專利名稱：表面壓力分布傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)被測(cè)定物的微細(xì)凹凸等進(jìn)行測(cè)定的表面壓力分布傳感器。
背景技術(shù)：
眾所周知，將被按壓在檢測(cè)面上的被測(cè)定物的表面的微細(xì)的凹凸作為 按壓力的分布進(jìn)行檢測(cè)的表面壓力分布傳感器，將粗糙面的表面形狀數(shù)據(jù) 化。(例如，參照專利文獻(xiàn)l)
以往公知的該種表面壓力分布傳感器例如圖8所示，在基板上將半導(dǎo) 體開關(guān)元件101配置成矩陣狀，形成有與這些各半導(dǎo)體開關(guān)元件101的一 個(gè)端子側(cè)相連接的電極102。在半導(dǎo)體基板的對(duì)置面?zhèn)扰渲糜芯哂袑?dǎo)電膜 的撓性膜，并使其相對(duì)于上述電極102側(cè)空開一定的間隔與上述電極102 相對(duì)。向該導(dǎo)電膜施加一定的電壓，向撓性薄膜按壓例如表面具有微細(xì)的 凹凸的被測(cè)定物，此時(shí)該撓性薄膜仿照被測(cè)定物的凹凸而彎曲變形。如此， 通過已彎曲變形的部分的導(dǎo)電膜與半導(dǎo)體基板的電極接觸，順次起動(dòng)該部 分的半導(dǎo)體開關(guān)元件101的矩陣而讀取表面壓力。
已知上述的以往的表面壓力分布傳感器使用了半導(dǎo)體基板，但這樣的 半導(dǎo)體基板一般價(jià)格較高。特別是在使用表面壓力分布傳感器作為指紋檢 測(cè)傳感器的情況下，需要充分按壓手指的較寬的表面積，只要使用如此大 表面積的半導(dǎo)體基板，就很難以低成本制造表面壓力分布傳感器。另外， 為了檢測(cè)表面的微細(xì)凹凸，半導(dǎo)體開關(guān)元件的露出部和導(dǎo)電膜必須在長時(shí) 間內(nèi)即便是較小的按壓力也穩(wěn)定地保持接觸狀態(tài)，但就以往的表面壓力分 布傳感器而言，難以保持半導(dǎo)體開關(guān)元件的露出部和導(dǎo)電膜的接觸部分的 的長時(shí)間內(nèi)的清潔性。
基于這些背景，本申請(qǐng)人研發(fā)出如下所示的表面壓力分布傳感器并提
出了專利申請(qǐng)，其是在一方的基板上具備向第一方向延伸的行布線，在另 一方的基板上具備向第二方向延伸的列布線而構(gòu)成整體，由撓性薄膜基板 構(gòu)成上述一方的基板，彎曲上述基板使上述行布線和上述列布線對(duì)置配 置，根據(jù)上述行布線和上述列布線的交叉部分的靜電電容的變化，可以測(cè) 定表面壓力的分布。(參照專利文獻(xiàn)2)
專利文獻(xiàn)L特公平7—58234號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2:特開2004 — 317403號(hào)公報(bào)
前面的專利文獻(xiàn)2所述的表面壓力分布傳感器的構(gòu)成是在圖9所示 的一個(gè)基板110上縱向并排形成多條行布線111，在另一基板112上橫向 并排形成多條列布線1B…，并且沿著基板112的一個(gè)邊緣側(cè)形成多條引 出布線115，各引出布線115延伸形成至基板110的一個(gè)邊緣側(cè)成為引出 布線116，這些引出布線116...和來自上述的行布線lll...的引出布線117 被集中布線而與驅(qū)動(dòng)用的元件118連接。
此外，上述多條行布線111或者多條列布線113的至少一方被絕緣層 覆蓋，相對(duì)于上述的一個(gè)基板110，上述另一基板112沿著圖9所示的折 線114如圖10所示那樣被折疊，通過使上述多條行布線111和上述多條 列布線113對(duì)置配置且大致成直角，構(gòu)成表面壓力分布傳感器D。就該構(gòu) 成的表面壓力分布傳感器D而言，將多條行布線111和上述多條列布線 113大致成直角地俯視下對(duì)置配置的矩形區(qū)域作為感測(cè)區(qū)域120。
上述構(gòu)成的表面壓力分布傳感器D未使用半導(dǎo)體基板，具有可以低價(jià) 制造地優(yōu)點(diǎn)，但由于釆用相對(duì)于一個(gè)基板110而將另一基板112折疊而構(gòu) 成的結(jié)構(gòu)，需要使布線部分彎曲，存在向布線的彎曲部分施加應(yīng)力的問題。 例如，即便是在制造時(shí)的彎曲下布線不會(huì)馬上發(fā)生斷線的情況下，彎曲后 的布線115...也時(shí)常受應(yīng)力作用，所以在長時(shí)間使用期間，表面壓力分布 傳感器D的布線有可能出現(xiàn)部分?jǐn)嗑€。
為了消除這樣的布線應(yīng)力問題，考慮如下所述的布線結(jié)構(gòu)，即在基板 的彎曲部分形成較粗的布線，即使有或多或少的應(yīng)力作用于布線，布線也 不會(huì)斷線。但是，由于該種表面壓力傳感器要求小型化、輕量化，所以需 要構(gòu)成表面壓力傳感器的基板的大小和布線的寬度或空隙盡可能地小，希 望感測(cè)區(qū)域120的周圍部分的基板的大小盡可能地小。另外，為了根據(jù)指紋傳感器等的用途準(zhǔn)確測(cè)定微小區(qū)域的表面壓力， 需要使上述行布線111和上述列布線113為微細(xì)布線，并且盡可能地抑制 基板面積，也需要使上述引出布線115、 116也微細(xì)布線化，如果成為微 細(xì)布線，在彎曲時(shí)的應(yīng)力作用下，布線的耐久性容易產(chǎn)生問題，存在布線 的可靠性降低的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于上述情況而完成的發(fā)明，其目的在于，提供一種如下 所述的表面壓力分布傳感器即便是為了構(gòu)成表面壓力分布傳感器而具有 基板的彎曲部分的結(jié)構(gòu)，布線的可靠性也高，可以長時(shí)間正確且穩(wěn)定地檢 測(cè)出表面壓力的分布，而且能夠以簡(jiǎn)單的構(gòu)成低成本地制造。
本發(fā)明正是鑒于上述情況而完成的發(fā)明，本發(fā)明的表面壓力分布傳感 器具備第一基板，形成有并排形成多個(gè)導(dǎo)體而成的第一布線組；第二基 板，形成有并排形成多個(gè)導(dǎo)體而成的第二布線組；和邊界部，連接所述第 一基板和第二基板；通過所述邊界部的彎曲，按照使所述第一基板的第一 布線組和所述第二基板的第二布線組配置成對(duì)置交叉狀態(tài)的方式來連接 所述第一基板和所述第二基板，基于所述第一布線組的導(dǎo)體和所述第二布 線組的導(dǎo)體的各交叉部的靜電電容的變化來檢測(cè)表面壓力的分布，在所述 第一基板上形成與所述第一布線組鄰接且與所述第一布線組獨(dú)立的第一 引出布線組，在所述第二基板上形成與所述第二布線組連接的第二引出布 線組，所述第二引出布線組經(jīng)所述邊界部而延伸形成，與所述第一基板側(cè) 的第一引出布線組連接，并且，與所述第一布線組的導(dǎo)體的寬度和所述第 二布線組的導(dǎo)體的寬度相比，所述第一引出布線組的導(dǎo)體的寬度更小，位 于所述邊界部的彎曲部分的所述第二引出布線組的導(dǎo)體的寬度比所述第 一引出布線組的導(dǎo)體的寬度大。
在成為彎曲部分的邊界部形成的第二引出布線組的導(dǎo)體寬度比第一 引出布線組的導(dǎo)體寬度大，所以可以提供位于彎曲部分的第二引出布線組 的導(dǎo)體的耐久性高且彎曲應(yīng)力強(qiáng)的布線結(jié)構(gòu)。上述第一引出布線組的導(dǎo)體 與第二引出布線組的導(dǎo)體相比更細(xì)，所以當(dāng)在形成于第一基板上的第一布
線組的側(cè)方配置第一引出布線組時(shí)，能夠在狹小的范圍內(nèi)高密度地設(shè)置布 線，這些第一引出布線組的導(dǎo)體不會(huì)彎曲，所以不會(huì)向成為微細(xì)布線的第 一引出布線組的導(dǎo)體施加應(yīng)力。
本發(fā)明正是鑒于上述情況而完成的發(fā)明，本發(fā)明的表面壓力分布傳感 器的特征在于，在上述第一基板上與所述第一布線組并排地形成所述第一 引出布線組，與所述第一布線組的各導(dǎo)體寬度相比，所述第一引出布線組 的各導(dǎo)體寬度更細(xì)，與所述第一布線組的整體寬度相比，所述第一引出布 線組的整體寬度更小，并且在所述第一布線組的側(cè)方側(cè)經(jīng)所述邊界部與所 述第二基板連接，在與所述第一引出布線組的各導(dǎo)體交叉的方向上排列有 所述第二布線組和所述第二引出布線組。
可以使第一引出布線組的整體寬度小于第一布線組的整體寬度，結(jié)果 在基板上即便是第一布線組側(cè)方的狹小區(qū)域也能夠配置第一引出布線組， 所以能夠盡可能地減小基板的浪費(fèi)部分，結(jié)果可以伴隨基板的小型化實(shí)現(xiàn) 表面壓力分布傳感器整體的小型化、輕量化。
本發(fā)明正是鑒于上述情況而完成的發(fā)明，本發(fā)明的表面壓力分布傳感 器的特征在于，在所述第一基板上的一部分，所述第一布線組的一側(cè)被集 中布線而形成第一元件連接區(qū)域，在所述第一基板的其他部分，所述第一 引出布線組的一側(cè)被集中布線而形成第二元件連接區(qū)域，所述第一元件連 接區(qū)域和所述第二元件連接區(qū)域鄰接配置，在這些元件連接區(qū)域連接有共 用或分別獨(dú)立的傳感用驅(qū)動(dòng)元件。
可以容易地在基板的集中布線的區(qū)域配置驅(qū)動(dòng)元件。
本發(fā)明正是鑒于上述情況而完成的發(fā)明，本發(fā)明的表面壓力分布傳感 器的特征在于，所述第二基板側(cè)的第二布線組的各導(dǎo)體以其原有的寬度通 過所述邊界部并延伸形成至所述第一基板上，在所述第一引出布線組的各 導(dǎo)體中，靠近所述第一布線組的一側(cè)的導(dǎo)體長，遠(yuǎn)離所述第一布線組的一 側(cè)的導(dǎo)體順次變短，所述第一引出布線組的各導(dǎo)體的前端部的位置在所述 第一引出布線組的長度方向上順次錯(cuò)開而配置，各位置錯(cuò)開而配置的所述 第一引出布線組的各導(dǎo)體的前端部與通過所述邊界部后的所述第二引出 布線組的各導(dǎo)體連接。 (發(fā)明效果) 根據(jù)本發(fā)明，可以提供如下所述的表面壓力分布傳感器，即在基板的 彎曲部分，第二引出布線組的各導(dǎo)體寬度較粗，所以不會(huì)向彎曲部分的第 二引出布線組的各導(dǎo)體作用過大的應(yīng)力，即便隨著時(shí)間的推移一直使用， 斷線的可能性也小且可靠性高。


圖1是本發(fā)明的表面壓力分布傳感器的一個(gè)實(shí)施方式的構(gòu)成的等效電 路圖。
圖2是表示將圖1所示的表面壓力分布傳感器的第一基板和第二基板
展開的狀態(tài)的圖。
圖3是表示上述表面壓力分布傳感器的布線結(jié)構(gòu)的俯視圖。 圖4是圖3所示的表面壓力分布傳感器的沿著A—A'線的截面圖。 圖5是圖3所示的表面壓力分布傳感器的沿著B—B'線的截面圖。 圖6是表示上述表面壓力分布傳感器的凹凸檢測(cè)時(shí)的情形的說明圖。 圖7是表示上述表面壓力分布傳感器中使用的電容檢測(cè)電路的一例的
電路圖。
圖8是表示現(xiàn)有的表面壓力分布傳感器的一例的等效電路圖。
圖9是表示將表面壓力分布傳感器的其他現(xiàn)有例展開的狀態(tài)的電路圖。
圖IO是表示表面壓力分布傳感器的其他現(xiàn)有例的布線的圖。 圖中..l一表面壓力分布傳感器，2—第一布線組(行布線)，2A—導(dǎo) 體，3—第一基板，3a—第一元件連接區(qū)域，3b—第二元件連接區(qū)域，5 — 第二布線組(列布線)，5A—導(dǎo)體，6 —第二基板，7—邊界部，8 —驅(qū)動(dòng)元 件，9一第一引出布線組，9A—導(dǎo)體，IO —絕緣層，ll一第二引出布線組， IIA—導(dǎo)體。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式，但本發(fā)明不限于以下說明的 實(shí)施方式。另外，在以下的附圖中，關(guān)于各構(gòu)成部分的顯示比例，為了便 于用圖來表示對(duì)每一構(gòu)成部分改變顯示比例進(jìn)行記載。
圖1是表示本實(shí)施方式的表面壓力分布傳感器的等效電路的說明圖， 圖2是圖1所示的表面壓力分布傳感器的具體結(jié)構(gòu)在組裝前的展開圖，圖
3是表示圖1所示的表面壓力分布傳感器在組裝后的平面構(gòu)成的圖，圖4 是圖3所示的表面壓力分布傳感器沿著A—A'線的截面圖，圖5是圖3所 示的表面壓力分布傳感器沿著B—B'線的截面圖。
該實(shí)施方式的表面壓力分布傳感器1，其為形成有第一布線組(行布 線組)2的第一基板3和形成有第二布線組(列布線組)5的第二基板6 經(jīng)兼作彎曲部的邊界部7如圖2所示以左右相鄰的方式接合的展開結(jié)構(gòu)， 彎曲先前的邊界部7使第一基板3和第二基板6如圖3所示以重疊的方式 對(duì)置而進(jìn)行組裝，由此如圖3 圖5所示成為一體結(jié)構(gòu)。
上述基板3、 6中在第一基板3上重疊的第二基板6，當(dāng)向其表面按壓 數(shù)pm 數(shù)10nm左右大小的凹凸面時(shí)，具有仿照該凹凸形狀變形的程度 的柔軟性即可，例如，適合使用厚l 30^im左右的聚酯薄膜等撓性薄膜。
上述第一基板3和第二基板6和邊界部7，在該狀態(tài)下都是由用撓性 薄膜形成的柔性基板構(gòu)成，如圖2所示，第一基板3和第二基板6都形成 為矩形形狀，在第一基板3的一個(gè)側(cè)緣部側(cè)，經(jīng)邊界部7有第二基板6延 伸形成。上述第一基板3的橫向?qū)挾群偷诙?的橫向?qū)挾却笾孪嗟龋?第一基板3的上緣和第二基板6的上緣被配置在同一直線上，第一基板3 的縱向長度比第二基板6的縱向長度長出若干，所以經(jīng)上述邊界部7彎曲 使第二基板6相對(duì)于第一基板3重疊，由此如圖3所示可以使第一基板3 的上緣以及側(cè)緣與第二基板的上緣以及側(cè)緣相互一致，此時(shí)，以第一基板 3的一部分從第二基板6露出一部分的形式進(jìn)行配置，該露出的第一基板 3的一部分作為元件連接區(qū)域部3A。
在上述第一基板3上形成的第一布線組2，是由如圖2所示在第一基 板3上向上下延伸且在左右方向上排列多條的長方形狀的多個(gè)導(dǎo)體2A的 集合體構(gòu)成，這些各導(dǎo)體2A延伸至第一基板3的元件連接區(qū)域部3A側(cè)， 在第一元件連接區(qū)域3a處集中布線，在該部分上連接有驅(qū)動(dòng)元件8的右 側(cè)一半左右的端子。
接著，在第一基板3上第一布線組2和第一基板3的側(cè)緣部3B之間 的部分，沿著上述側(cè)緣部3B形成向圖2的上下方向延伸且在左右方向上排列多個(gè)的導(dǎo)體9A，從這些導(dǎo)體9A形成第一布線組9，這些導(dǎo)體9A延 伸至第一基板3的元件連接區(qū)域部3A側(cè)，在與先前的第一元件連接區(qū)域 3a鄰接的第二元件連接區(qū)域3b處集中布線，在該部分有驅(qū)動(dòng)元件8的左 側(cè)一半左右的端子相連接。
其中，在圖2和圖3中，第一布線組2被配置在第一基板3的右側(cè)2/3 左右的面積部分，第一引出布線組9被配置在第一基板3的左側(cè)1/3左右 的面積部分，當(dāng)在將該實(shí)施方式的表面壓力分布傳感器1用于指紋傳感器 等用途時(shí)，優(yōu)選按照占據(jù)基板3的盡可能寬的區(qū)域的方式配置第一布線組 2，按照占據(jù)基板3的側(cè)緣部的極小一部分的寬度的部分的方式配置第一 引出布線組9。
例如，在用作指紋傳感器時(shí)，以40 50pm左右的間距(導(dǎo)體間空隙 為10pm)配置30 40pm左右的寬度的導(dǎo)體2A數(shù)IOO根、例如200根左 右，構(gòu)成第一布線組2，第一引出布線組9是配置10 20prn左右例如15pm 的寬度的導(dǎo)體9A數(shù)100根、例如200根左右，并使導(dǎo)體間空隙為10pm 左右而成。因此，具體而言，第一引出布線組9在第一布線組2的數(shù)分之 一左右的寬度的區(qū)域(在圖2中是二分之一左右的寬度的區(qū)域)布線。
就構(gòu)成上述第一引出布線組9的多個(gè)導(dǎo)體9A而言，接近上述第一布 線組2的一側(cè)的導(dǎo)體9A長，遠(yuǎn)離上述第一布線組2的一側(cè)的導(dǎo)體9A順 次縮短，上述第一引出布線組9的各導(dǎo)體9A的前端部的位置在上述第一 引出布線組9的長度方向上順次錯(cuò)開而配置。另外，在第一基板3上被覆 有覆蓋該基板3的上面、上述第一布線組2以及第一引出布線組9的絕緣 層10(參照?qǐng)D4、圖5)。其中，絕緣層10在元件連接區(qū)域3a、 3b的區(qū)域 被省略，以不阻礙各導(dǎo)體2A、 9A與驅(qū)動(dòng)元件8的連接。上述各導(dǎo)體2A、 9A例如是由0.1,厚度左右的鋁膜等形成，先前的絕緣層10例如是由
Si;04或Si02等絕緣材料的層疊體形成。
接著，在上述的第二基板6上形成有多個(gè)在圖2的左右方向(與第一 布線組2的導(dǎo)體2A大致成直角的方向)上延伸的導(dǎo)體5A，這些導(dǎo)體5A 在第二基板6的上下方向上并排形成有多個(gè)，形成第二布線組5。構(gòu)成該 第二布線組5的各導(dǎo)體5A的寬度與構(gòu)成先前的第一布線組2的各導(dǎo)體2A 大致相等，這些導(dǎo)體5A也是以同等程度的間距形成。這些各導(dǎo)體5A各
自具有相同的寬度和間距，并作為第二引出布線組11的導(dǎo)體11A向邊界
部7側(cè)延伸形成，通過邊界部7延伸至第一基板3側(cè)而形成，各導(dǎo)體11A 與第一基板2側(cè)的第一引出布線組9的各導(dǎo)體9A的前端部連接。
根據(jù)以上的構(gòu)成，經(jīng)第二引出布線組9的各導(dǎo)體9A和第一基板3側(cè) 的第一引出布線組9的導(dǎo)體9A，使得構(gòu)成第二基板6側(cè)的第二布線組5 的各導(dǎo)體5A與驅(qū)動(dòng)元件8的端子連接。因此，與第二布線組5連接的第 二引出布線組9的各導(dǎo)體9A在邊界部7上具有與第二布線組5的各導(dǎo)體 5A相同的粗細(xì)，并直接以該粗細(xì)延伸至第一基板3側(cè)而形成，成為第一 引出布線組9的導(dǎo)體9A之后其寬度和間距減小，所以在比第二布線組5 的排列方向的寬度(圖2中為上下方向的長度)小的寬度的區(qū)域內(nèi)排列有 第一引出布線組9。
另外，在第二基板6上被覆有覆蓋該基板6的上面、上述第二布線組 5和第二引出布線組11的絕緣層20。上述各導(dǎo)體5A、11A例如是由O.lpm 厚度左右的鋁膜等形成，先前的絕緣層20例如是由Si304或Si02等絕緣 材料的層疊體形成。
上述構(gòu)成的第二基板6在上述第一基板3上折疊，但就該實(shí)施方式的 表面壓力分布傳感器1而言，在第一基板3和第二基板6的重疊部分，有 隔離物21介于其間以包圍其周緣部，在第一基板3側(cè)的第一布線組2和 與其對(duì)置的第二基板6側(cè)的第二布線組5之間，形成與隔離物21的厚度 相對(duì)應(yīng)的空氣層22，并且在第二基板6的背面?zhèn)忍碓O(shè)由不銹鋼板等形成的 剛性高的加強(qiáng)板23，在第二基板6的外面?zhèn)劝凑崭┮曄掳鼑诙季€組5 的方式貼附有框體24。因此，該框體24的內(nèi)側(cè)的區(qū)域、即在俯視下第一 布線組2的多個(gè)導(dǎo)體2A和第二布線組5的多個(gè)導(dǎo)體5A以大致90°交叉而 對(duì)置配置的區(qū)域成為表面壓力分布傳感器1的感測(cè)區(qū)域S。
上述第一布線組2的各導(dǎo)體2A和第二布線組5的各導(dǎo)體5A如圖1 所示與在驅(qū)動(dòng)元件8中內(nèi)置的電容檢測(cè)電路25和列選擇電路26連接，可 以用電容檢測(cè)電路25檢測(cè)第一布線組2的各導(dǎo)體2A和第二布線組5的各 導(dǎo)體5A交叉形成的感測(cè)區(qū)域S中的、與分離距離的變化相對(duì)應(yīng)的靜電電 容的變化。如此，檢測(cè)出向由撓性薄膜形成的第二基板6的外面按壓微細(xì) 的凹凸時(shí)產(chǎn)生的多個(gè)交叉部的靜電電容的變化，由此可以將被測(cè)定物的凹凸面的形狀例如圖6所示的手指30的指紋的形狀作為信號(hào)數(shù)據(jù)輸出。
在該實(shí)施方式中使用的電容檢測(cè)電路25例如使用如圖7所示的電路， 除了測(cè)定時(shí)由列選擇電路26選擇的第二布線組5的導(dǎo)體5A之外，全部與 接地側(cè)連接，并且，同一第一布線組2的導(dǎo)體2A上的測(cè)定對(duì)象之外的靜 電電容全部作為寄生電容被并聯(lián)輸入到測(cè)定系統(tǒng)中，寄生電容的相反側(cè)的 電極與接地側(cè)連接，由此可以進(jìn)行取消。通過這樣的構(gòu)成，能以良好的精 度檢測(cè)微細(xì)的凹凸面即微小的靜電電容的變化。
其中，在本實(shí)施方式中，在撓性薄膜的第二基板6側(cè)形成有第二布線 組5，但可以在第二基板6側(cè)形成第一布線組2。但是，從難以受靜電影 響的關(guān)系出發(fā)，更優(yōu)選在第二基板6側(cè)形成與作為低輸出阻抗的列選擇電 路26連接的第二布線組5。
對(duì)于以上結(jié)構(gòu)的表面壓力分布傳感器1，并不特別限定其用途，例如 如圖6所示可以用作指紋傳感器。當(dāng)向第二基板6的表面按壓指紋等微細(xì) 的凹凸17時(shí)，通過檢測(cè)此時(shí)發(fā)生的在第一布線組2的導(dǎo)體2A和第二布線 組5的導(dǎo)體5A的交叉部分的、與分離距離的變化相對(duì)應(yīng)的靜電電容的變 化，可以準(zhǔn)確地檢測(cè)出手指30的指紋等微細(xì)的凹凸27的形狀，并作為信 號(hào)數(shù)據(jù)輸出。
作為將該實(shí)施方式的表面壓力分布傳感器1用于例如指紋傳感器的例 子，例如可以用于移動(dòng)電話的所有者認(rèn)證系統(tǒng)等。近年來，考慮到用移動(dòng) 電話等進(jìn)行結(jié)帳等，通過在移動(dòng)電話中形成表面壓力分布傳感器1，可以 準(zhǔn)確地檢測(cè)出按壓在表面壓力分布傳感器1上的指紋，通過與預(yù)先登記的 指紋數(shù)據(jù)相對(duì)照而可以正確地對(duì)所有者進(jìn)行認(rèn)證。就上述結(jié)構(gòu)的表面壓力分布傳感器1而言，第二基板6側(cè)的第二布線 組5的導(dǎo)體5A以其原有的粗細(xì)經(jīng)邊界部7向第一基板3側(cè)延伸而形成， 盡可能粗地形成彎曲應(yīng)力所作用的導(dǎo)體部分，所以在作為彎曲部分的邊界 部7上形成的導(dǎo)體11A對(duì)抗彎曲應(yīng)力的能力強(qiáng)，有助于提高表面壓力分布 傳感器1的布線的可靠性。
與此相對(duì)，在圖9、圖10所示的結(jié)構(gòu)的表面壓力分布傳感器D中， 沿著感測(cè)區(qū)域120的側(cè)方配置與表面壓力分布傳感器1的第一引出布線組 9的導(dǎo)體9A…相當(dāng)?shù)膶?dǎo)體116...、以及與第二引出布線組11的導(dǎo)體11A 相當(dāng)?shù)膶?dǎo)體115，并沿著該方向延伸形成，引出布線115、 116的粗細(xì)直接 影響感測(cè)區(qū)域120的外部區(qū)域的寬度方向，所以為了縮小表面壓力分布傳 感器D的基板尺寸，需要較細(xì)地且以窄間距形成引出布線115、 116，但 問題是，如果引出布線115、 116細(xì)，則引出布線116的彎曲部分變?nèi)酢?br> 與此相對(duì)，在本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中，第二引出布線組11的導(dǎo)體11A 配置在其與第一布線組2的多個(gè)導(dǎo)體2A交叉的方向上，而且，可以在導(dǎo) 體11A的布線區(qū)域利用縱向?qū)挾扰c圖3所示的感測(cè)區(qū)域S的縱向?qū)挾认嗤?的邊界部3B，由此可以以與導(dǎo)體5A的各導(dǎo)體寬度和根數(shù)相同的導(dǎo)體寬度 和根數(shù)形成導(dǎo)體IIA，所以能夠不減小導(dǎo)體11A的粗細(xì)且以與導(dǎo)體5A相 同的粗細(xì)和間距在基板3上和基板6上形成導(dǎo)體IIA，由此可以提高布線 可靠性。
從這些各導(dǎo)體的配置結(jié)構(gòu)可知，與如圖2所示在基板3的左側(cè)配置基 板6的結(jié)構(gòu)相對(duì)，在基板3的右側(cè)配置基板6，左右對(duì)稱地形成圖2所示 的各布線的配置結(jié)構(gòu)，這樣的結(jié)構(gòu)當(dāng)然也能實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的。 (工業(yè)上的可利用性)
本發(fā)明的表面壓力分布傳感器可用作移動(dòng)電話的所有者認(rèn)證系統(tǒng)的 指紋傳感器，另外，還可廣泛應(yīng)用于帶指紋認(rèn)證系統(tǒng)的IC卡、便攜式信 息設(shè)備、便攜式音樂播放器、汽車的電子鎖的所有者認(rèn)證系統(tǒng)等的電子設(shè) 備中。
權(quán)利要求
1.一種表面壓力分布傳感器，具備第一基板，形成有并排形成多個(gè)導(dǎo)體而成的第一布線組；第二基板，形成有并排形成多個(gè)導(dǎo)體而成的第二布線組；和邊界部，連接所述第一基板和第二基板；通過所述邊界部的彎曲，按照使所述第一基板的第一布線組和所述第二基板的第二布線組配置成對(duì)置交叉狀態(tài)的方式來連接所述第一基板和所述第二基板，基于所述第一布線組的導(dǎo)體和所述第二布線組的導(dǎo)體的各交叉部的靜電電容的變化來檢測(cè)表面壓力的分布，在所述第一基板上形成與所述第一布線組鄰接且與所述第一布線組獨(dú)立的第一引出布線組，在所述第二基板上形成與所述第二布線組連接的第二引出布線組，所述第二引出布線組經(jīng)所述邊界部而延伸形成，與所述第一基板側(cè)的第一引出布線組連接，并且，與所述第一布線組的導(dǎo)體的寬度和所述第二布線組的導(dǎo)體的寬度相比，所述第一引出布線組的導(dǎo)體的寬度更小，位于所述邊界部的彎曲部分的所述第二引出布線組的導(dǎo)體的寬度比所述第一引出布線組的導(dǎo)體的寬度大。
2. 如權(quán)利要求1所述的表面壓力分布傳感器，其特征在于， 在所述第一基板上，與所述第一布線組并排地形成所述第一引出布線組，與所述第一布線組的各導(dǎo)體寬度相比，所述第一引出布線組的各導(dǎo)體 寬度更細(xì)，與所述第一布線組的整體寬度相比，所述第一引出布線組的整 體寬度更小，并且在所述第一布線組的側(cè)方側(cè)經(jīng)所述邊界部與所述第二基 板連接，在與所述第一引出布線組的各導(dǎo)體交叉的方向上排列有所述第二 布線組和所述第二引出布線組。
3. 如權(quán)利要求2所述的表面壓力分布傳感器，其特征在于， 在所述第一基板上的一部分，所述第一布線組的一側(cè)被集中布線而形成第一元件連接區(qū)域，在所述第一基板的其他部分，所述第一引出布線組 的一側(cè)被集中布線而形成第二元件連接區(qū)域，所述第一元件連接區(qū)域和所 述第二元件連接區(qū)域鄰接配置，在這些元件連接區(qū)域連接有共用或分別獨(dú)立的傳感用驅(qū)動(dòng)元件。
4.如權(quán)利要求2所述的表面壓力分布傳感器，其特征在于， 所述第二基板側(cè)的第二布線組的各導(dǎo)體以其原有的寬度通過所述邊 界部并延伸形成至所述第一基板上，在所述第一引出布線組的各導(dǎo)體中， 靠近所述第一布線組的一側(cè)的導(dǎo)體長，遠(yuǎn)離所述第一布線組的一側(cè)的導(dǎo)體 順次變短，所述第一引出布線組的各導(dǎo)體的前端部的位置在所述第一引出 布線組的長度方向上順次錯(cuò)開而配置，各位置錯(cuò)開而配置的所述第一引出 布線組的各導(dǎo)體的前端部與通過所述邊界部后的所述第二引出布線組的 各導(dǎo)體連接。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種即便是具有彎曲部分的結(jié)構(gòu)布線的可靠性也高、可以正確且穩(wěn)定地檢測(cè)表面壓力分布、且能以簡(jiǎn)單的構(gòu)成低成本制造的表面壓力分布傳感器。本發(fā)明在第一基板上與第一布線組鄰接形成第一引出布線組，在第二基板上形成與第二布線組連接的第二引出布線組，第二引出布線組經(jīng)邊界部延伸形成，與第一基板側(cè)的第一引出布線組連接，與第一布線組的導(dǎo)體的寬度和第二布線組的導(dǎo)體的寬度相比，第一引出布線組的導(dǎo)體的寬度更小，位于邊界部的彎曲部分的第二引出布線組的導(dǎo)體的寬度比第一引出布線組的導(dǎo)體的寬度大。
文檔編號(hào)G01L5/00GK101208587SQ200680022968
公開日2008年6月25日 申請(qǐng)日期2006年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月28日
發(fā)明者中村雅仁 申請(qǐng)人:阿爾卑斯電氣株式會(huì)社