本發(fā)明涉及氣體供應(yīng)，特別涉及一種氣體供應(yīng)系統(tǒng)及氣體供應(yīng)方法。

背景技術(shù)：

1、氣體供應(yīng)是指將氣體從儲(chǔ)罐、氣瓶或管道中輸送到需要使用氣體的設(shè)備中。氣體供應(yīng)通常會(huì)涉及到氣體儲(chǔ)存設(shè)備、輸送管道、壓縮機(jī)、過濾器、調(diào)壓器、流量計(jì)、閥門等組件，以確保氣體能夠安全、有效地輸送到目標(biāo)位置。氣體供應(yīng)系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、實(shí)驗(yàn)室研究、醫(yī)療保健、食品加工等領(lǐng)域。

2、對(duì)于氣體供應(yīng)來說，保證供應(yīng)的氣體的壓力值是很重要的。但是在現(xiàn)有的氣體供應(yīng)系統(tǒng)中，特別是采用液體/固體生成并供應(yīng)氣體的設(shè)備中，通常很難保證輸出氣體的壓力值在所需范圍內(nèi)。

3、因此，亟需一種新的氣體供應(yīng)系統(tǒng)及氣體供應(yīng)方法，能夠克服上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種氣體供應(yīng)系統(tǒng)及氣體供應(yīng)方法，特別是一種控制槽罐車氨氣輸出壓力的方法，從而保證供應(yīng)氣體的輸出壓力值穩(wěn)定在所需范圍內(nèi)。

2、根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種氣體供應(yīng)系統(tǒng)，包括：

3、罐體，所述罐體中儲(chǔ)存有待供應(yīng)氣體；

4、供氣口，所述供氣口與所述罐體相連通，以向外界供應(yīng)所述待供應(yīng)氣體；

5、第一管道，所述第一管道的第一端與所述罐體相連通，所述第一管道的第二端與所述供氣口相連通；

6、減壓器，所述減壓器設(shè)置在所述第一管道上，并位于所述第一管道的第一端和所述供氣口之間；

7、第二管道，所述第二管道的第一端與所述罐體相連通，所述第二管道的第二端與所述供氣口相連通；

8、加熱單元，所述加熱單元位于所述罐體上，以對(duì)所述罐體的內(nèi)部進(jìn)行加熱；以及

9、檢測(cè)單元，所述檢測(cè)單元檢測(cè)所述第一管道的第一端與所述減壓器之間的第一管道中的待供應(yīng)氣體的壓力值，

10、其中，在所述壓力值處于第一壓力區(qū)間時(shí)，所述待供應(yīng)氣體經(jīng)由所述減壓器減壓后從所述供氣口輸出；

11、在所述壓力值處于第二壓力區(qū)間時(shí)，所述待供應(yīng)氣體經(jīng)由所述第二管道從所述供氣口輸出；

12、在所述壓力值處于第三壓力區(qū)間時(shí)，所述待供應(yīng)氣體經(jīng)由所述第二管道從所述供氣口輸出，并開啟所述加熱單元以對(duì)所述罐體的內(nèi)部進(jìn)行加熱；

13、所述第一壓力區(qū)間中的壓力值大于所述第二壓力區(qū)間中的壓力值；所述第二壓力區(qū)間中的壓力值大于所述第三壓力區(qū)間中的壓力值。

14、可選地，所述第二管道的第一端與所述第一管道相連通，且連通的位置位于所述第一管道的第一端與所述減壓器之間的第一管道上；

15、所述第二管道的第二端與所述第一管道相連通，且連通的位置位于所述減壓器和所述供氣口之間的第一管道上；

16、所述第二管道上設(shè)置有第二閥門。

17、可選地，所述檢測(cè)單元經(jīng)由執(zhí)行機(jī)構(gòu)與所述第二閥門相連接；

18、在所述壓力值處于第一壓力區(qū)間時(shí)，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)關(guān)閉所述第二閥門；

19、在所述壓力值處于第二壓力區(qū)間時(shí)，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)開啟所述第二閥門；

20、在所述壓力值處于第三壓力區(qū)間時(shí)，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)開啟所述第二閥門。

21、可選地，所述氣體供應(yīng)系統(tǒng)還包括：

22、熱源；

23、進(jìn)液管道，所述進(jìn)液管道分別與所述熱源和所述加熱單元相連通，所述進(jìn)液管道上還設(shè)置有進(jìn)液閥；

24、回液管道，所述回液管道分別與所述熱源和所述加熱單元相連通，所述回液管道上還設(shè)置有回液閥；

25、循環(huán)泵，所述循環(huán)泵設(shè)置在所述進(jìn)液管道和/或所述回液管道上，

26、其中，所述檢測(cè)單元經(jīng)由執(zhí)行機(jī)構(gòu)分別與所述進(jìn)液閥、所述回液閥和所述循環(huán)泵相連接；

27、在所述壓力值處于第三壓力區(qū)間時(shí)，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)開啟所述進(jìn)液閥、所述回液閥和所述循環(huán)泵；在所述循環(huán)泵的驅(qū)動(dòng)下，所述熱源將加熱后的液體經(jīng)由所述進(jìn)液管道輸送至所述加熱單元，降溫后的液體經(jīng)由所述回液管道輸送回所述熱源以進(jìn)行再次加熱。

28、可選地，所述罐體中放置有固態(tài)物料和/或液態(tài)物料；

29、所述固態(tài)物料升華后得到所述待供應(yīng)氣體；所述液態(tài)物料蒸發(fā)后得到所述待供應(yīng)氣體。

30、可選地，所述罐體包括槽罐車的罐，所述槽罐車的罐中放置有液氨。

31、根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種氣體供應(yīng)方法，包括：

32、獲取第一管道的第一端與減壓器之間的第一管道中的待供應(yīng)氣體的壓力值；

33、在所述壓力值處于第一壓力區(qū)間時(shí)，所述待供應(yīng)氣體經(jīng)由所述減壓器減壓后從供氣口輸出；

34、在所述壓力值處于第二壓力區(qū)間時(shí)，所述待供應(yīng)氣體經(jīng)由第二管道從所述供氣口輸出；

35、在所述壓力值處于第三壓力區(qū)間時(shí)，所述待供應(yīng)氣體經(jīng)由第二管道從所述供氣口輸出，并開啟加熱單元以對(duì)罐體的內(nèi)部進(jìn)行加熱，

36、其中，所述罐體中儲(chǔ)存有待供應(yīng)氣體；

37、所述第一管道的第一端與所述罐體相連通，所述第一管道的第二端與所述供氣口相連通；

38、所述減壓器設(shè)置在所述第一管道上，并位于所述第一管道的第一端和所述供氣口之間；

39、所述第二管道的第一端與所述罐體相連通，所述第二管道的第二端與所述供氣口相連通；

40、所述第一壓力區(qū)間中的壓力值大于所述第二壓力區(qū)間中的壓力值；所述第二壓力區(qū)間中的壓力值大于所述第三壓力區(qū)間中的壓力值。

41、可選地，所述第一壓力區(qū)間為壓力值大于或等于9bar；

42、所述第二壓力區(qū)間為壓力值為小于9bar且大于或等于7bar；

43、所述第三壓力區(qū)間為壓力值小于7bar。

44、可選地，在所述壓力值處于第三壓力區(qū)間時(shí)，開啟所述加熱單元以對(duì)所述罐體的內(nèi)部進(jìn)行加熱，直至所述壓力值處于所述第二壓力區(qū)間后，停止對(duì)所述罐體的內(nèi)部的加熱。

45、可選地，所述開啟加熱單元以對(duì)罐體的內(nèi)部進(jìn)行加熱包括：

46、向所述加熱單元提供加熱液體，以向所述罐體的內(nèi)部加熱，

47、其中，所述加熱液體的溫度介于50至70攝氏度之間。

48、本發(fā)明提供的氣體供應(yīng)系統(tǒng)及氣體供應(yīng)方法，設(shè)置有不同的輸出管道，在壓力值處于不同壓力區(qū)間時(shí)，采用不同的氣體供應(yīng)方案，能夠保證供應(yīng)氣體的輸出壓力值穩(wěn)定在所需范圍內(nèi)。

49、進(jìn)一步地，通過第一管道和第二管道的連接以及第二閥門的控制，實(shí)現(xiàn)不同氣體供應(yīng)方案的切換，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且控制方便。

50、進(jìn)一步地，根據(jù)檢測(cè)單元的壓力檢測(cè)結(jié)果，自動(dòng)實(shí)現(xiàn)氣體供應(yīng)方案的切換，自動(dòng)化程度高，控制效果好。

51、進(jìn)一步地，根據(jù)壓力檢測(cè)結(jié)果，開啟/關(guān)閉加熱，能夠適應(yīng)用氣量的波動(dòng)，并能夠維持罐體內(nèi)壓力的穩(wěn)定，防止罐體內(nèi)壓力過高。

52、進(jìn)一步地，通過加熱液體進(jìn)行加熱，且加熱液體的溫度介于50至70攝氏度之間，在保證加熱效果的同時(shí)，還不會(huì)使罐體內(nèi)壓力過大。

技術(shù)特征：

1.一種氣體供應(yīng)系統(tǒng)，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其中，所述第二管道上設(shè)置有第二閥門。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其中，所述檢測(cè)單元經(jīng)由執(zhí)行機(jī)構(gòu)與所述第二閥門相連接；

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其中，所述氣體供應(yīng)系統(tǒng)還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其中，所述罐體中放置有固態(tài)物料和/或液態(tài)物料；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，其中，所述罐體包括槽罐車的罐，所述槽罐車的罐中放置有液氨。

7.一種氣體供應(yīng)方法，包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體供應(yīng)方法，其中，所述第一壓力區(qū)間為壓力值大于或等于9bar；

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體供應(yīng)方法，其中，在所述壓力值處于第三壓力區(qū)間時(shí)，開啟所述加熱單元以對(duì)所述罐體的內(nèi)部進(jìn)行加熱，直至所述壓力值處于所述第二壓力區(qū)間后，停止對(duì)所述罐體的內(nèi)部的加熱。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體供應(yīng)方法，其中，所述開啟加熱單元以對(duì)罐體的內(nèi)部進(jìn)行加熱包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種氣體供應(yīng)系統(tǒng)及氣體供應(yīng)方法。根據(jù)本公開的氣體供應(yīng)系統(tǒng)包括罐體，罐體中儲(chǔ)存有待供應(yīng)氣體；供氣口與罐體相連通，以向外界供應(yīng)待供應(yīng)氣體；第一管道的第一端與所體相連通，第一管道的第二端與供氣口相連通；減壓器設(shè)置在第一管道上，并位于第一管道的第一端和供氣口之間；第二管道的第一端與罐體相連通，第二管道的第二端與供氣口相連通；加熱單元位于罐體上，以對(duì)罐體的內(nèi)部進(jìn)行加熱；檢測(cè)單元檢測(cè)第一管道的第一端與減壓器之間的第一管道中的待供應(yīng)氣體的壓力值；在壓力值處于不同壓力區(qū)間時(shí)，采用不同的氣體供應(yīng)方案。根據(jù)本公開的氣體供應(yīng)系統(tǒng)及氣體供應(yīng)方法，能夠保證供應(yīng)氣體的輸出壓力值穩(wěn)定在所需范圍內(nèi)。

技術(shù)研發(fā)人員：管昌雨,朱虹,陳浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州中科重儀半導(dǎo)體材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/9/29