一種聚酰亞胺薄膜噴涂裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種噴涂裝置，特別涉及一種聚酰亞胺薄膜噴涂裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]酰亞胺薄膜是一種新型的耐高溫有機(jī)聚合物薄膜，它是目前世界上性能最好的薄膜類絕緣材料，具有優(yōu)良的力學(xué)性能、電性能、化學(xué)穩(wěn)定性以及很高的抗輻射性能、耐高溫和耐低溫性能。由于其良好的綜合性能其用途也逐漸擴(kuò)大，廣泛應(yīng)用于微電子行業(yè)作為介電空間層、金屬薄膜的保護(hù)覆蓋層和基材；聚酰亞胺膜經(jīng)由下述工序制備:澆鑄工序，將聚酰胺酸等聚酰胺前驅(qū)體溶液流延涂覆在支撐體上，將其加熱，形成具有自我支撐性的自我支撐性膜；固化工序，對(duì)自我支撐性膜進(jìn)行加熱處理，完成酰亞胺化。另外，還可根據(jù)需要，在澆鑄工序后，于自我支撐性膜表面上涂布表面處理劑等有機(jī)溶劑，進(jìn)行干燥后，即在表面處理后，進(jìn)行固化工序，現(xiàn)有酰亞胺薄膜生產(chǎn)設(shè)備主要是由流延機(jī)，預(yù)熱系統(tǒng)，拉伸系統(tǒng)，冷卻定型系統(tǒng)等構(gòu)成。目前的酰亞胺薄膜生產(chǎn)方法及生產(chǎn)設(shè)備存在流延機(jī)生產(chǎn)出來(lái)的薄膜厚薄不均的技術(shù)難題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種聚酰亞胺薄膜噴涂裝置。
[0004]其技術(shù)方案是:包括本體、膜唇緊固螺栓、膜唇、調(diào)節(jié)螺栓、固定主軸、緊固螺栓、固定螺栓、進(jìn)膠口、固定板，在本體的后側(cè)開(kāi)設(shè)有膜唇，膜唇的前側(cè)設(shè)有多個(gè)膜唇緊固螺栓，膜唇緊固螺栓連接膜唇，在本體的前側(cè)上部設(shè)有多個(gè)調(diào)節(jié)螺栓，在本體的前側(cè)中部設(shè)有緊固螺栓，在本體的前側(cè)下部設(shè)有上下兩個(gè)固定板，在固定板上設(shè)有兩個(gè)固定螺栓，在兩個(gè)固定板之間設(shè)有進(jìn)膠口，本體的中部設(shè)有固定主軸，固定主軸穿過(guò)本體。
[0005]上述的緊固螺栓在本體的前側(cè)中部，在中部的左右兩側(cè)均設(shè)有三個(gè)呈三角狀排列的緊固螺栓，中部設(shè)有兩個(gè)緊固螺栓。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果是:通過(guò)本實(shí)用新型調(diào)節(jié)控制膜唇間隙，確保膜唇間隙保持在一穩(wěn)定值，能夠生產(chǎn)出厚度均勻的薄膜，為下一步的薄膜拉伸以及薄膜定型冷卻工藝提供了厚度均勻性良好的聚酰亞胺薄膜坯料，從而大大提高了聚酰亞胺薄膜成品的橫向和縱向的厚度均勻性。
【附圖說(shuō)明】
[0007]附圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]上圖中:本體1、膜唇緊固螺栓2、膜唇3、調(diào)節(jié)螺栓4、固定主軸5、緊固螺栓6、固定螺栓7、進(jìn)膠口 8、固定板9。
【具體實(shí)施方式】
[0009]結(jié)合附圖1，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述:
[0010]本實(shí)用新型包括本體1、膜唇緊固螺栓2、膜唇3、調(diào)節(jié)螺栓4、固定主軸5、緊固螺栓6、固定螺栓7、進(jìn)膠口 8、固定板9，在本體I的后側(cè)開(kāi)設(shè)有膜唇3，膜唇3的前側(cè)設(shè)有多個(gè)膜唇緊固螺栓2，膜唇緊固螺栓2連接膜唇3，在本體I的前側(cè)上部設(shè)有多個(gè)調(diào)節(jié)螺栓4，在本體I的前側(cè)中部設(shè)有緊固螺栓6，在本體I的前側(cè)下部設(shè)有上下兩個(gè)固定板9，在固定板9上設(shè)有兩個(gè)固定螺栓7，在兩個(gè)固定板9之間設(shè)有進(jìn)膠口 8，本體I的中部設(shè)有固定主軸5，固定主軸5穿過(guò)本體1，固定主軸5的左右兩端頭凸出在本體I的左右兩側(cè)壁的中心部分。
[0011]其中，緊固螺栓6在本體I的前側(cè)中部，在中部的左右兩側(cè)均設(shè)有三個(gè)呈三角狀排列的緊固螺栓6，中部設(shè)有兩個(gè)緊固螺栓6。
[0012]通過(guò)本實(shí)用新型調(diào)節(jié)控制膜唇間隙，確保膜唇間隙保持在一穩(wěn)定值，能夠生產(chǎn)出厚度均勻的薄膜，為下一步的薄膜拉伸以及薄膜定型冷卻工藝提供了厚度均勻性良好的聚酰亞胺薄膜坯料，從而大大提高了聚酰亞胺薄膜成品的橫向和縱向的厚度均勻性。
[0013]以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員均可能利用上述闡述的技術(shù)方案對(duì)本實(shí)用新型加以修改或?qū)⑵湫薷臑榈韧募夹g(shù)方案。因此，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案所進(jìn)行的任何簡(jiǎn)單修改或等同置換，盡屬于本實(shí)用新型要求保護(hù)的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種聚酰亞胺薄膜噴涂裝置，其特征是:包括本體(1)、膜唇緊固螺栓(2)、膜唇(3)、調(diào)節(jié)螺栓(4)、固定主軸(5)、緊固螺栓(6)、固定螺栓(7)、進(jìn)膠口(8)、固定板(9)，在本體(1)的后側(cè)開(kāi)設(shè)有膜唇(3)，膜唇(3)的前側(cè)設(shè)有多個(gè)膜唇緊固螺栓(2)，膜唇緊固螺栓(2)連接膜唇(3)，在本體(1)的前側(cè)上部設(shè)有多個(gè)調(diào)節(jié)螺栓(4)，在本體(1)的前側(cè)中部設(shè)有緊固螺栓(6)，在本體(1)的前側(cè)下部設(shè)有上下兩個(gè)固定板(9)，在固定板(9)上設(shè)有兩個(gè)固定螺栓(7)，在兩個(gè)固定板(9)之間設(shè)有進(jìn)膠口(8)，本體(1)的中部設(shè)有固定主軸(5)，固定主軸(5)穿過(guò)本體(1)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚酰亞胺薄膜噴涂裝置，其特征是:所述的緊固螺栓(6)在本體(1)的前側(cè)中部，在中部的左右兩側(cè)均設(shè)有三個(gè)呈三角狀排列的緊固螺栓(6)，中部設(shè)有兩個(gè)緊固螺栓(6)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種聚酰亞胺薄膜噴涂裝置。其技術(shù)方案是：在本體的后側(cè)開(kāi)設(shè)有膜唇，膜唇的前側(cè)設(shè)有多個(gè)膜唇緊固螺栓，在本體的前側(cè)上部設(shè)有多個(gè)調(diào)節(jié)螺栓，在本體的前側(cè)中部設(shè)有緊固螺栓，在本體的前側(cè)下部設(shè)有上下兩個(gè)固定板，在固定板上設(shè)有兩個(gè)固定螺栓，在兩個(gè)固定板之間設(shè)有進(jìn)膠口，本體的中部設(shè)有固定主軸，固定主軸穿過(guò)本體，固定主軸的左右兩端頭凸出在本體的左右兩側(cè)壁的中心部分；有益效果是：本實(shí)用新型能夠生產(chǎn)出厚度均勻的薄膜，為下一步的薄膜拉伸以及薄膜定型冷卻工藝提供了厚度均勻性良好的聚酰亞胺薄膜坯料，從而大大提高了聚酰亞胺薄膜成品的橫向和縱向的厚度均勻性。
【IPC分類】B29C41/36
【公開(kāi)號(hào)】CN205044041
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520814063
【發(fā)明人】宋茂泉, 孫萬(wàn)年, 孫蕾
【申請(qǐng)人】山東眾鑫電子材料有限公司
【公開(kāi)日】2016年2月24日
【申請(qǐng)日】2015年10月21日