專利名稱：透鏡測定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測定透鏡的光學(xué)特性的透鏡測定裝置。
背景技術(shù)：
以往，作為測定透鏡的光學(xué)特性的透鏡測定裝置，例如特開2004-294076號公報所記載那樣，已知有測定透鏡的MTF值或MTF散焦特性的測定裝置。該裝置對配置在裝置內(nèi)的被檢測透鏡經(jīng)由基準(zhǔn)圖表(chart)射入鹵素?zé)舻墓?，由固體攝像元件檢測從被檢測透鏡射出的光像，測定被檢測透鏡的MTF值和MTF散焦特性。
但是，在這樣的透鏡測定裝置中，在進(jìn)行種類不同的被檢測透鏡的測定時，存在不能順利地進(jìn)行測定作業(yè)的問題。例如，測定種類不同的被檢測透鏡時透鏡的焦點(diǎn)距離改變時，需要變更基準(zhǔn)圖表的配置位置的設(shè)定等測定系統(tǒng)的設(shè)定。每進(jìn)行其變更時，工作人員變更測定系統(tǒng)的設(shè)定成為復(fù)雜的工作，不能有效地進(jìn)行測定作業(yè)。另外，若弄錯設(shè)定變更而基準(zhǔn)圖表未設(shè)定在適當(dāng)?shù)奈恢?，則無法進(jìn)行正確的測定，根據(jù)情況有可能招致裝置的破損。
另外，作為這樣的透鏡測定裝置，所測定的被檢測透鏡的光學(xué)特性未達(dá)到預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值時，考慮透鏡顯示為不良(NG)的裝置，無法判斷所測定的透鏡對于哪個光學(xué)特性變?yōu)镹G。因此在該透鏡測定時，不能知道透鏡為何種不良，很難知道不良情況產(chǎn)生的原因。從而，無法實(shí)現(xiàn)透鏡的不良的減少。

發(fā)明內(nèi)容
在此，本發(fā)明為了解決上述的技術(shù)問題而提出的，其目的在于，提供一種通過根據(jù)應(yīng)測定的透鏡的種類來自動進(jìn)行測定設(shè)定，來順利進(jìn)行種類不同的透鏡的測定的測定裝置。進(jìn)一步，其目的在于，提供一種透鏡測定時能容易地識別透鏡的不良內(nèi)容的測定裝置。
即，本發(fā)明的透鏡測定裝置，測定透鏡的光學(xué)特性，具備保持器具，保持成為測定對象的透鏡；檢測部件，當(dāng)所述保持器具被配置在透鏡測定位置上時，基于所述保持器具所屬的信息來檢測所述保持器具所保持的透鏡的種類；和測定設(shè)定部件，根據(jù)由所述檢測部件所檢測出的透鏡的種類來進(jìn)行測定部的測定設(shè)定。
根據(jù)該發(fā)明，當(dāng)保持透鏡的保持器具被配置在透鏡測定位置上時，基于保持器具所屬的信息來檢測透鏡的種類，且根據(jù)透鏡來進(jìn)行測定部的測定設(shè)定。因此，無需根據(jù)透鏡測定裝置的操作者測定的透鏡的種類來進(jìn)行測定的設(shè)定，測定作業(yè)順利地進(jìn)行。另外，通過將保持器具配置在透鏡測定位置上，自動地識別透鏡的種類，因此能防止錯誤地對透鏡的種類進(jìn)行測定設(shè)定。
另外，優(yōu)選為，本發(fā)明的透鏡測定裝置，在所述透鏡的焦點(diǎn)位置上配置圖表，并且由逆投影來測定所述透鏡的光學(xué)特性，所述測定設(shè)定部件根據(jù)所述透鏡的種類來設(shè)定所述圖表的位置。
根據(jù)該發(fā)明，通過由逆投影來測定透鏡的光學(xué)特性，而圖表被配置在透鏡的近的位置上。在該情況下，測定設(shè)定部件根據(jù)透鏡來自動設(shè)定圖表位置，因此能防止裝置的操作者錯誤地測定設(shè)定并且圖表與保持器具接觸而破損等情況。
另外，本發(fā)明的透鏡測定裝置中，優(yōu)選為，作為所述透鏡的光學(xué)特性至少測定MTF。
本發(fā)明的透鏡測定裝置，測定透鏡的光學(xué)特性，具備測定部件，對所述透鏡測定多個不同的光學(xué)特性；和顯示部件，當(dāng)由所述測定部件所測定的光學(xué)特性不在允許范圍內(nèi)并且所述透鏡被判斷為不良時，按不良內(nèi)容而采用不同的模樣來顯示該不良內(nèi)容。
根據(jù)該發(fā)明，透鏡被判斷為不良時按不良內(nèi)容而采用不同的模樣來顯示該不良內(nèi)容，因此能容易識別透鏡對于哪個光學(xué)特性變?yōu)椴涣肌?br> 另外，本發(fā)明的透鏡測定裝置中，優(yōu)選為，所述顯示部件，當(dāng)所述透鏡被判斷為不良時，按不良內(nèi)容而采用不同的色彩來顯示該不良內(nèi)容。
根據(jù)該發(fā)明，透鏡被判斷為不良時按不良內(nèi)容而采用不同的色彩來顯示該不良內(nèi)容，因此能通過色彩容易識別透鏡對于哪個光學(xué)特性變?yōu)椴涣肌?br> 根據(jù)本發(fā)明，通過根據(jù)應(yīng)測定的透鏡的種類來自動地進(jìn)行測定設(shè)定，而能順利地進(jìn)行種類不同的透鏡的測定。另外，所測定的透鏡被判斷為不良時按不良內(nèi)容而采用不同的模樣來顯示該不良內(nèi)容，從而在測定透鏡時能容易地識別不良內(nèi)容。


圖1是第一及第二實(shí)施方式的透鏡測定裝置的構(gòu)成概要圖。
圖2是圖1的透鏡測定裝置中使用的托盤的平面圖。
圖3是圖2的III-III中的托盤的剖面圖。
圖4是從圖2的IV-IV觀察的托盤的側(cè)面圖。
圖5是圖1中的透鏡測定裝置中使用的圖表的說明圖。
圖6是表示圖1的透鏡測定裝置的基本動作的流程圖。
圖7是圖1的透鏡測定裝置中的測定結(jié)果的說明圖。
圖8是圖1的透鏡測定裝置中的測定結(jié)果的說明圖。
圖9是圖1的透鏡測定裝置中的測定結(jié)果顯示的說明圖。
圖10是圖1的透鏡測定裝置中的測定結(jié)果顯示的說明圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。此外，在附圖的說明中對于相同的要素附加相同的符號，省略重復(fù)的說明。另外，各圖中的部件或形成在部件上的部分的構(gòu)成比率不一定如所說明的那樣一致。
(第一實(shí)施方式)圖1是第一實(shí)施方式的透鏡測定裝置的構(gòu)成概要圖。本實(shí)施方式的透鏡測定裝置是測定透鏡1的光學(xué)特性的裝置，例如用在MTF(ModulationTransfer Function)的測定中。透鏡測定裝置具備測定部2、解析控制部3、監(jiān)視器4、判定部5及電源部6。測定部2用于測定透鏡1的光學(xué)特性。測定部2及電源部6構(gòu)成裝置本體，例如分別對個別的筐體21、61收容各構(gòu)成部件。
測定部2載置在電源部6上。例如，測定部2設(shè)置成，經(jīng)由防振橡膠62載置在電源部6上，并且不傳遞由電源部6的動作而產(chǎn)生的振動。由此，在振動少的環(huán)境下能測定透鏡1的光學(xué)特性。
測定對象物即透鏡1保持在托盤(tray)7上并測定。托盤7是保持透鏡1的保持器具，作成以可將光透過透鏡1的方式支承的結(jié)構(gòu)。托盤7優(yōu)選使用一次可收容多個透鏡1的部件。在測定部2設(shè)置有載置托盤7的XY載置臺22。XY載置臺22構(gòu)成為，載置托盤7，可使托盤7在X方向即左右方向和Y方向即前后方向移動，由其托盤7的移動使成為測定對象的透鏡1移動。作為XY載置臺22，若使托盤7在X方向及Y方向移動，則可以使用任意的載置臺。
在XY載置臺22上設(shè)置有檢測保持在托盤7上的透鏡1的種類的檢測部22a。檢測部22a基于設(shè)置在托盤7上的識別部71的信息來檢測托盤7保持的透鏡1的種類。另外，檢測部22a基于設(shè)置在托盤7上的識別部71的信息來檢測托盤7的識別編號。托盤7的識別編號是用于分別識別相同的種類的托盤7的編號，按每個托盤7分配不同的識別編號。作為該托盤7的識別編號，優(yōu)選分配連續(xù)的串行(serial)編號。
在測定部2配置有圖表(chart)23。圖表23是用于形成對透鏡1輸入的輸入像的圖表，配置在積分球24和透鏡1之間。該測定部2用于由逆投影測定透鏡1的光學(xué)特性。即，對透鏡1投影光像的圖表23配置在透鏡1的焦點(diǎn)位置上。
圖表23安裝在Z載置臺25上。Z載置臺25構(gòu)成為可使圖表23在Z方向即上下方向移動，使圖表23對透鏡1任意地接近及離開。由此，能進(jìn)行圖表23相對透鏡1的位置調(diào)整。作為Z載置臺25，若使圖表23可在Z方向移動，則可以使用任意的載置臺。
在測定部2設(shè)置有積分球24。積分球24成為向圖表23發(fā)出輸入光的發(fā)光源，例如安裝在圖表23的下方位置上。積分球24是具有輸出口24a，并且在內(nèi)面形成擴(kuò)散面24b的球體。由光源部63發(fā)出的光通過導(dǎo)光管68射入到積分球24。射入到積分球24的光在積分球24的內(nèi)部反復(fù)反射，并且從輸出口24a成為光量不均極少的光而輸出。
在測定部2設(shè)置有相機(jī)26。相機(jī)26是接收從透鏡1輸出的輸出像的攝像部件。作為相機(jī)26，使用具備例如CCD(Charge Coupled Device)等的固體攝像元件的相機(jī)。透鏡1的輸出像是輸入到透鏡1的圖表23的輸入像由透鏡1結(jié)像到相機(jī)26中的像。
作為相機(jī)26，為了檢測透鏡1的不同的部位的光學(xué)特性，而優(yōu)選使用多個相機(jī)。該相機(jī)26例如設(shè)置9個。此時，在左右方向及前后方向分別排列3個。由此，能測定透鏡1的前后左右的9個部位的光學(xué)特性。相機(jī)26的接收信號被輸入到解析控制部3。
在電源部6設(shè)置有光源部63。光源部63是發(fā)出輸入到積分球24的光的光源，例如使用具備鹵素?zé)舻墓庠?。從光源?3輸出的光通過導(dǎo)光管68被輸入到積分球24。另外，在電源部6設(shè)置有驅(qū)動部64。驅(qū)動部64用于進(jìn)行XY載置臺22及Z載置臺25的驅(qū)動控制。該驅(qū)動部64在例如XY載置臺22及Z載置臺25由脈沖電機(jī)的驅(qū)動而動作時，由脈沖電機(jī)控制器構(gòu)成。驅(qū)動部64根據(jù)從解析控制部3輸出的控制信號對XY載置臺22及Z載置臺25輸出驅(qū)動信號。
另外，在電源部6設(shè)置有控制部65?？刂撇?5主要用于進(jìn)行光源部63的發(fā)光控制。另外，控制部65輸入XY載置臺22的檢測部22a的檢測信號，將該檢測信號向解析控制部3輸出。另外，在電源部6設(shè)置有電源66。電源66成為光源部63、驅(qū)動部64及控制部65的電力供給源。另外，在電源部6設(shè)置有風(fēng)扇67。風(fēng)扇67作為排出電源部6內(nèi)的熱并且進(jìn)行冷卻的冷卻部件而發(fā)揮作用，例如使用具備旋轉(zhuǎn)翼的風(fēng)扇。
解析控制部3用于進(jìn)行裝置全體的控制，將包含例如CPU、ROM、RAM的計算機(jī)作為主體而構(gòu)成。作為該解析控制部3使用例如個人計算的本體部。解析控制部3作為基于安裝在測定部2的托盤7的信息來識別測定的透鏡1的種類，并且進(jìn)行其透鏡1的種類所對應(yīng)的透鏡光學(xué)特性的測定的設(shè)定的測定設(shè)定部件來發(fā)揮作用。例如，在解析控制部3登錄有透鏡1的種類所對應(yīng)的測定設(shè)定數(shù)據(jù)。具體而言，登錄有透鏡1的種類所對應(yīng)的圖表23的位置設(shè)定數(shù)據(jù)、托盤7的種類所對應(yīng)的XY載置臺22的移動位置數(shù)據(jù)等。另外，解析控制部3作為輸入相機(jī)26的接收信號，并且基于其接收信息來解析透鏡1的MTF等的光學(xué)特性的解析部件而發(fā)揮作用。
監(jiān)視器4與解析控制部3連接，作為顯示透鏡1的光學(xué)特性的測定結(jié)果等的顯示部件而發(fā)揮作用。另外，通過監(jiān)視器4，也進(jìn)行測定透鏡1之際的測定設(shè)定的顯示。
判定部5用于判定保持在托盤7上的透鏡1的測定結(jié)果。判定部5構(gòu)成為可載置托盤7，具備識別載置后的托盤7的識別部51、顯示成為測定結(jié)果NG的透鏡1的顯示部52。判定部5與解析控制部3連接，可取得托盤7的檢測信息及透鏡1的測定結(jié)果信息。
若在判定部5載置已測定的托盤7，則識別部51基于托盤7的識別部71識別托盤7。并且從解析控制部3取得保持在該托盤7上的各透鏡1的測定結(jié)果，顯示部52由特定的色彩來顯示測定結(jié)果NG的透鏡1。例如，顯示部52與托盤7的各透鏡1的配置位置對應(yīng)而配置有多個發(fā)光體，使與成為NG的透鏡1對應(yīng)的發(fā)光體發(fā)紅地發(fā)光。由此，裝置的操作者從保持多個的透鏡1中容易判斷成為測定結(jié)果NG的透鏡1，從托盤7上取出其NG的透鏡1。
圖2表示托盤7的平面圖。圖3是圖2的III-III中的托盤7的剖面圖。圖4是從圖2的IV-IV開始觀察的托盤7的側(cè)面圖。
如圖2、3所示，在托盤7上形成有保持多個透鏡1的保持部72。保持部72構(gòu)成為例如可使托盤7的上面向下方洼下去并且收容透鏡1。在保持部72設(shè)置有貫通底部而形成的貫通孔73。貫通孔73是用于在透鏡測定時透過輸入像的孔。保持部72在縱橫排列而形成，例如以6個×6個排列，在托盤7上形成36個。
如圖4所示，在托盤7上設(shè)置有識別部71。識別部71用于表示托盤7的種類及識別編號，例如，使用組合多個凹凸部71a的部件。識別部71將對下方側(cè)凹凸的N個凹凸部71a并設(shè)而構(gòu)成，設(shè)定凹凸部71a的凹凸而能構(gòu)筑N位的信息。并且，通過根據(jù)該N位的信息設(shè)定托盤7的種類及托盤7的識別編號，基于N位的信息可識別托盤7的種類及托盤7的識別編號。在識別部71形成例如7個凹凸部71a，具有7位信息。
作為基于托盤7的識別部71檢測托盤7的種類及托盤7的識別編號的檢測部22a，使用具備根據(jù)例如凹凸部71a的凹凸來開閉的開關(guān)的部件。檢測部22a根據(jù)開關(guān)的開閉狀態(tài)檢測托盤7的識別部71中的凹凸部71a的凹凸?fàn)顟B(tài)，基于其凹凸?fàn)顟B(tài)檢測托盤7的種類即保持在托盤7上的透鏡1的種類及托盤7的識別編號。另外，判定部5的識別部51也使用與檢測部2a相同的部件來構(gòu)成即可。
此外，該檢測部22a及識別部51若是讀取托盤7的信息的部件，則也可以是上述的部件以外的部件，也可以是例如對托盤7賦予條形碼，讀取其條形碼來檢測托盤7的信息的部件。
圖5是圖表23的平面圖。
如圖5所示，圖表23由只對形成裂縫23a的部分允許光的透過，而遮斷其他部分的光的透過的板體來構(gòu)成。裂縫23a按照例如中央位置的測定點(diǎn)p1和在其周圍配置成放射狀的多個測定點(diǎn)p2～p9以十字狀開口的方式形成。另外，也可以將測定點(diǎn)p1～p9在縱3個橫3個排列而形成。各測定點(diǎn)p1～p9中，優(yōu)選在裂縫23a形成為十字狀。由此在裂縫23a設(shè)置多個測定點(diǎn)p1～p9，從而能分別測定透鏡1的各部的光學(xué)特性，能緊密地測定透鏡1的光學(xué)特性。
接著說明本實(shí)施方式的透鏡測定裝置的基本動作。
圖6是表示本實(shí)施方式的透鏡測定裝置的基本動作的流程圖。圖6中的控制處理主要由解析控制部3來執(zhí)行。如圖6的S10所示，首先，判斷托盤7是否安裝在測定部2的測定位置上。該判斷處理基于例如XY載置臺22的檢測部22a的檢測信號進(jìn)行即可。在S10中判斷為托盤7安裝在測定部2的測定位置上時，進(jìn)行托盤識別信息的讀入處理(S12)。
該托盤識別信息的讀入處理基于檢測部22a的檢測信號來進(jìn)行。即，基于檢測部22a的檢測信號中含有的7位信息檢測托盤7的種類及托盤7的識別編號，分別讀入其托盤7的種類及保持在其托盤7上的透鏡1的種類及托盤7的識別編號。
并且，移行至S14，進(jìn)行測定設(shè)定處理。該測定設(shè)定處理是透鏡1的光學(xué)特性的測定之際進(jìn)行其測定系統(tǒng)的設(shè)定的處理。例如，作為測定設(shè)定，與透鏡1的焦點(diǎn)距離對應(yīng)而進(jìn)行圖表23的位置設(shè)定。根據(jù)透鏡1的種類從解析控制部3對驅(qū)動部64輸出驅(qū)動控制信號，接收驅(qū)動部64的驅(qū)動信號而Z載置臺25工作，進(jìn)行圖表23的Z方向的位置設(shè)定。通過這樣的測定設(shè)定，裝置的操作者無需根據(jù)透鏡1的種類來進(jìn)行測定設(shè)定，測定工作順利進(jìn)行。另外，能防止有誤地進(jìn)行測定設(shè)定。
另外，作為測定設(shè)定，與托盤7的透鏡1保持位置對應(yīng)而進(jìn)行XY載置臺22的移動設(shè)定程序的讀入。另外，作為測定設(shè)定，也有根據(jù)透鏡1的種類來設(shè)定從積分球24輸出的光的光量的情況。
并且，移行至S16，判斷測定開始按鈕是否打開。在裝置的操作者按下未圖示的測定開始按鈕時，判斷為測定開始按鈕已打開。在判斷為測定開始按鈕已打開時，進(jìn)行測定處理(S18)。
測定處理通過以應(yīng)測定的透鏡1來到圖表23的正上方的方式使XY載置臺22動作，使光從積分球24輸出，基于對從透鏡1輸出的光像進(jìn)行攝像的相機(jī)26的攝像圖像解析透鏡1的光學(xué)特性，來進(jìn)行。從積分球24射出的光通過圖表23的裂縫23a射入到透鏡1。并且，從透鏡1輸出的裂縫23a的光像被攝像到相機(jī)26中。此時，分別對裂縫23a的測定點(diǎn)p1～p9分配的相機(jī)26對這些測定點(diǎn)p1～p9中的光像進(jìn)行攝像。
作為透鏡1的光學(xué)特性，測定MTF。MTF求出例如裂縫23a的光像圖像的線像強(qiáng)度分布，將其進(jìn)行傅立葉變換而算出。該MTF按測定點(diǎn)p1～p9來算出。另外，算出如圖7所示的對空間頻率的MTF的光學(xué)特性或?qū)θ鐖D8所示的散焦的MTF的光學(xué)特性。另外，作為透鏡1的光學(xué)特性，測定透鏡1的焦點(diǎn)距離、焦點(diǎn)深度、偏芯狀態(tài)等。這些光學(xué)特性與MTF同樣優(yōu)選按測定點(diǎn)p1～p9進(jìn)行測定。
并且，移行至圖6的S20，進(jìn)行測定結(jié)果判斷處理。該測定結(jié)果判斷處理是判斷所測定的透鏡1的光學(xué)特性是否成為預(yù)先設(shè)定的允許范圍內(nèi)的特性的處理。判斷例如透鏡1的MTF值是否成為允許范圍內(nèi)的值。在透鏡1的MTF值未成為允許范圍內(nèi)的值時，其透鏡1作為NG透鏡來進(jìn)行處理。
并且，移行至S22，判斷所測定的透鏡1的光學(xué)特性是否為NG。在所測定的透鏡1的光學(xué)特性不在允許范圍內(nèi)時，判斷為透鏡1為NG，進(jìn)行NG計數(shù)完了(count up)處理(S24)。NG計數(shù)完了處理增加對成為NG的透鏡1的托盤7上的透鏡保持位置(保持部72)的計數(shù)值。該計數(shù)值分別對每個托盤7的透鏡保持位置所設(shè)定，表示各個透鏡保持位置中的NG次數(shù)。
并且，移行至S26，進(jìn)行結(jié)果顯示處理。結(jié)果顯示處理是對監(jiān)視器4顯示所測定的透鏡1為NG的處理。例如，如圖9所示，NG顯示41被圖像顯示。通過操作者觀察該顯示，能容易得知有托盤7上的透鏡1的任意個不滿足光學(xué)特性的基準(zhǔn)值的部件。
另外，此時，優(yōu)選為，按NG內(nèi)容而采用不同的色彩來顯示透鏡1為何種NG。例如，如圖9所示，顯示與托盤7的透鏡保持位置(保持部72的形成位置)對應(yīng)的托盤顯示42，作為縱A～F、橫1～6稱作A1、B2那樣由坐標(biāo)值特定透鏡保持位置地進(jìn)行顯示。在該托盤顯示42中，例如在MTF在允許范圍外為NG時，其NG的透鏡1的位置顯示為紅色，F(xiàn)FL為NG時顯示為茶色，偏芯為NG時顯示為桔子色，焦點(diǎn)深度為NG時顯示為粉紅色。
由此，通過按NG內(nèi)容而采用不同的色彩來顯示，能容易識別透鏡1的光學(xué)特性為哪一項(xiàng)目的NG。另外，通過向其他人告知NG的色彩，而能容易傳遞透鏡1的NG內(nèi)容的信息。尤其裝置的操作者向使用語言不同的人傳遞NG內(nèi)容時，能容易傳遞其NG內(nèi)容。
另一方面，圖6的S22中，判斷為所測定的透鏡1的光學(xué)特性不是NG時，進(jìn)行測定結(jié)果處理(S28)。該結(jié)果顯示處理是對監(jiān)視器4顯示所測定的透鏡1不是NG而是OK的處理。例如，如圖10所示，OK顯示43被圖像顯示。通過操作者看到該顯示，而容易得知托盤7上的透鏡1的全部滿足光學(xué)特性的基準(zhǔn)值。此外，所測定的透鏡1不是NG，并且也不是OK，在判斷保留時，也有顯示“保留”的情況。
并且，移行至S30，判斷托盤7上的全部的透鏡1的測定是否結(jié)束。例如，通過使XY載置臺22工作來移動托盤7的位置，從端依次測定托盤7上的透鏡1時，判斷托盤7上的全部的透鏡1是否測定結(jié)束。托盤7上的全部的透鏡1未測定結(jié)束時，回到S18。
另一方面，在S30中判斷為托盤7上的全部的透鏡1測定結(jié)束時，進(jìn)行警告處理(S32)。警告處理是在S24中計數(shù)完了的NG計數(shù)值為設(shè)定值以上時，警告在透鏡測定系統(tǒng)中有可能產(chǎn)生異常的處理。例如，相同的識別編號的托盤7中的特定的透鏡保持位置的NG連續(xù)而n次NG時，警告在托盤7中產(chǎn)生異常。此時，也可以在m次測定中n次NG時發(fā)出警告。警告的方法由向監(jiān)視器4的圖像顯示、聲音的輸出、燈等的發(fā)光部件的發(fā)光等來進(jìn)行。另一方面，在S24中計數(shù)完了后的NG計數(shù)值為設(shè)定值以上時，在警告處理中不進(jìn)行警告透鏡測定系統(tǒng)的異常的處理。結(jié)束該警告處理之后，結(jié)束控制處理。
如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的透鏡測定裝置，保持透鏡1的托盤7配置在透鏡測定位置上時，基于賦予托盤7上的信息來檢測透鏡1的種類，進(jìn)行測定部3的測定準(zhǔn)備(set up)。因此，無需根據(jù)透鏡測定裝置的操作者測定的透鏡1的種類來進(jìn)行測定的設(shè)定，測定作業(yè)順利進(jìn)行。
另外，通過將托盤7配置在透鏡測定位置上，自動地識別透鏡1的種類，因此能防止錯誤地對透鏡1的種類進(jìn)行測定設(shè)定。
尤其由逆投影來測定透鏡1的光學(xué)特性時，通過測定設(shè)定的錯誤，能預(yù)先防止圖表與托盤7或透鏡1接觸而破損等的情況。
此外，上述的實(shí)施方式的透鏡測定裝置是表示本發(fā)明的透鏡測定裝置的一例的裝置。本發(fā)明的透鏡測定裝置并不限于這些實(shí)施方式的透鏡測定裝置，在不變更各權(quán)利要求書記載的要旨的范圍內(nèi)，對實(shí)施方式的透鏡測定裝置進(jìn)行變形，也可以適用于其他裝置中。
(第二實(shí)施方式)第二實(shí)施方式的透鏡測定裝置的硬件構(gòu)成與第一實(shí)施方式的透鏡測定裝置相同地構(gòu)成，基本的處理邏輯相同，因此利用第一實(shí)施方式中的透鏡測定裝置的說明所使用的附圖來進(jìn)行說明。第二實(shí)施方式的透鏡測定裝置與圖1所示的第一實(shí)施方式的透鏡測定裝置相同地構(gòu)成。本實(shí)施方式的透鏡測定裝置是用于測定透鏡1的多個不同的光學(xué)特性的裝置，例如，用于例如MTF(Modulation Transfer Function)、焦點(diǎn)距離、偏芯、焦點(diǎn)深度等的測定中。尤其適用于透鏡1的制造時的光學(xué)特性的測定中。
透鏡測定裝置具備測定部2、解析控制部3、監(jiān)視器4、判定部5及電源部6。測定部2作為對透鏡1測定多個不同的光學(xué)特性的測定部件來發(fā)揮作用。測定部2及電源部6構(gòu)成裝置主體，例如對各個筐體21、61收容各構(gòu)成部件。
測定部2載置在電源部6上。例如，測定部2設(shè)置為，經(jīng)由防振橡膠62載置在電源部6上，并且不傳遞由電源部6的動作所產(chǎn)生的振動。由此，在振動少的環(huán)境中能測定透鏡1的光學(xué)特性。
測定對象物即透鏡1保持在托盤7上并且進(jìn)行測定。托盤7是保持透鏡1的保持器具，成為以可對透鏡1透過光的方式進(jìn)行支承的結(jié)構(gòu)。托盤7優(yōu)選使用一次收容多個透鏡1的部件。在測定部2設(shè)置有載置托盤7的XY載置臺22。XY載置臺22構(gòu)成為，載置托盤7，并且可使托盤7在X方向即左右方向和Y方向即前后方向移動，由其托盤7的移動使成為測定對象的透鏡1移動。作為XY載置臺22，若使托盤7在X方向及Y方向移動，則也可以使用任意的部件。
在XY載置臺22上設(shè)置有檢測保持在托盤7上的透鏡1的種類的檢測部22a。檢測部22a基于設(shè)置在托盤7上的識別部71的信息來檢測托盤7保持的透鏡1的種類。另外，檢測部22a基于設(shè)置在托盤7上的識別部71的信息來檢測托盤7的識別編號。托盤7的識別編號是用于分別識別相同的種類的托盤7的編號，按每個托盤7分配不同的識別編號。作為該托盤7的識別編號，優(yōu)選分配連續(xù)的串行編號。
在測定部2配置有圖表23。圖表23是用于形成對透鏡1輸入的輸入像的圖表，配置在積分球24和透鏡1之間。該測定部2用于由逆投影測定透鏡1的光學(xué)特性。即，對透鏡1投影光像的圖表23配置在透鏡1的焦點(diǎn)位置上。
圖表23安裝在Z載置臺25上。Z載置臺25構(gòu)成為可使圖表23在Z方向即上下方向移動，使圖表23對透鏡1任意地接近及離開。由此，能進(jìn)行圖表23相對透鏡1的位置調(diào)整。作為Z載置臺25，若使圖表23可在Z方向移動，則可以使用任意的載置臺。
在測定部2設(shè)置有積分球24。積分球24成為向圖表23發(fā)出輸入光的發(fā)光源，例如安裝在圖表23的下方位置上。積分球24是具有輸出口24a，并且在內(nèi)面形成擴(kuò)散面24b的球體。由光源部63發(fā)出的光通過導(dǎo)光管68射入到積分球24。射入到積分球24的光在積分球24的內(nèi)部反復(fù)反射，并且從輸出口24a成為光量不均極少的光而輸出。
在測定部2設(shè)置有相機(jī)26。相機(jī)26是接收從透鏡1輸出的輸出像的攝像部件。作為相機(jī)26，使用具備例如CCD(Charge Coupled Device)等的固體攝像元件的相機(jī)。透鏡1的輸出像是輸入到透鏡1的圖表23的輸入像由透鏡1結(jié)像到相機(jī)26中的像。
作為相機(jī)26，為了檢測透鏡1的不同的部位的光學(xué)特性，而優(yōu)選使用多個相機(jī)。該相機(jī)26例如設(shè)置9個。此時，在左右方向及前后方向分別排列3個。由此，能測定透鏡1的前后左右的9個部位的光學(xué)特性。相機(jī)26的接收信號被輸入到解析控制部3。
在電源部6設(shè)置有光源部63。光源部63是發(fā)出輸入到積分球24的光的光源，例如使用具備鹵素?zé)舻墓庠?。從光源?3輸出的光通過導(dǎo)光管68被輸入到積分球24。另外，在電源部6設(shè)置有驅(qū)動部64。驅(qū)動部64用于進(jìn)行XY載置臺22及Z載置臺25的驅(qū)動控制。該驅(qū)動部64在例如XY載置臺22及Z載置臺25由脈沖電機(jī)的驅(qū)動而動作時，由脈沖電機(jī)控制器構(gòu)成。驅(qū)動部64根據(jù)從解析控制部3輸出的控制信號對XY載置臺22及Z載置臺25輸出驅(qū)動信號。
另外，在電源部6設(shè)置有控制部65?？刂撇?5主要用于進(jìn)行光源部63的發(fā)光控制。另外，控制部65輸入XY載置臺22的檢測部22a的檢測信號，將該檢測信號向解析控制部3輸出。另外，在電源部6設(shè)置有電源66。電源66成為光源部63、驅(qū)動部64及控制部65的電力供給源。另外，在電源部6設(shè)置有風(fēng)扇67。風(fēng)扇67作為排出電源部6內(nèi)的熱并且進(jìn)行冷卻的冷卻部件而發(fā)揮作用，例如使用具備旋轉(zhuǎn)翼的風(fēng)扇。
解析控制部3用于進(jìn)行裝置全體的控制，將包含例如CPU、ROM、RAM的計算機(jī)作為主體而構(gòu)成。作為該解析控制部3使用例如個人計算的本體部。解析控制部3作為基于安裝在測定部2的托盤7的信息來識別測定的托盤1的種類，并且進(jìn)行其透鏡1的種類所對應(yīng)的透鏡光學(xué)特性的測定的設(shè)定的測定設(shè)定部件來發(fā)揮作用。解析控制部3作為輸入相機(jī)26的接收信號，并且基于其接收信息來解析透鏡1的MTF等的光學(xué)特性的解析部件而發(fā)揮作用。
監(jiān)視器4與解析控制部3連接，用于顯示透鏡1的光學(xué)特性的測定結(jié)果等，作為在判斷為所測定的光學(xué)特性不滿足基準(zhǔn)值并且透鏡1不良時按不良內(nèi)容而采用不同的模樣來顯示該不良內(nèi)容的顯示部件來發(fā)揮作用。另外，通過監(jiān)視器4，也進(jìn)行測定透鏡1之際的測定設(shè)定的顯示。
判定部5用于判定保持在托盤7上的透鏡1的測定結(jié)果。判定部5構(gòu)成為可載置托盤7，具備識別載置后的托盤7的識別部51、顯示成為測定結(jié)果NG的透鏡1的顯示部52。判定部5與解析控制部3連接，可取得托盤7的檢測信息及透鏡1的測定結(jié)果信息。
若在判定部5載置已測定的托盤7，則識別部51基于托盤7的識別部71識別托盤7。并且從解析控制部3取得保持在該托盤7上的各透鏡1的測定結(jié)果，顯示部52由特定的色彩來顯示測定結(jié)果NG的透鏡1。例如，顯示部52與托盤7的各透鏡1的配置位置對應(yīng)而配置有多個發(fā)光體，使與成為NG的透鏡1對應(yīng)的發(fā)光體發(fā)紅地發(fā)光。由此，裝置的操作者從保持多個的透鏡1中容易判斷成為測定結(jié)果NG的透鏡1，從托盤7上取出其NG的透鏡1。
第二實(shí)施方式的透鏡測定裝置所使用的托盤與圖2所示的第一實(shí)施方式的透鏡測定裝置所使用的托盤相同地構(gòu)成。從而，用圖2～4說明第二實(shí)施方式的透鏡測定裝置所使用的托盤。
如圖2、3所示，在托盤7上形成有保持多個透鏡1的保持部72。保持部72構(gòu)成為例如可使托盤7的上面向下方洼下去并且收容透鏡1。在保持部72設(shè)置有貫通底部而形成的貫通孔73。貫通孔73是用于在透鏡測定時透過輸入像的孔。保持部72在縱橫排列而形成，例如以6個×6個排列，在托盤7上形成36個。
如圖4所示，在托盤7上設(shè)置有識別部71。識別部71用于表示托盤7的種類及識別編號，例如，使用組合多個凹凸部71a的部件。識別部71將對下方側(cè)凹凸的N個凹凸部71a并設(shè)而構(gòu)成，設(shè)定凹凸部71a的凹凸而能構(gòu)筑N位的信息。并且，通過根據(jù)該N位的信息設(shè)定托盤7的種類及托盤7的識別編號，基于N位的信息可識別托盤7的種類及托盤7的識別編號。在識別部71形成例如7個凹凸部71a，具有7位信息。
作為基于托盤7的識別部71檢測托盤7的種類及托盤7的識別編號的檢測部22a，使用具備根據(jù)例如凹凸部71a的凹凸來開閉的開關(guān)的部件。檢測部22a根據(jù)開關(guān)的開閉狀態(tài)檢測托盤7的識別部71中的凹凸部71a的凹凸?fàn)顟B(tài)，基于其凹凸?fàn)顟B(tài)檢測托盤7的種類即保持在托盤7上的透鏡1的種類及托盤7的識別編號。另外，判定部5的識別部51也使用與檢測部2a相同的部件來構(gòu)成即可。
此外，該檢測部22a及識別部51若是讀取托盤7的信息的部件，則也可以是上述的部件以外的部件，也可以是例如對托盤7賦予條形碼，讀取其條形碼來檢測托盤7的信息的部件。
第二實(shí)施方式的透鏡測定裝置所使用的圖表與圖5所示的第一實(shí)施方式的透鏡測定裝置所使用的圖表相同地構(gòu)成。從而，用圖5說明第二實(shí)施方式的透鏡測定裝置所使用的圖表。
如圖5所示，圖表23由只對形成裂縫23a的部分允許光的透過，而遮斷其他部分的光的透過的板體來構(gòu)成。裂縫23a按照例如中央位置的測定點(diǎn)p1和在其周圍配置成放射狀的多個測定點(diǎn)p2～p9以十字狀開口的方式形成。另外，也可以將測定點(diǎn)p1～p9在縱3個橫3個排列而形成。各測定點(diǎn)p1～p9中，優(yōu)選在裂縫23a形成為十字狀。由此在裂縫23a設(shè)置多個測定點(diǎn)p1～p9，從而能分別測定透鏡1的各部的光學(xué)特性，能緊密地測定透鏡1的光學(xué)特性。
接著說明本實(shí)施方式的透鏡測定裝置的基本動作。
第二實(shí)施方式的透鏡測定裝置的基本動作與圖6所示的第一實(shí)施方式的透鏡測定裝置的基本動作大致相同。從而，用圖6說明第二實(shí)施方式的透鏡測定裝置的基本動作。
圖6中的控制處理主要由解析控制部3來執(zhí)行。如圖6的S10所示，首先判斷托盤7是否安裝在測定部2的測定位置上。該判斷處理基于例如XY載置臺22的檢測部22a的檢測信號進(jìn)行即可。在S10中，判斷為托盤7安裝在測定部2的測定位置上時，進(jìn)行托盤識別信息的讀入處理(S12)。
該托盤識別信息的讀入處理基于檢測部22a的檢測信號來進(jìn)行。即，基于檢測部22a的檢測信號所包含的7位信息檢測托盤7的種類及托盤7的識別編號，分別讀入其托盤7的種類、保持在托盤7上的透鏡1的種類及托盤7的識別編號。
并且，移行至S14，進(jìn)行測定設(shè)定處理。該測定設(shè)定處理是透鏡1的光學(xué)特性的測定之際進(jìn)行其測定系統(tǒng)的設(shè)定的處理。例如，作為測定設(shè)定，與透鏡1的焦點(diǎn)距離對應(yīng)而進(jìn)行圖表23的位置設(shè)定。根據(jù)透鏡1的種類從解析控制部3對驅(qū)動部64輸出驅(qū)動控制信號，接收驅(qū)動部64的驅(qū)動信號而Z載置臺25工作，進(jìn)行圖表23的Z方向的位置設(shè)定。通過這樣的測定設(shè)定，裝置的操作者無需根據(jù)透鏡1的種類來進(jìn)行測定設(shè)定，測定工作順利進(jìn)行。另外，能防止有誤地進(jìn)行測定設(shè)定。
另外，作為測定設(shè)定，與托盤7的透鏡1保持位置對應(yīng)而進(jìn)行XY載置臺22的移動設(shè)定程序的讀入。另外，作為測定設(shè)定，也有根據(jù)透鏡1的種類來設(shè)定從積分球24輸出的光的光量的情況。
并且，移行至S16，判斷測定開始按鈕是否打開。在裝置的操作者按下未圖示的測定開始按鈕時，判斷為測定開始按鈕已打開。在判斷為測定開始按鈕已打開時，進(jìn)行測定處理(S18)。
測定處理通過以應(yīng)測定的透鏡1來到圖表23的正上方的方式使XY載置臺22動作，使光從積分球24輸出，基于對從透鏡1輸出的光像進(jìn)行攝像的相機(jī)26的攝像圖像解析透鏡1的光學(xué)特性，來進(jìn)行。從積分球24射出的光通過圖表23的裂縫23a射入到透鏡1。并且，從透鏡1輸出的裂縫23a的光像被攝像到相機(jī)26中。此時，分別對裂縫23a的測定點(diǎn)p1～p9分配的相機(jī)26對這些測定點(diǎn)p1～p9中的光像進(jìn)行攝像。
作為透鏡1的光學(xué)特性，測定MTF。MTF求出例如裂縫23a的光像圖像的線像強(qiáng)度分布，將其進(jìn)行傅立葉變換而算出。該MTF按測定點(diǎn)p1～p9來算出。另外，與第一實(shí)施方式相同，算出如圖7所示的對空間頻率的MTF的光學(xué)特性或?qū)θ鐖D8所示的散焦的MTF的光學(xué)特性。另外，作為透鏡1的光學(xué)特性，測定透鏡1的焦點(diǎn)距離、焦點(diǎn)深度、偏芯狀態(tài)等。這些光學(xué)特性與MTF同樣優(yōu)選按測定點(diǎn)p1～p9進(jìn)行測定。
并且，移行至圖6的S20，進(jìn)行測定結(jié)果判斷處理。該測定結(jié)果判斷處理是判斷所測定的透鏡1的光學(xué)特性是否成為預(yù)先設(shè)定的允許范圍內(nèi)的特性的處理。判斷例如透鏡1的MTF值是否成為允許范圍內(nèi)的值。在透鏡1的MTF值未成為允許范圍內(nèi)的值時，其透鏡1作為NG透鏡來進(jìn)行處理。
并且，移行至S22，判斷所測定的透鏡1的光學(xué)特性是否為NG。在所測定的透鏡1的光學(xué)特性不在允許范圍內(nèi)時，判斷為透鏡1為NG，進(jìn)行NG計數(shù)完了處理(S24)。NG計數(shù)完了處理增加對成為NG的透鏡1的托盤7上的透鏡保持位置(保持部72)的計數(shù)值。該計數(shù)值分別對每個托盤7的透鏡保持位置所設(shè)定，表示各個透鏡保持位置中的NG次數(shù)。
并且，移行至S26，進(jìn)行結(jié)果顯示處理。結(jié)果顯示處理是對監(jiān)視器4顯示所測定的透鏡1為NG，并且按NG內(nèi)容而采用不同的模樣顯示該NG的內(nèi)容的處理。例如，與第一實(shí)施方式相同，如圖9所示，NG顯示41被圖像顯示。通過操作者觀察該顯示，能容易得知有托盤7上的透鏡1的任意個不滿足光學(xué)特性的基準(zhǔn)值的部件。
另外，此時，按NG內(nèi)容而采用不同的色彩來顯示透鏡1為何種NG。例如，如圖9所示，顯示與托盤7的透鏡保持位置(保持部72的形成位置)對應(yīng)的托盤顯示42，作為縱A～F、橫1～6稱作A1、B2那樣由坐標(biāo)值特定透鏡保持位置地進(jìn)行顯示。在該托盤顯示42中，例如在MTF在允許范圍外NG時，其NG的透鏡1的位置顯示為紅色，焦點(diǎn)距離(FFL)為NG時顯示為茶色，偏芯為NG時顯示為桔子色，焦點(diǎn)深度為NG時顯示為粉紅色。
由此，通過按NG內(nèi)容而采用不同的色彩來顯示，若看監(jiān)視器4的畫面，就能容易識別透鏡1的光學(xué)特性為哪一項(xiàng)目的NG。另外，通過向其他人告知NG的色彩，而能容易傳遞透鏡1的NG內(nèi)容的信息。尤其裝置的操作者向使用語言不同的人傳遞NG內(nèi)容時，能容易傳遞其NG內(nèi)容。
另外，在結(jié)果顯示處理中，按NG內(nèi)容而采用不同的模樣顯示時，除了由不同的色彩來顯示透鏡1的NG內(nèi)容之外，也可以使NG顯示的點(diǎn)滅時間間隔不同，也可以使NG顯示的大小不同。
另一方面，圖6的S22中，判斷為所測定的透鏡1的光學(xué)特性不是NG時，進(jìn)行測定結(jié)果處理(S28)。該結(jié)果顯示處理是對監(jiān)視器4顯示所測定的透鏡1不是NG而是OK的處理。例如，與第一實(shí)施方式相同，如圖10所示的OK顯示43被圖像顯示。通過操作者看到該顯示，而容易得知托盤7上的透鏡1的全部滿足光學(xué)特性的基準(zhǔn)值。此外，所測定的透鏡1不是NG，并且也不是OK，在判斷保留時，也有顯示“保留”的情況。
并且，移行至S30，判斷托盤7上的全部的透鏡1的測定是否結(jié)束。例如，通過使XY載置臺22工作來移動托盤7的位置，從端依次測定托盤7上的透鏡1時，判斷托盤7上的全部的透鏡1是否測定結(jié)束。托盤7上的全部的透鏡1未測定結(jié)束時，回到S18。
另一方面，在S30中判斷為托盤7上的全部的透鏡1測定結(jié)束時，進(jìn)行警告處理(S32)。警告處理是在S24中計數(shù)完了的NG計數(shù)值為設(shè)定值以上時，警告在透鏡測定系統(tǒng)中有可能產(chǎn)生異常的處理。例如，相同的識別編號的托盤7中的特定的透鏡保持位置的NG連續(xù)而n次NG時，警告在托盤7中產(chǎn)生異常。此時，也可以在m次測定中n次NG時發(fā)出警告。警告的方法由向監(jiān)視器4的圖像顯示、聲音的輸出、燈等的發(fā)光部件的發(fā)光等來進(jìn)行。另一方面，在S24中計數(shù)完了后的NG計數(shù)值為設(shè)定值以上時，在警告處理中不進(jìn)行警告透鏡測定系統(tǒng)的異常的處理。結(jié)束該警告處理之后，結(jié)束控制處理。
如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的透鏡測定裝置，判斷透鏡1為NG(不良)時，按NG內(nèi)容而采用不同的模樣來顯示該NG內(nèi)容。因此，能容易識別透鏡1對于哪個光學(xué)特性成為不良。
另外，判斷透鏡1為不良時，通過按NG內(nèi)容而采用不同的色彩來顯示該NG內(nèi)容，而能通過色彩來容易識別透鏡1的NG內(nèi)容。
尤其，本實(shí)施方式的透鏡測定裝置，若適用于透鏡1的制造時的光學(xué)特性的測定中就有用。即，由于透鏡1的不良內(nèi)容在制造階段容易看出，因此能根據(jù)其不良內(nèi)容來明確不良原因，實(shí)現(xiàn)透鏡1的制造時中的不良降低。例如，根據(jù)不良內(nèi)容，能推測是在透鏡1的成形模具中有問題還是在成形條件中有問題，通過采用透鏡1的不良對策，而實(shí)現(xiàn)透鏡1的制造中的不良降低。
此外，上述的實(shí)施方式的透鏡測定裝置表示本發(fā)明的透鏡測定裝置的一例。本發(fā)明的透鏡測定裝置并不限于這些實(shí)施方式的透鏡測定裝置，在不變更各權(quán)利要求書中記載的要旨的范圍內(nèi)，對實(shí)施方式的透鏡測定裝置進(jìn)行變形，也可以適用于其他裝置中。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明，通過根據(jù)應(yīng)測定的透鏡的種類來自動地測定設(shè)定，來能順利地進(jìn)行種類不同的透鏡的測定。另外，通過在判斷所測定的透鏡為不良時，按不良內(nèi)容而采用不同的模樣來顯示不良內(nèi)容，來在透鏡的測定時能容易識別不良內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種透鏡測定裝置，測定透鏡的光學(xué)特性，具備保持器具，保持成為測定對象的透鏡；檢測部件，當(dāng)所述保持器具被配置在透鏡測定位置上時，基于所述保持器具所屬的信息來檢測所述保持器具所保持的透鏡的種類；和測定設(shè)定部件，根據(jù)由所述檢測部件所檢測出的透鏡的種類來進(jìn)行測定部的測定設(shè)定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透鏡測定裝置，在所述透鏡的焦點(diǎn)位置上配置圖表，并且由逆投影來測定所述透鏡的光學(xué)特性，所述測定設(shè)定部件根據(jù)所述透鏡的種類來設(shè)定所述圖表的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的透鏡測定裝置，其中，作為所述透鏡的光學(xué)特性至少測定MTF。
4.一種透鏡測定裝置，測定透鏡的光學(xué)特性，具備測定部件，對所述透鏡測定多個不同的光學(xué)特性；和顯示部件，當(dāng)由所述測定部件所測定的光學(xué)特性不在允許范圍內(nèi)并且所述透鏡被判斷為不良時，按不良內(nèi)容而采用不同的模樣來顯示該不良內(nèi)容。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的透鏡測定裝置，其中，所述顯示部件，當(dāng)所述透鏡被判斷為不良時，按不良內(nèi)容而采用不同的色彩來顯示該不良內(nèi)容。
全文摘要
提供一種透鏡測定裝置，其測定透鏡(1)的光學(xué)特性，當(dāng)收容透鏡(1)的托盤(7)配置在測定位置上時基于托盤(7)所屬的信息檢測托盤(7)所收容的透鏡(1)的種類，根據(jù)其透鏡(1)的種類進(jìn)行測定部(2)的測定設(shè)定。由此無需根據(jù)裝置的操作者測定的透鏡(1)的種類進(jìn)行測定的設(shè)定，而測定作業(yè)順利進(jìn)行。另外具備對透鏡(1)測定多個不同的光學(xué)特性的測定部(2)，當(dāng)由其測定部(2)測定的透鏡(1)的光學(xué)特性不在允許范圍內(nèi)且透鏡(1)判斷為不良時，按不良內(nèi)容而采用不同的色彩來顯示該不良內(nèi)容。由此能通過色彩容易識別透鏡對哪個光學(xué)特性變?yōu)椴涣肌?br> 文檔編號G01M11/02GK101078667SQ20071010411
公開日2007年11月28日 申請日期2007年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月26日
發(fā)明者黑瀨實(shí), 荒川和久, 野口泰裕 申請人:富士能株式會社