本技術(shù)實施例涉及晶圓甩干機，特別涉及一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的電子元器件產(chǎn)品。而隨著半導體晶圓上集成電路尺寸向微米級發(fā)展，對半導體晶圓制作過程中的清洗要求也越來越高，尤其是半導體晶圓在制作過程中如遭到塵粒、金屬的污染，很容易造成晶片內(nèi)電路功能的損壞，形成短路或斷路等，從而導致集成電路的失效以及影響幾何特征的形成。因此在制作過程中除了要排除外界的污染源外，還需要進行清洗工作，以在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下，有效地使用化學溶液或氣體清除殘留在晶圓上的微塵、金屬離子及有機物等雜質(zhì)。

2、濕法清洗工藝是晶圓較為常用的清洗工藝，該清洗工藝完成后需要對晶圓進行干燥，晶圓甩干機用于將潮濕的晶圓通過旋轉(zhuǎn)及干燥使晶圓表面干燥。晶圓甩干機通常包括外筒、驅(qū)動電機、連接盤和片盒架，連接盤位于外筒內(nèi)，驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)軸伸入外筒內(nèi)并連接旋轉(zhuǎn)件，片盒架安裝在旋轉(zhuǎn)件上，通過驅(qū)動電機來帶動位于外筒內(nèi)的片盒架高速旋轉(zhuǎn)，以對片盒架上的晶圓進行甩干?，F(xiàn)有的晶圓甩干機的旋轉(zhuǎn)件大多是直接驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)軸連接，轉(zhuǎn)軸在與旋轉(zhuǎn)件安裝時會存在同心度的裝配誤差，進而造成晶圓甩干機的震動較大。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為解決相關(guān)技術(shù)問題，本實用新型提供一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)，以解決驅(qū)動電機與旋轉(zhuǎn)盤連接存在同心度偏差的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型實施例采用如下技術(shù)方案：

3、一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述用于晶圓甩干機的轉(zhuǎn)軸連接結(jié)構(gòu)包括主軸、連接盤和鎖緊螺母，其中：

4、所述連接盤包括內(nèi)孔，所述內(nèi)孔的第一側(cè)靠近所述主軸設(shè)置，所述內(nèi)孔的第一側(cè)設(shè)置第一錐形孔；

5、所述主軸的第一端防轉(zhuǎn)連接在電機的轉(zhuǎn)軸，所述主軸的第二端設(shè)置有與所述第一錐形孔配合的第一錐形頭，所述第一錐形頭的端面開設(shè)有鎖緊螺紋孔；

6、所述主軸的第一錐形頭伸入所述第一錐形孔后，所述鎖緊螺母穿入所述內(nèi)孔并鎖緊在所述鎖緊螺紋孔內(nèi)。

7、所述內(nèi)孔的第二側(cè)設(shè)置有第二錐形孔，所述鎖緊螺母的第一端設(shè)置有與所述第二錐形孔配合的第二錐形頭，所述第二錐形頭上設(shè)置有與所述鎖緊螺紋孔配合的螺紋，所述第二錐形頭伸入所述第二錐形孔后與所述鎖緊螺紋孔螺紋連接，所述第一錐形孔和所述第二錐形孔同軸設(shè)置。

8、所述用于晶圓甩干機的轉(zhuǎn)軸連接結(jié)構(gòu)還包括氮氣密封件，所述氮氣密封件安裝在所述主軸的外圍，所述氮氣密封件被配置為將所述轉(zhuǎn)軸與晶圓甩干機的外筒相接處密封。

9、所述鎖緊螺母的第二端開設(shè)有槽體，以便于所述鎖緊螺母的安裝。

10、所述第一錐形孔的第一端設(shè)置有第一限位板，所述第一限位板呈環(huán)狀設(shè)置在所述第一錐形孔的第一端。

11、所述第二錐形孔上設(shè)置有第二限位板，所述第二限位板呈環(huán)狀設(shè)置在所述第二錐形孔的第一端。

12、本實用新型的有益效果為，與現(xiàn)有技術(shù)相比本實用新型提供的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)具有以下有益效果：

13、1.通過第一錐形頭和第一錐形孔，保證了主軸與第一錐形孔的同軸度，通過鎖緊螺母和第二錐形孔保證了鎖緊螺母與第二錐形孔的同軸度，通過第一錐形頭和鎖緊螺母螺紋連接，確保了第一錐形頭和鎖緊螺母的同軸度，進而使得主軸、連接盤和鎖緊螺母處于同一軸線上，具有保證主軸、連接盤和鎖緊螺母同心度的效果；

14、2.通過在第一錐形頭上開設(shè)螺紋孔以連接鎖緊螺母，結(jié)構(gòu)簡單，且能保證第一錐形頭和鎖緊螺母的同軸度，具有便于使用的效果；

15、3.通過第一限位板和第二限位板的設(shè)置，使得鎖緊螺母和主軸在工作時，連接更穩(wěn)定，具有提高運行穩(wěn)定性的效果。

技術(shù)特征：

1.一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述用于晶圓甩干機的轉(zhuǎn)軸連接結(jié)構(gòu)包括主軸、連接盤和鎖緊螺母，其中：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述內(nèi)孔的第二側(cè)設(shè)置有第二錐形孔，所述鎖緊螺母的第一端設(shè)置有與所述第二錐形孔配合的第二錐形頭，所述第二錐形頭上設(shè)置有與所述鎖緊螺紋孔配合的螺紋，所述第二錐形頭伸入所述第二錐形孔后與所述鎖緊螺紋孔螺紋連接，所述第一錐形孔和所述第二錐形孔同軸設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述用于晶圓甩干機的轉(zhuǎn)軸連接結(jié)構(gòu)還包括氮氣密封件，所述氮氣密封件安裝在所述主軸的外圍，所述氮氣密封件被配置為將所述轉(zhuǎn)軸與晶圓甩干機的外筒相接處密封。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述鎖緊螺母的第二端開設(shè)有槽體，以便于所述鎖緊螺母的安裝。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一錐形孔的第一端設(shè)置有第一限位板，所述第一限位板呈環(huán)狀設(shè)置在所述第一錐形孔的第一端。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二錐形孔上設(shè)置有第二限位板，所述第二限位板呈環(huán)狀設(shè)置在所述第二錐形孔的第一端。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開一種用于晶圓甩干機的主軸連接結(jié)構(gòu)，其包括主軸、連接盤和鎖緊螺母，連接盤包括內(nèi)孔，內(nèi)孔的第一側(cè)靠近主軸設(shè)置，內(nèi)孔的第一側(cè)設(shè)置第一錐形孔；主軸的第一端防轉(zhuǎn)連接在電機的轉(zhuǎn)軸，主軸的第二端設(shè)置有與第一錐形孔配合的第一錐形頭，第一錐形頭的端面開設(shè)有鎖緊螺紋孔；主軸的第一錐形頭伸入第一錐形孔后，鎖緊螺母穿入內(nèi)孔并鎖緊在鎖緊螺紋孔內(nèi)。上述主軸連接結(jié)構(gòu)通過第一錐形頭和第一錐形孔，保證了主軸與連接盤的同軸度，通過鎖緊螺母和第二錐形孔保證了鎖緊螺母與連接盤的同軸度，通過第一錐形頭和鎖緊螺母螺紋連接，確保了第一錐形頭和鎖緊螺母的同軸度，進而保證了主軸、連接盤和鎖緊螺母的同心度。

技術(shù)研發(fā)人員：歐陽小泉
受保護的技術(shù)使用者：泉芯半導體科技（無錫）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231229
技術(shù)公布日：2024/10/21