本申請(qǐng)屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，尤其是涉及一種光伏硅片干燥設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、光伏硅片在生產(chǎn)過(guò)程中，需要根據(jù)工藝多次進(jìn)行清潔，每次清潔后也需要進(jìn)行烘干。花籃用于裝載光伏硅片，常用于大批量處理光伏硅，因此，需要將光伏硅片裝置到花籃中進(jìn)行清洗和干燥。如中國(guó)發(fā)明專利文獻(xiàn)cn116259564a一種帶有干燥設(shè)備的光伏硅片的清潔系統(tǒng)，該文獻(xiàn)中，利用龍門(mén)架上的機(jī)械手進(jìn)行花籃的搬運(yùn)，由于機(jī)械手位于頂部，運(yùn)動(dòng)的機(jī)械機(jī)構(gòu)容易產(chǎn)生碎屑而污染光伏硅片，而且干燥風(fēng)容易從機(jī)械手設(shè)置位置處逃散導(dǎo)致干燥效果較差。同時(shí)該設(shè)備中也無(wú)法對(duì)光伏硅片進(jìn)行封閉式吹風(fēng)干燥。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是：為解決現(xiàn)有技術(shù)中容易對(duì)光伏硅片造成污染的干燥效果差的不足，從而提供一種提高光伏硅片潔凈度和干燥效果的光伏硅片干燥設(shè)備。

2、本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：

3、一種光伏硅片干燥設(shè)備，包括：

4、工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上依次為上料工位、干燥工位和下料工位；所述工作臺(tái)上開(kāi)設(shè)有貫通上料工位、干燥工位和下料工位位置的運(yùn)輸槽，上料工位、干燥工位和下料工位處的工作臺(tái)上均設(shè)置有掛籃固定座，所述掛籃固定座用于供掛籃放置；

5、運(yùn)輸裝置，能夠?qū)旎@在上料工位、干燥工位和下料工位之間運(yùn)輸；

6、吹風(fēng)裝置，設(shè)置在所述干燥工位處，所述吹風(fēng)裝置用于向所述干燥工位處提供干燥風(fēng)；

7、所述運(yùn)輸裝置包括：運(yùn)輸機(jī)構(gòu)、設(shè)置在工作臺(tái)下方的滑軌、用于驅(qū)動(dòng)運(yùn)輸機(jī)構(gòu)在滑軌上運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件，以及用于封堵運(yùn)輸槽的封堵機(jī)構(gòu)，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)穿過(guò)所述運(yùn)輸槽并在頂部設(shè)置有用于承載掛籃的運(yùn)輸臺(tái)，所述運(yùn)輸臺(tái)位于工作臺(tái)上方，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)還能夠驅(qū)動(dòng)運(yùn)輸臺(tái)升降以將運(yùn)輸臺(tái)上的掛籃放置到掛籃固定座上或者將掛籃從掛籃固定座上取下；

8、所述封堵機(jī)構(gòu)包括：位于上料工位和干燥工位的底部框架內(nèi)部的帶輪組件，能夠在帶輪組件上運(yùn)動(dòng)的遮擋帶，所述遮擋帶根據(jù)位于帶輪組件的上方和下方分別為上遮擋部和下遮擋部，所述上遮擋部能夠與運(yùn)輸機(jī)構(gòu)共同運(yùn)動(dòng)并始終位于運(yùn)輸槽的下方。

9、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥設(shè)備，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)，包括，設(shè)置在滑軌上的滑臺(tái)，設(shè)置在滑臺(tái)上的升降驅(qū)動(dòng)件，設(shè)置在升降驅(qū)動(dòng)件上的水平安裝板，設(shè)置在水平安裝板上的并從運(yùn)輸槽中穿過(guò)的豎直安裝板，設(shè)置在豎直安裝板上并位于工作臺(tái)上方的運(yùn)輸臺(tái)，所述豎直安裝板上設(shè)置有能夠自由滑動(dòng)的并位于工作臺(tái)下方的滑動(dòng)件，所述上遮擋部與滑動(dòng)件兩端連接。

10、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥設(shè)備，所述水平安裝板一側(cè)的上方設(shè)置豎直安裝板、下方供下遮擋部通過(guò)，另一側(cè)的下方通過(guò)滑桿與滑臺(tái)滑動(dòng)連接。

11、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥設(shè)備，所述帶輪組件包括安裝座，設(shè)置在安裝座上的沿高度方向布置的第一帶輪和第二帶輪，設(shè)置第一帶輪與第二帶輪能夠使上遮擋部與下遮擋部之間的形成一定距離，使得必要的機(jī)械部件能夠被放置到上遮擋部與下遮擋部之間。

12、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥設(shè)備，所述上遮擋部和/或下遮擋部底部還設(shè)置有支撐板，以支撐所述上遮擋部和/或下遮擋部。

13、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥設(shè)備，所述運(yùn)輸臺(tái)兩側(cè)分別設(shè)置有固定條，所述固定條上設(shè)置有定位槽。

14、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥設(shè)備，所述掛籃固定座頂部為波浪形。

15、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥設(shè)備，所述干燥工位上的所述掛籃固定座上開(kāi)設(shè)有通孔，以形成氣體流通的通道。

16、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥設(shè)備，所述干燥工位上具有外罩，外罩上沿運(yùn)輸裝置運(yùn)輸方向的兩端設(shè)置有升降門(mén)，當(dāng)掛籃在運(yùn)輸裝置運(yùn)輸而通過(guò)外罩時(shí)，升降門(mén)打開(kāi)，在干燥過(guò)程中，升降門(mén)關(guān)閉。

17、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥設(shè)備，所述升降門(mén)上還開(kāi)設(shè)有供運(yùn)輸臺(tái)通過(guò)的過(guò)孔，過(guò)孔處設(shè)置有擋簾。

18、本發(fā)明的有益效果是：

19、本發(fā)明的光伏硅片干燥設(shè)備，工作臺(tái)上被分為上料工位、干燥工位和下料工位，運(yùn)輸裝置將掛籃在上料工位、干燥工位和下料工位之間運(yùn)輸。運(yùn)輸裝置設(shè)置在工作臺(tái)底部，與工作臺(tái)上方相隔離，避免了運(yùn)輸裝置對(duì)頂部的污染（運(yùn)輸裝置運(yùn)動(dòng)時(shí)不可避免地產(chǎn)生一些碎屑），但是，這需要設(shè)置運(yùn)輸槽供支撐機(jī)構(gòu)穿過(guò)而支撐掛籃運(yùn)動(dòng)，因此，需要設(shè)置封堵機(jī)構(gòu)的遮擋帶來(lái)對(duì)運(yùn)輸槽的下方進(jìn)行封堵，降低干燥氣體從運(yùn)輸槽處流出，降低熱風(fēng)損失量，提高干燥效果。

技術(shù)特征：

1.一種光伏硅片干燥設(shè)備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏硅片干燥設(shè)備，其特征在于，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)（51），包括，設(shè)置在滑軌（52）上的滑臺(tái)（510），設(shè)置在滑臺(tái)（510）上的升降驅(qū)動(dòng)件（512），設(shè)置在升降驅(qū)動(dòng)件（512）上的水平安裝板（513），設(shè)置在水平安裝板（513）上的并從運(yùn)輸槽（11）中穿過(guò)的豎直安裝板（514），所述運(yùn)輸臺(tái)（511）設(shè)置在豎直安裝板（514）上，所述豎直安裝板（514）上設(shè)置有能夠自由滑動(dòng)的并位于工作臺(tái)（10）下方的滑動(dòng)件（553），所述上遮擋部（551）與滑動(dòng)件（553）兩端連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光伏硅片干燥設(shè)備，其特征在于，所述水平安裝板（513）一側(cè)的上方設(shè)置豎直安裝板（514）、下方供下遮擋部（552）通過(guò)，另一側(cè)的下方通過(guò)滑桿（516）與滑臺(tái)（510）滑動(dòng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光伏硅片干燥設(shè)備，其特征在于，所述帶輪組件（54）包括安裝座（541），設(shè)置在安裝座（541）上的沿高度方向布置的第一帶輪（542）和第二帶輪（543）。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光伏硅片干燥設(shè)備，其特征在于，所述上遮擋部（551）和/或下遮擋部（552）底部還設(shè)置有支撐板（56），以支撐所述上遮擋部（551）和/或下遮擋部（552）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏硅片干燥設(shè)備，其特征在于，所述運(yùn)輸臺(tái)（511）兩側(cè)分別設(shè)置有固定條（5111），所述固定條（5111）上設(shè)置有定位槽（5112）。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏硅片干燥設(shè)備，其特征在于，所述掛籃固定座（6）頂部為波浪形。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏硅片干燥設(shè)備，其特征在于，所述干燥工位（2）上的所述掛籃固定座（6）上開(kāi)設(shè)有通孔（61）。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏硅片干燥設(shè)備，其特征在于，所述干燥工位（2）上具有上外罩（40），上外罩（40）上沿運(yùn)輸裝置（5）運(yùn)輸方向的兩端設(shè)置有升降門(mén)（41）。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光伏硅片干燥設(shè)備，其特征在于，所述升降門(mén)（41）上還開(kāi)設(shè)有供運(yùn)輸臺(tái)（511）通過(guò)的過(guò)孔（42），過(guò)孔（42）處設(shè)置有擋簾。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)涉及一種光伏硅片干燥設(shè)備，屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本申請(qǐng)光伏硅片干燥設(shè)備的工作臺(tái)上被分為上料工位、干燥工位和下料工位，運(yùn)輸裝置將掛籃在上料工位、干燥工位和下料工位之間運(yùn)輸。運(yùn)輸裝置設(shè)置在工作臺(tái)底部，與工作臺(tái)上方相隔離，避免了運(yùn)輸裝置對(duì)頂部的污染。同時(shí)，由于需要設(shè)置運(yùn)輸槽供支撐機(jī)構(gòu)穿過(guò)而支撐掛籃運(yùn)動(dòng)，因此，需要設(shè)置封堵機(jī)構(gòu)的遮擋帶來(lái)對(duì)運(yùn)輸槽的下方進(jìn)行封堵，降低干燥氣體從運(yùn)輸槽處流出，降低熱風(fēng)損失量，提高干燥效果。

技術(shù)研發(fā)人員：李剛,田曉東,盧寶堂
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇亞電科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21