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水凈化裝置的制作方法

文檔序號(hào):5026922閱讀:199來(lái)源:國(guó)知局

專利名稱::水凈化裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本實(shí)用新型涉及一種水的凈化裝置,
背景技術(shù)
現(xiàn)今的半導(dǎo)體硅晶圓處理過(guò)程中,需要不斷的清洗硅晶圓,其硅晶圓清洗的目的在于不破壞或劣化晶圓表面的前提下,去除晶圓表面的附著塵粒及化學(xué)不純物,以得到潔凈的晶圓,而晶圓表面上常見(jiàn)的污染物種類有微塵、有機(jī)物、光阻劑、金屬離子、原生氧化層等;硅晶圓使用化水溶液清洗溶劑清洗后,一般皆使用大量的去離子水(DIwater)清洗,清洗之后會(huì)帶有大量的雜質(zhì),所以需要后處理才能排放?,F(xiàn)今的廢水處理方式一般是使用化學(xué)藥劑,使顆?;炷恋砗?,再利用薄膜分離處理,然后才成為潔凈的水放流出去,為了環(huán)境與成本的考慮,一般廠商會(huì)進(jìn)行回收,作為次級(jí)的用水,或是補(bǔ)悒超純水處理的用水,由于導(dǎo)電度低,遂能避免過(guò)濾設(shè)備的損耗,大幅提升用水的效率。下表中所示為目前各種凈水器可去除的污染物及其購(gòu)置、維護(hù)條件的一覽表<table>tableseeoriginaldocumentpage3</column></row><table>注O表示去除效果良好,A表示部分去除,X表示無(wú)法去除,*主要用于輔助設(shè)備。購(gòu)置成本高=>4000元,中=1000-4000元,低=〈1000元。上表中,軟水器是一種陽(yáng)離子交換樹脂,其使用鈣、鎂而使工業(yè)用水將鈉換出,由于每噸水處理費(fèi)過(guò)高,故不適用于工業(yè)用水處理,而且鈉對(duì)于管路具有侵蝕性,所以管內(nèi)需增設(shè)負(fù)離子纖維以避免侵蝕,造成設(shè)備成本增加。上表中,逆滲透處理法雖可算是對(duì)各類凈水器中對(duì)水中污染物最全面的的處理方法,但由儲(chǔ)水桶至出水的水龍頭端最常受微生物污染,因此廠商需加裝紫外線殺菌燈,以避免病原微生物污染。逆滲透法維護(hù)也最復(fù)雜,每一段濾心更損的時(shí)間不一,系統(tǒng)造價(jià)也最為昂貴,且尚須消耗電力費(fèi)用,此外每生產(chǎn)1公升的水需排放2公升的廢水,對(duì)水質(zhì)源而言是比較浪費(fèi)的。上表中,蒸餾水的造價(jià)成本太高,且為了蒸餾水必須增加許多燃料費(fèi),若要生成大量?jī)羲峁┕I(yè)使用,非常不符合成本效益。至于活性碳過(guò)濾器,則對(duì)重金屬的過(guò)濾有限,不能達(dá)到極佳的效果。因此,有必要設(shè)計(jì)出一種有效過(guò)濾重金屬及雜質(zhì)的凈水裝置。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種不需添加化學(xué)藥劑便能過(guò)濾水中納米級(jí)微粒、且制造成本低、不損失水且能百分之百完全過(guò)濾的水凈化裝置。本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)手段實(shí)現(xiàn)的一種水凈化裝置,包括一中空本體(l),該本體(1)底部設(shè)有一排放口(10);及一設(shè)于前述本體(1)內(nèi)的過(guò)濾器(2),前述過(guò)濾器(2)是由頂部設(shè)有一入水口(22)的濾心架(20)與設(shè)于前述濾心架(20)內(nèi)的管狀濾心(21)所組成;該濾心(21)由至少一層以上的過(guò)濾層(211)所組成,前述的過(guò)濾層(211)由一多孔狀帶正電的金屬層(23)、一多孔狀帶負(fù)電的金屬層(24)、及各設(shè)于兩者相同一側(cè)面的吸附層(25、25')相互交錯(cuò)所組成。根據(jù)上述的水凈化裝置,帶正電的金屬層(23)選自于下列任一種,銅片、銀片、鉑片、金片。根據(jù)上述的水凈化裝置,帶負(fù)電的金屬層(24)選自于下列任一種,鋅片、鐵片、錫片。根據(jù)上述的水凈化裝置,吸附層(25、25')為負(fù)離子纖維。根據(jù)上述的水凈化裝置,帶正電的金屬層(23)及帶負(fù)電的金屬層(24)能由導(dǎo)線電性連接至電源。根據(jù)上述的水凈化裝置,濾心(21)外側(cè)面更結(jié)合一絕緣膠膜。本實(shí)用新型可獲以下優(yōu)點(diǎn)其一、利用凡得瓦爾引力(VanderWaal'sforce)的效果,藉由帶正電的金屬層(23)及帶負(fù)電的金屬層(24),結(jié)合吸附層(25、25'),吸附存在于水中的顆粒雜質(zhì),由于水中的顆粒本身就有帶有電荷,故不論是帶正電或是負(fù)電,皆能被吸引而停留于吸附層(25、25')上,并能過(guò)濾一些較大的雜質(zhì),因此只要控制水流速,不需添加混凝劑,便能去除雜質(zhì)。其二、由于使用金屬本身的電性來(lái)做為吸附的手段,若是使用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制程過(guò)濾中,則因水是使用超純水(也就是去離子水(DIwater))做為清洗溶劑,故其本身的導(dǎo)電度低,在過(guò)濾的過(guò)程中,金屬不會(huì)被消耗,使用一段時(shí)間之后,只要更換吸附層(25、25')即可。其三、若是使用于其它水的過(guò)濾程序中,則因水具有一定的導(dǎo)電性,會(huì)消耗金屬電性,讓金屬消耗,遂能在濾心(21)外側(cè)面結(jié)合一塑料膜,避免消耗,再將帶正電的金屬層(23)及帶負(fù)電的金屬層(24)藉由導(dǎo)線電性連接至電源,能避免消耗外,能提高吸附力,讓過(guò)濾時(shí)的入水流速增加,以增強(qiáng)效率。其四、由于結(jié)合粒子吸附與薄膜過(guò)濾兩種方式,遂提高水中納米級(jí)微粒雜質(zhì)去除比率,故較現(xiàn)今的大型過(guò)濾系統(tǒng),更為方便設(shè)置與使用,且不需使用化學(xué)藥劑,因此就無(wú)二次污染的疑慮。圖l:本實(shí)用新型的立體示意圖;圖2:為圖1的部分剖視圖;圖3:為圖2的過(guò)濾層部份斷面圖;圖4:本實(shí)用新型的全剖面及實(shí)施示意圖。具體實(shí)施方式為了更具體呈現(xiàn)本實(shí)用新型的內(nèi)容,以下參考圖式,針對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施型態(tài)作詳細(xì)說(shuō)明。如圖1所示為本實(shí)用新型的立體示意圖、如圖2所示為圖1的部分剖視圖、如圖3所示為圖2的過(guò)濾層部份斷面圖。圖式中揭示出一種水凈化裝置,包括一中空本體(l),該本體(l)底部設(shè)有一排放口(10);及一設(shè)于本體(1)內(nèi)的過(guò)濾器(2),前述過(guò)濾器(2)是由頂部設(shè)有一入水口(22)的濾心架(20)、與設(shè)于前述濾心架(20)內(nèi)的管狀濾心(21)所組成。本實(shí)用新型的特征在于,該濾心(21)是由至少一層以上的過(guò)濾層(211)所組成,過(guò)濾層(211)由一多孔狀帶正電的金屬層(23)、一多孔狀帶負(fù)電的金屬層(24)、及各設(shè)于兩者相同一側(cè)面的一吸附層(25、25')相互交錯(cuò)所組成。由至少一層以上的管狀過(guò)濾層(211),由于具備帶正電的金屬層(23)及帶負(fù)電的金屬層(24),且結(jié)合吸附層(25、25')后,除了能吸附存在于水中帶有電荷的顆粒雜質(zhì)外,還能避免帶正電的金屬層(23)與帶負(fù)電的金屬層(24)產(chǎn)生反應(yīng),造成不必要的消耗,故無(wú)需使用化學(xué)藥劑,便能達(dá)到與混凝程序加上薄膜分離過(guò)程,接近的過(guò)濾效果,以方便回收利用。其次,帶正電的金屬層(23)及帶負(fù)電的金屬層(24),是非消耗品,在過(guò)濾的過(guò)程中只會(huì)消耗吸附層(25、25'),故更新與維護(hù)方便,且節(jié)省成本。再者,本實(shí)用新型構(gòu)造簡(jiǎn)單,其主要是由本體(1)與過(guò)濾器(2)所組成,因此小型工廠也能設(shè)置,對(duì)環(huán)境保護(hù)與成本節(jié)省皆有幫助。上述帶TF.電的金屬層(23)選自于下列任一種,銅片、銀片、鉑片、金片;上述中,帶負(fù)電的金屬層(24)選自于下列任一種,鋅片、鐵片、錫片;前述金屬層(23、24)為天然的金屬,其本身帶有電性,故可做為吸引納米微粒雜質(zhì)的手段,因此只要控制水進(jìn)入的流速,便能達(dá)到完整的過(guò)濾效果,由于不需使用化學(xué)物質(zhì),遂對(duì)環(huán)境影響極小。上述吸附層(25、25')為負(fù)離子纖維,有如海棉般具有極細(xì)致的毛細(xì)孔,其制造與取得皆很方便,價(jià)格低廉,又方便更換與維修,并可重復(fù)使用,對(duì)制程的影響最小。前述吸附層(25、25')的厚度與水的噸位有關(guān),因此只要厚度適當(dāng)即可。上述吸附層(25、25')的厚度與過(guò)濾效果無(wú)關(guān),但與清節(jié)周期有關(guān),一般而言,厚度愈大,使用期間愈久,這與水清潔程度成反比;但當(dāng)水愈臟時(shí)更換期也愈快。其清除率公式如下總清除率=(1-k)n=(l-k)X(l-k)X(1-k)的n次方k=常數(shù)X(吸附層表面積)X(金屬層吸附層間微電壓)X(吸附層孔徑)+(水流速度)N:總層數(shù)一般吸附層孔徑的規(guī)格5微米(百萬(wàn)分之五公尺)1微米=0.1微米。上述帶正電的金屬層(23)及帶負(fù)電的金屬層(24)能由導(dǎo)線(未揭)電性連接至電源;使金屬的吸附力增加,并當(dāng)使用于導(dǎo)電性高的水時(shí),能避免被消耗,亦能增加過(guò)濾水的流速,提高過(guò)濾的速度。又上述為避免中空本體(l)外圍有靜電產(chǎn)生,在該中空本體(l)的外側(cè)表面結(jié)合防止靜電的絕緣膠膜(未揭),以達(dá)安全效果。如圖4所示為本實(shí)用新型的全剖面及實(shí)施示意圖。圖式中揭示出帶有納米微粒(4)的水(3)由過(guò)濾器(2)的入水口(22)進(jìn)水后,先進(jìn)入設(shè)于濾心架(20)內(nèi)的管狀濾心(21)內(nèi),當(dāng)水由內(nèi)至外流動(dòng)時(shí)會(huì)透過(guò)過(guò)濾層(211)向外滲出,其先經(jīng)過(guò)吸附層(25'),這時(shí)水(3)中帶正電的納米微粒(4)受到帶負(fù)電的金屬層(24)吸引,而滯留于吸附層(25')上,此時(shí)已完成第一次過(guò)濾;之后,由帶負(fù)電的金屬層(24)的孔流出至吸附層(25),這時(shí)水(3)中帶負(fù)電的納米微粒(4)受到帶正電的金屬層(23)吸引,而滯留于吸附層(25)上,此時(shí)已完成第二次過(guò)濾,之后的水由帶正電的金屬層(23)的孔流至本體(l)的容置空間中,最后經(jīng)由底端的排放口(io)排出。由以上的步驟,能有效的提高除去納米微粒(4)效率,免去混凝過(guò)程控制的問(wèn)題與高成本,更能避免發(fā)生混凝程序?qū)Νh(huán)境造成的破壞,避免造成污染產(chǎn)生。最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型而非限制本實(shí)用新型所描述的技術(shù)方案;因此,盡管本說(shuō)明書參照上述的各個(gè)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型已進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明,但是,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,仍然可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行修改或等同替換;而一切不脫離實(shí)用新型的精神和范圍的技術(shù)方案及其改進(jìn),其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。權(quán)利要求1.一種水凈化裝置,包括一中空本體(1),該中空本體(1)底部設(shè)有一排放口(10);及一設(shè)于前述中空本體(1)內(nèi)的過(guò)濾器(2),前述過(guò)濾器(2)由頂部設(shè)有一入水口(22)的濾心架(20)與設(shè)于前述濾心架(20)內(nèi)的管狀濾心(21)所組成;其特征在于該濾心(21)由至少一層以上的過(guò)濾層(211)所組成,前述的過(guò)濾層(211)由一多孔狀帶正電的金屬層(23)、一多孔狀帶負(fù)電的金屬層(24)、及各設(shè)于兩者相同一側(cè)面的吸附層(25、25’)相互交錯(cuò)所組成。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水凈化裝置,其特征在于該帶正電的金屬層(23)選自于下列任一種,銅片、銀片、鉑片、金片。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水凈化裝置,其特征在于該帶負(fù)電的金屬層(24)選自于下列任一種,鋅片、鐵片、錫片。4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的水凈化裝置,其特征在于該吸附層(25、25')為負(fù)離子纖維。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水凈化裝置,其特征在于該帶正電的金屬層(23)及帶負(fù)電的金屬層(24)能由導(dǎo)線電性連接至電源。6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的水凈化裝置,其特征在于該在中空本體(l)的外側(cè)表面設(shè)有結(jié)合防止靜電的絕緣膠膜。專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種水凈化裝置,包括一中空本體(1),該本體(1)底部設(shè)有一排放口(10);及一設(shè)于前述本體(1)內(nèi)的過(guò)濾器(2),前述過(guò)濾器(2)是由頂部設(shè)有一入水口(22)的濾心架(20)與設(shè)于前述濾心架(20)內(nèi)的管狀濾心(21)所組成;該濾心(21)是由至少一層以上的過(guò)濾層(211)所組成,前述的過(guò)濾層(211)由一多孔狀帶正電的金屬層(23)、一多孔狀帶負(fù)電的金屬層(24)、及各設(shè)于兩者相同一側(cè)面的吸附層(25、25’)相互交錯(cuò)所組成。能過(guò)濾水中納米級(jí)微粒的水凈化裝置。文檔編號(hào)B01D29/35GK201091805SQ20072017550公開(kāi)日2008年7月30日申請(qǐng)日期2007年8月30日優(yōu)先權(quán)日2007年8月30日發(fā)明者劉佳昌申請(qǐng)人:劉佳昌
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