一種氣體分子污染物熱處理單元的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及柔性顯示屏制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氣體分子污染物熱處理單
J L.ο
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)的低溫多晶娃(low temperature poly-silicon，簡稱:LTPS)制程中，為了保持潔凈房的高潔凈度，需使用氣體分子污染物熱處理單元(thermal AMCunit,簡稱:TAU)或者過濾器來除去生產(chǎn)中產(chǎn)生的氣體分子污染物(Airborne Molecularcontaminat1n,簡稱:AMC)，氣體分子污染物(AMC)包括無機(jī)的氣體污染物(如NH3、N0x、S0x等)以及有機(jī)的丙二醇甲醚(PGME)和丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)。氣體分子污染物熱處理單元(TAU) —般作用于化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposit1n,簡稱:CVD)、準(zhǔn)分子激光晶化(Excimer Laser Annealing,簡稱:ELA)和光致曝光(photo exposure)機(jī)區(qū)域，而曝光區(qū)域除了有氣體分子污染物(AMC)外，還有光刻膠和有機(jī)膠揮發(fā)出來的揮發(fā)物以及一些揮發(fā)性有機(jī)化合物(Volatile Organic Compounds，簡稱:V0C)。
[0003]如圖1、2所示，目前，氣體分子污染物熱處理單元(TAU)的主要部件是離子吸附板，吸附的無機(jī)酸堿污染物可以用水洗去掉，但是對有機(jī)物的過濾效率較低?，F(xiàn)有的氣體分子污染物熱處理單元(TAU)中，空氣從氣體分子污染物熱處理單元(TAU)的入口進(jìn)入，經(jīng)過離子吸附板1、栗和冷凍機(jī)2處理后，再通過蒸發(fā)器3蒸發(fā)，風(fēng)機(jī)組4把空氣吹到腔室，通過聚四氟乙稀(Polytetrafluoroethylene，簡稱:PTFE)過濾器5把空氣中顆粒去除掉，即可提供比之前較潔凈的空氣。但是潔凈房內(nèi)的揮發(fā)性有機(jī)化合物(Volatile OrganicCompounds，簡稱:V0C)之類的污染物沒辦法經(jīng)過離子吸附板大量去除。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種氣體分子污染物熱處理單元(TAU)，在TAU中加入沸石轉(zhuǎn)輪裝置，對含有揮發(fā)性有機(jī)化合物(V0C)的氣體進(jìn)行過濾，提高了 TAU過濾有機(jī)物的效率，提高曝光區(qū)域所需空氣的潔凈度。
[0005]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采取的技術(shù)方案為:
[0006]本發(fā)明提供一種氣體分子污染物熱處理單元，包括供空氣依次經(jīng)過的離子吸附板、栗和冷凍機(jī)、蒸發(fā)器、風(fēng)扇組和過濾器，還設(shè)有沸石轉(zhuǎn)輪裝置，所述沸石轉(zhuǎn)輪裝置包括沸石區(qū)、脫附區(qū)和冷卻區(qū)，沸石區(qū)用于供空氣通過進(jìn)入離子吸附板，脫附區(qū)用于將沸石區(qū)輸出的部分含有機(jī)物的空氣加熱后脫附，冷卻區(qū)用于冷卻部分加熱脫附的空氣。
[0007]進(jìn)一步地，所述沸石區(qū)的輸出口還與用于加熱沸石區(qū)輸出的部分含有機(jī)物的空氣的加熱器的輸入口連通，加熱器的輸出口連通脫附區(qū)的輸入口。
[0008]進(jìn)一步地，還設(shè)有催化氧化器，用于將沸石轉(zhuǎn)輪裝置脫附后輸出的廢氣通過化學(xué)變化生成無污染物質(zhì)排放。
[0009]進(jìn)一步地，在風(fēng)扇組抽取的空氣進(jìn)入所述沸石轉(zhuǎn)輪裝置之前，還經(jīng)過除塵器除塵和蒸發(fā)器除濕。
[0010]進(jìn)一步地，沸石轉(zhuǎn)輪裝置的轉(zhuǎn)速根據(jù)需要調(diào)節(jié)。
[0011]更進(jìn)一步地，沸石轉(zhuǎn)輪裝置的轉(zhuǎn)速設(shè)置為1-6轉(zhuǎn)每小時。
[0012]進(jìn)一步地，所述蒸發(fā)器為旋管蒸發(fā)器。
[0013]進(jìn)一步地，所述過濾器為聚四氟乙烯過濾器。
[0014]本發(fā)明的有益效果在于:氣體分子污染物熱處理單元(TAU)通過沸石轉(zhuǎn)輪裝置的沸石區(qū)供空氣依次進(jìn)入離子吸附板過濾無機(jī)污染物，通過沸石轉(zhuǎn)輪裝置的脫附區(qū)過濾有機(jī)污染物，因可對含有揮發(fā)性有機(jī)化合物(V0C)的氣體進(jìn)行過濾，提高了 TAU過濾有機(jī)物的效率，提高曝光區(qū)域所需空氣的潔凈度。
【附圖說明】
[0015]圖1為現(xiàn)有的氣體分子污染物熱處理單元(TAU)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為現(xiàn)有的氣體分子污染物熱處理單元(TAU)的實施示意圖；
[0017]圖3為本發(fā)明的氣體分子污染物熱處理單元(TAU)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4為本發(fā)明的氣體分子污染物熱處理單元(TAU)的實施示意圖；
[0019]圖5為本發(fā)明的氣體分子污染物熱處理單元(TAU)中的沸石轉(zhuǎn)輪裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖6為本發(fā)明的氣體分子污染物熱處理單元(TAU)中的沸石轉(zhuǎn)輪裝置的實施示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖具體闡明本發(fā)明的實施方式，附圖僅供參考和說明使用，不構(gòu)成對本發(fā)明專利保護(hù)范圍的限制。
[0022]如圖3-6所示，本實施例提供一種氣體分子污染物熱處理單元，包括供空氣依次經(jīng)過的離子吸附板1、栗和冷凍機(jī)2、蒸發(fā)器3、風(fēng)扇組4和過濾器5，還設(shè)有沸石轉(zhuǎn)輪裝置6，所述沸石轉(zhuǎn)輪裝置6包括沸石區(qū)61、脫附區(qū)62和冷卻區(qū)63，沸石區(qū)61用于供空氣通過依次進(jìn)入離子吸附板1、栗和冷凍機(jī)2、蒸發(fā)器3、風(fēng)扇組4和過濾器5，脫附區(qū)62用于將沸石區(qū)61輸出的部分含有機(jī)物的空氣加熱后脫附，冷卻區(qū)63用于冷卻部分加熱脫附的空氣。
[0023]在本實施例中，如圖3所示，所述沸石區(qū)61的輸出口還與用于加熱沸石區(qū)61輸出的部分含有機(jī)物的空氣的加熱器7的輸入口連通，加熱器7的輸出口連通脫附區(qū)62的輸入
□ ο
[0024]在本實施例中，還設(shè)有催化氧化器8，用于將沸石轉(zhuǎn)輪裝置6脫附后輸出的廢氣通過化學(xué)變化(如:通過燃燒等方式)生成無污染物質(zhì)氧化物排放到大氣中，生成的無污染物質(zhì)為C02和水蒸氣。
[0025]在本實施例中，在風(fēng)扇組10抽取的空氣進(jìn)入所述沸石轉(zhuǎn)輪裝置6之前，還經(jīng)過除塵器11除塵和蒸發(fā)器12除濕。
[0026]在本實施例中，沸石轉(zhuǎn)輪裝置6的轉(zhuǎn)速根據(jù)需要調(diào)節(jié)。較佳地，沸石轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)速設(shè)置為1-6轉(zhuǎn)每小時。
[0027]在本實施例中，所述蒸發(fā)器3、12為旋管(Coil)蒸發(fā)器。
[0028]本實施例中，所述過濾器5為聚四氟乙烯(PTFE)過濾器。
[0029]目前對有機(jī)物的過濾可采用活性炭和沸石轉(zhuǎn)輪兩種方法?；钚蕴窟^濾網(wǎng)采用通孔結(jié)構(gòu)的鋁蜂窩、塑料蜂窩、紙蜂窩為載體，由于空氣阻力小，能耗低，可在一定風(fēng)量下除臭、除異味，凈化環(huán)境，具有很好的凈化效果。但當(dāng)活性炭的吸附能力飽和的時候，就必須更換?；钚蕴康氖褂脡勖话銥?到6個月。沸石轉(zhuǎn)輪也可以有效地吸附有機(jī)物，并且將有機(jī)物脫附之后可以繼續(xù)使用。吸收的有機(jī)物可以送到催化氧化裝置中轉(zhuǎn)換成C02和水蒸氣排放到大氣中。因此，本發(fā)明在氣體分子污染物熱處理單元TAU中加入沸石轉(zhuǎn)輪裝置6來過濾有機(jī)物，可以提高氣體分子污染物熱處理單元TAU對有機(jī)物的過濾效率，且不需要頻繁更換部件。
[0030]本發(fā)明的氣體分子污染物熱處理單元TAU的工作過程為:
[0031]風(fēng)扇組10先將空氣抽入，經(jīng)過除塵器11除去粉塵后，旋管(Coil)蒸發(fā)器12去濕。如圖5、6所示，沸石轉(zhuǎn)輪裝置6上有三塊區(qū)域，一個是正常的沸石區(qū)61，一個是吸附了有機(jī)物的脫附區(qū)62，一個是脫附完后的冷卻區(qū)63。從正常沸石區(qū)61出來的氣體會依次經(jīng)過離子吸附板1、栗和冷凍機(jī)2、蒸發(fā)器3、風(fēng)扇組4和過濾器5，完成氣體分子污染物熱處理單元TAU部件處理的正常流程。正常沸石區(qū)61輸出的氣體中的部分含有機(jī)污染物的氣體會分流經(jīng)過加熱器7加熱后再到脫附區(qū)63，用于脫附有機(jī)污染物。低溫冷卻區(qū)63冷卻的氣流是脫附區(qū)62轉(zhuǎn)換過來的，因為之前有加熱的氣流通過，所以需要冷卻。冷卻氣體用風(fēng)扇組10抽取的空氣。從沸石轉(zhuǎn)輪裝置6脫附出來的廢氣經(jīng)過催化氧化器8 (焚燒爐)變化生成C02和H20排放到大氣中。
[0032]以上所揭露的僅為本發(fā)明的較佳實施例，不能以此來限定本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種氣體分子污染物熱處理單元，包括供空氣依次經(jīng)過的離子吸附板、栗和冷凍機(jī)、蒸發(fā)器、風(fēng)扇組和過濾器，其特征在于:還設(shè)有沸石轉(zhuǎn)輪裝置，所述沸石轉(zhuǎn)輪裝置包括沸石區(qū)、脫附區(qū)和冷卻區(qū)，沸石區(qū)用于供空氣通過進(jìn)入離子吸附板，脫附區(qū)用于將沸石區(qū)輸出的部分含有機(jī)物的空氣加熱后脫附，冷卻區(qū)用于冷卻部分加熱脫附的空氣。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體分子污染物熱處理單元，其特征在于: 所述沸石區(qū)的輸出口還與用于加熱沸石區(qū)輸出的部分含有機(jī)物的空氣的加熱器的輸入口連通，加熱器的輸出口連通脫附區(qū)的輸入口。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體分子污染物熱處理單元，其特征在于: 還設(shè)有催化氧化器，用于將沸石轉(zhuǎn)輪脫附后輸出的廢氣通過化學(xué)變化生成無污染物質(zhì)排放。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體分子污染物熱處理單元，其特征在于: 在風(fēng)扇組抽取的空氣進(jìn)入所述沸石轉(zhuǎn)輪裝置之前，還經(jīng)過除塵器除塵和蒸發(fā)器除濕。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體分子污染物熱處理單元，其特征在于: 沸石轉(zhuǎn)輪裝置的轉(zhuǎn)速根據(jù)需要調(diào)節(jié)。6.據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體分子污染物熱處理單元，其特征在于: 沸石轉(zhuǎn)輪裝置的轉(zhuǎn)速設(shè)置為1-6轉(zhuǎn)每小時。7.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的氣體分子污染物熱處理單元，其特征在于: 所述蒸發(fā)器為旋管蒸發(fā)器。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體分子污染物熱處理單元，其特征在于: 所述過濾器為聚四氟乙烯過濾器。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種氣體分子污染物熱處理單元，包括供空氣依次經(jīng)過的離子吸附板、泵和冷凍機(jī)、蒸發(fā)器、風(fēng)扇組和過濾器，其特征在于：還設(shè)有沸石轉(zhuǎn)輪裝置，所述沸石轉(zhuǎn)輪裝置包括沸石區(qū)、脫附區(qū)和冷卻區(qū)，沸石區(qū)用于供空氣通過進(jìn)入離子吸附板，脫附區(qū)用于將沸石區(qū)輸出的部分含有機(jī)物的空氣加熱后脫附，冷卻區(qū)用于冷卻部分加熱脫附的空氣。本發(fā)明提供的氣體分子污染物熱處理單元(TAU)通過沸石轉(zhuǎn)輪裝置的沸石區(qū)供空氣依次進(jìn)入離子吸附板過濾無機(jī)污染物，通過沸石轉(zhuǎn)輪裝置的脫附區(qū)過濾有機(jī)污染物，因可對含有揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)的氣體進(jìn)行過濾，提高了TAU過濾有機(jī)物的效率，提高曝光區(qū)域所需空氣的潔凈度。
【IPC分類】B01D53/86, B01D53/06
【公開號】CN105289203
【申請?zhí)枴緾N201510767610
【發(fā)明人】曾憲祥, 張純, 任思雨, 蘇君海, 李建華
【申請人】信利（惠州）智能顯示有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年11月10日