閉環(huán)壓電薄膜泵及其流量控制方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種閉環(huán)壓電薄膜泵及其流量控制方法，閉環(huán)壓電薄膜泵包括壓電振子、流量傳感器、壓電泵基體、電路控制模塊以及控制流體運(yùn)動方向的進(jìn)液閥與出液閥，壓電泵基體設(shè)有管路以及形成于壓電泵基體內(nèi)的泵腔，所述壓電振子、進(jìn)液閥、出液閥均安裝于壓電泵基體上，流量傳感器和壓電泵基體集成為一整體結(jié)構(gòu)，微通道和出液閥之間設(shè)有流量濾波器，流量濾波器控制流體的壓力使流體勻速流入流量傳感器中。本發(fā)明閉環(huán)壓電薄膜泵體積小、驅(qū)動流體的精度高、可加工性好且一致性好。
【專利說明】閉環(huán)壓電薄膜泵及其流量控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及微量流體傳輸與控制領(lǐng)域中的一種微小精密壓電泵，尤其涉及一種閉環(huán)壓電薄膜泵及其流量控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]微泵是一種典型的微執(zhí)行器，它在微流量控制系統(tǒng)中起著微流量泵送過程的動力源的作用，在生物醫(yī)學(xué)、精細(xì)化工以及醫(yī)藥研究等領(lǐng)域有著廣泛需求。近年來，利用壓電元件(壓電片或壓電疊堆)作為換能器進(jìn)行流體傳輸?shù)膲弘姳?，具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、驅(qū)動力大、低泄漏、響應(yīng)時(shí)間短、耗能低、無噪聲、無電磁干擾等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛用于各種微小流體驅(qū)動領(lǐng)域。
[0003]壓電泵依靠壓電振子的變形和有閥泵的進(jìn)出口閥(或無閥泵的進(jìn)出口結(jié)構(gòu))協(xié)同工作，帶動泵腔容積變化實(shí)現(xiàn)流體輸送，因此在實(shí)際工作中流體粘度及泵體輸出端壓力變化等都會影響壓電膜的變形量，進(jìn)而影響泵輸出流量的準(zhǔn)確性。因此，在精密的微量流體傳輸與控制過程中，需要通過管路外加流量傳感器等檢測設(shè)備進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測，不僅增加了系統(tǒng)的體積和復(fù)雜程度，同時(shí)也極大地限制了壓電泵的應(yīng)用空間范圍。
[0004]為此中國專利201110181208.4通過將壓電振子分割成兩部分，小面積用于做成傳感器，大面積用于動力源驅(qū)動液體，實(shí)現(xiàn)流體驅(qū)動和檢測的同步。這種方法通過檢測壓電振子的變形間接獲取驅(qū)動流量的方法存在如下問題:其一，振子變形過程中閥的泄漏帶造成的流量變化無法被檢測，其二，壓電振子自身安裝應(yīng)力變形會造成檢測誤差。所以造成這種方法在檢測精度和實(shí)現(xiàn)上均不是理想。盡管在泵的輸出口串聯(lián)流量檢測傳感器存在諸多問題，但目前仍是應(yīng)用的主流。在此之前本人提出集成流量傳感器與壓電薄膜泵的方法(專利申請?zhí)?201210050805.8,201220072514.4)，由于壓電薄膜泵工作產(chǎn)生的脈動波沒有外部管路的濾波，盡管可以提高泵的精度，但實(shí)驗(yàn)證明存在如下問題:其一檢測控制算法實(shí)現(xiàn)難度大，其二，檢測精度受泵的工作狀態(tài)影響很大。
[0005]因此，針對上述技術(shù)問題，有必要提供一種閉環(huán)壓電薄膜泵及其流量控制方法，滿足對流體驅(qū)動的更高精度的應(yīng)用需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于此，本發(fā)明提出了一種閉環(huán)壓電薄膜泵及其流量控制方法，其閉環(huán)壓電薄膜泵無需額外添加流量檢測設(shè)備、驅(qū)動流體精度高、且體積小。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案如下:
[0008]一種閉環(huán)壓電薄膜泵，其包括壓電振子、流量傳感器、壓電泵基體、電路控制模塊以及控制流體運(yùn)動方向的進(jìn)液閥與出液閥，所述壓電泵基體設(shè)有管路以及形成于壓電泵基體內(nèi)的泵腔，所述壓電振子、進(jìn)液閥、出液閥均安裝于壓電泵基體上，所述流量傳感器和壓電泵基體集成為一整體結(jié)構(gòu)，所述流量傳感器設(shè)有一個(gè)用以接收流體的微通道及一個(gè)信號轉(zhuǎn)換模塊，所述微通道在出液閥開啟時(shí)與泵腔連通，所述流量傳感器檢測流體的體積并將檢測結(jié)果轉(zhuǎn)化成電信號后反饋給電路控制模塊，所述電路控制模塊根據(jù)反饋的流量信號和目標(biāo)流量信號比較后控制壓電振子的運(yùn)動變形量，所述微通道和出液閥之間設(shè)有流量濾波器，所述流量濾波器控制流體的壓力使流體勻速流入流量傳感器中。
[0009]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述流量濾波器包括若干吸波腔體及對應(yīng)設(shè)于吸波腔體上的吸波薄膜。
[0010]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述吸波腔體和吸波薄膜的數(shù)量設(shè)為兩個(gè)或兩個(gè)以上，所述不同吸波薄膜的厚度不同。
[0011]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述壓電振子由壓電陶瓷薄膜與金屬薄膜粘接復(fù)合而成。
[0012]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述進(jìn)液閥與出液閥由具有彈性的金屬或有機(jī)聚合物薄膜制成。
[0013]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述電路控制模塊包括驅(qū)動壓電振子運(yùn)動變形的驅(qū)動子模塊、比對流量體積的信號分析子模塊以及控制壓電振子運(yùn)動變形的控制子模塊，所述驅(qū)動子模塊與控制子模塊均與壓電振子連接，所述信號分析子模塊與信號轉(zhuǎn)換模塊連接。
[0014]相應(yīng)地，一種閉環(huán)壓電薄膜泵的流量控制方法，所述方法包括以下步驟:
[0015]S1、根據(jù)輸送流體的目標(biāo)流量信號，電路控制模塊發(fā)出驅(qū)動信號，驅(qū)使壓電振子產(chǎn)生運(yùn)動變形；
[0016]S2、當(dāng)壓電振子在電路控制模塊的控制下朝第一方向運(yùn)動時(shí)，泵腔體積變大，泵腔內(nèi)壓力小于外部壓力，形成負(fù)壓，在壓差作用下進(jìn)液閥被打開，出液閥被關(guān)閉，流體流入泵腔；
[0017]S3、當(dāng)壓電振子在電路控制模塊的控制下朝第二方向運(yùn)動時(shí)，泵腔體積變小，泵腔內(nèi)壓力大于外部壓力，形成正壓，在壓差作用下進(jìn)液閥被關(guān)閉，出液閥被打開，流體流出泵腔并進(jìn)入到流量濾波器中；
[0018]S4、流量濾波器控制流體的壓力使流體勻速流入流量傳感器的微通道中；
[0019]S5、流量傳感器檢測流體的體積并將檢測結(jié)果轉(zhuǎn)化成電信號后反饋給電路控制模塊；
[0020]S6、電路控制模塊根據(jù)反饋的流量信號和目標(biāo)流量體積信號比較后控制壓電振子的運(yùn)動變形量。
[0021]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述步驟S4包括:
[0022]S41、流體在脈沖波峰流入時(shí)，流量濾波器內(nèi)部管路存在流阻，使得管壁上存在流體壓力，流體壓力推動流量濾波器上吸波薄膜的向吸波腔體內(nèi)運(yùn)動，進(jìn)而增大流量濾波器內(nèi)部管路的體積，降低了管路中的壓力；
[0023]S42、流體在非脈沖波峰流入時(shí)，流量濾波器內(nèi)部管路中的壓力下降，吸波腔體上的吸波薄膜在彈性恢復(fù)力的作用下進(jìn)行復(fù)位，流量濾波器內(nèi)部管路的體積減小，進(jìn)而促使整個(gè)流量濾波器輸出壓力均勻的流體。
[0024]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述步驟S4還包括:吸波腔體上的吸波薄膜的厚度不同，響應(yīng)了不同頻率和/或壓力的脈沖波峰。
[0025]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0026]流量傳感器、流量濾波器和壓電泵基體集成為一整體結(jié)構(gòu)，減小了泵的體積且簡化了結(jié)構(gòu)；
[0027]流量濾波器能夠控制流體的能量，使流過管路中的流體趨于勻速，提高了驅(qū)動流體的精度；
[0028]閉環(huán)壓電薄膜泵可加工性好，可采用微加工工藝批量制造，且一致性好。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明中記載的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0030]圖1為本發(fā)明一實(shí)施方式中閉環(huán)壓電薄膜泵的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031 ] 為了使本【技術(shù)領(lǐng)域】的人員更好地理解本發(fā)明中的技術(shù)方案，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0032]壓電薄膜泵是一種振動能量轉(zhuǎn)換裝置，它將壓電薄膜激發(fā)的振動直接作用于流體，從而形成壓力或流量輸出。壓電薄膜泵的具體原理是依靠壓電振子的變形和有閥泵的進(jìn)出口閥(或無閥泵的進(jìn)出口結(jié)構(gòu))協(xié)同工作，帶動泵腔容積變化實(shí)現(xiàn)流體輸送。
[0033]壓電薄膜泵輸出端管路串聯(lián)流量傳感器的缺點(diǎn):其一，整體結(jié)構(gòu)搭建復(fù)雜，體積大，無法滿足小空間的應(yīng)用需求；其二，管路的尺寸和形狀直接影響檢測的穩(wěn)定性和一致性。
[0034]壓電振子上集成流量傳感器的缺點(diǎn):其一，閥泄漏造成的流量變化無法被檢測，影響檢測精度；其二，安裝過程中壓電振子的變形不可控，容易造成傳感器的檢測誤差。
[0035]在壓電振子后端集成流量傳感器的缺點(diǎn):其一，檢測控制算法實(shí)現(xiàn)難度大，其二，檢測精度受泵的工作狀態(tài)影響很大。
[0036]基于以上描述的現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本發(fā)明提出一種閉環(huán)壓電薄膜泵，其包括壓電振子、流量傳感器、壓電泵基體、電路控制模塊、進(jìn)液閥與出液閥、以及流量濾波器，整個(gè)閉環(huán)壓電薄膜泵體積小，驅(qū)動流體的精度高，可采用微加工工藝批量制造，且一致性好。
[0037]如圖1所示，在本發(fā)明一實(shí)施方式中的閉環(huán)壓電薄膜泵，其包括:
[0038]壓電泵基體10、壓電振子20、流量傳感器40、流量濾波器50、電路控制模塊(未圖示)以及控制流體運(yùn)動方向的進(jìn)液閥31與出液閥32，壓電泵基體設(shè)有管路12以及形成于壓電泵基體10內(nèi)的泵腔11，壓電振子20、進(jìn)液閥31、出液閥32均安裝于壓電泵基體10上。其中，壓電振子20由壓電陶瓷薄膜與金屬薄膜粘接復(fù)合而成，進(jìn)液閥31出液閥32由具有彈性的金屬或有機(jī)聚合物薄膜制成。
[0039]流量傳感器40、流量濾波器50和壓電泵基體10通過MEMS工藝集成為一整體結(jié)構(gòu)，流量傳感器40設(shè)有一個(gè)用以接收流體的微通道41及一個(gè)信號轉(zhuǎn)換模塊(未圖示)，微通道41在出液閥32開啟時(shí)與泵腔11連通，流量傳感器40檢測流體的體積并將檢測結(jié)果轉(zhuǎn)化成電信號后反饋給電路控制模塊，電路控制模塊根據(jù)反饋的流量信號和目標(biāo)流量信號比較后控制壓電振子的運(yùn)動變形量。
[0040]電路控制模塊包括驅(qū)動壓電振子20運(yùn)動變形的驅(qū)動子模塊、比對流量體積的信號分析子模塊以及控制壓電振子20運(yùn)動變形的控制子模塊，驅(qū)動子模塊與控制子模塊均與壓電振子20連接，信號分析子模塊與流量傳感器40中的信號轉(zhuǎn)換模塊連接。
[0041]微通道41和出液閥32之間設(shè)有流量濾波器50，流量濾波器50控制流體的壓力使流體勻速流入流量傳感器40中。
[0042]流量濾波器50包括若干吸波腔體51及對應(yīng)設(shè)于吸波腔體上的吸波薄膜52，在脈動流的作用下薄膜通過變形，減小脈動的能量，促使流過管路中的流體趨于勻速，然后流入流量傳感器。優(yōu)選地，吸波腔體51和吸波薄膜52的數(shù)量設(shè)為兩個(gè)或兩個(gè)以上，且不同吸波薄膜52的厚度不同，保證了對不同頻率和壓力的波峰響應(yīng)。
[0043]本發(fā)明中閉環(huán)壓電薄膜泵的流量控制方法，具體包括以下步驟:
[0044]S1、根據(jù)輸送流體的目標(biāo)流量信號，電路控制模塊發(fā)出驅(qū)動信號，驅(qū)使壓電振子產(chǎn)生運(yùn)動變形。
[0045]S2、當(dāng)壓電振子在電路控制模塊的控制下朝第一方向運(yùn)動時(shí)，泵腔體積變大，泵腔內(nèi)壓力小于外部壓力，形成負(fù)壓，在壓差作用下進(jìn)液閥被打開，出液閥被關(guān)閉，流體流入泵腔。
[0046]S3、當(dāng)壓電振子在電路控制模塊的控制下朝第二方向運(yùn)動時(shí)，泵腔體積變小，泵腔內(nèi)壓力大于外部壓力，形成正壓，在壓差作用下進(jìn)液閥被關(guān)閉，出液閥被打開，流體流出泵腔并進(jìn)入到流量濾波器中。
[0047]S4、流量濾波器控制流體的壓力使流體勻速流入流量傳感器的微通道中。
[0048]S5、流量傳感器檢測流體的體積并將檢測結(jié)果轉(zhuǎn)化成電信號后反饋給電路控制模塊。
[0049]S6、電路控制模塊根據(jù)反饋的流量信號和目標(biāo)流量體積信號比較后控制壓電振子的運(yùn)動變形量。
[0050]結(jié)合圖1所示，本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】中，閉環(huán)壓電薄膜泵的流量控制方法具體為:
[0051]根據(jù)輸送流體的目標(biāo)流量信號，電路控制模塊發(fā)出驅(qū)動信號，驅(qū)使壓電振子20產(chǎn)生運(yùn)動變形。當(dāng)壓電振子20在電路控制模塊的控制下向上運(yùn)動至位置20’時(shí)，泵腔11體積變大，泵腔11內(nèi)壓力小于外部壓力，形成負(fù)壓，在壓差作用下進(jìn)液閥31被打開，出液閥32被關(guān)閉，流體流入泵腔11 ;當(dāng)壓電振子20在電路控制模塊的控制下向下運(yùn)動至位置20”時(shí)，泵腔11體積變小，泵腔11內(nèi)壓力大于外部壓力，形成正壓，在壓差作用下進(jìn)液閥31被關(guān)閉，出液閥32被打開，流體流出泵腔11并進(jìn)入到流量濾波器50中。
[0052]流量濾波器50控制流體的壓力使流體勻速流入流量傳感器40的微通道41中。脈動流峰值流入時(shí)，由于流量濾波器50微小管路存在流阻，使得管壁上存在壓力，流體壓力推動流量濾波器50上吸波薄膜52的向外運(yùn)動，進(jìn)而減小吸波腔體51的體積(即增大了流量濾波器內(nèi)部管路的體積)，降低了流量濾波器管路中的壓力；而在非脈沖波期間，由于流量濾波器管路中的壓力下降，吸波腔體51中吸波薄膜52在彈性恢復(fù)力的作用下進(jìn)行復(fù)位，流量濾波器內(nèi)部管路的體積減小，進(jìn)而促使整個(gè)流量濾波器輸出壓力均勻的流體。
[0053]本實(shí)施方式中，由于流量濾波器50是由2個(gè)或2個(gè)以上的吸波腔體和吸波薄膜組成，每個(gè)吸波腔體中吸波薄膜的厚度不同，保證了對脈動流不同頻率和壓力的波峰響應(yīng)。
[0054]流量傳感器40檢測流體的體積并將檢測結(jié)果轉(zhuǎn)化成電信號后反饋給電路控制模塊；電路控制模塊根據(jù)反饋的流量信號和目標(biāo)流量體積信號比較后控制壓電振子20的運(yùn)動變形量。
[0055]上述控制方法實(shí)施簡單，利用了閉環(huán)壓電薄膜泵的閉環(huán)控制優(yōu)點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)微量液體的泵送和檢測，整套壓電薄膜泵體積小，控制流體的體積精度高。
[0056]由以上技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明具有以下有益效果:
[0057]流量傳感器、流量濾波器和壓電泵基體集成為一整體結(jié)構(gòu)，減小了泵的體積且簡化了結(jié)構(gòu)；
[0058]流量濾波器能夠控制流體的能量，使流過管路中的流體趨于勻速，提高了驅(qū)動流體的精度；
[0059]閉環(huán)壓電薄膜泵可加工性好，可采用微加工工藝批量制造，且一致性好。
[0060]對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
[0061]此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
【權(quán)利要求】
1.一種閉環(huán)壓電薄膜泵，其包括壓電振子、流量傳感器、壓電泵基體、電路控制模塊以及控制流體運(yùn)動方向的進(jìn)液閥與出液閥，所述壓電泵基體設(shè)有管路以及形成于壓電泵基體內(nèi)的泵腔，所述壓電振子、進(jìn)液閥、出液閥均安裝于壓電泵基體上，所述流量傳感器和壓電泵基體集成為一整體結(jié)構(gòu)，所述流量傳感器設(shè)有一個(gè)用以接收流體的微通道及一個(gè)信號轉(zhuǎn)換模塊，所述微通道在出液閥開啟時(shí)與泵腔連通，所述流量傳感器檢測流體的體積并將檢測結(jié)果轉(zhuǎn)化成電信號后反饋給電路控制模塊，所述電路控制模塊根據(jù)反饋的流量信號和目標(biāo)流量信號比較后控制壓電振子的運(yùn)動變形量，其特征在于，所述微通道和出液閥之間設(shè)有流量濾波器，所述流量濾波器控制流體的壓力使流體勻速流入流量傳感器中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閉環(huán)壓電薄膜泵，其特征在于，所述流量濾波器包括若干吸波腔體及對應(yīng)設(shè)于吸波腔體上的吸波薄膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的閉環(huán)壓電薄膜泵，其特征在于，所述吸波腔體和吸波薄膜的數(shù)量設(shè)為兩個(gè)或兩個(gè)以上，所述不同吸波薄膜的厚度不同。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閉環(huán)壓電薄膜泵，其特征在于，所述壓電振子由壓電陶瓷薄膜與金屬薄膜粘接復(fù)合而成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閉環(huán)壓電薄膜泵，其特征在于，所述進(jìn)液閥與出液閥由具有彈性的金屬或有機(jī)聚合物薄膜制成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閉環(huán)壓電薄膜泵， 其特征在于，所述電路控制模塊包括驅(qū)動壓電振子運(yùn)動變形的驅(qū)動子模塊、比對流量體積的信號分析子模塊以及控制壓電振子運(yùn)動變形的控制子模塊，所述驅(qū)動子模塊與控制子模塊均與壓電振子連接，所述信號分析子模塊與信號轉(zhuǎn)換模塊連接。
7.—種閉環(huán)壓電薄膜泵的流量控制方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟: S1、根據(jù)輸送流體的目標(biāo)流量信號，電路控制模塊發(fā)出驅(qū)動信號，驅(qū)使壓電振子產(chǎn)生運(yùn)動變形； S2、當(dāng)壓電振子在電路控制模塊的控制下朝第一方向運(yùn)動時(shí)，泵腔體積變大，泵腔內(nèi)壓力小于外部壓力，形成負(fù)壓，在壓差作用下進(jìn)液閥被打開，出液閥被關(guān)閉，流體流入泵腔； S3、當(dāng)壓電振子在電路控制模塊的控制下朝第二方向運(yùn)動時(shí)，泵腔體積變小，泵腔內(nèi)壓力大于外部壓力，形成正壓，在壓差作用下進(jìn)液閥被關(guān)閉，出液閥被打開，流體流出泵腔并進(jìn)入到流量濾波器中； S4、流量濾波器控制流體的壓力使流體勻速流入流量傳感器的微通道中； S5、流量傳感器檢測流體的體積并將檢測結(jié)果轉(zhuǎn)化成電信號后反饋給電路控制模塊； S6、電路控制模塊根據(jù)反饋的流量信號和目標(biāo)流量體積信號比較后控制壓電振子的運(yùn)動變形量。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的流量控制方法，其特征在于，所述步驟S4包括: S41、流體在脈沖波峰流入時(shí)，流量濾波器內(nèi)部管路存在流阻，使得管壁上存在流體壓力，流體壓力推動流量濾波器上吸波薄膜的向吸波腔體內(nèi)運(yùn)動，進(jìn)而增大流量濾波器內(nèi)部管路的體積，降低了管路中的壓力； S42、流體在非脈沖波峰流入時(shí)，流量濾波器內(nèi)部管路中的壓力下降，吸波腔體上的吸波薄膜在彈性恢復(fù)力的作用下進(jìn)行復(fù)位，流量濾波器內(nèi)部管路的體積減小，進(jìn)而促使整個(gè)流量濾波器輸出壓力均勻的流體。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的流量控制方法，其特征在于，所述步驟S4還包括:吸波腔體上的吸波薄膜的厚度不 同，響應(yīng)了不同頻率和/或壓力的脈沖波峰。
【文檔編號】F04B49/06GK103557143SQ201310560145
【公開日】2014年2月5日 申請日期:2013年11月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月12日
【發(fā)明者】潘明強(qiáng), 陳立國, 賀文元, 孫立寧, 王陽俊, 劉吉柱, 陳濤 申請人:蘇州大學(xué)