專(zhuān)利名稱(chēng):氣體流量校準(zhǔn)的方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種氣體流量校準(zhǔn)的方法,尤其涉及一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的供氣系統(tǒng)的氣體流量校準(zhǔn)的方法。
背景技術(shù):
在半導(dǎo)體硅片加工過(guò)程中,薄膜的淀積,刻蝕速率都依靠進(jìn)入反應(yīng)室的工藝氣體的質(zhì)量流量以及反應(yīng)室的壓力等條件。每種半導(dǎo)體硅片加工設(shè)備,不同的工藝都需要不同的氣體的流量配比。工藝氣體流量配比的誤差,會(huì)造成工藝不穩(wěn)定,進(jìn)而影響整個(gè)芯片良率。因此對(duì)工藝氣體流量的精確測(cè)定與控制在半導(dǎo)體硅片加工設(shè)備中至關(guān)重要。
目前,一方面采用高精度的MFC(質(zhì)量流量控制器)來(lái)測(cè)量和控制工藝氣體的流量,另一方面通過(guò)測(cè)定實(shí)際工藝氣體的流量,對(duì)MFC的測(cè)量值進(jìn)行校準(zhǔn)。
現(xiàn)在常有的氣體流量校準(zhǔn)的方案一般有兩種 方案一是,根據(jù)理想氣態(tài)方程 PV=nRT(公式1.1) 其中,P為氣體壓強(qiáng);V為氣體體積;n為氣體物質(zhì)的量;T為氣體的絕對(duì)溫度;R為氣體常量。
當(dāng)V,T一定時(shí),一定流量Q的氣體通入固定V的容器中,時(shí)間t1時(shí)的體積V內(nèi)的氣體摩爾數(shù) n1=P1V/RT(公式1.2) 一直往V中通入固定流量的氣體, 時(shí)間t2時(shí)的體積V內(nèi)的氣體摩爾數(shù) n2=P2V/RT(公式1.3) 根據(jù)上述公式1.2、1.3,t2-t1時(shí)間內(nèi)的氣體摩爾數(shù)變化量為 n2-n1=(P2-P1)V/RT(公式1.4) 根據(jù)氣體流量 Q=(n2-n1)/(t2-t1)=(P2-P1)V/(t2-t1)RT(公式1.5) 可以得到一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的流量公式 (公式1.6) 式中StdTemp為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。
公式1.6經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)化及單位和系數(shù)的換算 可以得到一個(gè)計(jì)算氣體流量的公式 Q=79[273/(273+T)][V*ΔP/Δt] (公式1.7) 對(duì)固定體積的反應(yīng)腔室,假設(shè)其溫度不變,通過(guò)固定流量的氣體時(shí),通過(guò)測(cè)量某段時(shí)間內(nèi)的壓力的變化,可以計(jì)算MFC(質(zhì)量流量控制器)的流量Q。然后將計(jì)算的流量與MFC測(cè)得的流量相比較,得出一個(gè)修正值。
這種方案計(jì)算相對(duì)簡(jiǎn)單,但是由于檢測(cè)流量值和反應(yīng)室容積V以及反應(yīng)室溫度T有關(guān)系,而實(shí)際應(yīng)用中氣路中的氣體體積未被考慮,且氣路中的氣體溫度同反應(yīng)室內(nèi)氣體溫度有一定差異,因此該方法誤差較大,一般精度為5%。
方案二是 根據(jù)上述理想氣態(tài)方程公式1.1PV=nRT可以得到 (公式2.1) 公式2.1中,對(duì)于特定的反應(yīng)腔室,在一定溫度下Kc是個(gè)常數(shù)。
對(duì)公式2.1求導(dǎo),可得 (公式2.2) 目前,使用的方法是,往反應(yīng)室中通入氣體,測(cè)量反應(yīng)室的壓升率。通常情況下,利用惰性氣體可以確定常數(shù)Kc。然后根據(jù)Kc,來(lái)檢驗(yàn)其余工藝氣體。具體實(shí)現(xiàn)如下 第一步根據(jù)參考?xì)怏w(惰性氣體)確定常數(shù)Kc; 第二步往反應(yīng)室通入工藝氣體,測(cè)量固定時(shí)間內(nèi)的壓升率,根據(jù)下面公式2.3計(jì)算出工藝氣體流量。
(公式2.3) 該方案校驗(yàn)精度較高,但是Kc與溫度T和容積V相關(guān),對(duì)于在線(xiàn)設(shè)備,必須保證兩次校驗(yàn)時(shí)的Kc一致。由于以惰性氣體MFC為基準(zhǔn)計(jì)算Kc,惰性氣體MFC的漂移將影響該方法的精確性,當(dāng)環(huán)境溫度改變時(shí)若要進(jìn)行校驗(yàn)需要從新通入氣體確定Kc值,這也增加了成本延長(zhǎng)了校驗(yàn)時(shí)間。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種校準(zhǔn)精度高、速度快、配置靈活的氣體流量校準(zhǔn)的方法。
本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的 本發(fā)明氣體流量校準(zhǔn)的方法,用于對(duì)反應(yīng)室的供氣系統(tǒng)的氣體流量進(jìn)行校驗(yàn),所述供氣系統(tǒng)的供氣管路上設(shè)有氣體流量控制裝置MFC,包括以下步驟 A、所述供氣系統(tǒng)新安裝MFC時(shí),首先測(cè)定系統(tǒng)的固有誤差Es,所述新安裝的MFC的流量誤差Em=0,測(cè)定的方法是 通過(guò)新安裝MFC的供氣管路向反應(yīng)室供氣,測(cè)定供氣管路與反應(yīng)室內(nèi)氣體參數(shù)的變化,通過(guò)理想氣體狀態(tài)方程PV=nRT計(jì)算氣體的流量Qv; 將Qv與MFC的設(shè)定流量值Qs比較,得出MFC的誤差 由公式E=Es+Em 可求系統(tǒng)的固有誤差Es=E; B、MFC用過(guò)一段時(shí)間后,測(cè)定MFC的流量誤差Em,測(cè)定的方法是 通過(guò)裝有需測(cè)定的MFC的供氣管路向反應(yīng)室供氣,測(cè)定供氣管路與反應(yīng)室內(nèi)氣體參數(shù)的變化,通過(guò)理想氣體狀態(tài)方程PV=nRT計(jì)算氣體的流量Qv;將Qv與MFC的設(shè)定流量值Qs比較,得出MFC的誤差 由公式E=Es+Em 可求MFC的流量誤差Em=E-Es; C、將Em的值與限定的容錯(cuò)值比較,當(dāng)Em的值超過(guò)限定的容錯(cuò)值時(shí),系統(tǒng)報(bào)警。
所述的步驟A中,通過(guò)理想氣體狀態(tài)方程PV=nRT的等效式 Q=79*[273/(273+Tc)]*[(Vc+Vg*(273+Tc)/(273+Tg))*ΔP/Δt]計(jì)算氣體的流量Qv=Q; 其中,Vc-反應(yīng)室體積、Vg-供氣管路體積、Tc-反應(yīng)室溫度、Tg-供氣管路溫度、ΔP為Δt時(shí)間內(nèi)反應(yīng)室的氣體壓強(qiáng)變化值。
所述的Vc、Vg、Tc、Tg由下述方法確定 Tg取供氣管路周?chē)鷾囟?,通過(guò)溫控器將反應(yīng)室溫度Tc控制在Tc1,通入一定流量Q1的氣體,記錄并計(jì)算ΔP1/Δt; 再設(shè)置Tc為T(mén)c2,待溫度穩(wěn)定后,通入一定流量Q2的氣體,記錄并計(jì)算ΔP2/Δt; 由公式Q=79*[273/(273+Tc)]*[(Vc+Vg*(273+Tc)/(273+Tg))*ΔP/Δt]可得 由以上兩式可求得Vc、Vg。
記錄并計(jì)算ΔP1/Δt和/或ΔP2/Δt時(shí),取多個(gè)壓力點(diǎn),計(jì)算兩個(gè)壓力點(diǎn)之間的ΔPi/Δti,取多個(gè)ΔPi/Δti平均值,得到ΔP1/Δt和/或ΔP2/Δt。
通過(guò)公式Q=79*[273/(273+Tc)]*[(Vc+Vg*(273+Tc)/(273+Tg))*ΔP/Δt]計(jì)算氣體的流量Qv時(shí),選取多個(gè)壓力點(diǎn),將每個(gè)壓力點(diǎn)之間的ΔPi/Δti分別代入上述公式求得多個(gè)流量值,取多個(gè)流量值的加權(quán)平均值,求得 所述的步驟B包括步驟 B1、反應(yīng)室抽到本體真空,隔離反應(yīng)室,待反應(yīng)室溫度穩(wěn)定后,通過(guò)MFC向反應(yīng)室內(nèi)通入一定流量Qs的氣體,持續(xù)時(shí)間為t; B2、選取多個(gè)壓力點(diǎn),將每個(gè)壓力點(diǎn)之間的ΔPi/Δti分別代入公式Q=79*[273/(273+Tc)]*[(Vc+Vg*(273+Tc)/(273+Tg))*ΔP/Δt]求得多個(gè)流量值,取多個(gè)流量值的加權(quán)平均值,求得 B3、由公式E=Es+Em及公式求得MFC的流量誤差 所述的步驟B2中,保存時(shí)間為{0,t/4,2t/4,3t/4,t}時(shí)刻的氣體壓力值{P1,P2,P3,P4,P5},計(jì)算P1、P2、P3、P4、P5每?jī)蓚€(gè)值之間的ΔPi/Δti。
所述的步驟B2中,i=20,計(jì)算加權(quán)平均值時(shí),確定Q1~Q20的權(quán)重的方法為Q1~Q20中最大和最小值得權(quán)重為0,其余Ki取值為計(jì)算相應(yīng)的Qi時(shí),兩個(gè)壓力采樣點(diǎn)之間的時(shí)間間隔。
所述的所述供氣系統(tǒng)有多條供氣管路新安裝MFC時(shí),將通過(guò)多個(gè)新安裝MFC計(jì)算得到的多個(gè)Vc、Vg分別加權(quán)平均,得到供氣系統(tǒng)的Vc和Vg。
所述的所述供氣系統(tǒng)有多條供氣管路新安裝MFC時(shí),將通過(guò)多個(gè)新安裝MFC計(jì)算得到的多個(gè)系統(tǒng)固有誤差Ei加權(quán)平均,得到系統(tǒng)固有誤差,其中Ki視MFC的使用情況而定。
由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出,本發(fā)明所述的氣體流量校準(zhǔn)的方法,由于當(dāng)供氣系統(tǒng)新安裝氣體流量控制裝置MFC時(shí),首先測(cè)定系統(tǒng)的固有誤差Es,及反應(yīng)室體積Vc、供氣管路體積Vg;MFC用過(guò)一段時(shí)間后,參照Es、Vc、Vg并考慮反應(yīng)室與供氣管路的溫度差異,測(cè)定MFC的流量誤差Em,通過(guò)Es對(duì)Em進(jìn)行修正,修正后的誤差Em更真實(shí)的反應(yīng)了MFC流量的漂移情況,減少了因溫度和容積差異導(dǎo)致的系統(tǒng)誤差;又由于通過(guò)多點(diǎn)計(jì)算增加樣本容量,加權(quán)平均進(jìn)一步減小誤差,通過(guò)誤差修正,降低系統(tǒng)誤差,具有計(jì)算精度高,計(jì)算速度快,配置方便靈活的特點(diǎn)。主要應(yīng)用于對(duì)半導(dǎo)體加工設(shè)備的供氣系統(tǒng)的氣體流量的校準(zhǔn),也適用于對(duì)其它供氣系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
圖1為反應(yīng)室的供氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2為本發(fā)明確定系統(tǒng)Vc、Vg、Es的主要流程圖; 圖3為本發(fā)明確定MFC的流量誤差Em的主要流程圖。
具體實(shí)施例方式 本發(fā)明氣體流量校準(zhǔn)的方法,用于對(duì)反應(yīng)室的供氣系統(tǒng)的氣體流量進(jìn)行校驗(yàn),所述供氣系統(tǒng)的供氣管路上設(shè)有MFC(氣體流量控制裝置)。這里的反應(yīng)室主要是指半導(dǎo)體硅片加工設(shè)備的反應(yīng)室,也可以是其它的腔室。
如圖1所示,是半導(dǎo)體硅片加工設(shè)備的反應(yīng)室的供氣系統(tǒng)示意圖 工藝氣體11、12、13、14通過(guò)MFC1、MFC2、MFC3、MFC4可以進(jìn)入反應(yīng)室中,分子泵、旁抽閥、分子泵排出閥以及干泵組成了整個(gè)設(shè)備的真空獲得系統(tǒng)。通過(guò)控制擺閥的開(kāi)合程度可以控制反應(yīng)室中的真空度,反應(yīng)室中的真空度由CM1(真空規(guī))來(lái)讀出。其中的供氣管路可以有多條。
其較佳的實(shí)施方式,包括以下步驟 步驟11、所述供氣系統(tǒng)新安裝MFC時(shí),首先測(cè)定系統(tǒng)的固有誤差Es,所述新安裝的MFC的流量誤差Em=0,測(cè)定的方法是 通過(guò)新安裝MFC的供氣管路向反應(yīng)室供氣,測(cè)定供氣管路與反應(yīng)室內(nèi)氣體參數(shù)的變化,通過(guò)理想氣體狀態(tài)方程PV=nRT計(jì)算氣體的流量Qv; 將Qv與MFC的設(shè)定流量值Qs比較,得出MFC的誤差 由公式E=Es+Em可求系統(tǒng)的固有誤差Es=E; 步驟12、MFC用過(guò)一段時(shí)間后,測(cè)定MFC的流量誤差Em,測(cè)定的方法是 通過(guò)裝有需測(cè)定的MFC的供氣管路向反應(yīng)室供氣,測(cè)定供氣管路與反應(yīng)室內(nèi)氣體參數(shù)的變化,通過(guò)理想氣體狀態(tài)方程PV=nRT計(jì)算氣體的流量Qv;將Qv與MFC的設(shè)定流量值Qs比較,得出MFC的誤差 由公式E=Es+Em 可求MFC的流量誤差Em=E-Es; 步驟13、將Em的值與限定的容錯(cuò)值比較,當(dāng)Em的值超過(guò)限定的容錯(cuò)值時(shí),則表示質(zhì)量流量控制器處于非正常狀態(tài),否則表示質(zhì)量流量控制器處于正常狀態(tài),系統(tǒng)報(bào)警。
上述的步驟11中,假設(shè)初裝的MFC(質(zhì)量流量計(jì))是準(zhǔn)確的,MFC的設(shè)定流量即為實(shí)際流量(新安裝時(shí)),MFC的誤差為0(新安裝時(shí))。
設(shè)反應(yīng)室的壓力為Pc,體積為Vc,溫度為T(mén)c;氣路的壓力為Pg,體積為Vg,溫度為T(mén)g。由于氣路同反應(yīng)室連通,因此認(rèn)為Pc=Pg=P。可以認(rèn)為通過(guò)MFC的流量分別流入了反應(yīng)室和氣路,因此,由公式1.7可得 Qv=79*[273/(273+Tc)]*[Vc*ΔP/Δt]+79*[273/(273+Tg)]*[Vg*ΔP/Δt] =79*273*[ΔP/Δt]*(Vc/(273+Tc)+Vg/(273+Tg)) =79*[273/(273+Tc)]*[(Vc+Vg*(273+Tc)/(273+Tg))*ΔP/Δt] (公式1.8) 在公式1.8中需要確定的參數(shù)包括Vc、Vg、Tc、Tg,其中Tc可由反應(yīng)室溫控系統(tǒng)控制,Tg取氣路周?chē)鷾囟?。在初裝MFC時(shí),確定Vc、Vg,具體方法為 測(cè)量并記錄Tg; 通過(guò)溫控器將反應(yīng)室溫度控制在Tc1。待溫度穩(wěn)定后,通入一定流量Q1的氣體,記錄并計(jì)算ΔP1/Δt,ΔP為Δt時(shí)間內(nèi)反應(yīng)室的氣體壓強(qiáng)變化值; 再設(shè)置Tc為T(mén)c2,待溫度穩(wěn)定后,通入一定流量Q2的氣體,記錄并計(jì)算ΔP2/Δt; 由公式1.8可得 (公式1.9) 由以上兩式可確定Vc、Vg,對(duì)于多路MFC,可以將通過(guò)每個(gè)MFC計(jì)算得到的Vc、Vg加權(quán)平均,并將Vc和Vg值保存為配置參數(shù),以后每次校準(zhǔn)時(shí)使用。
該校準(zhǔn)方法可以在不同溫度條件下校準(zhǔn)MFC,由于氣路改造造成的氣路容積變化可通過(guò)上述方法重新計(jì)算確定。
在記錄并計(jì)算ΔP1/Δt和/或ΔP2/Δt時(shí),可以取多個(gè)壓力點(diǎn),計(jì)算兩個(gè)壓力點(diǎn)之間的ΔPi/Δti,取多個(gè)ΔPi/Δti平均值,得到ΔP1/Δt和/或ΔP2/Δt。
Vc和Vg確定后,就可以通過(guò)公式1.8計(jì)算氣體的流量Qv時(shí),需選取多個(gè)壓力點(diǎn),將每個(gè)壓力點(diǎn)之間的ΔPi/Δti分別代入上述公式求得多個(gè)流量值,取多個(gè)流量值的加權(quán)平均值,求得 由公式1.8可知,氣體流量同壓力變化率成正比,然而壓力采樣時(shí)壓力的狀態(tài)具有一定波動(dòng),為減小這種波動(dòng)的影響,一般采用多個(gè)壓力采樣點(diǎn)平均的方法。但是采樣點(diǎn)越多,需要的時(shí)間也越長(zhǎng)。為了提高計(jì)算速度,同時(shí)降低壓力波動(dòng)的影響,對(duì)每次校準(zhǔn)時(shí)的n個(gè)壓力采樣點(diǎn)兩兩之間計(jì)算ΔP/Δt,根據(jù)公式1.8得到n(n-1)/2個(gè)流量樣本Q1,Q2,…Qn(n-1)/2,去掉最大值和最小值,最后并加權(quán)平均。例如,取n=5,最后可計(jì)算得到10個(gè)流量樣本。本法可以在相同的校準(zhǔn)時(shí)間內(nèi)得到更多的流量值,同時(shí)減小壓力波動(dòng)導(dǎo)致個(gè)別壓力測(cè)量點(diǎn)異常的影響。該法中的權(quán)值Ki根據(jù)計(jì)算Qi的兩個(gè)壓力采樣點(diǎn)之間的時(shí)間間隔確定,可取Ki=Δti。
采用這種方法,可以在采樣n個(gè)壓力時(shí)得到n(n-1)/2個(gè)流量樣本,提高了樣本容量,同時(shí)縮短了計(jì)算的時(shí)間。
以上描述的步驟11主要的作用是通過(guò)新裝的MFC確定系統(tǒng)的Vc、Vg、Es。其具體的實(shí)施步驟如圖2所示,包括步驟 步驟21、設(shè)定反應(yīng)室溫度Tc1、氣路溫度Tg; 步驟22、反應(yīng)室抽到本體真空,隔離反應(yīng)室,待反應(yīng)室溫度穩(wěn)定后,通過(guò)MFC向反應(yīng)室內(nèi)通入一定流量Q1的氣體,持續(xù)時(shí)間為t; 步驟23、保存時(shí)間為{0,t/4,2t/4,3t/4,t}時(shí)刻的氣體壓力值{P1,P2,P3,P4,P5}; 步驟24、P1一P5中兩兩之間計(jì)算ΔP/Δt,對(duì)所有的ΔP/Δt取均值后得到ΔP1/Δt的值; 步驟25、重新設(shè)定反應(yīng)室溫度Tc2,通過(guò)MFC向反應(yīng)室內(nèi)通入一定流量Q2的氣體,持續(xù)時(shí)間為t,得到ΔP2/Δt的值; 步驟26、利用公式1.9計(jì)算Vc、Vg; 步驟27、如果有多路新裝的MFC,對(duì)每一路重復(fù)步驟21至步驟26,分別取Vc、Vg的均值為反應(yīng)室的容積和氣路的容積,最好是加權(quán)平均值; 步驟28、確定Vc、Vg后,再?gòu)男孪蚍磻?yīng)室通入一定流量Qs的氣體通過(guò)公式1.8計(jì)算氣體的流量Qv,利用確定系統(tǒng)誤差Es。
步驟29、如果有多路新裝的MFC,對(duì)每一路重復(fù)步驟28,取Es的均值為系統(tǒng)誤差。最好是加權(quán)平均值,將通過(guò)多個(gè)新安裝MFC計(jì)算得到的多個(gè)系統(tǒng)固有誤差Ei加權(quán)平均,得到系統(tǒng)固有誤差,其中Ki視MFC的使用情況而定。
記錄Vc、Vg、Es,作為校準(zhǔn)MFC的參數(shù)。
上述的步驟12中所述,即為MFC用過(guò)一段時(shí)間后,測(cè)定MFC的流量誤差Em的步驟,如圖3所示,具體包括步驟 步驟31、反應(yīng)室抽到本體真空,隔離反應(yīng)室,待反應(yīng)室溫度穩(wěn)定后,通過(guò)MFC向反應(yīng)室內(nèi)通入一定流量Qs的氣體,持續(xù)時(shí)間為t; 步驟32、選取多個(gè)壓力點(diǎn),將每個(gè)壓力點(diǎn)之間的ΔPi/Δti分別代入公式1.8求得多個(gè)流量值,取多個(gè)流量值的加權(quán)平均值,求得 步驟33、由公式E=Es+Em及公式求得MFC的流量誤差 上述的步驟31中,可以保存時(shí)間為{0,t/4,2t/4,3t/4,t}時(shí)刻的氣體壓力值{P1,P2,P3,P4,P5},計(jì)算P1、P2、P3、P4、P5每?jī)蓚€(gè)值之間的ΔPi/Δti,可得到Q1~Q20,20個(gè)流量值, 計(jì)算加權(quán)平均值時(shí),確定Q1~Q20的權(quán)重的方法為Q1~Q20中最大和最小值得權(quán)重為0,其余Ki取值為計(jì)算相應(yīng)的Qi時(shí),兩個(gè)壓力采樣點(diǎn)之間的時(shí)間間隔,即Ki=Δti。
本發(fā)明考慮供氣管路和反應(yīng)室的溫度差異,并考慮供氣管路對(duì)反應(yīng)室容積的影響,大大減少了因溫度和容積差異導(dǎo)致的系統(tǒng)誤差。通過(guò)多點(diǎn)計(jì)算增加樣本容量,加權(quán)平均進(jìn)一步減小誤差。通過(guò)誤差修正,降低系統(tǒng)誤差,具有計(jì)算精度高,計(jì)算速度快,配置方便靈活的特點(diǎn)。
以上所述,僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
,但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此,任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi),可輕易想到的變化或替換,都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種氣體流量校準(zhǔn)的方法,用于對(duì)反應(yīng)室的供氣系統(tǒng)的氣體流量進(jìn)行校驗(yàn),所述供氣系統(tǒng)的供氣管路上設(shè)有氣體流量控制裝置MFC,其特征在于,包括以下步驟
A、所述供氣系統(tǒng)新安裝MFC時(shí),首先測(cè)定系統(tǒng)的固有誤差Es,所述新安裝的MFC的流量誤差Em=0,測(cè)定的方法是
通過(guò)新安裝MFC的供氣管路向反應(yīng)室供氣,測(cè)定供氣管路與反應(yīng)室內(nèi)氣體參數(shù)的變化,通過(guò)理想氣體狀態(tài)方程PV=nRT計(jì)算氣體的流量Qv;將Qv與MFC的設(shè)定流量值Qs比較,得出MFC的誤差
由公式E=Es+Em 可求系統(tǒng)的固有誤差Es=E;
B、MFC用過(guò)一段時(shí)間后,測(cè)定MFC的流量誤差Em,測(cè)定的方法是
通過(guò)裝有需測(cè)定的MFC的供氣管路向反應(yīng)室供氣,測(cè)定供氣管路與反應(yīng)室內(nèi)氣體參數(shù)的變化,通過(guò)理想氣體狀態(tài)方程PV=nRT計(jì)算氣體的流量Qv;
將Qv與MFC的設(shè)定流量值Qs比較,得出MFC的誤差
由公式E=Es+Em 可求MFC的流量誤差Em=E-Es;
C、將Em的值與限定的容錯(cuò)值比較,當(dāng)Em的值超過(guò)限定的容錯(cuò)值時(shí),系統(tǒng)報(bào)警。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體流量校準(zhǔn)的方法,其特征在于,所述的步驟A中,通過(guò)理想氣體狀態(tài)方程PV=nRT的等效式
Q=79*[273/(273+Tc)]*[(Vc+Vg*(273+Tc)/(273+Tg))*ΔP/Δt]計(jì)算氣體的流量Qv=Q;
其中,Vc-反應(yīng)室體積、Vg-供氣管路體積、Tc-反應(yīng)室溫度、Tg-供氣管路溫度、ΔP為Δt時(shí)間內(nèi)反應(yīng)室的氣體壓強(qiáng)變化值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體流量校準(zhǔn)的方法,其特征在于,所述的Vc、Vg、Tc、Tg由下述方法確定
Tg取供氣管路周?chē)鷾囟龋ㄟ^(guò)溫控器將反應(yīng)室溫度Tc控制在Tc1,通入一定流量Q1的氣體,記錄并計(jì)算ΔP1/Δt;
再設(shè)置Tc為T(mén)c2,待溫度穩(wěn)定后,通入一定流量Q2的氣體,記錄并計(jì)算ΔP2/Δt;
由公式Q=79*[273/(273+Tc)]*[(Vc+Vg*(273+Tc)/(273+Tg))*ΔP/Δt]可得
由以上兩式可求得Vc、Vg。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體流量校準(zhǔn)的方法,其特征在于,記錄并計(jì)算ΔP1/Δt和/或ΔP2/Δt時(shí),取多個(gè)壓力點(diǎn),計(jì)算兩個(gè)壓力點(diǎn)之間的ΔPi/Δti,取多個(gè)ΔPi/Δti平均值,得到ΔP1/Δt和/或ΔP2/Δt。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體流量校準(zhǔn)的方法,其特征在于,通過(guò)公式Q=79*[273/(273+Tc)]*[(Vc+Vg*(273+Tc)/(273+Tg))*ΔP/Δt]計(jì)算氣體的流量Qv時(shí),選取多個(gè)壓力點(diǎn),將每個(gè)壓力點(diǎn)之間的ΔPi/Δti分別代入上述公式求得多個(gè)流量值,取多個(gè)流量值的加權(quán)平均值,求得
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體流量校準(zhǔn)的方法,其特征在于,所述的步驟B包括步驟
B1、反應(yīng)室抽到本體真空,隔離反應(yīng)室,待反應(yīng)室溫度穩(wěn)定后,通過(guò)MFC向反應(yīng)室內(nèi)通入一定流量Qs的氣體,持續(xù)時(shí)間為t;
B2、選取多個(gè)壓力點(diǎn),將每個(gè)壓力點(diǎn)之間的ΔPi/Δti分別代入公式Q=79*[273/(273+Tc)]*[(Vc+Vg*(273+Tc)/(273+Tg))*ΔP/Δt]求得多個(gè)流量值,取多個(gè)流量值的加權(quán)平均值,求得
B3、由公式E=Es+Em 及公式求得MFC的流量誤差
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣體流量校準(zhǔn)的方法,其特征在于,所述的步驟B2中,保存時(shí)間為{0,t/4,2t/4,3t/4,t}時(shí)刻的氣體壓力值{P1,P2,P3,P4,P5},計(jì)算P1、P2、P3、P4、P5每?jī)蓚€(gè)值之間的ΔPi/Δti。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體流量校準(zhǔn)的方法,其特征在于,所述的步驟B2中,i=20,計(jì)算加權(quán)平均值時(shí),確定Q1~Q20的權(quán)重的方法為Q1~Q20中最大和最小值得權(quán)重為0,其余Ki取值為計(jì)算相應(yīng)的Qi時(shí),兩個(gè)壓力采樣點(diǎn)之間的時(shí)間間隔。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體流量校準(zhǔn)的方法,其特征在于,所述的所述供氣系統(tǒng)有多條供氣管路新安裝MFC時(shí),將通過(guò)多個(gè)新安裝MFC計(jì)算得到的多個(gè)Vc、Vg分別加權(quán)平均,得到供氣系統(tǒng)的
和
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣體流量校準(zhǔn)的方法,其特征在于,所述的所述供氣系統(tǒng)有多條供氣管路新安裝MFC時(shí),將通過(guò)多個(gè)新安裝MFC計(jì)算得到的多個(gè)系統(tǒng)固有誤差Ei加權(quán)平均,得到系統(tǒng)固有誤差其中Ki視MFC的使用情況而定。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種氣體流量校準(zhǔn)的方法,用于對(duì)反應(yīng)室的供氣系統(tǒng)的氣體流量進(jìn)行校驗(yàn),包括步驟當(dāng)供氣系統(tǒng)新安裝氣體流量控制裝置MFC時(shí),首先測(cè)定系統(tǒng)的固有誤差Es,及反應(yīng)室體積Vc、供氣管路體積Vg;MFC用過(guò)一段時(shí)間后,參照Es、Vc、Vg并考慮反應(yīng)室與供氣管路的溫度差異,測(cè)定MFC的流量誤差Em;然后,將Em的值與限定的容錯(cuò)值比較,當(dāng)Em的值超過(guò)限定的容錯(cuò)值時(shí),系統(tǒng)報(bào)警。減少了因溫度和容積差異導(dǎo)致的系統(tǒng)誤差,通過(guò)誤差修正,降低系統(tǒng)誤差,具有計(jì)算精度高,計(jì)算速度快,配置方便靈活的特點(diǎn)。主要應(yīng)用于對(duì)半導(dǎo)體加工設(shè)備的供氣系統(tǒng)的氣體流量的校準(zhǔn),也適用于對(duì)其它供氣系統(tǒng)的校準(zhǔn)。
文檔編號(hào)G01F25/00GK101178327SQ20061011441
公開(kāi)日2008年5月14日 申請(qǐng)日期2006年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月9日
發(fā)明者蘇曉峰 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司