本技術(shù)屬于微電子，尤其涉及一種微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、目前，微電子器件出廠檢驗中，對結(jié)構(gòu)尺寸及外觀的鏡檢是必不可少的一環(huán)，尤其對于已經(jīng)劃片裂片的器件而言，由于被測器件尺寸微小，數(shù)量巨大，逐只鏡檢需要耗費大量的人力和時間，并且檢測結(jié)果主觀性較強(qiáng)，漏檢錯檢時有發(fā)生，檢測效率和準(zhǔn)確性均有巨大提升空間。

2、常規(guī)尺寸器件的自動化檢測難度較低，而對于微納尺寸器件，存在無法手工上料，對位精度要求高，檢測區(qū)域小，成像難度大等問題，本實用新型提出一種微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，可以通過單臺設(shè)備一次性解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是提供一種微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)。

2、本實用新型的微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，是一臺能夠完成微納尺寸器件結(jié)構(gòu)尺寸及外觀自動化檢驗的檢測設(shè)備。所屬微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于：包含上料區(qū)、調(diào)整對位區(qū)、圖像采集區(qū)、圖像處理區(qū)、不良品吹料區(qū)、成品包裝區(qū)6個功能模塊，各模塊間采用傳送帶連接。所述上料區(qū)、調(diào)整對位區(qū)、圖像采集區(qū)、圖像處理區(qū)采用串聯(lián)模式，被測器件依次通過四個區(qū)域，所述不良品吹料區(qū)、成品包裝區(qū)采用并聯(lián)模式，被測器件根據(jù)圖像處理區(qū)判據(jù)進(jìn)入不良品吹料區(qū)或成品包裝區(qū)。

3、所述微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)是將一定數(shù)量被測器件放置在上料區(qū)振動盤上，器件振動區(qū)分正反并落入合適軌道并排序。被測器件傳遞至對位調(diào)整區(qū)，機(jī)械手和對位彈簧將被測器件居中固定于拍攝區(qū)域。圖像采集區(qū)的拍攝設(shè)備拍攝被測器件正面清晰圖像。被測器件正面清晰圖像傳輸至圖像處理區(qū)計算機(jī)，計算機(jī)啟動對比識別程序?qū)D像進(jìn)行判斷。圖像處理區(qū)輸出判據(jù)將被測器件傳遞至不良品吹料區(qū)、成品包裝區(qū)。不良品吹料區(qū)將不合格被測器件排出工位，吹料至廢料盒。成品包裝區(qū)將合格芯片裝管或編帶。

4、作為優(yōu)選方案，所述上料區(qū)振動盤包含振動盤本體、物料軌道和振動裝置，材料為塑料或金屬。所述物料軌道特征在于呈離心線狀，由多條軌道堆疊而成，多條軌道寬度自上至下依次減小，軌道數(shù)量大于兩條。

5、作為優(yōu)選方案，所述圖像采集區(qū)從上至下依次為工業(yè)相機(jī)、遠(yuǎn)心鏡頭、穹頂光源，穹頂光源中間開設(shè)觀察孔，被測器件放置于穹頂光源下方。所述穹頂光源頂部開設(shè)觀察孔，觀察孔居中，直徑3-10mm。

6、本實用新型的有益效果是，用振動盤上料代替人工上料，獨有的多尺寸溝道設(shè)計可適應(yīng)不同尺寸的被測器件。增加機(jī)械手與限位彈簧增加了對位精度與成像質(zhì)量。工業(yè)相機(jī)加遠(yuǎn)心鏡頭的組合代替金相顯微鏡，降低成本并減少因焦距不同帶來的成像精度下降。圖像識別區(qū)所包含圖像對比識別程序代替人為主觀判斷，增加測試結(jié)果可靠性。全程自動化傳遞無需人工參與，極大提升檢測效率和檢測質(zhì)量。

技術(shù)特征：

1.一種微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于：包含上料區(qū)、調(diào)整對位區(qū)、圖像采集區(qū)、圖像處理區(qū)、不良品吹料區(qū)、成品包裝區(qū)6個功能模塊，各模塊間采用傳送帶連接；所述上料區(qū)、調(diào)整對位區(qū)、圖像采集區(qū)、圖像處理區(qū)采用串聯(lián)模式，被測器件依次通過四個區(qū)域，所述不良品吹料區(qū)、成品包裝區(qū)采用并聯(lián)模式，被測器件根據(jù)圖像處理區(qū)判據(jù)進(jìn)入不良品吹料區(qū)或成品包裝區(qū)；所述上料區(qū)采用振動盤上料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述調(diào)整對位區(qū)包含軌道、機(jī)械手和對位彈簧。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述圖像采集區(qū)從上至下依次為工業(yè)相機(jī)、遠(yuǎn)心鏡頭、穹頂光源，穹頂光源中間開設(shè)觀察孔，被測器件放置于穹頂光源下方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述圖像處理區(qū)采用計算機(jī)處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述不良品吹料區(qū)包含氣管、噴嘴與廢料盒。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述成品包裝區(qū)包含裝管機(jī)構(gòu)或編帶機(jī)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述振動盤包含振動盤本體、物料軌道和振動裝置，所述振動盤材料為塑料或金屬。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述穹頂光源頂部開設(shè)觀察孔，觀察孔居中。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述計算機(jī)安裝有傳遞系統(tǒng)控制軟件和圖像對比識別程序。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述物料軌道呈離心線狀，由n條軌道堆疊而成，n條軌道寬度自上至下依次減小，其中n≥3。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種微納尺寸器件自動圖像檢測系統(tǒng)，所屬系統(tǒng)包括：上料區(qū)、調(diào)整對位區(qū)、圖像采集區(qū)、圖像處理區(qū)、不良品吹料區(qū)、成品包裝區(qū)，各模塊間采用傳送帶連接。所述系統(tǒng)可將微納尺寸器件通過上料區(qū)排序并通過調(diào)整對位區(qū)傳遞至圖像采集區(qū)，圖像采集區(qū)采集的圖形在圖像處理區(qū)完成圖像識別與比對判斷，并依據(jù)結(jié)果進(jìn)入不良品吹料區(qū)或成品包裝區(qū)。該系統(tǒng)可替代人工鏡檢完成微納尺寸器件的外觀檢驗，大大的提高了檢驗效率與檢驗準(zhǔn)確性。

技術(shù)研發(fā)人員：周浩楠,李宋,張亞婷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京智芯傳感科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240326
技術(shù)公布日：2024/10/21