本申請屬于真空互聯(lián)，具體涉及一種用于真空互聯(lián)系統(tǒng)的超高真空樣品托。

背景技術(shù)：

1、真空互聯(lián)是指多臺超高真空設(shè)備通過超高真空管道相連，樣品可以不暴露大氣直接通過超高真空管道從一臺設(shè)備轉(zhuǎn)移至另一臺設(shè)備。為方便將樣品傳送到真空互聯(lián)系統(tǒng)中不同的超高真空設(shè)備，當(dāng)樣品尺寸小于傳樣尺寸時，通常會將樣品固定于采購或定制的傳樣媒介之上。一般傳樣媒介有硅片、不銹鋼、鉬片等2英寸圓片。常用固定方式是用銅膠帶粘貼或通過點(diǎn)焊鉭片將樣品固定于傳樣媒介之上。

2、銅膠帶粘貼的固定方法是用雙面銅膠帶或單面銅膠帶直接將小樣品粘貼于傳樣媒介之上，操作方法簡單。但由于銅膠帶不耐高溫，因此該方法不兼容需要高溫加熱的工藝及測試。鉭片點(diǎn)焊的固定方法是通過點(diǎn)焊長條形鉭片兩端的方式將小樣品固定在不銹鋼或鉬片上，其能兼容高溫加熱的工藝或測試，但樣品固定時需要點(diǎn)焊機(jī)及昂貴的鉭片，提高了制樣成本，也增加了制樣操作的復(fù)雜性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請的目的在于提供一種用于真空互聯(lián)系統(tǒng)的超高真空樣品托，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的真空互聯(lián)系統(tǒng)的樣品固定方法中銅膠帶粘貼固定不兼容需要高溫加熱的工藝及測試，鉭片點(diǎn)焊固定提高了制樣成本，增加了制樣操作的復(fù)雜性的技術(shù)問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請采用的技術(shù)方案是：

3、提供一種用于真空互聯(lián)系統(tǒng)的超高真空樣品托，包括：

4、樣品托主體，包括用于承載樣品的載樣面；

5、至少兩個凸臺，呈環(huán)形分布布置在所述載樣面上，所述至少兩個凸臺之間圍設(shè)形成用于放置樣品的載樣空間；

6、彈性片，一端固定在所述凸臺上，另一端沿指向所述載樣空間的方向延伸設(shè)置，所述彈性片用于壓緊固定樣品。

7、在一個或多個實(shí)施方式中，所述凸臺為沿所述載樣空間外緣延伸設(shè)置的弧形凸臺，所述凸臺面向所述載樣空間一面兩端設(shè)有倒圓角。

8、在一個或多個實(shí)施方式中，每一所述凸臺上設(shè)有對稱設(shè)置的兩個螺孔，每一所述螺孔處通過螺栓安裝有一所述彈性片，每一所述彈性片沿所述載樣空間的徑向延伸設(shè)置。

9、在一個或多個實(shí)施方式中，包括均勻間隔呈環(huán)形布置的四個所述凸臺，每一所述凸臺上的兩個所述螺孔之間的間距為10mm，每一所述螺孔與所述凸臺端部之間的間距為2mm，每一所述凸臺的弧度為43°，所述凸臺在所述載樣空間的徑向上的延伸長度為3mm。

10、在一個或多個實(shí)施方式中，所述彈性片包括依次連接的固定段和作用段，所述固定段與所述凸臺表面貼合固定，所述作用段沿指向所述載樣空間方向朝所述載樣面延伸設(shè)置，且所述作用段與所述固定段之間形成鈍角。

11、在一個或多個實(shí)施方式中，在非載樣狀態(tài)下，所述作用段與所述固定段之間形成140°角，所述固定段的延伸長度為5mm，所述作用段的延伸長度為9mm，所述彈性片的寬度為4mm。

12、在一個或多個實(shí)施方式中，所述樣品托主體為圓形結(jié)構(gòu)，所述至少兩個凸臺呈環(huán)形分布布置在所述載樣面的外緣。

13、在一個或多個實(shí)施方式中，所述樣品托主體包括圍設(shè)在所述至少兩個凸臺外的外圍段，所述外圍段的厚度沿背離所述載樣空間的方向逐漸降低。

14、在一個或多個實(shí)施方式中，所述外圍段在所述樣品托主體徑向上的延伸長度為5mm，所述外圍段的厚度沿背離所述載樣空間的方向由1mm線性變化為0.5mm。

15、在一個或多個實(shí)施方式中，所述樣品托主體為鉬金屬樣品托主體或鉬合金樣品托主體，所述凸臺為鉬金屬凸臺或鉬合金凸臺，所述彈性片為鉭金屬彈性片。

16、區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)，本申請的有益效果是：

17、本申請的超高真空樣品托通過在樣品托主體上布置環(huán)形分布的凸臺，在凸臺上安裝彈性片，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的快速固定，有效降低了制樣操作的復(fù)雜性，并降低了成本；

18、本申請的超高真空樣品托可采用耐高溫材質(zhì)制備，能夠兼容高溫加熱的工藝或測試；

19、本申請的超高真空樣品托可在凸臺外部設(shè)置外圍段，外圍段的厚度可以沿背離載樣空間的方向逐漸減少，從而有效降低樣品托主體的外圈厚度，方便需要夾住樣品外圈進(jìn)行傳樣的超高真空設(shè)備的傳樣操作，增加了真空互聯(lián)系統(tǒng)中樣品傳輸?shù)募嫒菪浴?/p>

技術(shù)特征：

1.一種用于真空互聯(lián)系統(tǒng)的超高真空樣品托，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空樣品托，其特征在于，所述凸臺為沿所述載樣空間外緣延伸設(shè)置的弧形凸臺，所述凸臺面向所述載樣空間一面兩端設(shè)有倒圓角。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超高真空樣品托，其特征在于，每一所述凸臺上設(shè)有對稱設(shè)置的兩個螺孔，每一所述螺孔處通過螺栓安裝有一所述彈性片，每一所述彈性片沿所述載樣空間的徑向延伸設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超高真空樣品托，其特征在于，包括均勻間隔呈環(huán)形布置的四個所述凸臺，每一所述凸臺上的兩個所述螺孔之間的間距為10mm，每一所述螺孔與所述凸臺端部之間的間距為2mm，每一所述凸臺的弧度為43°，所述凸臺在所述載樣空間的徑向上的延伸長度為3mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空樣品托，其特征在于，所述彈性片包括依次連接的固定段和作用段，所述固定段與所述凸臺表面貼合固定，所述作用段沿指向所述載樣空間方向朝所述載樣面延伸設(shè)置，且所述作用段與所述固定段之間形成鈍角。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超高真空樣品托，其特征在于，在非載樣狀態(tài)下，所述作用段與所述固定段之間形成140°角，所述固定段的延伸長度為5mm，所述作用段的延伸長度為9mm，所述彈性片的寬度為4mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空樣品托，其特征在于，所述樣品托主體為圓形結(jié)構(gòu)，所述至少兩個凸臺呈環(huán)形分布布置在所述載樣面的外緣。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空樣品托，其特征在于，所述樣品托主體包括圍設(shè)在所述至少兩個凸臺外的外圍段，所述外圍段的厚度沿背離所述載樣空間的方向逐漸降低。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的超高真空樣品托，其特征在于，所述外圍段在所述樣品托主體徑向上的延伸長度為5mm，所述外圍段的厚度沿背離所述載樣空間的方向由1mm線性變化為0.5mm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任一所述的超高真空樣品托，其特征在于，所述樣品托主體為鉬金屬樣品托主體或鉬合金樣品托主體，所述凸臺為鉬金屬凸臺或鉬合金凸臺，所述彈性片為鉭金屬彈性片。

技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種用于真空互聯(lián)系統(tǒng)的超高真空樣品托，包括：樣品托主體，包括用于承載樣品的載樣面；至少兩個凸臺，呈環(huán)形分布布置在所述載樣面上，所述至少兩個凸臺之間圍設(shè)形成用于放置樣品的載樣空間；彈性片，一端固定在所述凸臺上，另一端沿指向所述載樣空間的方向延伸設(shè)置，所述彈性片用于壓緊固定樣品。本申請通過在樣品托主體上布置環(huán)形分布的凸臺，在凸臺上安裝彈性片，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的快速固定，有效降低了制樣操作的復(fù)雜性，并降低了成本；可采用耐高溫材質(zhì)制備，能夠兼容高溫加熱的工藝或測試；可在凸臺外部設(shè)置外圍段，外圍段的厚度可逐漸減少，有效降低外圈厚度，方便傳樣操作，增加兼容性。

技術(shù)研發(fā)人員：黃榮,劉通,李治云,胡楠,張珽
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
技術(shù)研發(fā)日：20240227
技術(shù)公布日：2024/10/21