本技術涉及半導體制造，具體為一種半導體制造用微結構精密模具。

背景技術：

1、半導體在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉換等領域都有應用，如二極管就是采用半導體制作的器件。無論從科技或是經(jīng)濟發(fā)展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。大部分的電子產(chǎn)品，如計算機、移動電話或是數(shù)字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關聯(lián)。

2、現(xiàn)階段的半導體制造用模具在使用時，由于模具受到外界高溫高壓的影響，模具本身的散熱效果較差，易出現(xiàn)脆裂現(xiàn)象，從而降低了模具的使用壽命，同時，且有的半導體模具在合模的時候需要工具將模具壓緊，在壓緊的過程中不能很好的控制壓緊的力度，壓緊力度過大會造成模具損壞，壓緊力度較小會使得模具密封不嚴，產(chǎn)品質量下降等問題。

技術實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供了一種半導體制造用微結構精密模具，解決了上述背景技術中提出的問題。

2、為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現(xiàn)：一種半導體制造用微結構精密模具，包括上模和下模，所述下模的一側開設有固定槽，所述固定槽的一側鉸接有固定板，所述固定板的一側固定連接有支撐塊，所述支撐塊的一側開設有滑槽，所述支撐塊的上方開設有貫穿至滑槽的螺紋孔，所述螺紋孔的內(nèi)部設置有螺紋桿，所述滑槽的內(nèi)部設置有第一支撐板，所述第一支撐板的上方與螺紋桿的下端轉動連接，所述第一支撐板的下方固定連接有彈簧，所述彈簧的下方固定連接有第二支撐板，所述第二支撐板與滑槽的一側滑動連接，所述下模的上方開設有與上模相適配的模具槽。

3、可選的，所述螺紋桿的上端固定連接有固定套，所述固定套的內(nèi)部滑動連接有固定桿，所述固定桿的兩端均固定連接有固定盤。

4、可選的，所述固定板的一側設置有觀察窗，所述觀察窗的一側設置有刻度。

5、可選的，所述下模的內(nèi)部開設有散熱腔，所述散熱腔的內(nèi)部設置有固定環(huán)，所述固定環(huán)的內(nèi)表面設置有注塑罐，所述上模的下方固定連接有與注塑罐相適配的密封蓋，所述散熱腔的內(nèi)部設置有導流板。

6、可選的，所述下模的一側固定連接有與散熱腔的連通的進水管，所述下模的另一側固定連接有與散熱腔的連通的出水管，所述進水管和出水管的外表面均設置有閥門，所述散熱腔的內(nèi)部設置有多個均勻分布的溫度傳感器。

7、可選的，所述下模的下方固定連接有支撐柱，所述支撐柱的適量為多個。

8、本實用新型提供了一種半導體制造用微結構精密模具，具備以下有益效果：

9、1、該一種半導體制造用微結構精密模具，通過固定板、支撐塊、螺紋桿、第一支撐板、彈簧、第二支撐板、固定套、固定桿、固定盤、觀察窗、刻度的配合設置，在使用的過程中可以根據(jù)要求調整下模與上模之間的壓合力，從而起到了將上模與下模之間更好的封閉的作用，達到了避免上模與下模損壞的目的。

10、2、該一種半導體制造用微結構精密模具，通過導流板、密封蓋、進水管、出水管、閥門的配合設置，在使用的過程中可以對模具進行散熱，從而起到了使得模具的溫度在合適的范圍之內(nèi)的作用，達到了保證了模具的使用壽命的目的。

技術特征：

1.一種半導體制造用微結構精密模具，包括上模（1）和下模（2），其特征在于：所述下模（2）的一側開設有固定槽，所述固定槽的一側鉸接有固定板（3），所述固定板（3）的一側固定連接有支撐塊（4），所述支撐塊（4）的一側開設有滑槽，所述支撐塊（4）的上方開設有貫穿至滑槽的螺紋孔，所述螺紋孔的內(nèi)部設置有螺紋桿（5），所述滑槽的內(nèi)部設置有第一支撐板（6），所述第一支撐板（6）的上方與螺紋桿（5）的下端轉動連接，所述第一支撐板（6）的下方固定連接有彈簧（7），所述彈簧（7）的下方固定連接有第二支撐板（8），所述第二支撐板（8）與滑槽的一側滑動連接，所述下模（2）的上方開設有與上模（1）相適配的模具槽。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體制造用微結構精密模具，其特征在于：所述螺紋桿（5）的上端固定連接有固定套（9），所述固定套（9）的內(nèi)部滑動連接有固定桿（10），所述固定桿（10）的兩端均固定連接有固定盤（11）。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體制造用微結構精密模具，其特征在于：所述固定板（3）的一側設置有觀察窗（12），所述觀察窗（12）的一側設置有刻度（13）。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體制造用微結構精密模具，其特征在于：所述下模（2）的內(nèi)部開設有散熱腔，所述散熱腔的內(nèi)部設置有固定環(huán)（14），所述固定環(huán)（14）的內(nèi)表面設置有注塑罐（15），所述上模（1）的下方固定連接有與注塑罐（15）相適配的密封蓋（17），所述散熱腔的內(nèi)部設置有導流板（16）。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種半導體制造用微結構精密模具，其特征在于：所述下模（2）的一側固定連接有與散熱腔的連通的進水管（18），所述下模（2）的另一側固定連接有與散熱腔的連通的出水管（19），所述進水管（18）和出水管（19）的外表面均設置有閥門（20），所述散熱腔的內(nèi)部設置有多個均勻分布的溫度傳感器。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體制造用微結構精密模具，其特征在于：所述下模（2）的下方固定連接有支撐柱（21），所述支撐柱（21）的適量為多個。

技術總結
本技術公開了一種半導體制造用微結構精密模具，涉及半導體制造技術領域，具體為包括上模和下模，所述下模的一側開設有固定槽，所述固定槽的一側鉸接有固定板，所述固定板的一側固定連接有支撐塊，所述支撐塊的一側開設有滑槽，所述支撐塊的上方開設有貫穿至滑槽的螺紋孔，所述螺紋孔的內(nèi)部設置有螺紋桿，所述滑槽的內(nèi)部設置有第一支撐板。該一種半導體制造用微結構精密模具，通過固定板、支撐塊、螺紋桿、第一支撐板、彈簧、第二支撐板、固定套、固定桿、固定盤、觀察窗、刻度的配合設置，在使用的過程中可以根據(jù)要求調整下模與上模之間的壓合力，從而起到了將上模與下模之間更好的封閉的作用，達到了避免上模與下模損壞的目的。

技術研發(fā)人員：鄒波,丁紅偉,苑月霞,段陽陽
受保護的技術使用者：中芯微（周口）半導體有限公司
技術研發(fā)日：20240201
技術公布日：2024/10/21