專利名稱：一種刻蝕液的脫泡裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種刻蝕液的脫泡裝置，特別是指一種在測(cè)量刻蝕液濃度的過程中，對(duì)所抽取的刻蝕液樣本進(jìn)行脫泡的裝置。
背景技術(shù)：
在TFT-LCD的各種不同的制備工藝中，濕式刻蝕工藝主要目的為刻蝕金屬薄膜層，而刻蝕液濃度的控制在刻蝕工藝中占相當(dāng)重要地位，因?yàn)榭涛g液濃度關(guān)系到金屬薄膜層刻蝕的均勻與否，而利用刻蝕液濃度控制裝置可將刻蝕液濃度控制在一定的范圍內(nèi)，使刻蝕液濃度可以維持一定的濃度，故可提升金屬薄膜層的品質(zhì)與良品率。
在控制刻蝕液濃度裝置方面，目前有許多種控制刻蝕液濃度的方法，但不外乎必須抽取一定量的刻蝕樣本以測(cè)量該樣本的濃度，以作為控制刻蝕液濃度的依據(jù)，請(qǐng)參閱圖1所示，其為現(xiàn)有的控制刻蝕液濃度裝置，該控制刻蝕液濃度裝置主要包括一刻蝕液槽611、一工藝泵(pump)612、一循環(huán)泵613、一濃度調(diào)整裝置614、一濃度測(cè)量裝置615、一濃度控制線616、多條刻蝕液管路711、一工藝管路731以及一循環(huán)管路721。
刻蝕液槽611中儲(chǔ)存的刻蝕液可以刻蝕薄膜晶體制備工藝中第一金屬層的金屬薄膜。工藝泵612利用一工藝管路731與所述刻蝕液槽611相連接，并抽取其中的刻蝕液對(duì)金屬薄膜進(jìn)行刻蝕反應(yīng)，反應(yīng)后的刻蝕液則通過循環(huán)泵613抽回，經(jīng)過循環(huán)管路721送回刻蝕液槽611中回收再利用。濃度調(diào)整裝置614與刻蝕液槽611之間利用一刻蝕液管路711相連接，所述濃度調(diào)整裝置614可利用循環(huán)泵613抽取一定量的刻蝕液樣本，并調(diào)整所述刻蝕液樣本使其濃度均勻之后，經(jīng)過濃度控制線616將樣本維持在穩(wěn)定的濃度下，輸送至濃度測(cè)量裝置615進(jìn)行濃度測(cè)量。并由濃度測(cè)量裝置615中，經(jīng)計(jì)算機(jī)計(jì)算以決定該回補(bǔ)多少的刻蝕液量并回補(bǔ)刻蝕液，使刻蝕液槽中的濃度維持穩(wěn)定。
然而，在控制刻蝕液濃度裝置當(dāng)中由于必須抽取一定量的刻蝕液樣本作為檢測(cè)，通過所述檢測(cè)以決定該回補(bǔ)多少的刻蝕液濃度使刻蝕液槽內(nèi)刻蝕液的濃度維持穩(wěn)定。但在抽取所述刻蝕液樣本過程當(dāng)中由于刻蝕液與大氣接觸會(huì)夾雜多余的氣泡進(jìn)入測(cè)量裝置當(dāng)中，由于有氣泡的產(chǎn)生便會(huì)造成測(cè)量時(shí)的問題產(chǎn)生。
請(qǐng)參閱圖2所示，其為現(xiàn)有的控制刻蝕液濃度裝置的抽取刻蝕液管路線圖，管路裝置由多個(gè)切換閥以及多個(gè)管路所構(gòu)成，其一般的管路設(shè)計(jì)都會(huì)有一進(jìn)料管路1、一洗凈管路2、一取樣管路3、一返回管路4以及一第一輸送管5。
以市面上所設(shè)計(jì)的管路裝置因切換閥開關(guān)的方式不同導(dǎo)致刻蝕液流向不同，而達(dá)成不同的目的。導(dǎo)回刻蝕液(請(qǐng)參照?qǐng)D3所示)，主要目的為引導(dǎo)刻蝕液流回刻蝕液槽，所述刻蝕液流經(jīng)進(jìn)料管路1，由于PA閥111打開所以刻蝕液會(huì)流至第一輸送管5然后由于B閥113以及C閥112關(guān)閉，所以所述刻蝕液會(huì)流至返回管路4，而后流出返回出口流至刻蝕液槽當(dāng)中。取樣刻蝕液(請(qǐng)參照?qǐng)D4所示)，主要目的為引導(dǎo)刻蝕液至測(cè)量巢室(Measure Cell)中，刻蝕液由進(jìn)料管路1導(dǎo)入后由于PA閥111打開而C閥112打開，故所述刻蝕液會(huì)流經(jīng)進(jìn)料管路1再經(jīng)第一輸送管5最后流至取樣管路3至取樣出口處。清洗刻蝕液(請(qǐng)參照?qǐng)D5所示)，主要目的為清洗管路使刻蝕液不殘留于管路中，由洗凈口進(jìn)水此時(shí)B閥113以及C閥112打開而PA閥111關(guān)閉，所以水的流向?yàn)榻?jīng)洗凈管路2，而后經(jīng)第一輸送管5，最后流經(jīng)取樣管路3到取樣出口以清洗管路，避免刻蝕液殘留。
另外在取樣出口處，外面還另有接一管路裝置稱為測(cè)量巢室10(MeasureCell)(請(qǐng)參閱圖6所示)，主要目的為匯入少量的刻蝕液樣本使其方便所述刻蝕液濃度的檢測(cè)，其管路裝置包括一樣本管路11、滴定管路12、稀釋管路13、溢流管路14以及一第二輸送管15，同樣的由于切換閥開關(guān)的方式不同導(dǎo)致刻蝕液流向不同，而達(dá)成不同的目的。排除刻蝕液(請(qǐng)參閱圖7所示)，主要功能為流除不新鮮的刻蝕液，由于由取樣出口流入的刻蝕液一開始可能不是新鮮的刻蝕液，經(jīng)一段時(shí)間的排除刻蝕液才擷取刻蝕液樣本以提高測(cè)量時(shí)的精確度。切換閥動(dòng)作方式，PB閥211打開，E閥212以及D閥213關(guān)閉，所以刻蝕液會(huì)流經(jīng)樣本管路11與第二輸送管15最后至溢流管路14流出溢流口。稀釋藥液(請(qǐng)參閱圖8所示)，主要功能為稀釋藥液使刻蝕液樣本體積變大方便機(jī)器測(cè)量，由于在測(cè)量巢室(Measure Cell)中的刻蝕液體積都非常的小，大約不到1c.c，所以必須使刻蝕液稀釋才可以測(cè)量?？涛g液在流經(jīng)一段時(shí)間后(擷取新鮮藥液)將PB閥211關(guān)閉，將所述刻蝕液鎖住于管內(nèi)，而在同時(shí)E閥212以及D閥213打開，刻蝕液稀釋口(EG口)推入液體，經(jīng)稀釋管路13再流至第二輸送管15最后經(jīng)滴定管路12抵達(dá)滴定口以稀釋刻蝕液。
然而，由于現(xiàn)有技術(shù)的管路設(shè)計(jì)方式容易導(dǎo)致氣泡跟隨著刻蝕液流入整個(gè)管路裝置當(dāng)中，造成檢測(cè)刻蝕液時(shí)濃度時(shí)的準(zhǔn)確度降低，例如抽取1c.c的刻蝕液但可能有0.38c.c的氣泡跟隨著該刻蝕液，如此夾雜著氣泡便會(huì)造成以下缺點(diǎn)1.檢測(cè)刻蝕液時(shí)由于夾雜氣泡導(dǎo)致測(cè)量時(shí)準(zhǔn)確度降低。
2.準(zhǔn)確度降低必會(huì)導(dǎo)致整個(gè)刻蝕液濃度控制的不精確。
3.該刻蝕液濃度控制的不精確將導(dǎo)致刻蝕液濃度的不均勻而使所述刻蝕液與對(duì)象的化學(xué)反應(yīng)效果不好。
如何針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)提出改善的途徑，是一個(gè)有待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種可使刻蝕液脫泡的裝置，其可以使控制刻蝕液濃度裝置在抽取刻蝕液測(cè)量時(shí)所夾雜的多余的氣泡脫除，以提高測(cè)量時(shí)準(zhǔn)確度。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種可使刻蝕液脫泡的裝置，其可以提高準(zhǔn)確度使刻蝕液濃度控制更精確。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種可使刻蝕液脫泡的裝置，其可以將刻蝕液濃度控制精確將使刻蝕液濃度均勻穩(wěn)定，而使所述刻蝕液與金屬薄膜造成良好的刻蝕效果。
本發(fā)明所揭露的刻蝕液的脫泡裝置包括一進(jìn)料管路、一取樣管路、一洗凈管路、一返回管路、一第三輸送管路、一樣本管路、一滴定管路、一稀釋管路、一溢流管路、一第四輸送管路、一第五輸送管路、一第一三通閥、一第二三通閥以及多個(gè)切換閥所構(gòu)成；所述切換閥是以氣壓方式控制，利用閥的開與關(guān)以控制所述刻蝕液的流動(dòng)方向，以使刻蝕液流向所需的目的地。
其中，所述進(jìn)料管路包括一入料口以及一出料口，所述入料口與刻蝕液槽導(dǎo)通；所述取樣管路具有一取樣入口以及一取樣出口，所述取樣入口的水位高度低于所述出料口，且所述取樣入口與所述出料口之間利用第三輸送管路相連接；第一三通閥具有第四輸送電路、滴定管路以及稀釋管路，所述第四輸送管路與取樣出口之間成一彎角連接，并將刻蝕液導(dǎo)入滴定管中，所述稀釋管路則將一稀釋溶液導(dǎo)入滴定管路中，以稀釋所述刻蝕液。
進(jìn)料管路中有一切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
所述進(jìn)料管路以及所述第三輸送管路連接處還接一返回管路，用以導(dǎo)回所述刻蝕液返回刻蝕液槽，且所述返回管路中有一切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
所述進(jìn)料管路以及所述第三輸送管路連接處還接一洗凈管路，用以清洗殘留于管路中的刻蝕液，所述洗凈管路中有一切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
所述第三輸送管路有一切換閥用以控制刻蝕液進(jìn)出。
所述第一三通閥還接一第四輸送管路，用以連接所述稀釋管路以及滴定管路。
所述第一三通閥中以及所述取樣出口之間有兩個(gè)切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
所述第四輸送管路還接有一第二三通閥，用以接通所述稀釋管路以及一溢流管路，所述溢流管路用于排放刻蝕液。
所述第二三通閥以及所述溢流管路中有兩個(gè)切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
管路除為使所述刻蝕液流通之外，另外有其它功能1.本發(fā)明的管路在部分管路刻意加長(zhǎng)，由于加長(zhǎng)型管路容易使氣泡附著于管壁之上，可以使所述刻蝕液脫除氣泡。
2.本發(fā)明的部分管路刻意制作成L型，其目的為刻蝕液所攜帶的氣泡往往容易附著于轉(zhuǎn)角處，利用此原理部分管路刻意制作成L型，以使氣泡堆積于轉(zhuǎn)角處。
3.本發(fā)明的管路刻意將取樣入口的水位高度低于所述出料口，使刻蝕液流動(dòng)方向?yàn)橄蛳铝鲃?dòng)，因?yàn)闅馀萦懈×Φ年P(guān)系，利用浮力原理刻蝕液往下流動(dòng)造成氣泡往上浮升以造成脫泡的效果。
本發(fā)明可以使控制刻蝕液濃度裝置在抽取刻蝕液測(cè)量時(shí)所夾雜多余的氣泡脫除以提高測(cè)量時(shí)準(zhǔn)確度，使刻蝕液濃度控制更精確，從而使刻蝕液濃度均勻穩(wěn)定而使所述刻蝕液與金屬薄膜造成良好的刻蝕效果。


圖1為現(xiàn)有的控制刻蝕液濃度裝置示意圖；圖2為現(xiàn)有的控制刻蝕液濃度裝置的抽取刻蝕液管路線圖標(biāo)意圖；圖3為現(xiàn)有的刻蝕液管路線刻蝕液返回刻蝕槽示意圖；圖4為現(xiàn)有的刻蝕液管路線取樣刻蝕液示意圖；圖5為現(xiàn)有的刻蝕液管路線洗凈型示意圖；圖6為現(xiàn)有的測(cè)量巢室管路線裝置示意圖；
圖7為現(xiàn)有的刻蝕液管路線排放刻蝕液示意圖；圖8為現(xiàn)有的刻蝕液管路線稀釋刻蝕液示意圖；圖9為本發(fā)明的刻蝕液的脫泡裝置示意圖；圖10為本發(fā)明的刻蝕液的脫泡裝置測(cè)量刻蝕液的示意圖；圖11為本發(fā)明的刻蝕液管路線排放刻蝕液示意圖；圖12為本發(fā)明的刻蝕液管路線刻蝕液返回刻蝕槽示意圖；圖13為本發(fā)明的刻蝕液管路線洗凈示意圖；圖14為本發(fā)明的刻蝕液管路線刻蝕液稀釋示意圖。
主要元件符號(hào)說明611-刻蝕液槽612-工藝泵613-循環(huán)泵 614-濃度調(diào)整裝置615-濃度測(cè)量裝置616-濃度控制線711-刻蝕液管路 731-工藝管路721-循環(huán)管路1-進(jìn)料管路2-洗凈管路 3-取樣管路4-返回管路 5-第一輸送管10-測(cè)量巢室 11-樣本管路12-滴定管路 13-稀釋管路14-溢流管路 15-第二輸送管21-進(jìn)料管路 22-取樣管路23-洗凈管路 24-返回管路25-第三輸送管路 30-測(cè)量巢室31-樣本管路 32-滴定管路33-稀釋管路 34-溢流管路35-第四輸送管路 36-第五輸送管路
37-第一三通閥 38-第二三通閥111-PA閥 112-C閥113-B閥211-PB閥212-E閥212-D閥311-G閥312-H閥313-I閥314-J閥411-M閥412-N閥413-O閥414-P閥具體實(shí)施方式
本發(fā)明揭露一種刻蝕液的脫泡裝置，其可以使控制刻蝕液濃度裝置在抽取刻蝕液測(cè)量時(shí)不夾雜多余的氣泡，以利測(cè)量時(shí)的準(zhǔn)確度與精密性達(dá)到維持刻蝕液濃度的穩(wěn)定性，本發(fā)明的較佳實(shí)施例以及其相關(guān)實(shí)施方式將通過以下內(nèi)容做一詳細(xì)說明。
請(qǐng)參照?qǐng)D9所示，其為本發(fā)明的刻蝕液的脫泡裝置示意圖，所述刻蝕液的脫泡裝置由一進(jìn)料管路21(包括一入料口以及一出料口)、一取樣管路22(包括一取樣入口以及一取樣出口)、一洗凈管路23、一返回管路24、一第三輸送管路25、一樣本管路31、一滴定管路32、一稀釋管路33、一溢流管路34、一第四輸送管路35、一第五輸送管路36、一第一三通閥37、一第二三通閥38以及多個(gè)切換閥所構(gòu)成，所述切換閥是以氣壓方式控制，利用閥的開與關(guān)以控制刻蝕液的流動(dòng)方向，以使刻蝕液流向所需的目的地。
刻蝕液的脫泡裝置主要脫泡管路線以及閥的切換方式1.取樣刻蝕液(請(qǐng)參照?qǐng)D10所示)，主要目的為引導(dǎo)刻蝕液至測(cè)量巢室(Measure Cell)30中進(jìn)行更進(jìn)一步的脫泡?？涛g液由入料口進(jìn)入后由于G閥311和J閥314打開、H閥312和I閥313關(guān)閉，故所述刻蝕液會(huì)流經(jīng)進(jìn)料管路21再經(jīng)第三輸送管25，最后流至取樣管路22至取樣出口處，由于取樣入口的水位高度低于所述出料口，刻蝕液為向下流動(dòng)，所以依照浮力原理，氣泡會(huì)往上浮起造成脫泡的效果，以及第三輸送管25與取樣管路22連接形成彎角處容易堆積氣泡也造成除泡的效果。
2.排除刻蝕液(請(qǐng)參照?qǐng)D11所示)，主要功能為流掉不新鮮的刻蝕液，由于取樣出口流入的刻蝕液一開始可能不是新鮮的刻蝕液，經(jīng)一段時(shí)間的排除刻蝕液才擷取刻蝕液樣本以提高測(cè)量時(shí)的精確度，乃分為兩階段脫泡a.第四輸送管35路與所述取樣出口之間成一彎角連接，由于氣泡易堆積于彎角故可使氣泡脫除。
b.而刻蝕液流經(jīng)第四輸送管35與第五輸送管路36由于兩管路可以設(shè)計(jì)特別長(zhǎng)，故氣泡易附著于管壁上使氣泡脫除。
切換閥開關(guān)方式，M閥411、N閥412、O閥413以及P閥414全打開，其切換閥由于測(cè)量巢室30中的管路非常的窄小(Measure Cell內(nèi)的體積約為0.785c.c)，所以刻蝕液的流動(dòng)必須靠著于溢流口外的真空泵(圖中未顯示)吸附才有辦法流動(dòng)，故M閥411、N閥412、O閥413以及P閥414全打開并不會(huì)使所述刻蝕液流向刻蝕液稀釋口或者滴定口處，刻蝕液的流動(dòng)方式全靠真空泵的吸附?jīng)Q定流向，所以刻蝕液經(jīng)真空泵的吸附經(jīng)樣本管路31、第四輸送管路35、第五輸送管路36以及溢流管路34抵達(dá)溢流口將不要的刻蝕液排出。
所以由于如上所述的脫泡方式，我們可以達(dá)到使控制刻蝕液濃度裝置在抽取刻蝕液測(cè)量時(shí)所夾雜多余的氣泡脫除以提高測(cè)量時(shí)準(zhǔn)確度、由于提高準(zhǔn)確度使刻蝕液濃度控制更精確、刻蝕液濃度控制精確將使刻蝕液濃度均勻穩(wěn)定而使所述刻蝕液與金屬薄膜造成良好的刻蝕效果。
其它管路與切換閥主要功能，導(dǎo)回刻蝕液(請(qǐng)參照?qǐng)D12所示)，主要目的為引導(dǎo)刻蝕液流回刻蝕液槽，之外還有另一項(xiàng)目的，就是使刻蝕液經(jīng)一段時(shí)間的循環(huán)可以獲得較新鮮的刻蝕液，再將刻蝕液導(dǎo)入取樣出口中，刻蝕液由入料口進(jìn)入流經(jīng)進(jìn)料管路21，由于G閥311和H閥312打開，并且I閥313和J閥314關(guān)閉，所以所述刻蝕液會(huì)流至返回管路24，而后出返回出口，返回到刻蝕液槽611當(dāng)中。清洗刻蝕液(請(qǐng)參照?qǐng)D13所示)，主要目的為清洗管路使藥液不殘留于管路中，由洗凈口進(jìn)水，此時(shí)G閥311以及H閥312關(guān)閉、I閥313和J閥314打開，所以水的流向?yàn)榻?jīng)洗凈管路23而后經(jīng)第三輸送管25，最后流經(jīng)取樣管路22到取樣出口以清洗管路，避免刻蝕液殘留。
在測(cè)量巢室30中稀釋藥液(請(qǐng)參閱圖14所示)，主要功能為稀釋刻蝕液使刻蝕液樣本體積變大方便機(jī)器測(cè)量，由于在測(cè)量巢室(Measure Cell)中的刻蝕液體積都非常的小，大約不到1c.c，所以必須使刻蝕液稀釋才可以測(cè)量?？涛g液在流經(jīng)一段時(shí)間后(擷取新鮮刻蝕液)將M閥411以及P閥414關(guān)閉，將所述該刻蝕液鎖住于管內(nèi)，而在同時(shí)將N閥412以及O閥413打開，刻蝕液稀釋口(EG口)推入液體，經(jīng)稀釋管路33再流至第五輸送管36最后流經(jīng)滴定管路36抵達(dá)滴定口以稀釋刻蝕液，由于滴定管路32設(shè)于第四輸送管路35與第五輸送管路36之間已經(jīng)過良好的脫泡程序，故所擷取的刻蝕液樣本為不帶氣泡的刻蝕液。
當(dāng)然，以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非用以限制本發(fā)明的實(shí)施范圍，任何熟悉此項(xiàng)技藝者在不違背本發(fā)明的精神所做的修改，均應(yīng)屬于本發(fā)明的范圍，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍作為依據(jù)。
權(quán)利要求
1.一種刻蝕液的脫泡裝置，適用于一刻蝕液槽內(nèi)刻蝕液的濃度檢測(cè)，其特征在于包括一進(jìn)料管路，具有一入料口以及一出料口，其中所述入料口與所述刻蝕液槽導(dǎo)通；一取樣管路，具有一取樣入口以及一取樣出口，其中所述取樣入口的水位高度低于所述出料口，且所述取樣入口與所述出料口之間利用一第三輸送管路相連接；以及一第一三通閥，具有一第四輸送管路、一滴定管路以及一稀釋管路，其中所述第四輸送管路與所述取樣出口之間成一彎角連接，并將所述刻蝕液導(dǎo)入所述滴定管路中，而所述稀釋管路則將一稀釋溶液導(dǎo)入所述滴定管路中，以稀釋所述刻蝕液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于所述進(jìn)料管路中有一切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于所述進(jìn)料管路以及所述第三輸送管路連接處還接一返回管路，用以導(dǎo)回所述刻蝕液返回刻蝕液槽，且所述返回管路中有一切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于所述進(jìn)料管路以及所述第三輸送管路連接處還接一洗凈管路，用以清洗殘留于管路中的刻蝕液，所述洗凈管路中有一切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于所述第三輸送管路有一切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于所述第一三通閥還接一第四輸送管路，用以連接所述稀釋管路以及滴定管路。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于所述第一三通閥中以及所述取樣出口之間有兩個(gè)切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于所述第四輸送管路還接有一第二三通閥，用以接通所述稀釋管路以及一溢流管路，所述溢流管路用于排放刻蝕液。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于所述第二三通閥以及所述溢流管路中有兩個(gè)切換閥用以控制所述刻蝕液進(jìn)出。
全文摘要
一種刻蝕液的脫泡裝置，適用于一刻蝕液槽內(nèi)刻蝕液的濃度檢測(cè)，包括一進(jìn)料管路，具有一入料口以及一出料口，其中所述入料口與所述刻蝕液槽導(dǎo)通用以抽取刻蝕液樣本；一取樣管路，具有一取樣入口以及一取樣出口，其中所述取樣入口的水位高度低于所述出料口，且所述取樣入口與所述出料口之間利用一第三輸送管路相連接可利用浮力原理使氣泡脫除；一第一三通閥，具有一第四輸送管路、一滴定管路以及一稀釋管路，其中所述第四輸送管路與所述取樣出口之間成一彎角連接可脫除氣泡而達(dá)成脫泡效果，并將所述刻蝕液導(dǎo)入所述滴定管路中，而所述稀釋管路則將一稀釋溶液導(dǎo)入所述滴定管路中，以稀釋所述刻蝕液。
文檔編號(hào)G01N1/28GK1908618SQ200510089818
公開日2007年2月7日 申請(qǐng)日期2005年8月5日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月5日
發(fā)明者陳志行 申請(qǐng)人:尚宏光電有限公司