一種自動(dòng)精密涂布設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)精密涂布設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]由于鈣鈦礦薄膜制備對(duì)薄膜精度及均勻性提出了極高的要求，目前市場上的涂布設(shè)備較難滿足納米級(jí)精度要求，其中專利CN103496350A只是提供一種簡易涂布設(shè)備，未能從提高精密角度給予涂布機(jī)更好的解釋。專利CN102632019B只是通過檢測裝置來控制薄膜厚度，但未能保證薄膜的均勻性以及涂布定位的精度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述的技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)合理，精度高，涂布層厚度及均勻度得到很好控制的自動(dòng)精密涂布設(shè)備。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了以下的技術(shù)方案:
[0005]—種自動(dòng)精密涂布設(shè)備，包括固定工作臺(tái)、涂布頭、支撐架和伺服驅(qū)動(dòng)裝置，所述固定工作臺(tái)上表面還設(shè)有樣品臺(tái)，所述支撐架固定在固定工作臺(tái)的兩側(cè)，所述支撐架的上端設(shè)有導(dǎo)軌，多軸可移動(dòng)式的涂布頭安裝在導(dǎo)軌上，所述導(dǎo)軌上還設(shè)有用來檢測涂布頭位移量的納米光柵檢測儀，所述伺服驅(qū)動(dòng)裝置通過絲桿與涂布頭連接。
[0006]作為優(yōu)選方案:所述涂布頭包括流量閥、密封裝置和流量傳感器，所述流量閥安裝在溶液存儲(chǔ)裝置上，所述密封裝置安裝在涂布頭與溶液存儲(chǔ)裝置之間，所述流量傳感器安裝在涂布頭的出液端。
[0007]本實(shí)用新型通過絲桿與螺母無間隙連接，并通過減震器進(jìn)行減震從而提高涂布均勻性。所述涂布頭可在垂直和水平方向進(jìn)行移動(dòng)，并且包含涂布液流量檢測裝置進(jìn)行涂布液擠出流量控制。所述密封裝置可隔絕空氣與涂布液接觸，避免旋渦對(duì)涂布液影響。所述光柵檢測儀用于檢測涂布頭移動(dòng)量，所述伺服系統(tǒng)用于控制涂布頭移動(dòng)，通過光柵檢測儀反饋從而精確定位涂布頭位移量，本實(shí)用新型精密自動(dòng)涂布設(shè)備，結(jié)構(gòu)合理，操作靈活，并可精準(zhǔn)控制涂布薄膜的厚度并保證均勻性，從而能較好滿足鈣鈦礦太陽能電池薄膜制備的需求。
【附圖說明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做一個(gè)詳細(xì)的說明。
[0010]如圖1所示的一種自動(dòng)精密涂布設(shè)備，包括固定工作臺(tái)1、涂布頭3、支撐架7和伺服驅(qū)動(dòng)裝置，所述固定工作臺(tái)I上表面還設(shè)有樣品臺(tái)2，所述支撐架固定在固定工作臺(tái)I的兩側(cè)，所述支撐架7的上端設(shè)有導(dǎo)軌6，多軸可移動(dòng)式的涂布頭3安裝在導(dǎo)軌6上，所述導(dǎo)軌6上還設(shè)有用來檢測涂布頭3位移量的納米光柵檢測儀8，所述伺服驅(qū)動(dòng)裝置通過絲桿5與涂布頭3連接。
[0011]所述涂布頭3包括流量閥、密封裝置4和流量傳感器，所述流量閥安裝在溶液存儲(chǔ)裝置上，所述密封裝置4安裝在涂布頭3與溶液存儲(chǔ)裝置之間，所述流量傳感器安裝在涂布頭3的出液2而。
[0012]本實(shí)用新型絲桿與螺母之間采用無間隙接觸傳動(dòng)，并添加減震器(未在圖中標(biāo)出)，可降低震動(dòng)對(duì)涂布頭運(yùn)動(dòng)的影響，從而很好的保證涂布頭3的直線運(yùn)動(dòng)，并提高涂布頭的運(yùn)動(dòng)精度以及控制薄膜厚度。本實(shí)用新型通過納米光柵檢測儀8的納米光柵照射于導(dǎo)軌的刻度上，進(jìn)行涂布頭3的位移偏差檢測，存在偏差則進(jìn)行位移補(bǔ)償，否則結(jié)束動(dòng)作。從而保證涂布頭的位移精度。
[0013]本實(shí)用新型首先通過流量控制閥設(shè)定涂布頭出口處的合理流量值，然后進(jìn)行涂布液涂布，如果流量傳感器檢測到涂布液超出流量設(shè)定范圍則發(fā)出警報(bào)，并重新合理調(diào)節(jié)出口流量大小，如果出口流量大小始終處于合理的調(diào)節(jié)范圍內(nèi)則持續(xù)進(jìn)行涂布液涂布。所述涂布頭中密封裝置4通過隔絕空氣與涂布液的接觸，避免在涂布液中產(chǎn)生旋渦從而對(duì)涂布過程中造成的影響。
[0014]本實(shí)用新型主要應(yīng)用于小尺寸精密自動(dòng)涂布工藝領(lǐng)域，尤其是精密鈣鈦礦薄膜涂布，需要保證薄膜嚴(yán)格的精度及均勻性的要求。本實(shí)用新型具體實(shí)施例中涂布頭3可以通過伺服驅(qū)動(dòng)裝置同時(shí)在水平方向以及豎直方向進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，并且涂布過程中的速度對(duì)涂布厚度以及均勻性均具有較大影響，涂布速度過快導(dǎo)致涂布液斷流，涂布速度過慢導(dǎo)致涂布液粘度過高，均不利于有效控制薄膜厚度及得到高精密的薄膜均勻性，因此通過伺服驅(qū)動(dòng)裝置的精確控制并結(jié)合涂布頭的多軸運(yùn)動(dòng)，可以進(jìn)行多次重復(fù)性試驗(yàn)制備鈣鈦礦薄膜，并得到最優(yōu)的速度值，并最終能自動(dòng)且有效的保證涂布薄膜的厚度以及良好的均勻性和穩(wěn)定性。
[0015]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種自動(dòng)精密涂布設(shè)備，其特征在于:包括固定工作臺(tái)(I)、涂布頭(3)、支撐架(7)和伺服驅(qū)動(dòng)裝置，所述固定工作臺(tái)(I)上表面還設(shè)有樣品臺(tái)(2)，所述支撐架固定在固定工作臺(tái)(I)的兩側(cè)，所述支撐架(7)的上端設(shè)有導(dǎo)軌(6)，多軸可移動(dòng)式的涂布頭(3)安裝在導(dǎo)軌(6)上，所述導(dǎo)軌(6)上還設(shè)有用來檢測涂布頭(3)位移量的納米光柵檢測儀(8)，所述伺服驅(qū)動(dòng)裝置通過絲桿(5)與涂布頭(3)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種自動(dòng)精密涂布設(shè)備，其特征在于:所述涂布頭(3)包括流量閥、密封裝置(4)和流量傳感器，所述流量閥安裝在溶液存儲(chǔ)裝置上，所述密封裝置(4)安裝在涂布頭(3)與溶液存儲(chǔ)裝置之間，所述流量傳感器安裝在涂布頭(3)的出液端。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)精密涂布設(shè)備，包括固定工作臺(tái)、涂布頭、支撐架和伺服驅(qū)動(dòng)裝置，所述固定工作臺(tái)上表面還設(shè)有樣品臺(tái)，所述支撐架固定在固定工作臺(tái)的兩側(cè)，所述支撐架的上端設(shè)有導(dǎo)軌，多軸可移動(dòng)式的涂布頭安裝在導(dǎo)軌上，所述導(dǎo)軌上還設(shè)有用來檢測涂布頭位移量的納米光柵檢測儀，所述伺服驅(qū)動(dòng)裝置通過絲桿與涂布頭連接。本實(shí)用新型擠出式涂布機(jī)，成本低，結(jié)構(gòu)簡易合理，涂布膜層均勻一致，并且自動(dòng)涂布可以大大提高涂布效率。
【IPC分類】B05C11/10, B05C5/02
【公開號(hào)】CN205253475
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520954925
【發(fā)明人】童和強(qiáng)
【申請(qǐng)人】杭州眾能光電科技有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請(qǐng)日】2015年11月25日