎn)印材料
[0159]46’轉(zhuǎn)印材料
[0160]P接縫
`[0161]S間隔距離
【權(quán)利要求】
1.一種樹脂制模具的接合方法，它是將形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的樹脂制模具的端部間對(duì)接的樹脂制模具的接合方法，其特征在于，在所述樹脂制模具的端部的對(duì)接部的間隙內(nèi)填充剝離性的樹脂，通過所述剝離性的樹脂的固化，將所述樹脂制模具的端部間接合成一體。
2.如權(quán)利要求1所述的樹脂制模具的接合方法，其特征在于，所述樹脂制模具的對(duì)接部的間隙為0.5 ii m?3_。
3.如權(quán)利要求1所述的樹脂制模具的接合方法，其特征在于，所述剝離性的樹脂是有機(jī)硅樹脂。
4.一種輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體，它是用于以輥對(duì)輥的方式大量復(fù)制形成有所需的微細(xì)的凹凸圖案的樹脂結(jié)構(gòu)物的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體，其特征在于， 所述輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體具備: 形成有所述所需的微細(xì)的凹凸圖案的反轉(zhuǎn)圖案的多個(gè)樹脂制模具；以及 將所述多個(gè)樹脂制模具平面并列配置，填充在所述平面并列的多個(gè)樹脂制模具間的間隙內(nèi)的剝離性的樹脂； 通過將所述所填充的剝離性的樹脂固化，所述多個(gè)樹脂制模具形成一體。
5.如權(quán)利要求4所述的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述樹脂結(jié)構(gòu)物是復(fù)制豐旲。
6.如權(quán)利要求5所述的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述樹脂制模具并列配置在雙面膠粘帶上。
7.如權(quán)利要求6所述的輥對(duì)輥用連續(xù)模具結(jié)構(gòu)體，其特征在于，所述樹脂制模具與所述雙面膠粘帶的長(zhǎng)邊方向上的端部的位置相錯(cuò)開。
【文檔編號(hào)】B29C59/04GK103764361SQ201280040635
【公開日】2014年4月30日 申請(qǐng)日期:2012年7月31日 優(yōu)先權(quán)日:2011年8月30日
【發(fā)明者】山田纮子, 高橋孝德, 須藤康夫 申請(qǐng)人:綜研化學(xué)株式會(huì)社