專利名稱：基于激光共聚焦顯微鏡的拉壓及疲勞加載實(shí)驗(yàn)機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)宏觀尺度單軸向應(yīng)力下的金屬或非金屬材料的典型試樣、薄膜進(jìn)行靜 動(dòng)態(tài)力學(xué)性能測(cè)試的加載實(shí)驗(yàn)機(jī)，尤其適用于激光掃描共聚焦顯微鏡下的專用加載實(shí)驗(yàn)機(jī)， 屬于實(shí)驗(yàn)力學(xué)裝置技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
對(duì)于材料的力學(xué)性質(zhì)的研究， 一直是力學(xué)、機(jī)械、土木等多種工程領(lǐng)域關(guān)注的問題。最 為常見的力學(xué)參數(shù)測(cè)試方法是單軸拉伸法，它測(cè)量彈性模量、泊松比、屈服強(qiáng)度和斷裂強(qiáng)度 等最為直接。隨著實(shí)驗(yàn)力學(xué)的發(fā)展， 一些典型的光學(xué)測(cè)試方法，如云紋法、數(shù)字散斑相關(guān)方 法被應(yīng)用到了高分辨率顯微鏡中，使得觀測(cè)尺度、精度都已達(dá)到微納米量級(jí)。同時(shí)為了使高 分辨率顯微鏡和光學(xué)方法應(yīng)用到材料的力學(xué)性能測(cè)試中， 一些高分辨率顯微鏡下的加載裝置 被發(fā)展了。
20世紀(jì)80年代發(fā)展起來的激光掃描共聚焦顯微鏡(Laser Scanning Confocal Microscopy -LSCM)是當(dāng)今生物學(xué)的研究領(lǐng)域中的一種先進(jìn)的圖像采集和分析儀器，被廣泛應(yīng)用于生物 學(xué)的各個(gè)領(lǐng)域。傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡由于衍射極限的限制其空間分辨率受到了限制，而激光掃 描共聚焦顯微鏡利用激光作為照明光源，在傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡的基礎(chǔ)上采用了共軛聚焦的原 理和掃描成像裝置，大大提高了其空間分辨率，大約是普通光學(xué)顯微鏡的3倍。同時(shí)由于系 統(tǒng)是在光學(xué)顯微鏡基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)完成的因此其對(duì)工作環(huán)境無特殊要求，相比其他高分辨率顯微 鏡其測(cè)量過程的相對(duì)簡(jiǎn)單。
現(xiàn)有常見的高分辨率顯微鏡下的加載裝置主要是掃描電子顯微鏡(一種電子顯微鏡)下 的加載裝置和原子力顯微鏡(一種掃描探針顯微鏡)下的加載裝置，它們存在的問題和缺陷 主要有 一是掃描電子顯微鏡需要在真空環(huán)境下做測(cè)量，操作過程復(fù)雜、加載的試件和加載 的方式都有限制；二是掃描電子顯微鏡只能觀測(cè)導(dǎo)體，對(duì)于非導(dǎo)體需要鍍金但往往會(huì)損失試 件表面的信息，如在運(yùn)用云紋法測(cè)試時(shí)將損壞試件表面預(yù)置的光柵；三是原子力顯微鏡的觀 測(cè)范圍非常小，物體表面的粗糙度和物體的變形只能限制在納米級(jí)別的范圍內(nèi)，無法應(yīng)對(duì)常 見試件的加載。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種基于激光共聚焦顯微鏡的拉壓及疲勞加載實(shí)驗(yàn)機(jī)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì) 宏觀尺度單軸向應(yīng)力下的金屬或非金屬材料的典型試樣、薄膜進(jìn)行靜動(dòng)態(tài)力學(xué)性能的測(cè)試。
該裝置可以實(shí)現(xiàn)在激光共聚焦顯微鏡平臺(tái)下單軸拉壓、高頻疲勞加載，能夠根據(jù)不同研究對(duì) 象和目的實(shí)現(xiàn)不同的加載方式。本發(fā)明的技術(shù)方案如下
一種基于激光共聚焦顯微鏡的拉壓及疲勞加載實(shí)驗(yàn)機(jī)，其特征在于它包括固定基板， 拉壓加載裝置，夾持裝置，疲勞加載裝置、力傳感器以及相移裝置；所述的拉壓加載裝置包 括步進(jìn)電機(jī)及其控制器，蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及絲杠螺母機(jī)構(gòu)；所述的夾持裝置包括移動(dòng)端 夾座、固定端夾座和導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)，移動(dòng)端夾座設(shè)置在滑塊上，所述的力傳感器固定在固定 基板上；所述的疲勞加載裝置包括第二壓電陶瓷和連接板，所述的第二壓電陶瓷通過連接板 與移動(dòng)端夾座連接；所述的相移裝置包括懸臂支架和第一壓電陶瓷，所述的懸臂支架由固定 板和懸臂桿構(gòu)成，所述的第一壓電陶瓷設(shè)置在懸臂桿的頂端,并與固定基板固定；在固定基板 的中部設(shè)置顯微鏡觀測(cè)窗，所述的移動(dòng)端夾座和固定端夾座位于顯微鏡觀測(cè)窗內(nèi)。
本發(fā)明的技術(shù)特征還在于移動(dòng)端夾座和固定端夾座所在的水平面和絲杠螺母的中心線 不在同一水平面內(nèi)，移動(dòng)端夾座和固定端夾座的底面距固定基板的下底面為1 3毫米，保證 試件位于垂直于固定基板且由下往上觀測(cè)的顯微鏡鏡頭的焦距內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)顯微鏡的觀測(cè)。
上述技術(shù)方案中，所述導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)中的滑塊采用階梯形，所述的移動(dòng)端夾座設(shè)置在階 梯的下平面，階梯的上部與絲杠螺母機(jī)構(gòu)中的螺母活連接；所述的固定端夾座通過折形板與 力傳感器連接。疲勞驅(qū)動(dòng)裝置和相移裝置共享一塊可拆卸的壓電陶瓷，將絲杠螺母機(jī)構(gòu)中的 螺母和滑塊固定，撤去疲勞加載裝置中的第二壓電陶瓷15b，可以實(shí)現(xiàn)試件的拉壓加載；將絲 杠螺母機(jī)構(gòu)中的螺母和滑塊斷開連接，裝上疲勞加載裝置中的第二壓電陶瓷15b，可以實(shí)現(xiàn)試 件的疲勞加載。所述的移動(dòng)端夾座和固定端夾座采用壓板式結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)及突出性效果①適用于激光共聚焦顯微鏡平臺(tái) 下作加載實(shí)驗(yàn)，適用于多種材料試樣，在常規(guī)環(huán)境下操作。②能夠?qū)崿F(xiàn)典型試樣、薄膜的拉 伸、壓縮加載和數(shù)萬赫茲頻率的疲勞加載。③通過相移裝置中的壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn) 顯微鏡平臺(tái)亞微米量級(jí)的平移，從而實(shí)現(xiàn)光學(xué)方法的相移，提高了測(cè)試的精度和自動(dòng)化程度。
④ 采用多步步進(jìn)電機(jī)和1:40的減速齒輪，實(shí)現(xiàn)了高精度的拉壓加載，試件加載精度可達(dá)50ran。
⑤ 由激光共聚焦顯微鏡采集試件加載的圖像，通過云紋法、數(shù)字散斑相關(guān)方法、位相分析方 法等光學(xué)測(cè)試方法進(jìn)行高精度變形計(jì)算，從而得出試件的彈性模量、泊松比、應(yīng)力強(qiáng)度因子
等力學(xué)參數(shù)。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖主視圖。 圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖俯視圖。 圖3為金屬試樣的典型形狀。
圖中1-固定基板；2-步進(jìn)電機(jī)；3-蝸桿；4-蝸輪；5_絲杠；6-導(dǎo)軌；7-蝸輪軸軸承座； 8-連接板；9-螺母；10-移動(dòng)端夾座；11-固定端夾座；12-試件；13-力傳感器；14-顯微鏡觀 測(cè)窗；15a-第一壓電陶瓷；15b-第二壓電陶瓷;16-懸臂桿；17-固定板；18-滑塊；19-折形 板。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)和實(shí)施方式作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
圖l、 2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。它包括固定基板l，拉壓加載裝置，夾持裝置，疲勞加載 裝置、力傳感器13以及相移裝置；所述的拉壓加載裝置包括電機(jī)2及其控制器，蝸輪蝸桿傳動(dòng)
機(jī)構(gòu)以及絲杠螺母機(jī)構(gòu)；所述的固定基板l固定于顯微鏡自由滑動(dòng)平臺(tái)，可以在平面內(nèi)滑動(dòng)； 夾持裝置包括移動(dòng)端夾座IO、固定端夾座ll和導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)，移動(dòng)端夾座設(shè)置在滑塊18上；
所述的疲勞加載裝置包括壓電陶瓷第二和連接板8，第二壓電陶瓷15b通過固定在滑塊18上的 連接板8與移動(dòng)端夾座10連接；所述的相移裝置包括懸臂支架和第一壓電陶瓷15a，懸臂支架 由固定板17和懸臂桿16構(gòu)成，所述的壓電陶瓷第一設(shè)置在懸臂桿16的頂端,并與固定基板l的 固定，固定板17與顯微鏡基座固定，顯微鏡基座固定不動(dòng)，通過第一壓電陶瓷15a通電產(chǎn)生伸 縮位移推動(dòng)整個(gè)固定基板l的平移，從而實(shí)現(xiàn)光學(xué)方法的相移；在固定基板l的中部設(shè)置顯微 鏡觀測(cè)窗14，所述的移動(dòng)端夾座10和固定端夾座11位于顯微鏡觀測(cè)窗14內(nèi)，移動(dòng)端夾座10和 固定端夾座11的底面距固定基板1的下底面為1 3毫米，顯微鏡鏡頭的焦距為l 5mm，垂直于 固定基板l且位于固定基板l下方由下往上觀測(cè)，試件位于的顯微鏡鏡頭的焦距內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)顯 微鏡的觀測(cè)。疲勞驅(qū)動(dòng)裝置和相移裝置共享一塊可拆卸的壓電陶瓷，將絲杠螺母機(jī)構(gòu)中的螺 母9和滑塊19固定，撤去疲勞加載裝置中的第二壓電陶瓷15b，可以實(shí)現(xiàn)試件的拉壓加載；將 絲杠螺母機(jī)構(gòu)中的螺母9和滑塊18斷開連接，裝上疲勞加載裝置中的第二壓電陶瓷15b，可以 實(shí)現(xiàn)試件的疲勞加載。
上述各部件的連接關(guān)系為步進(jìn)電機(jī)2固定于固定基板1，通過蝸桿3、蝸輪4組成的蝸 輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)的傳遞和轉(zhuǎn)向，又通過絲杠5、螺母9做成的絲杠螺母機(jī)構(gòu)將絲杠5 的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)通過固定狀態(tài)下的螺母9和滑塊19活連接轉(zhuǎn)化為滑塊18沿導(dǎo)軌6的直線運(yùn)動(dòng)， 固定端夾座ll固定于力傳感器13上，力傳感器固定于固定基板l，移動(dòng)端夾座IO、固定端 夾座11的相對(duì)平動(dòng)可以拉伸或壓縮試件；疲勞加載裝置中的第二壓電陶瓷15b固定于固定基 板1，疲勞加載時(shí)需要斷開螺母9和滑塊19的活連接，從而使第二壓電陶瓷15b帶動(dòng)連接板 8和滑塊18高頻往返運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)疲勞加載；固定基板1固定于顯微鏡自由滑動(dòng)平臺(tái)，可以在 平面內(nèi)滑動(dòng)，由固定板17和懸臂桿16組成的懸臂支架，與顯微鏡基座固定，顯微鏡基座固 定不動(dòng)，壓電陶瓷第一固定于懸臂支架和固定基板l之間，其通電產(chǎn)生伸縮位移可以推動(dòng)整 個(gè)固定基板l的平移。
系統(tǒng)中各元件的參數(shù)為試件最大加載載荷500N，最大拉伸位移30咖，試件最大寬度 15隱；力傳感器的載荷量程為IOOON，分辨率為1N;位移加載精度50nm;壓電陶瓷線性位移 范圍20nm 20um;顯微鏡鏡頭焦距l(xiāng)-5mm。
本裝置的加載與測(cè)量過程如下
拉伸壓縮載荷加載將螺母9和滑塊19活連接固定，通過蝸桿3、蝸輪4組成的蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)的傳遞和轉(zhuǎn)向，又通過絲杠5、螺母9做成的絲杠螺母機(jī)構(gòu)將絲杠5的 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)通過轉(zhuǎn)化為滑塊18沿導(dǎo)軌6的直線運(yùn)動(dòng)，從而使得移動(dòng)端夾座10、固定端夾座11 的實(shí)現(xiàn)試件的拉伸或壓縮。其拉壓的載荷一般工作在200N內(nèi)，最大可達(dá)500N。多步步進(jìn)電 機(jī)和l: 40的減速齒輪使用使得試件加載精度達(dá)50nm。拉壓加載過程中使用激光共聚焦顯微 鏡采集加載圖像，通過光學(xué)方法的后處理得出試件視場(chǎng)范圍內(nèi)的全場(chǎng)位移。
疲勞載荷加載放置上第二壓電陶瓷15b，將螺母9和滑塊19活連接斷開，滑塊18可 以自由滑動(dòng)。壓電陶瓷右側(cè)固定在固定基板l上， 一側(cè)通過與固定在滑塊18連接，通過壓電 陶瓷驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生交變電流使得第二壓電陶瓷15b進(jìn)行數(shù)萬赫茲頻率，幾百納米位移的往返運(yùn) 動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)試件12的動(dòng)態(tài)加載。
力測(cè)量通過力傳感器13測(cè)量，可由與力傳感器13的力載荷顯示器讀出結(jié)果。量程 1-IOOON。
變形測(cè)量試件加載中的變形測(cè)量通過激光共聚焦顯微鏡采集圖像，采圖方便，記錄信 息真實(shí)可靠，并由光學(xué)測(cè)試方法計(jì)算得到試件視場(chǎng)范圍內(nèi)的全場(chǎng)變形。本實(shí)驗(yàn)機(jī)使用的光學(xué) 測(cè)試方法有云紋方法、數(shù)字散斑相關(guān)方法和位相分析方法。
(1) 云紋方法實(shí)現(xiàn)變形測(cè)量
云紋方法實(shí)現(xiàn)變形測(cè)量需要預(yù)先在試件表面轉(zhuǎn)移粘貼1200線/皿的全息光柵。實(shí)驗(yàn)中以 激光掃描共聚焦顯微鏡的掃描線作為虛擬參考柵，以1200 lines/腿的全息光柵作為試件柵， 調(diào)整掃描線到一定范圍，由于的遮光原理，這兩組柵線相干涉形成幾何云紋條紋。如果試件 柵為正交光柵，通過調(diào)整激光掃描共聚焦顯微鏡的掃描方向使之平行或垂直試件柵線可分別 得到U、 V場(chǎng)云紋條紋。由云紋條紋可以計(jì)算出視場(chǎng)范圍內(nèi)的位移和應(yīng)變。
(2) 數(shù)字散斑相關(guān)方法實(shí)現(xiàn)變形測(cè)量 數(shù)字散斑相關(guān)方法實(shí)現(xiàn)變形測(cè)量一般可以利用試件表面的天然斑點(diǎn)作為散斑，這些散斑
是試件變形的載體，使用激光掃描共聚焦顯微鏡采集變形前、變形后兩幅散斑圖像進(jìn)行數(shù)學(xué) 相關(guān)計(jì)算，得出全場(chǎng)變形。
(3) 位相分析方法實(shí)現(xiàn)變形測(cè)量 位相分析方法前處理與云紋方法類似，需要預(yù)先在試件表面轉(zhuǎn)移粘貼1200線/mm的全息
正交光柵。使用激光掃描共聚焦顯微鏡直接拍攝正交光柵，得到的正交光柵的圖像即是"網(wǎng) 格"圖像，通過傅里葉光學(xué)理論分析全部"網(wǎng)格"的變形，即可得到變形場(chǎng)。 相移實(shí)現(xiàn)
在所述的云紋方法中，如果將光柵平移1/4的光柵節(jié)距，那么將會(huì)產(chǎn)生h /2個(gè)相位移動(dòng)， 從而使云紋條紋整體移動(dòng)1/4個(gè)條紋。通過分別將光柵平移1/4、 2/4、 3/4的光柵節(jié)距，可 以實(shí)現(xiàn)4步相移，計(jì)算可用4步相移算法，即>>) = arctan 4、 "~2、"
其中，/,Oc,力為第/幅圖的灰度值，fl，2，3,4; pOc,y)為待求相位場(chǎng)。而相位場(chǎng)與物體變形 有著直接聯(lián)系。
本裝置中，放置上第一壓電陶瓷15a，連接于固定基板1和顯微鏡支架，通過壓電陶瓷 通電產(chǎn)生位移，實(shí)現(xiàn)顯微鏡自由滑動(dòng)平臺(tái)和固定基板l的平移，每次平移距離一般為1/4X 0. 833um (1200線/咖的光柵的節(jié)距即是0. 833um)，平移后立即采集云紋圖像，平移3次后， 即可得到4步相移所需要的4幅云紋圖。對(duì)帶相移的4幅云紋圖進(jìn)行相移計(jì)算，可以得出全 場(chǎng)應(yīng)變，相移的意義在于精度更高，計(jì)算自動(dòng)化程度高。
實(shí)施例
金屬試件拉伸加載下，利用相移云紋方法測(cè)量其變形
制作典型的金屬試件，其形狀如圖3所示，也可以根據(jù)需要稍作改變。在金屬試件表面 粘貼1200線/腿的全息正交光柵，放入加載裝置的兩個(gè)夾座上，擰緊夾座上的螺絲固定試件。 將螺母9和滑塊19活連接斷開，放置上第一壓電陶瓷15a。然后以步進(jìn)電機(jī)控制器控制步進(jìn) 電機(jī)2加載，以力傳感器13的力載荷顯示器讀出力載荷結(jié)果，分段加載，每次加載結(jié)束采集 圖像。采集圖像時(shí)需要將激光掃描共聚焦顯微鏡掃描線線寬設(shè)置為0.833um左右，即與12(X) 線/mm的光柵柵距接近，此時(shí)由于幾何遮光原理，顯微鏡掃描線和試件柵線疊加，將會(huì)產(chǎn)生 云紋條紋。通過控制第一壓電陶瓷15a實(shí)現(xiàn)云紋法的相移，可以提高測(cè)量精度。利用幾何云 紋原理通過云紋條紋計(jì)算出全場(chǎng)變形。從而最終通過計(jì)算出的變形和讀取的力載荷計(jì)算金屬 試件的彈性模量、泊松比。
權(quán)利要求
1.一種基于激光共聚焦顯微鏡的拉壓及疲勞加載實(shí)驗(yàn)機(jī)，其特征在于它包括固定基板(1)，拉壓加載裝置，夾持裝置，疲勞加載裝置、力傳感器(13)以及相移裝置；所述的拉壓加載裝置包括步進(jìn)電機(jī)(2)及其控制器，蝸輪蝸桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及絲杠螺母機(jī)構(gòu)；所述的夾持裝置包括移動(dòng)端夾座(10)、固定端夾座(11)和導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)，移動(dòng)端夾座設(shè)置在滑塊(18)上，所述的力傳感器(13)固定在固定基板上；所述的疲勞加載裝置包括第二壓電陶瓷(15b)和連接板(8)，所述的第二壓電陶瓷(15b)通過連接板(8)與移動(dòng)端夾座(10)連接；所述的相移裝置包括懸臂支架和第一壓電陶瓷(15a)，所述的懸臂支架由固定板(17)和懸臂桿(16)構(gòu)成，所述的第一壓電陶瓷(15a)設(shè)置在懸臂桿(16)的頂端，并與固定基板(1)固定；在固定基板的中部設(shè)置顯微鏡觀測(cè)窗(14)，所述的移動(dòng)端夾座(10)和固定端夾座(11)位于顯微鏡觀測(cè)窗(14)內(nèi)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基于激光共聚焦顯微鏡的拉壓及疲勞加載實(shí)驗(yàn)機(jī)，其特征在于 移動(dòng)端夾座(10)和固定端夾座(11)所在的水平面和絲杠螺母的中心線不在同一水平面內(nèi)， 移動(dòng)端夾座(10)和固定端夾座(11)的底面距固定基板(1)的下底面為1 3毫米。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于激光共聚焦顯微鏡的拉壓及疲勞加載實(shí)驗(yàn)機(jī)，其特征在 于所述導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)中的滑塊(18)采用階梯形，所述的移動(dòng)端夾座(10)設(shè)置在階梯的 下平面，階梯的上部與絲杠螺母機(jī)構(gòu)中的螺母(9)活連接；所述的力傳感器(13)通過折形 板(19)與固定端夾座(11)連接。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基于激光共聚焦顯微鏡的拉壓及疲勞加載實(shí)驗(yàn)機(jī)，其特征在于所述的疲勞驅(qū)動(dòng)裝置和相移裝置共享一塊可拆卸的壓電陶瓷。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于激光共聚焦顯微鏡的拉壓及疲勞加載實(shí)驗(yàn)機(jī)，其特征在于-所述的移動(dòng)端夾座(10)和固定端夾座(11)采用壓板式結(jié)構(gòu)。
全文摘要
基于激光共聚焦顯微鏡的拉壓及疲勞加載實(shí)驗(yàn)機(jī)，本發(fā)明提供一種適用于激光共聚焦顯微鏡平臺(tái)的加載實(shí)驗(yàn)機(jī)，該實(shí)驗(yàn)機(jī)包括固定基板、電機(jī)驅(qū)動(dòng)的拉壓加載裝置、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的疲勞加載裝置、力傳感器、夾持裝置和相移裝置等部分。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)對(duì)宏觀尺度單軸向應(yīng)力下的金屬或非金屬材料的典型試樣、薄膜進(jìn)行拉壓和疲勞加載的測(cè)試，該裝置為光學(xué)測(cè)試方法設(shè)計(jì)了相移裝置，用于提高測(cè)試精度和自動(dòng)化程度。該實(shí)驗(yàn)機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，試件緊靠實(shí)驗(yàn)機(jī)下底面，能夠?qū)崿F(xiàn)在激光共聚焦顯微鏡平臺(tái)下的加載，并使用該顯微鏡采集加載圖像，通過光學(xué)方法處理圖像得到試件材料的力學(xué)參數(shù)。系統(tǒng)測(cè)量靈敏度高，結(jié)果可靠，適用范圍廣。
文檔編號(hào)G01B11/16GK101592573SQ20091008682
公開日2009年12月2日 申請(qǐng)日期2009年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月8日
發(fā)明者唐敏錦, 張建民, 戴福隆, 王慶華, 謝惠民 申請(qǐng)人:清華大學(xué)