專利名稱：測定設(shè)備用臺架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測定設(shè)備用臺架，該測定設(shè)備用臺架使可用以對例如玻璃基板或 半導(dǎo)體晶圓(wafer)等的測定基板進行檢查的測定設(shè)備至少在水平面內(nèi)滑動。
背景技術(shù)：
以往，如專利文獻1所示的測定設(shè)備用臺架是在實際進行測定的設(shè)置場所中被組 裝。即，從制造工場運送出測定設(shè)備用臺架的各零件，在設(shè)置場所中進行組裝。但是，在空間(space)有限的設(shè)置場所中組裝各零件的作業(yè)復(fù)雜，且作業(yè)性往往 會變差。另外，測定設(shè)備用臺架若越大，則各零件的重量越大，由此，也存在作業(yè)性變差的問 題。另一方面，雖也可考慮在組裝之后的狀態(tài)下進行運送，但測定設(shè)備用臺架若越大， 則不僅會導(dǎo)致對于搬送車輛的裝卸量巨大，而且會導(dǎo)致運送空間變大，效率不佳，現(xiàn)實問題 是難以在組裝之后的狀態(tài)下運送。[現(xiàn)有技術(shù)文獻][專利文獻][專利文獻1]日本專利特開2007-331086號公報

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是為了一舉解決所述問題點而成的發(fā)明，主要的預(yù)期課題在于提供 一種可折疊的測定設(shè)備用臺架，該測定設(shè)備用臺架不僅組裝簡單，而且節(jié)省運送空間。S卩，本發(fā)明的測定設(shè)備用臺架使測定設(shè)備至少在水平面內(nèi)移動，其特征在于包括 長條構(gòu)件，使所述測定設(shè)備沿著長度方向移動；以及一對第一框體，分別設(shè)置于所述長條 構(gòu)件的兩端部，且具有用以使所述長條構(gòu)件沿著與所述長度方向不同的方向移動的導(dǎo)軌 (guide rail)，在一個第一框體相對于另一個第一框體而未被固定的狀態(tài)下，所述長條構(gòu) 件的兩端部沿著各自對應(yīng)的所述第一框體的導(dǎo)軌，向互不相同的方向移動，使所述第一框 體彼此的間隔擴大或縮小。如此，可在將長條構(gòu)件連結(jié)于一對第一框體的狀態(tài)下進行折疊，在組裝階段，只要 使第一框體的間隔擴大即可，因此，可在設(shè)置場所中容易地對臺架進行組裝。另外，由于以 折疊狀態(tài)來進行運送，因此，可節(jié)省運送空間。此外，即使例如當(dāng)在無需使用測定設(shè)備用臺 架的情況下收納該測定設(shè)備用臺架時，使第一框體彼此的間隔變窄來進行折疊，借此，可節(jié) 省收納空間，再次使用時的組裝也容易。具體而言，為了能夠在將長條構(gòu)件連結(jié)于第一框體的狀態(tài)下進行折疊，較佳為所 述長條構(gòu)件的兩端部以可圍繞沿著鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的方式，連結(jié)于滑動自如地卡合 于所述導(dǎo)軌的滑動構(gòu)件，在所述一個第一框體相對于另一個第一框體未被固定的狀態(tài)下， 所述長條構(gòu)件的兩端部圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)，借此來使所述長條構(gòu)件的兩端部沿著各自 對應(yīng)的所述第一框體的導(dǎo)軌，向互不相同的方向滑動，使所述第一框體彼此的間隔擴大或縮小。如此，當(dāng)使第一框體擴大或縮小時，長條構(gòu)件相對于滑動構(gòu)件而發(fā)生旋轉(zhuǎn)，借此，可使過度的力不易施加于導(dǎo)軌以及滑動構(gòu)件，從而可防止導(dǎo)軌以及滑動構(gòu)件的故障。[oo12] 另外，本發(fā)明的測定設(shè)備用臺架較佳為包括旋轉(zhuǎn)限制構(gòu)件，該旋轉(zhuǎn)限制構(gòu)件在所述導(dǎo)軌的兩側(cè)設(shè)置在所述長條構(gòu)件與所述第一框體之間，限制所述第一框體以所述導(dǎo)軌的延伸方向作為旋轉(zhuǎn)中心而相對于所述長條構(gòu)件所發(fā)生的旋轉(zhuǎn)。如此，當(dāng)使第一框體擴大或縮小時，第一框體發(fā)生傾斜，可防止應(yīng)力施加于導(dǎo)軌以及滑動構(gòu)件而導(dǎo)致故障。另外，可對第一框體的斜度進行控制，從而可使第一框體容易地移動。[oo13] 本發(fā)明的測定設(shè)備用臺架較佳為包括第二框體，該第二框體對所述一對第一框體進行連結(jié)固定，使設(shè)置于各第一框體的導(dǎo)軌彼此平行，所述第二框體分別設(shè)置在所述第一框體的兩端部，且包括可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)于一個第一框體的端部的第一框架1可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)于另一個第一框體的端部的第二框架1以及對所述第一框架及所述第二框架進行連結(jié)固定的連接框架。如此，不僅可借由第二框體來使導(dǎo)軌彼此平行，而且借由對所述第二框體進行分擔(dān)支撐，可將各框架子以輕量化，從而可使折疊時以及組裝時的作業(yè)性提高。另外，可使第二框體(各框架)移動時所通過的區(qū)域變小，借此，也可使作業(yè)性提高。而且，由于利用連接框架來將第一框架以及第二框架予以連結(jié)，因此，可利用連接框架的長度來進行調(diào)整，以使導(dǎo)軌平行。[oo14] [發(fā)明的效果][oo15] 根據(jù)以所述方式構(gòu)成的本發(fā)明，可提供可折疊的測定設(shè)備用臺架，該測定設(shè)備用臺架的組裝簡單，且可節(jié)省運送空間以及收納空間。[oo16] 上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。


[oo17] 圖l是本發(fā)明的一個實施方式的測定設(shè)備用臺架的立體圖。[oo18] 圖2是所述實施方式的測定設(shè)備用臺架的平面圖。[oo19] 圖3是所述實施方式的測定設(shè)備用臺架的側(cè)視圖。
圖4是所述實施方式的測定設(shè)備用臺架的正視圖。
圖5是長條構(gòu)件的端部的A—A線剖面圖。
圖6是表示長條構(gòu)件的端部的構(gòu)成的側(cè)視圖。
圖7(A)一圖7(C)是表示所述實施方式的第二框體的折疊狀態(tài)的平面圖。
[符號的說明]
2支撐體3長條構(gòu)件
4第一框體5第二框體
6X軸移動機構(gòu)7Y軸移動機構(gòu)
8A18B夾具9旋轉(zhuǎn)限制構(gòu)件／腳輪構(gòu)件
lo限位器2l支撐體基部
22支撐體本體4l腳輪
42腳要素5l第一框架
52第二框架53連接框架
53a、53b 連接要素62,72 滑動構(gòu)件200 基板載置平臺722 連結(jié)體A-A 線Jl :旋轉(zhuǎn)軸MU 測定設(shè)備W 基板
61,71 導(dǎo)軌 100 測定設(shè)備用臺架 721 滑動本體 723 銜接機構(gòu) H1、H2 貫通孔 J2 沿著鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸 Nl 螺釘 X、Y、Z 軸
具體實施例方式以下，參照附圖來對本發(fā)明的測定設(shè)備用臺架100的一個實施方式進行說明。本實施方式的測定設(shè)備用臺架100使用在基板檢查系統(tǒng)(system)中，該基板檢查 系統(tǒng)例如對用于液晶面板(panel)的玻璃基板或用于太陽電池的硅(silicon)基板等的基 板W進行檢查，在臺架內(nèi)部配置有載置著基板W的基板載置平臺(stage)200。而且，測定設(shè) 備用臺架100使測定設(shè)備MU在載置于所述基板載置平臺200的基板W上至少在水平面內(nèi) 移動。再者，在以下的說明以及附圖中，水平面是由X軸方向以及Y軸方向所形成的平面， 將鉛垂方向設(shè)為Z軸方向。具體而言，如圖1 圖4所示，所述測定設(shè)備用臺架100包括長條構(gòu)件3，使對測 定設(shè)備MU進行支撐的支撐體2沿著長度方向(以下也稱為X軸方向)滑動；一對第一框體 4，分別設(shè)置在所述長條構(gòu)件3的兩端部，且具有用以使長條構(gòu)件3沿著與長度方向正交的 方向(以下也稱為Y軸方向)滑動的導(dǎo)軌71 ；以及第二框體5，將所述一對第一框體4予以 連結(jié)固定，使設(shè)置于各第一框體4的導(dǎo)軌71沿著Y軸方向彼此平行。另外，本實施方式的 測定設(shè)備用臺架100借由第一框體4以及第二框體5來形成平面觀察時的大致矩形框形狀 (參照圖2)。特別是如圖1所示，支撐體2包括支撐體基部21，以可在X軸方向上滑動的方式 受到設(shè)置于長條構(gòu)件3的上表面及/或側(cè)面的導(dǎo)軌61支撐；以及支撐體本體22 (僅圖示在 圖1中)，以可借由未圖示的移動機構(gòu)來在鉛垂方向(以下也稱為Z軸方向)上滑動的方式 而支撐于所述支撐體基部21?？蓪⒗鐦?gòu)成膜厚計等的光源以及光檢測器等的測定設(shè)備 MU可裝卸地安裝于所述支撐體本體22。支撐體基部21固定在滑動自如地卡合于導(dǎo)軌61的滑動構(gòu)件62上，該支撐體基 部21例如借由時規(guī)皮帶(timing belt)驅(qū)動、滾珠螺桿(ball screw)驅(qū)動或線性馬達 (linear motor)驅(qū)動的驅(qū)動機構(gòu)(未圖示)而在X軸方向上滑動。再者，借由導(dǎo)軌61、滑 動構(gòu)件62以及驅(qū)動機構(gòu)來形成X軸移動機構(gòu)6。特別是如圖2以及圖4所示，長條構(gòu)件3是沿著X軸方向延伸的長條狀的構(gòu)件，在 將測定設(shè)備用臺架100予以組裝之后的狀態(tài)下，將該長條構(gòu)件3的長度方向設(shè)為X軸方向。 另外，長條構(gòu)件3的左右兩端部(X軸方向兩端部)連接于滑動構(gòu)件72，該滑動構(gòu)件72滑動 自如地卡合在設(shè)置于第一框體4的上表面的導(dǎo)軌71上，所述長條構(gòu)件3的左右兩端部例如 借由時規(guī)皮帶驅(qū)動、滾珠螺桿驅(qū)動或線性馬達驅(qū)動的驅(qū)動機構(gòu)(未圖示)而在Y軸方向上 滑動。再者，借由導(dǎo)軌71、滑動構(gòu)件72以及驅(qū)動機構(gòu)來形成Y軸移動機構(gòu)7。
特別是如圖3所示，第一框體4在側(cè)面觀察時(從X軸方向觀察時)大致呈矩形 狀，在上表面上設(shè)置有Y軸移動機構(gòu)7的導(dǎo)軌71，并且下表面上設(shè)置有用以使第一框體4移 動的腳輪(caster)41、與用以固定第一框體4的可伸縮的腳要素42。而且，當(dāng)使第一框體 4移動時，使腳要素42離開地面，當(dāng)對第一框體4進行固定時，使腳要素42與地面接觸。特別是如圖2以及圖4所示，第二框體5分別設(shè)置于各第一框體4的前后兩端部 (Y軸方向兩端部)，該第二框體5包括第一框架51，可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)于一個第一框體4的兩 端部；第二框架52，可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)于另一個第一框體4的兩端部；以及連接框架53，在前后 分別對所述第一框架51及所述第二框架52進行連結(jié)固定。第一框架51以及第二框架52例如呈相同的形狀，在正面觀察時(從Y軸方向觀 察時)大致呈矩形狀。另外，如圖2所示，第一框架51以及第二框架52借由上下相對應(yīng)的 兩對夾具8A、8B來連結(jié)于第一框體4的內(nèi)側(cè)面。各夾具8A、8B可借由沿著鉛垂方向的旋 轉(zhuǎn)軸來使第一框架51以及第二框架52旋轉(zhuǎn)。當(dāng)借由兩對夾具8A、8B來將第一框架51以 及第二框架52予以連結(jié)時，第一框架51以及第二框架52成為連結(jié)固定于第一框體4的狀 態(tài)而不會旋轉(zhuǎn)。如此，利用兩對夾具8A、8B來對第一框架51以及第二框架52進行固定，借 此，可使相對于第一框體4的第一框架51以及第二框架2的位置再現(xiàn)性提高，并且可增大 強度。借由將一個夾具(內(nèi)側(cè)的夾具)8A解除，可利用另一個夾具(外側(cè)的夾具)8B來 使第一框架51以及第二框架52相對于第一框體4而向外側(cè)旋轉(zhuǎn)。借由將另一個夾具(外 側(cè)的夾具)8B解除，可利用一個夾具(內(nèi)側(cè)的夾具)8A來使第一框架51以及第二框架52 相對于第一框體4而向內(nèi)側(cè)旋轉(zhuǎn)。借此，當(dāng)折疊該測定設(shè)備用臺架100時，將外側(cè)的夾具8B解除，沿著第一框體4的 內(nèi)側(cè)面來折疊第一框架51以及第二框架52。另一方面，在使第一框體4的間隔擴大之后， 當(dāng)將基板載置平臺200收容在測定設(shè)備用臺架100內(nèi)時，將內(nèi)側(cè)的夾具8A解除，以使第一 框架51以及第二框架52向第一框體4的外側(cè)旋轉(zhuǎn)的方式來使第一框體4的間隔擴大。該連接框架53將第一框架51的自由端部(連接于第一框體4的端部的相反側(cè)的 端部)以及第二框架52的自由端部(連接于第一框體4的端部的相反側(cè)的端部)予以連 結(jié)。該連接框架53包括將第一框架51以及第二框架52的上下分別予以連接的兩個連接 要素53a、53b。各連接要素53a、53b的端部在兩個點處分別固定于第一框架51或第二框架 52，使得在水平面方向上，第一框架51以及連接框架53、第二框架52以及連接框架53的相 對位置不會發(fā)生變化。借此，在借由該連接框架53來將第一框架51以及第二框架52予以 連接的狀態(tài)下，第一框架51以及第二框架52的相對位置不會發(fā)生變化，一個第一框體4成 為相對于另一個第一框體4而言，相對位置成為不發(fā)生變化的固定狀態(tài)。而且，如圖5以及圖6所示，連接著長條構(gòu)件3的兩端部的滑動構(gòu)件72包括滑動 自如地卡合于導(dǎo)軌71的滑動本體721、以及連結(jié)體722，該連結(jié)體722以可圍繞沿著導(dǎo)軌71 的延伸方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的方式而設(shè)置于所述滑動本體721，且連結(jié)著所述長條構(gòu)件3的 端部?；瑒颖倔w721以及連結(jié)體722借由銜接(link)機構(gòu)723而被連結(jié)，該銜接機構(gòu)723 沿著導(dǎo)軌71的延伸方向而具有旋轉(zhuǎn)軸J1。如此，由于滑動構(gòu)件72包括可圍繞沿著導(dǎo)軌71 的延伸方向的旋轉(zhuǎn)軸Jl旋轉(zhuǎn)的連結(jié)體722，因此，構(gòu)成誤差吸收構(gòu)造，該誤差吸收構(gòu)造在將長條構(gòu)件3連結(jié)于滑動構(gòu)件72時，將第一框體4的斜度以及高度位置的誤差予以吸收，從 而使將長條構(gòu)件3連結(jié)于第一框體4的連結(jié)作業(yè)簡單化。另外，在連結(jié)體722的下表面上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)限制構(gòu)件9，該旋轉(zhuǎn)限制構(gòu)件9以包夾 導(dǎo)軌71的方式而設(shè)置在該導(dǎo)軌71的兩側(cè)，將所述旋轉(zhuǎn)限制在規(guī)定范圍內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)是第一 框體4相對于連結(jié)于連結(jié)體722的長條構(gòu)件3，以沿著導(dǎo)軌的延伸方向(Y軸方向)的軸為 旋轉(zhuǎn)中心而產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)。所述旋轉(zhuǎn)限制構(gòu)件9設(shè)置在導(dǎo)軌71的兩側(cè)，當(dāng)?shù)谝豢蝮w4相對于長條構(gòu)件3而向 X軸方向傾斜時(向內(nèi)側(cè)傾斜時或向外側(cè)傾斜時)，所述旋轉(zhuǎn)限制構(gòu)件9與第一框體4的上 表面接觸，使得第一框體4相對于長條構(gòu)件3無法進一步旋轉(zhuǎn)。本實施方式的旋轉(zhuǎn)限制構(gòu) 件9由設(shè)置在連結(jié)體722的下表面的腳輪構(gòu)件構(gòu)成。該腳輪構(gòu)件9在連結(jié)體722的前后， 設(shè)置在導(dǎo)軌71的兩側(cè)，針對長條構(gòu)件3的各端部，共計設(shè)置有4個腳輪構(gòu)件9。另外，當(dāng)長 條構(gòu)件3以及第一框體4大致成直角的狀態(tài)(正常狀態(tài))時，所述腳輪構(gòu)件9不與第一框 體4的上表面接觸。如此，當(dāng)使第一框體4擴大或縮小時，第一框體4發(fā)生傾斜，可使應(yīng)力 施加于導(dǎo)軌71及滑動構(gòu)件72而導(dǎo)致故障的情況不會發(fā)生，從而不會對接下來的使用產(chǎn)生 影響。另外，可對第一框體4的斜度進行控制，從而可使第一框體4容易地移動。此外，長條構(gòu)件3的兩端部連結(jié)于滑動構(gòu)件72的連結(jié)體722。更詳細(xì)而言，長條構(gòu) 件3的兩端部以可圍繞沿著鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸J2旋轉(zhuǎn)的方式而連結(jié)于連結(jié)體722。具體而 言，如圖5以及圖6所示，利用螺釘m來將設(shè)置于長條構(gòu)件3的貫通孔Hl與設(shè)置于連結(jié)體 722的貫通孔H2予以連結(jié)，借此，長條構(gòu)件3與連結(jié)體722可旋轉(zhuǎn)地被連結(jié)。再者，在使用 測定設(shè)備用臺架100時，借由未圖示的固定構(gòu)件來對長條構(gòu)件3以及連結(jié)體722進行固定， 使得所述長條構(gòu)件3以及連結(jié)體722不會圍繞旋轉(zhuǎn)軸J2旋轉(zhuǎn)。接著，參照圖7(A) 圖7(C)來對以所述方式構(gòu)成的測定設(shè)備用臺架100的組裝 方法以及折疊方法進行說明。首先，左右(X軸方向)相向地配置一對第一框體4。此時，在第一框體4的上表面 設(shè)置有Y軸移動機構(gòu)7的導(dǎo)軌71以及滑動構(gòu)件72。而且，以橫跨左右相向地配置的一對第 一框體4的方式，將長條構(gòu)件3載置在滑動構(gòu)件72的連結(jié)板722上，借由螺釘m來將設(shè)置 于長條構(gòu)件3的貫通孔與設(shè)置于連結(jié)體的貫通孔予以連結(jié)。此時，由于連結(jié)體722被設(shè)置 成可圍繞沿著Y軸方向的旋轉(zhuǎn)軸Jl旋轉(zhuǎn)，因此，第一框體4的斜度以及高度位置的誤差被 吸收。即，通過連接構(gòu)件來將長條構(gòu)件3與第一框體4予以連接，第一框體4以可圍繞沿著 Y軸方向的旋轉(zhuǎn)軸Jl旋轉(zhuǎn)的方式而與所述連接構(gòu)件接觸。另外，將第二框體5的第一框架51分別連結(jié)于一個第一框體4的前后端部(Y軸 方向端部)，將第二框體5的第二框架52分別連結(jié)于另一個第一框體4的前后端部(Y軸方 向端部)。此時，各框架51、52借由內(nèi)側(cè)的夾具8A而連結(jié)于第一框體4，并以沿著第一框體 4的內(nèi)側(cè)面的方式折疊(參照圖7(A))。接著，由于長條構(gòu)件3的兩端部可圍繞旋轉(zhuǎn)軸J2旋轉(zhuǎn)，因此，使所述兩端部沿著各 自對應(yīng)的第一框體4的導(dǎo)軌71，朝著互不相同的方向而向外側(cè)滑動，從而使第一框體4彼此 的間隔變窄。此時，以平面觀察時大致呈Z字狀(也可稱為N字狀)的方式，使長條構(gòu)件3 相對于第一框體4傾斜。例如，如圖7(B)所示，當(dāng)長條構(gòu)件3的一端部(圖7中的左側(cè)端 部)向上方向滑動時，長條構(gòu)件3的另一端部(圖7中的右側(cè)端部)向與上方向相反的下方向滑動。而且，在折疊之后的狀態(tài)下，長條構(gòu)件3的兩端部在各自對應(yīng)的第一框體4的導(dǎo) 軌71上，位于其延伸方向上的互不相同的端部。然后，借由未圖示的構(gòu)件來對第一框體4彼此進行固定并進行運送等。再者，在所 述順序中，借由限位器(stopper) 10來對設(shè)置于長條構(gòu)件3的支撐體2進行固定，使得在折 疊作業(yè)過程中或在運送過程中，支撐體2不會移動而發(fā)生故障。接著，對折疊狀態(tài)的測定設(shè)備用臺架100的組裝進行說明。首先，對于折疊成平面觀察時大致呈Z字狀的測定設(shè)備用臺架100而言，使一個或 兩個第一框體4移動，從而使第一框體4彼此的間隔擴大。此時，借由設(shè)置在第一框體4的 下表面的腳輪41來使第一框體4容易地移動。此時，長條構(gòu)件3的兩端部沿著各自對應(yīng)的第一框體4的導(dǎo)軌71，朝著互不相同的 方向而向內(nèi)側(cè)滑動。即，與所述折疊時相反地，在平面觀察時，使所述長條構(gòu)件3的兩端部 以相對于第一框體4立起的方式而滑動。然后，使以沿著第一框體4的內(nèi)側(cè)面的方式而經(jīng)折疊的第二框體5的第一框架51 以及第二框架52向外側(cè)擴大。此時，將基板載置平臺200搬入至第一框體4彼此之間。然 后，使第一框架51以及第二框架52的自由端部分別相向，并借由連接框架53來進行連接。 利用連接框架53來將第一框架51以及第二框架52予以連結(jié)，借此，設(shè)置于第一框體4的 導(dǎo)軌71變得平行。然后，將對支撐體2進行固定的限位器10予以拆除。借此，可將測定設(shè) 備MU安裝于支撐體2來使用該測定設(shè)備用臺架100。另外，例如在使用了測定設(shè)備用臺架100之后，對處于可使用狀態(tài)的測定設(shè)備用 臺架100進行折疊時，從支撐體2上拆除該測定設(shè)備MU,并且借由限位器10來將支撐體2 固定于長條構(gòu)件3。另外，拆除第二框體5的連接框架53，并且拆除內(nèi)側(cè)的夾具8A，使第二 框體5的第一框架51以及第二框架52向外側(cè)擴大，將基板載置平臺200搬出。然后，安裝內(nèi)側(cè)的夾具8A，并且拆除外側(cè)的夾具8B，使第一框架51以及第二框架 52向內(nèi)側(cè)移動，以沿著第一框體4的內(nèi)側(cè)面的方式進行折疊。然后，使長條構(gòu)件3的兩端部沿著各自對應(yīng)的第一框體4的導(dǎo)軌71，朝著互不相同 的方向而向外側(cè)滑動，以平面觀察時大致呈Z字狀(也稱為N字狀)的方式，使第一框體4 彼此的間隔變窄。在折疊之后的狀態(tài)下，長條構(gòu)件3的兩端部在各自對應(yīng)的第一框體4的 導(dǎo)軌71上，成為位于其延伸方向上的互不相同的端部。借此，該測定設(shè)備用臺架100被折疊?！幢緦嵤┓绞降男Ч蹈鶕?jù)以所述方式構(gòu)成的本實施方式的測定設(shè)備用臺架100，在將長條構(gòu)件3連結(jié) 于一對第一框體4的狀態(tài)下進行折疊，在組裝階段，只要使第一框體4的間隔擴大，并借由 第二框體5來對第一框體4進行連結(jié)固定即可，因此，可在設(shè)置場所中容易地對臺架進行組 裝。另外，由于以折疊狀態(tài)來進行運送，因此，可節(jié)省運送空間。此外，即使當(dāng)例如因無需使 用測定設(shè)備用臺架100而收納該測定設(shè)備用臺架100時，使第一框體4彼此的間隔變窄來 進行折疊，借此，可節(jié)省收納空間，再次使用時的組裝也容易。<其他變形實施方式>再者，本發(fā)明并不限于所述實施方式。例如，在所述實施方式中，表示了將測定設(shè)備用臺架折疊成Z字狀(N字狀)的例子，但還可將測定設(shè)備用臺架折疊成倒Z字狀(倒N字狀)。另外，在所述實施方式中，在借由內(nèi)側(cè)的夾具來將第二框體連結(jié)于第一框體的狀 態(tài)下進行折疊，但也可以從第一框體上拆除第二框體的狀態(tài)來對第一框體以及長條構(gòu)件進 行折疊。而且，所述實施方式的第二框體由第一框架、第二框架以及連接框架構(gòu)成，但也可 不包括連接框架而由第一框架以及第二框架來構(gòu)成第二框體，并直接將所述第一框架以及 第二框架予以連結(jié)。另外，第二框體可不由2個以上的框架要素構(gòu)成，也可由一個構(gòu)件構(gòu) 成。此外，所述實施方式的第二框體分別設(shè)置在第一框體的兩端部，且臺架在平面觀 察時大致呈矩形框狀，但第二框體的設(shè)置部位不限于此，例如也可以是將一對第一框體的 中央部彼此予以連結(jié)的部位。另外，該測定設(shè)備用臺架也可不包括第二框體。在此情況下，各第一框體例如固定 于設(shè)置底板。而且，也可在至少一個第一框體未固定于該設(shè)置底板的狀態(tài)下，使第一框體彼 此的間隔擴大或縮小。此外，旋轉(zhuǎn)限制構(gòu)件并不限于設(shè)置在滑動構(gòu)件側(cè)，也可設(shè)置在第一框體側(cè)。而且，在所述實施方式中，利用長條構(gòu)件以及連結(jié)體的連結(jié)構(gòu)造，長條構(gòu)件的兩端 部可圍繞沿著鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，此外，也可在長條構(gòu)件的兩端部或連結(jié)體上設(shè)置可 圍繞沿著鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的構(gòu)造。另外，在所述實施方式中，將該測定設(shè)備固定在支撐體上，該支撐體則固定于X軸 移動機構(gòu)的滑動構(gòu)件，但也可將該測定設(shè)備直接設(shè)置在X軸移動機構(gòu)的滑動構(gòu)件上，且將 該滑動構(gòu)件作為支撐體。此外，本發(fā)明不限于所述實施方式，當(dāng)然可在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)進行 各種變形。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖 然本發(fā)明已以較佳實施例揭示如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人 員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的結(jié)構(gòu)及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更 動或修飾為等同變化的等效實施例，但是凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明 的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方 案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種測定設(shè)備用臺架，使測定設(shè)備至少在水平面內(nèi)移動，其特征在于包括長條構(gòu)件，使所述測定設(shè)備沿著長度方向移動；以及一對第一框體，分別設(shè)置于所述長條構(gòu)件的兩端部，且具有用以使所述長條構(gòu)件沿著 與所述長度方向不同的方向移動的導(dǎo)軌，在一個第一框體相對于另一個第一框體而未被固定的狀態(tài)下，所述長條構(gòu)件的兩端部 沿著各自對應(yīng)的所述第一框體的導(dǎo)軌，向互不相同的方向移動，使所述第一框體彼此的間 隔擴大或縮小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測定設(shè)備用臺架，包括旋轉(zhuǎn)限制構(gòu)件，該旋轉(zhuǎn)限制構(gòu)件在所述導(dǎo)軌的兩側(cè)設(shè)置在所述長條構(gòu)件與所述第一框 體之間，限制所述第一框體以所述導(dǎo)軌的延伸方向作為旋轉(zhuǎn)中心而相對于所述長條構(gòu)件所 發(fā)生的旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的測定設(shè)備用臺架，包括第二框體，所述第二框體對所述一對第一框體進行連結(jié)固定，使設(shè)置于各第一框體的 導(dǎo)軌彼此平行，所述第二框體分別設(shè)置在所述第一框體的兩端部，且包括可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)于一個第一 框體的端部的第一框架、可旋轉(zhuǎn)地連結(jié)于另一個第一框體的端部的第二框架、以及對所述 第一框架及所述第二框架進行連結(jié)固定的連接框架。
全文摘要
一種可折疊的測定設(shè)備用臺架，不僅組裝簡單，而且節(jié)省運送空間。該測定設(shè)備用臺架包括長條構(gòu)件(3)，使測定設(shè)備(MU)沿著長度方向移動；以及一對第一框體(4)，分別設(shè)置于長條構(gòu)件(3)的兩端部，且具有用以使長條構(gòu)件(3)沿著與長度方向不同的方向移動的導(dǎo)軌(71)，長條構(gòu)件(3)的兩端部構(gòu)成為沿著各自對應(yīng)的第一框體(4)的導(dǎo)軌(71)，向互不相同的方向移動，使第一框體(4)彼此的間隔擴大或縮小。
文檔編號G01D11/30GK102072744SQ20101054677
公開日2011年5月25日 申請日期2010年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月19日
發(fā)明者水田雅夫, 片西章浩, 鉤正章 申請人:株式會社堀場制作所